JP5010095B2 - レーザダイオードの搬送装置および搬送方法 - Google Patents

Description

本発明はレーザダイオード製造工程でウェハから分割され、チップとして仕上がる前段階でのレーザダイオードバーを、たとえばスパッタリング処理をなすために搬送する、レーザダイオードの搬送装置および搬送方法に関する。

たとえば、ＤＶＤやＣＤ−ＲＯＭドライブの光ピックアップヘッドなどに使用されるデバイスであるレーザダイオードは、ガリウム砒素材から構成されていて、波長が６５０ｎｍ程度の赤色可視光レーザを発光する。
図１３に示すように、レーザダイオードは、はじめ所定直径の円形ウェハＷに成形され、これから幅寸法ａが２００〜２０００μｍ程度、長さ寸法ｂが１０〜２５ｍｍ程度、厚さ寸法ｔが５０〜２００μｍ程度のレーザダイオードバー（以下、ＬＤバーと呼ぶ）１に加工される。実際に用いられるレーザダイオードＰはチップ状をなしていて、ＬＤバー１をへき開加工して長さ寸法ｃが３００〜６００μｍ程度に成形してなるものである。

このレーザダイオードは、ＬＤバー１の状態でウェハＷでの切断面である側面Ｚに成膜処理（以下、スパッタリング処理と言う）を行う必要がある。従来は、多数のＬＤバー収納溝を備えたプラスチック製のトレイを用意し、作業者が１本ずつＬＤバーをとって上記ＬＤバー収納溝に収納する。ＬＤバーが満杯になった状態でトレイを成膜用治具の待機する部位まで搬送して、別の作業者がトレイから成膜用治具に移し変える。
成膜用治具に収納した多数本のＬＤバーを同時にスパッタリング処理したあとは、また作業者が成膜用治具から１本ずつＬＤバーを取出してトレイに並べ元の部位へ送り出す。ここでは別の作業者がトレイから１本ずつＬＤバーを取出して所定の部位に並べる。したがって、ＬＤバーに対するスパッタリング処理にあたり、工数が大幅にかかって生産性に欠けるという不具合があった。

そこで、出願人においては数年前に、ウェハＷから分割されたＬＤバー１を収納部位から自動的に取出して成膜用治具に組込み、スパッタリング処理をなす。その後、成膜用治具から自動的にＬＤバー１を取出して所定の部位へ戻す、レーザダイオードの搬送装置を製作して市場に提供したところ、他メーカーも追従するようになった。
この種のレーザダイオードの搬送装置においては、プラスチック製のトレイに代って底部に粘着シートを備えたウェハリングを用意し、上記粘着シート上にＬＤバーを貼り付けて粘着力により固定する。したがって、ウェハリングを成膜用治具へ搬送する際に、容易にＬＤバーの位置が変動しない。ただし、ウェハリングを搬送して粘着シートからＬＤバーを取出し、成膜用治具に収納するのに粘着シートの粘性があるから、円滑に取上げるのが難しい。
ＬＤバーではないが、粘着テープに貼着された半導体チップを、粘着テープから円滑に剥離する技術が、［特許文献１］に記載されている。
特開平６−３４９９３４号公報

この技術によれば、ウェハリングの粘着シートに貼り付けられた半導体チップを剥離するのに突き上げ機構を用いている。すなわち、昇降部材の上面中央寄りに突き上げピンが、周辺寄りには位置決めピンがそれぞれ直立していて、ピンの先端は尖端をなしている。位置決めピンの上端は、突き上げピンの上端よりも高い位置にある。
チップ剥離時には、昇降部材が半導体チップ下方で上昇し、位置決めピンの上部が粘着テープを貫通してチップの側方に達し、そのあと突き上げピンの上端が粘着テープを貫通してチップの下面に接し、チップを下方から突き上げることにより、チップは粘着テープから剥離する、とある。

しかしながら、ＬＤバーの素材は先にも述べたようにガリウム砒素材であり、一般的な半導体チップを構成するシリコン材と比較すると、曲げ強度が１／２しかなく、折損し易い。そのため、半導体チップに代えてＬＤバーを粘着シートの下側から突き上げる上述の技術をそのまま用いると、必要以上の荷重がＬＤバーに掛かることになり、ＬＤバーが破損する虞れがある。
さらに、半導体チップを剥離する都度、ピンが粘着シートを突き破るので、粘着シートは早期に使用できなくなり頻繁に交換する必要がある。したがって、ランニングコストに悪影響の及ぼすことが予想される。

また、たとえ半導体チップを粘着シートから支障なく剥離することができても、これを吸着手段で吸着するのに不安が残る。すなわち、上述の技術では、ピンが粘着テープを貫通する際に粘着テープは部分的に伸張する。必ずしも、複数本の位置決めピンが一斉に同じタイミングで粘着テープを貫通するとは限らず、複数本の突き上げピンの粘着テープ貫通時もまた同様である。
しかも、位置決めピンと突き上げピンは長さに相違があり、タイミングをずらせて貫通するようになっているので、粘着テープ上の半導体チップは各ピンが粘着テープを貫通する都度、姿勢が変わってしまう。最終的に、半導体チップの姿勢が不安定となり、そのため吸着手段と半導体チップとの平行が保ち難いものとなり、吸着の信頼性が低い。

