JP6938738B2 - チップ部品転写装置 - Google Patents
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Description
転写元基板上のチップ部品を転写先基板に転写するチップ部品転写装置であって、
前記転写元基板を保持する転写元ステージと、前記チップ部品をファンデルワールス力により保持する柔軟部材を先端に配したチップ保持部を有し、前記転写元基板上の前記チップ部品をピックアップするピックアップツールと、前記ピックアップツールの上下駆動を制御する制御手段を有し、前記チップ保持部の高さ位置を調整するツール高さ調整装置とを備え、
前記チップ部品と前記柔軟部材の接触面積を増し、前記チップ保持部が前記チップ部品を有効に保持する状態まで前記ピックアップツールを降下させてから、前記ピックアップツールを上昇させるチップ部品転写装置である。
前記ツール高さ調整装置が、前記転写元ステージ上面に対して垂直な高さ方向の距離を測定する測長手段を有し、
前記チップ部品を有効に保持する前記チップ保持部の高さ位置を設定するチップ部品転写装置である。
前記ピックアップツールに複数のチップ保持部が設けられたチップ部品転写装置である。
2 ピックアップツール
3 転写元ステージ
4 透明板
5 撮像手段
6 焦点合わせ治具
7 レーザー測長器
10 制御手段
21 チップ保持部
21S 柔軟部材
31 転写元ステージ上面
41 透明板上面
50 撮像装置
51 プリズム
61 焦点合わせ治具の下面
B0 転写元基板
B1 転写先基板
C チップ部品
I21 チップ保持部イメージ
Claims (3)
- 転写元基板上のチップ部品を転写先基板に転写するチップ部品転写装置であって、
前記転写元基板を保持する転写元ステージと、
前記チップ部品をファンデルワールス力により保持する柔軟部材を先端に配したチップ保持部を有し、前記転写元基板上の前記チップ部品をピックアップするピックアップツールと、
前記ピックアップツールの上下駆動を制御する制御手段を有し、前記チップ保持部の高さ位置を調整するツール高さ調整装置とを備え、
前記チップ部品と前記柔軟部材の接触面積を増し、前記チップ保持部が前記チップ部品を有効に保持する状態まで前記ピックアップツールを降下させてから、前記ピックアップツールを上昇させるチップ部品転写装置。 - 請求項1に記載のチップ部品転写装置であって、
前記ツール高さ調整装置が、
前記転写元ステージ上面に対して垂直な高さ方向の距離を測定する測長手段を有し、
前記チップ部品を有効に保持する前記チップ保持部の高さ位置を設定するチップ部品転写装置。 - 請求項1または請求項2に記載のチップ部品転写装置であって、
前記ピックアップツールに複数のチップ保持部が設けられたチップ部品転写装置。
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Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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