JP6940207B2 - 電子部品実装装置 - Google Patents
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Description
以下、図面を参照しながら実施形態の電子部品実装装置100について説明する。なお、視野を示す図以外の各立面図、各平面図、各立断面図では、理解しやすいように半導体ダイ36、コレット30を実際の寸法よりも大きく描いてある。
以上の様に構成された電子部品実装装置100のピックアップ部101の動作について、図5から図12を参照して説明する。
コレット中心位置CC1を検出する画像処理の方法は様々な方法があるが、一例を示すと、黒い背景と中心穴32,34の白い円形の画像とのコントラストから白い円形の画像の境界線を検出し、その円の中心位置を計算することによりコレット中心位置CC1を検出する。図9に示すように、視野15の中ではコレット中心位置CC1はX方向中心線37、Y方向中心線38の交点となる。
次に図13、図14から図22を参照しながら、実装部102の動作について説明する。
次に図23、24を参照して他の実施形態の電子部品実装装置200について説明する。図23は電子部品実装装置200のピックアップ部101の立断面図であり、図24は実装部102の立断面図である。先に図1から図22を参照して説明した電子部品実装装置100と同様の部位には同様の符号を付して説明は省略する。
Claims (11)
- ウェーハを保持するウェーハリングと、
中心穴を有し、前記ウェーハから電子部品をピックアップするコレットと、
前記コレットを水平方向に駆動するコレット駆動部と、
前記コレットの根元側から前記コレットの中心穴に光を入射させるウェーハ側照明部と、
前記コレットの根元側から前記コレットの画像を撮像するウェーハ側撮像装置と、
前記ウェーハ側撮像装置が撮像した画像を処理する画像処理部と、
前記コレットの位置を調整する制御部と、を備える電子部品実装装置であって、
前記ウェーハ側撮像装置は、前記コレットの中心穴に入射して前記コレットの直下の前記ウェーハの表面で反射した反射光の画像を撮像し、
前記画像処理部は、前記ウェーハ側撮像装置が撮像した前記コレットの画像と前記ウェーハの表面で反射した反射光の画像とに基づいて前記コレットの中心穴の中心位置をコレット中心位置として検出し、検出したコレット中心位置と前記ウェーハ側撮像装置の視野の中の基準位置との間の偏差を検出し、
前記制御部は、前記偏差に基づいてコレット駆動部によって前記コレットを前記ウェーハ側撮像装置に対して移動させ、前記コレットの水平方向の位置を調整すること、
を特徴とする電子部品実装装置。 - 請求項1に記載の電子部品実装装置であって、
前記コレットがピックアップする電子部品を前記ウェーハの下側から突き上げる突き上げピンを含み、
前記ウェーハ側撮像装置は、上側から前記突き上げピンの画像を撮像し、
前記画像処理部は、
前記ウェーハ側撮像装置が撮像した前記突き上げピンの画像に基づいて前記突き上げピンの中心位置をピンセンタとして検出し、
検出した前記ピンセンタを前記ウェーハ側撮像装置の視野の中の基準位置に設定すること、
を特徴とする電子部品実装装置。 - 請求項2に記載の電子部品実装装置であって、
前記ウェーハリングを水平方向に駆動するウェーハリング駆動部を含み、
前記ウェーハ側撮像装置は、前記ウェーハの上側から前記コレットがピックアップする電子部品を撮像し、
前記画像処理部は、
前記ウェーハ側撮像装置が撮像した前記コレットがピックアップする電子部品の画像に基づいて前記コレットがピックアップする電子部品の中心位置をチップセンタとして検出し、
前記制御部は、前記チップセンタが前記ウェーハ側撮像装置の視野の中の基準位置となるようにウェーハリング駆動部によって前記ウェーハリングの水平方向の位置を調整すること、
を特徴とする電子部品実装装置。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の電子部品実装装置であって、
前記コレットの根元側から前記コレットの中心穴に光を入射させるフレーム側照明部と、
前記コレットの根元側から前記コレットの画像を撮像するフレーム側撮像装置と、を含み、
前記コレットは、先端に吸着した電子部品を実装対象物に実装し、
前記画像処理部は、前記フレーム側撮像装置が撮像した画像を処理し、
前記フレーム側撮像装置は、前記コレットの先端に電子部品を吸着させた状態で、前記コレットの中心穴に入射して前記コレットの先端に吸着された電子部品の表面で反射した反射光の画像を撮像し、
前記画像処理部は、前記フレーム側撮像装置が撮像した前記コレットの先端に吸着された電子部品の表面で反射した反射光の画像に基づいて前記コレットの中心穴の中心位置をコレット中心位置として検出し、検出したコレット中心位置と前記フレーム側撮像装置の視野の中の基準位置との間の第1偏差を検出し、
前記制御部は、前記第1偏差に基づいてコレット駆動部によって前記コレットの水平方向の位置を調整すること、
を特徴とする電子部品実装装置。 - 請求項4に記載の電子部品実装装置であって、
前記フレーム側撮像装置は、前記実装対象物の画像を撮像し、
前記画像処理部は、前記フレーム側撮像装置が撮像した前記実装対象物の画像に基づいて前記電子部品を実装する実装位置を検出し、検出した前記実装位置と前記フレーム側撮像装置の視野の中の基準位置との間の第2偏差を検出し、
前記制御部は、
前記第1偏差と前記第2偏差とに基づいて前記コレット駆動部によって前記コレットの水平方向の位置を調整すること、