本発明は上記の事情にもとづきなされたものであり、その目的とするところは、ＬＤバーの破損を防止して、搬送ミスの無い信頼性の高いレーザダイオードの搬送装置および搬送方法を提供しようとするものである。

上記目的を満足するため本発明は、粘着力によって長手方向と、幅方向を有するレーザダイオードバーが貼り付けられた粘着シートと、この粘着シートを、上面において支持する開口部が設けられた吸着ボックスと、この吸着ボックスの上記開口部内に収容されていて、上記吸着ボックスの所定の方向に沿って波形をなし、上記所定の方向と交差する方向に沿って設けられ、かつ上記粘着シートが載置される複数の刃部を有する支持刃と、上記吸着ボックスに接続され、上記レーザダイオードバーが、上記粘着シート上に貼り付けられ、上記粘着シートを介し、上記長手方向に沿って、上記複数の刃部上に載置されたときに、上記吸着ボックス内を真空状態にして、上記粘着シートを上記支持刃の複数の刃部相互間に真空吸着させ、上記粘着シートに貼り付けられたレーザダイオードバーを、上記支持刃の刃部による支持部分を除いて、上記粘着シートから剥離させるバキューム機構と、を備えた剥離手段と、この剥離手段によって粘着シートから剥離されたレーザダイオードバーを、吸着して所定の処理手段へ搬送する手段と、上記処理手段で処理されたレーザダイオードバーを搬送して、再び粘着シートに貼り付ける手段とを具備するレーザダイオードバーの搬送装置を提供する。

本発明によれば、粘着シートからレーザダイオードバーを破損することなく確実に剥離することができ、信頼性の高い搬送を実現したレーザダイオードの搬送装置および製造方法を提供できる。

以下、本発明の一実施の形態について、図面を参照し説明する。
図１（Ａ）（Ｂ）は、本発明におけるレーザダイオードの搬送装置の基本構成を示す、搬送装置の概略的な平面図と正面図である。
装置本体Ｓの一側部には、ウェハリング６を多段に収納した状態でセットし、かつウェハリング６を１枚づつ取出し、もしくは収納を行えるように上下のピッチ送り出し機能およびウェハリング６に対する押出し機能を備えたマガジンユニットＣが配置される。このマガジンユニットＣから所定間隔だけ離間した部位に粘着シート吸着ユニット（剥離手段）Ａを備え、かつウェハリング６の位置決め固定機能とＬＤバー１の剥離位置をミクロン単位で移動調整する機能を備えたウェハリングステージＢが設けられる。

上記マガジンユニットＣからウェハリングステージＢとの間に亘って、マガジンユニットＣからウェハリング６を取出し／収納し、ウェハリングステージＢへ供給／排出するローダユニットＤが配置される。上記粘着シート吸着ユニットＡは、ウェハリングステージＢに搬入されるウェハリング６の粘着シート２の下部に位置し、粘着シート２を介してＬＤバー１を支持し、かつ粘着シート２からＬＤバー１を剥離する機能を有する。
ウェハリングステージＢの直上方部位に、ウェハリング６に支持されるＬＤバー１を整列順に検出できる位置まで移動し認識する機能および、ＬＤバー１に対する照明を有するウェハリングステージ上カメラユニットＪが取付けられる。

装置本体Ｓの他側部には、複数の成膜用治具（収納部）２５を着脱自在に備えた治具ホルダ（収納部ホルダ）Ｅを複数搭載する治具ストッカ（収納部ストッカ）Ｆが配置される。上記治具ホルダＥはＬＤバー１の幅に対して成膜用治具２５におけるＬＤバー収納幅を一定に保つ機能を備える。治具ホルダＥに近接した位置に、成膜用治具２５に収納されるＬＤバー１の上面の傾きを調整し位置補正する機能を有するバーリフターユニットＧが配置される。
バーリフターユニットＧの近傍部位には、成膜用治具２５内のＬＤバー１の姿勢と重なりを検出する機能と、ＬＤバー１に対する照明を備える治具ストッカ正面カメラユニット（重なり検出手段）Ｌが配置される。ウェハリングステージＢとバーリフターユニットＧとの間に亘って、ウェハリングステージＢにあるＬＤバーを治具ストッカＦの成膜用治具２５に搬入し、もしくはその逆方向に搬出するＬＤバー搬送ユニットＨが設けられる。このＬＤバー搬送ユニットＨはＬＤバー１を把持し、移動するＸ軸上にＹ−Ｚ−θの補正軸を備えている。

ＬＤバー搬送ユニットＨには、ウェハリング６の粘着シート２上に貼り付けられるＬＤバー１の認識と、成膜用治具２５および成膜用治具２５に収納されるＬＤバー１を認識する機能および対象物により切換えられる２種類の照明系を備えるＬＤバー搬送ユニット搭載カメラユニットＩが搭載される。
バーリフターユニットＧ近傍部位に、ＬＤバー１を吸着する吸着手段（コレットチャック３９）の姿勢認識と、搬送中のＬＤバー１の姿勢を下部から見上げて認識する機能を備えるとともに、ＬＤバー１を下部から照らす照明系を備えるＬＤバー姿勢認識カメラユニットＫが設けられる。

そして、装置本体Ｓの内底部には、上述した各ユニットと電気的に接続し、以上のユニットを制御する制御部（制御手段）６０が配置されている。この制御部６０は、画像処理ソフトのアルゴリズムとして、ＬＤバー１の姿勢によってカメラへの写り方が白／黒大きく異なっても認識可能な２種類の認識方法および照明の切換え手段を備え、移載動作ソフトのアルゴリズムとして、画像認識ミス、吸着ミスによる短時間の停止を大幅削減するリトライ動作ソフトを備えている。

以下、上述したユニットそれぞれの具体的な構成について、図面にもとづいて詳細に説明する。
図２は、マガジンユニットＣの外観斜視図である。
このマガジンユニットＣは、略Ｌ字状に折曲形成される基台２０Ａに支持具を介して上下駆動モータ２０が配置されている。そして、駆動プーリーと、従動プーリーと、駆動ベルト、ねじ棒およびガイドレール等からなる上下駆動機構２１を介してマガジン台１８が設けられる。マガジン台１８上には、ウェハリング収納マガジン１６が載置固定され、マガジン１６内部に複数枚のウェハリング６が上下方向に所定間隔を存した状態で多段に収容される。

それぞれのウェハリング６は皿状に形成されていて、たとえば合成樹脂材からなるリング状の鍔部ｆと、底部をなす粘着シート２からなる。先に図１３で説明したようにウェハＷから分割された所定本数のＬＤバー１が粘着シート２上に貼り付け支持される。当然、粘着シート２は粘性を有するから、ここに支持されるＬＤバー１はウェハリング６に対する少しの振動にも影響されることなく位置が変らない。
上記ウェハリング収納マガジン１６の前面部は開口され、この開口部に対向して基台２０Ａに支持されるウェハリング押出し機構１７が配置される。このウェハリング押出し機構１７はウェハリング収納マガジン１６内のウェハリング６に対向する押出し杆部ｄを備えていて、所定ストロークだけ進退自在となっている。押出し杆部ｄのストロークは、ウェハリング６がウェハリング収納マガジン１６から所定量だけ突出する範囲に設定されている。

上記ウェハリング収納マガジン１６の背面上部には、ウェハリングガイド口体ｅが突設される。このウェハリングガイド口体ｅは、ウェハリング押出し機構１７の押出し杆部ｄによるウェハリング６押出し側に対向して設けられていて、ウェハリング押出し機構１７によって押出される１枚のウェハリング６を案内する開口面積を備えている。
図３（Ａ）は、ウェハリングステージＢの外観斜視図であり、図３（Ｂ）は粘着シート吸着ユニットＡの断面図である。
上記ウェハリングステージＢは、上記ウェハリング６を支持するのに十分な大きさに形成されるステージ１１と、ステージ１１上のウェハリング６を着脱自在にクランプ固定する２分割されたウェハリング固定体７と、ステージ１１のＸ方向に備えられるＸ方向位置決め機構９およびＹ方向に備えられるＹ方向位置決め機構１０から構成される。

ウェハリング固定体７は、ステージ１１に対して上下動自在に駆動し、ウェハリング６の搬入を待機する。ステージ１１との間にウェハリング６が搬入されるとこれをクランプ固定し、かつ所定の条件でステージ１１と所定間隔を存してウェハリング６を開放する。Ｘ方向位置決め機構９は、Ｘ方向駆動軸１２とＸ方向駆動モータ１３を備えて，ウェハリング６をＸ方向に片寄せして位置を定める。Ｙ方向位置決め機構１０は、Ｙ方向駆動軸１４とＹ方向駆動モータ１５を備えて、ウェハリング６をＹ方向に片寄せして位置を定める。
上記ウェハリングステージＢの直上方部位には、ウェハリングステージ上カメラユニットＪが配置される。このウェハリングステージ上カメラユニットＪは、レンズをウェハリングステージＢに向けたカメラ４８と、このカメラ４８の鏡筒部に設けられウェハリングステージＢ上のウェハリング６を照らす同軸落射照明部４９から構成される。

上記粘着シート吸着ユニットＡは、ステージ１１にクランプ支持されるウェハリング６の底部位置に配置される。なお説明すれば、粘着シート吸着ユニットＡ上にウェハリング６の底部を構成する粘着シート２が載る状態で、ステージ１１にウェハリング６がクランプ支持されるようになっている。
粘着シート吸着ユニットＡは、上面が開口される吸着ボックス３と、この吸着ボックス３内に収容される支持刃５と、吸着ボックス３の側面部に接続されボックス内部と連通するバキューム機構４とから構成される。上記支持刃５は、吸着ボックス３の所定方向に沿って連続する波形の刃部５ａを備えていて、各刃部５ａは紙面の前後方向に沿って直状に形成される。