を特徴とする電子部品実装装置。 - 請求項5に記載の電子部品実装装置であって、
前記ウェーハから前記電子部品をピックアップするピックアップ部と、ピックアップした前記電子部品を前記実装対象物に実装する実装部との間に配置され、前記コレットの先端の画像と前記コレットの先端に吸着された前記電子部品の裏面の画像とを撮像する裏面カメラを備え、
前記画像処理部は、前記裏面カメラが撮像した前記コレットの先端の画像と前記電子部品の裏面の画像とに基づいて、前記コレットに対する前記電子部品の位置ずれ量を検出し、
前記制御部は、
前記第1偏差と前記第2偏差と前記コレットに対する前記電子部品の位置ずれ量とに基づいて前記コレット駆動部によって前記コレットの水平方向の位置を調整すること、
を特徴とする電子部品実装装置。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の電子部品実装装置であって、
中心穴を有し、先端に吸着した電子部品を実装対象物に実装する実装コレットと、
前記実装コレットを水平方向に駆動する実装コレット駆動部と、
前記実装コレットの根元側から前記実装コレットの中心穴に光を入射させるフレーム側照明部と、
前記実装コレットの根元側から前記実装コレットの画像を撮像するフレーム側撮像装置と、を含み、
前記画像処理部は、前記フレーム側撮像装置が撮像した画像を処理し、
前記制御部は、前記実装コレットの位置を調整し、
前記フレーム側撮像装置は、前記実装コレットの先端に電子部品を吸着させた状態で、前記実装コレットの中心穴に入射して前記実装コレットの先端に吸着された電子部品の表面で反射した反射光の画像を撮像し、
前記画像処理部は、前記フレーム側撮像装置が撮像した前記実装コレットの先端に吸着された電子部品の表面で反射した反射光の画像とに基づいて前記実装コレットの中心穴の中心位置を実装コレット中心位置として検出し、検出した前記実装コレット中心位置と前記フレーム側撮像装置の視野の中の基準位置との間の第1偏差を検出し、
前記制御部は、前記第1偏差に基づいて前記実装コレット駆動部によって前記実装コレットの水平方向の位置を調整すること、
を特徴とする電子部品実装装置。 - 請求項7に記載の電子部品実装装置であって、
前記フレーム側撮像装置は、前記実装対象物の画像を撮像し、
前記画像処理部は、前記フレーム側撮像装置が撮像した前記実装対象物の画像に基づいて前記電子部品を実装する実装位置を検出し、検出した前記実装位置と前記フレーム側撮像装置の視野の中の基準位置との間の第2偏差を検出し、
前記制御部は、
前記第1偏差と前記第2偏差とに基づいて前記実装コレット駆動部によって前記実装コレットの水平方向の位置を調整すること、
を特徴とする電子部品実装装置。 - 請求項8に記載の電子部品実装装置であって、
前記ウェーハから前記電子部品をピックアップするピックアップ部と、ピックアップした前記電子部品を前記実装対象物に実装する実装部との間に配置され、前記実装コレットの先端の画像と前記実装コレットの先端に吸着された前記電子部品の裏面の画像とを撮像する裏面カメラを備え、
前記画像処理部は、前記裏面カメラが撮像した前記実装コレットの先端の画像と前記電子部品の裏面の画像とに基づいて、前記実装コレットに対する前記電子部品の位置ずれ量を検出し、
前記制御部は、
前記第1偏差と前記第2偏差と前記実装コレットに対する前記電子部品の位置ずれ量とに基づいて前記実装コレット駆動部によって前記実装コレットの水平方向の位置を調整すること、
を特徴とする電子部品実装装置。 - 中心穴を有し、先端に吸着した電子部品を実装対象物に実装する実装コレットと、
前記実装コレットを水平方向に駆動する実装コレット駆動部と、
前記実装コレットの根元側から前記実装コレットの中心穴に光を入射させるフレーム側照明部と、
前記実装コレットの根元側から前記実装コレットの画像を撮像するフレーム側撮像装置と、
前記フレーム側撮像装置が撮像した画像を処理する画像処理部と、
前記実装コレットの位置を調整する制御部と、を備える電子部品実装装置であって、
前記フレーム側撮像装置は、前記実装コレットの先端に電子部品を吸着させた状態で、前記実装コレットの中心穴に入射して前記実装コレットの先端に吸着された電子部品の表面で反射した反射光の画像を撮像し、
前記画像処理部は、前記フレーム側撮像装置が撮像した前記実装コレットの先端に吸着された電子部品の表面で反射した反射光の画像に基づいて前記実装コレットの中心穴の中心位置を実装コレット中心位置として検出し、検出した前記実装コレット中心位置と前記フレーム側撮像装置の視野の中の基準位置との間の第1偏差を検出し、
前記制御部は、前記第1偏差に基づいて実装コレット駆動部によって前記実装コレットの水平方向の位置を調整すること、
を特徴とする電子部品実装装置。 - 請求項9に記載の電子部品実装装置であって、
前記フレーム側撮像装置は、前記実装対象物の画像を撮像し、
前記画像処理部は、前記フレーム側撮像装置が撮像した前記実装対象物の画像に基づいて前記電子部品を実装する前記実装位置を検出し、検出した前記実装位置と前記フレーム側撮像装置の視野の中の基準位置との間の前記第2偏差を検出し、
前記制御部は、
前記第1偏差と前記第2偏差とに基づいて前記実装コレット駆動部によって前記実装コレットの位置を調整すること、
を特徴とする電子部品実装装置。
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