図４は、上記ローダユニットＤの外観斜視図である。
ローダユニットＤは、ウェハリングクランプ機構２２を備えている。このウェハリングクランプ機構２２は上下動機構２３に支持され、上下動機構２３は上記マガジンユニットＣの対向部位からウェハリングステージＢの対向部位に亘って設けられる移動部駆動機構２４に設けられる。
上記移動部駆動機構２４は、内部に駆動源を備えガイドレールｆに沿って往復動自在に自走する構成であってもよく、あるいは外部の駆動源に連結機構を介して連結されガイドレールｆに沿って往復動自在であってもよい。上記上下動機構２３は、ウェハリングクランプ機構２２の高さ位置を自在に調整可能である。上記ウェハリングクランプ機構２２は、バーｇの先端部にウェハリング６を把持し、かつ開放自在なクランプ作動部ｈを備えている。

図５（Ａ）は、成膜用治具２５を保持する治具ホルダＥと、この治具ホルダＥを支持する治具ストッカＦの斜視図であり、図５（Ｂ）は、成膜用治具２５の一側端部を拡大した横断平面図である。
上記治具ストッカＦは、内部に回転機構を収容するストッカ本体２８と、このストッカ本体２８の上面に回転機構と連結される治具ホルダインデックステーブル２９を備えている。治具インデックステーブル２９は複数（ここでは４つ）の取付け用凹陥部ｋを備えていて、それぞれの取付け用凹陥部ｋに成膜用治具２５を保持した状態の治具ホルダＥが着脱自在に取付けられる。

上記治具ホルダＥは、平面視で略コ字状に形成されるとともに、正面視の上端部が開放され、底部が所定の厚さに形成されるホルダ本体６１と、このホルダ本体６１の前面側に取付けねじ等の取付け具ｕを介して取付けられるホルダ抑え６２とからなる。
このホルダ抑え６２は正面視で略凹字状に形成され、内側端縁はホルダ本体６１の両側片部から内側へ突出する。治具ホルダＥの両側端部であるホルダ本体６１とホルダ抑え６２とで形成される空間部に成膜用治具２５が収容される。
上記成膜用治具２５は、両側端部がホルダ本体６１とホルダ抑え６２とで形成される空間部の幅方向寸法と同一の幅寸法に形成される第１の治具体（第１の収納体）２５ａと、後述するように僅かな板厚の第２の治具体（第２の収納体）２５ｂとから構成される。上記第１の治具体２５ａの内側部に段状の凹部ｍが設けられるとともに、この凹部ｍの近傍部位で前後方向にねじ孔ｎが設けられる。第２の治具体２５ｂは第１の冶具体２５ａのねじ孔ｎに螺挿される取付けねじ（調整手段）６３を介して段状の凹部ｍに取付けられる。

第２の治具体２５ｂが第１の冶具体２５ａに取付けられた状態で、第２の治具体２５ｂと第１の治具体２５ａにおける段状凹部ｍとの間に、上記ＬＤバー１を挟持する幅寸法の収納凹部６４が形成される。この収納凹部６４の底部には、後述するバーリフターユニットＧを構成するプッシャープレート３８が上下動自在に嵌め込まれ、ＬＤバー１はプッシャープレート３８上に積み重ねられた状態で収納凹部６４に収納される。
第１の治具体２５ａの幅寸法がホルダ本体６１とホルダ抑え６２との間に形成される空間部の幅寸法と略同一であるのに対して、第２の治具体２５ｂの板厚は第１の治具体２５ａに取付けられた状態で、ホルダ本体６１とホルダ抑え６２との間に形成される空間部の幅寸法よりも若干の余裕があるように形成される。すなわち、第２の治具体２５ｂは寸法差ｏの範囲で変位自在である。

第２の治具体２５ｂを第１の治具体２５ａに取付ける取付けねじ６３と対向するホルダ抑え６２部位には孔部ｐが設けられ、ここからクリアランス調整機構（たとえば、ドライバ）２７を挿入して取付けねじ６３を締結できる。すなわち、クリアランス調整機構２７で取付けねじ６３の締結具合を調整することにより、第２の治具体２５ｂを治具ホルダＥの幅方向に対し寸法差ｏの範囲内で移動調整可能となっている。
成膜用治具２５を構成する第１の治具体２５ａと第２の治具体２５ｂとの間に挟持されるＬＤバー１は、多数本が上下方向に積み上げられた状態で保持されるが、ＬＤバー１を成膜用治具２５に収納し、もしくは取出す際にはクリアランス調整機構２７を操作して収納凹部６４の幅方向寸法を広げることで作業性が良好化する。また、成膜用治具２５にＬＤバー１を収納した後は、スパッタリング処理による成膜状態の均一性を保つため、再度クリアランス調整機構２７にて間隔を狭めてＬＤバー１相互をタイトに整列させるとよい。

図６は、治具ストッカＦの成膜用治具２５に対するバーリフターユニットＧおよび治具ストッカ正面カメラユニットＬの概略の斜視図である。
バーリフターユニットＧは、成膜用治具２５に対向して並設される左右一対の上下駆動モータと、上下駆動軸とからなるリフターピン上下駆動機構３４，３５を備えている。各リフターピン上下駆動機構３４，３５は、それぞれ別個に上記制御部６０からの制御信号を受けて駆動される。

これらリフターピン上下駆動機構３４，３５の上端部には支持具３６，３７が取付けられ、ここにリフターピン駆動アクチュエータ３２，３３が載設される。それぞれのリフターピン駆動アクチュエータ３２，３３は、水平方向に往復駆動するリフターピン３０，３１を備えている。
上記リフターピン３０，３１の先端は、リフターピン駆動アクチュエータ３２，３３の作動にともなって、成膜用治具２５に収納される上記プッシャープレート３８の一対の調整用孔ｑに挿脱自在である。リフターピン３０，３１の先端がプッシャープレート３８の調整用孔ｑに挿入した状態でリフターピン上下駆動機構３４，３５を作動させれば、プッシャープレート３８は成膜用治具２５に沿って上下動変位する。

上記治具ストッカ正面カメラユニットＬは、ユニット本体６５上にカメラ駆動軸５５が設けられ、このカメラ駆動軸５５にカメラ駆動モータ５６が連結される。カメラ駆動軸５５にはカメラ５２が支持され、カメラ駆動モータ５６を駆動することによりカメラ駆動軸５５は水平方向に移動してカメラ５２の位置を調整できるようになっている。
カメラ５２の鏡筒５４は、バーリフターユニットＧを介して治具ストッカＦに向けられる。なお説明すれば、カメラ５２の鏡筒５４は治具ストッカＦ内の治具ホルダＥに支持される成膜用治具２５に向けられる。このカメラ鏡筒５４には、成膜用治具２５をスポット照明するリング照明部５３が設けられている。

図７は、ＬＤバー搬送ユニットＨの外観斜視図である。
Ｘ方向駆動軸４１がウェハリングステージＢとバーリフターユニットＧとの間に架設されていて、このＸ方向駆動軸４１の一端部にはＸ方向駆動モータ４２が連結される。そして、Ｘ方向駆動軸４１にはユニット支持体６６が取付けられていて、Ｘ方向駆動モータ４２を駆動することによりＸ方向駆動軸４１に沿ってユニット支持体６６が往復動される。

ユニット支持体６６の一側部にはＹ方向駆動軸４３が設けられ、このＹ方向駆動軸４３の一端部にＹ方向駆動モータ４４が連結される。Ｙ方向駆動軸４３に上記吸着手段を構成するコレットチャック３９を備えたコレットチャック上下駆動ユニット４０が取付けられる。Ｙ方向駆動モータ４４を駆動することによりＹ方向駆動軸４３が回転し、コレットチャック上下駆動ユニット４０がユニット支持体６６に沿う方向であるＹ方向に移動される。

上記コレットチャック３９は下端にノズル部を備え、真空ポンプ機構に接続される。コレットチャック上下駆動ユニット４０の作用によってコレットチャックは上下方向Ｚに移動変位自在であるとともに、回動方向θにも調整自在である。
上記ＬＤバー搬送ユニット搭載カメラユニットＩは、レンズを下方向に向けたカメラ４５と、このカメラ４５の撮像方向に設けられる同軸落射照明部４６およびリング照明部４７とから構成される。

図８は、ＬＤバー姿勢認識カメラユニットＫの斜視図である。
このＬＤバー姿勢認識カメラユニットＫは、支持台６７に取付け支持されレンズを上方向に向けたカメラ５０と、このカメラ５０の鏡筒に取付けられる同軸落射照明部５１とから構成される。
つぎに、このようにして構成されるレーザダイオードの搬送装置の作用について説明する。
マガジンユニットＣにおけるウェハリング収納マガジン１６内に上下方向に多段に収納されるウェハリング６は、底部を形成する粘着シート２上にウェハＷから分割化された多数本のＬＤバー１が整然と並んだ状態で貼り付けされ、かつ粘着シート２の粘性によって、その位置が確実に保持される。

制御部６０からの駆動信号にもとづいてウェハリング押出し機構１７が作動し、最上段のウェハリング６をウェハリングガイド口体ｅから所定量突出させる。タイミングをとってローダユニットＤが駆動され、ウェハリング固定体７に備えられるクランプ作動部ｈがウェハリング収納マガジン１６から突出するウェハリング６を把持し、マガジンユニットＣから取出す。

ついでマガジンユニットＣの上下駆動モータ２０が駆動され、ウェハリング収納マガジン１６を所定量押上げる。そのため、次段に位置するウェハリング６がウェハリング押出し機構１７に対向することになり、押出し機構１７はつぎの駆動信号を待機する。
ローダユニットＤにおいては、移動部駆動機構２４が駆動してウェハリングクランプ機構２２をマガジンユニットＣの側端部に移動させ、上下動機構２３がクランプ作動部ｈをマガジンユニットＣから突き出されたウェハリング６と対向するよう位置調整する。そして、クランプ作動部ｈは対向するウェハリング６を把持し、ついで移動部駆動機構２４が作動して把持したウェハリング６をウェハリングステージＢに搬入する。

ウェハリングステージＢに搬入されたウェハリング６がステージ１１上に到達したところで移動部駆動機構２４が停止し、かつクランプ作動部ｈはウェハリング６を開放する。そして、移動部駆動機構２４は逆方向に作動してウェハリングクランプ機構２２をマガジンユニットＣ側端部まで移動させたところで停止し、つぎのウェハリング６が押出されるのを待機する。
一方、Ｘ方向位置決め機構９とＹ方向位置決め機構１０が作動し、ウェハリング６を位置決めすべく移動調整する。そして、ウェハリング固定体７が作動してステージ１１上のウェハリング６をクランプ固定する。
そのあと、ウェハリングステージ上カメラユニットＪの同軸落射照明部４９が点灯して、カメラ４８が剥離対象となるＬＤバー１を撮像する。その撮像信号が制御部６０に送られてデジタル処理され、ＬＤバー１の位置認識をなして正規の剥離位置に補正する。つぎに、ＬＤバー搬送ユニットＨのＸ方向駆動モータ４２に駆動信号が送られてユニット支持体６６が移動し、コレットチャック３９がウェハリングステージＢ上に移動させられる。

コレットチャック３９の位置が定まったら、コレットチャック上下駆動ユニット４０に駆動信号を送ってコレットチャック３９を降下させ、先端ノズル部を対象とするＬＤバー１に接触させる。タイミングをとってコレットチャック３９に接続される真空ポンプ機構が駆動され、コレットチャック３９はＬＤバー１を吸着する。そして、粘着シート吸着ユニットＡのバキューム機構４に駆動信号が送られる。

図９（Ａ）ないし（Ｄ）は、粘着シート吸着ユニットＡにおけるＬＤバー１の剥離作用を順に示す図である。
図９（Ａ）に示すように、第１の工程として、ウェハリング６を構成する粘着シート２が吸着ボックス３の上面開口部に支持される。この状態でＬＤバー１は、長手方向に沿って吸着ボックス３内に収容される支持刃５の複数の刃部５ａ上に載置され、ＬＤバー１の幅方向は支持刃５の刃部５ａの長手方向に沿う。
図９（Ｂ）に示すように、第２の工程として、コレットチャック３９を降下させ吸着すべく対象となるＬＤバー１に接触させる。そして、コレットチャック３９に接続されるバキューム機構４を作動して、コレットチャック３９にＬＤバー１を真空吸着する。このことにより、コレットチャック３９にＬＤバー１がなじんで、より確実に吸着される。

図９（Ｃ）に示すように、第３の工程として、吸着ボックス３に接続されるバキューム機構４に駆動信号が送られて、粘着シート２を吸着ボックス３内に真空吸着する。粘着シート２はＬＤバー１を載置したまま真空圧により吸着ボックス３内に凹状に変形する。すなわち、吸着ボックス３には連続状の刃部５ａを有する支持刃５が収容されているから、これら支持刃５の刃部５ａ相互間で連続する凹状となる。
それまで粘着シート２はＬＤバー１の全面積を貼り付け支持しているが、バキューム機構４の作動によって全体的に連続凹状に変形し、ＬＤバー１に対する粘着保持力は支持刃５先端の刃部５ａと対向する部分のみとなる。

図９（Ｄ）に示すように、第４の工程として、コレットチャック３９に真空圧をかけＬＤバー１を真空吸着したまま、コレットチャック上下駆動ユニット４０が作動されコレットチャック３９を引き上げる。既に、粘着シート２は支持刃５の刃部５ａ上のみしかＬＤバー１に対する粘着保持力が作用しないから、ＬＤバー１は粘着シート２から容易に剥離される。このあとバキューム機構４の作動が停止され、粘着シート２ははじめの平坦状態に復帰する。
このような突き上げ方式を用いないシート吸着ユニット方式は、ガリウム砒素材以外の素材、例えばシリコン、サファイヤガラスをはじめとしたガラス材全般、ガリウムナイトライドなどにも適用可能である。また、ＬＤバー以外、例えばラインセンサー用ＩＣなどの細長い形状の製品にも適用できる。

コレットチャック３９に吸着したＬＤバー１はウェハリングステージＢから治具ストッカＦの治具ホルダＥへ搬送される。この搬送途中で、ＬＤバー搬送ユニット搭載カメラユニットＩはＬＤバー１を画像認識するとともに、治具ホルダＥに保持される成膜用治具２５の位置を画像認識する。
これらの結果から、制御部６０はＬＤバー搬送ユニットＨを構成するＸ、Ｙ方向駆動モータ４２，４４とコレットチャック上下駆動ユニット４０へ指令を送り制御する。したがって、コレットチャック３９に真空吸着したＬＤバー１を成膜用治具２５に確実に収納できる。

成膜用治具２５においては、より円滑にＬＤバー１を収納できるよう、第１の治具体２５ａと第２の治具体２５ｂとの間隔（クリアランス）をとる。すなわち、クリアランス調整機構２７を作用して調整手段である取付けねじ６３を回動する。第２の治具体２５ｂをホルダ抑え６２に密着させることで、第１の治具体２５ａと第２の治具体２５ｂとで形成される収納凹部６４の幅寸法を寸法差ｏの範囲内で拡大できる。
１本目のＬＤバー１を成膜用治具２５に収納できたら、ＬＤバー搬送ユニットＨはコレットチャック３９を再びウェハリングステージＢに戻し、粘着シート吸着ユニットＡ上のウェハリング６における粘着シート２上にあるＬＤバー１を真空吸着する。このとき、先に図９（Ａ）ないし（Ｄ）で説明した作用で粘着シート２から全てのＬＤバー１が剥離されているので、吸着作用は円滑に行われる。

このようにして２本目のＬＤバー１から所定本数のＬＤバー１が１つの成膜用治具２５に収容されたら、治具ホルダインデックステーブル２９の回転機構を作動して、インデックステーブル２９を９０°回動変位する。したがって、空の成膜用治具２５が所定部位に対向し、ここに新たに搬送されるＬＤバー１を収納する。
治具ホルダインデックステーブル２９に支持される全ての成膜用治具２５のそれぞれに所定本数のＬＤバー１が収容されたら、一旦、この搬送装置の作用を停止して上記インデックステーブル２９から成膜用治具２５を取出す。

なお、インデックステーブル２９から成膜用治具２５を取出す直前に、クリアランス調整機構２７で取付けねじ６３を螺挿し、成膜用治具２５を構成する第２の治具体２５ｂを第１の治具体２５ａに対して締め付ける。ＬＤバー１を収納する収納凹部６４の間隔を狭めてＬＤバー１に対しタイト化させ、成膜用治具２５内の全てのＬＤバー１を整列することによりスパッタリング処理が確実化する。
スパッタリング処理が終了したあと、再び成膜用治具２５を治具ホルダインデックステーブル２９に戻し、ＬＤバー搬送ユニットＨを作動して成膜用治具２５からＬＤバー１を１本ずつ取出してウェハリング６に戻す。

具体的には、コレットチャック３９を成膜用治具２５上に移動し、最上段のＬＤバー１から順次真空吸着するのであるが、このときコレットチャック３９の先端部に対して成膜用治具２５に収納されるＬＤバー１が平行に正しく対向した状態にないと確実な吸着ができないことになる。
そこで、成膜用治具２５内のＬＤバー１を取出す際に、成膜用治具２５に備えたプッシャープレート３８を調整することで、ＬＤバー１をコレットチャック３９に対して正確に平行した姿勢となす。

図１０（Ａ）（Ｂ）は、成膜用治具２５に収納されるＬＤバー１の傾きを矯正する作用を説明する模式図である。
図１０（Ａ）に示すようにプッシャープレート３８上に積層されるＬＤバー１が傾いていることを検知すると、図１０（Ｂ）に示すように傾き下方側に対向するリフターピン上下駆動機構３４，３５のいずれか一方を作動して、調整用孔ｑに挿入したリフターピン３１，３２のいずれか一方を傾き量だけ上昇させ、プッシャープレート３８を傾かせる。

傾いていたＬＤバー１の傾き側はプッシャープレート３８によって押上げられ、全てのＬＤバー１は平行化する。この状態でコレットチャック３９の吸着を待機することになり、ＬＤバー１は確実に吸着保持される。
すなわち、バーリフターユニットＧに一対のリフターピン上下駆動機構３４，３５を備えたことにより、成膜用治具２５内で傾きのあるＬＤバー１の平行を補正できる。実際には、治具ストッカ正面カメラユニットＬにおける画像認識後の補正指令値を、それぞれのリフターピン上下駆動機構３４，３５に送ることで対応する。

なお、ＬＤバー搬送ユニット搭載カメラユニットＩは、粘着シート２からＬＤバー１を剥離する際のＬＤバー１の画像認識と、スパッタタリング処理のために成膜用治具２５から取出されたＬＤバー１の画像認識およびスパッタリング処理したＬＤバー１を再び成膜用治具２５内に戻し収納する際の成膜用治具２５の形状およびクリアランスの画像認識をなす。
これらの機能のうち、成膜用治具２５内のＬＤバー１を取出す際のＬＤバー１の画像認識は、特に重要である。ＬＤバー１が傾斜すると、画像認識の際に照射した照明の反射率が変化して、ＬＤバー１の表面の色合いが変化し画像処理ができなくなる。また、同軸落射照明のみの照明系を用いた構成でＬＤバー１が傾斜すると、照明の反射率が変化して、画像認識ユニットに取り込まれる画像に光沢のある状態と無い状態が発生し、位置を正確に画像認識できない。

この問題を解決するため、ＬＤバー搬送ユニット搭載カメラユニットＩにおいて、照明系を同軸落射照明部４６と、リング照明部４７の２種類を備え、状況に応じて切換えることで対応している。さらに、２種類の照明系を用いると、当然のことながら画像処理にて取り込まれる画像が異なるので、その画像に適合した画像処理アルゴリズムを新たに提供している。
具体的には、バーリフターユニットＧの水平出し動作が終了したことを確認後、ＬＤバー搬送ユニット搭載カメラユニットＩで成膜用治具２５内に収納されるＬＤバー１のうちの、最上部ＬＤバー１の左右両側端部におけるエッジを認識する。このエッジ認識結果から、成膜用治具２５の位置およびコレットチャック３９の搬送位置とのずれ分を算出して補正する。

成膜用治具２５内でのＬＤバー１の傾きの有無によって照明の反射方向が変化し、ＬＤバー１の表面が白や黒に大きく変化してしまう。具体的には、ＬＤバー１が傾いた状態で成膜用治具２５に収納されると、照明の光を受けて乱反射しＬＤバー１表面大部分が黒く見え、一部が白く見える。ＬＤバー１が傾かない場合は、光が正しく反射して表面全体が白く見え、黒く見える部分がない。
このようにＬＤバー１の表面状態に差が大きいため、１種類の方法では認識できない。そこで、本発明では２段階の検出方法を採用することにより、ＬＤバー１のエッジ認識を成功させている。

第１段階では、ＬＤバー１の両側端部に対する画像取込みをなし、２種類の２値化処理を行ってエッジ検出を実行する。すなわち、黒と白との値の差を比較して、エッジである境界線の有無を判断する。このことにより、黒／白どちらの見え方でも認識可能となり、エッジを認識できた。
ただし、ＬＤバー１表面全体が白く見える場合は、エッジである境界線の位置が実際のものとずれて認識がし難く、第１段階での画像取込みでＮＧとなる場合がある。そこで第２段階に移る。

この段階では、リング照明部４７によるリング照明から同軸落射照明部４６による同軸落射照明に切換える。照明系を切換えると光量が変化して、ＬＤバー１に対する見方が変化するが、再度、画像取込みを実行することにより認識可能となる。
成膜用治具２５内のＬＤバー１に対する以上の画像認識のあと、コレットチャック３９を降下してＬＤバー１を真空吸着する。そして、コレットチャック３９を上昇駆動して、そのＬＤバー１を再びウェハリングステージＢへ搬送する。

図１１（Ａ）ないし（Ｅ）は、コレットチャック３９に吸着されるＬＤバー１の重なりを矯正する作用を順に示す図である。
図１１（Ａ）に示すように、第１の工程として、コレットチャック３９は成膜用治具２５内の最上段のＬＤバー１を真空吸着する。このとき、下部側のＬＤバー１が最上段のＬＤバー１に付着したまま引き上げられることがあるので、以下のように対応する。図１１（Ｂ）に示すように、第２の工程として、コレットチャック３９は吸着したＬＤバー１が成膜用治具２５内にある状態で、一旦上昇を停止する。

第３の工程として、ＬＤバー１の重なりを検出するため、コレットチャック３９の位置を変えずに治具ストッカ正面カメラユニットＬがコレットチャック３９に吸着されるＬＤバー１を画像認識する。ＬＤバー１の重なりがないことが判明した場合は第４の工程として、図１１（Ｅ）に示すように、コレットチャック３９を引き上げて吸着したＬＤバー１をウェハリングステージＢへ搬送する。
治具ストッカ正面カメラユニットＬにて画像認識した結果、２本以上の「重なり」があると判断された場合は第４の工程として、図１１（Ｃ）に示すように、コレットチャック３９の位置を変えずに真空ポンプ機構の作動を停止する。コレットチャック３９は真空状態から大気開放されてＬＤバー１に対する吸着力がゼロになり、吸着されていたＬＤバー１は成膜用治具２５内に落下する。

落下したＬＤバー１は成膜用治具２５のプッシャープレート３８上に積層するＬＤバー１上に載り、このときある程度の落下衝撃を受けるので、最上段のＬＤバー１に付着していた下部側のＬＤバー１はほとんど分離することとなる。そして、確認のため再び図１１（Ａ）の第１の工程から繰り返す。
なお、図１１（Ｃ）に示す第４の工程のあと、念のため図１１（Ｄ）に示すように、プッシャープレート３８上に載るＬＤバー１の側面に微振動機構７０を当てて微振動を加える第５の工程を行ってもよい。当然、スパッタリング加工されたＬＤバー１の側面Ｚに傷が付かない程度に押して、振動を与える。このことで付着していたＬＤバー１は完全に分離する。

上記微振動機構７０に代って、エアーもしくは窒素などの不活性ガスをＬＤバー１側面に吹付けて、ＬＤバー１に対し非接触にて振動を与えるようにしてもよく、この場合はＬＤバー１のスパッタリング処理された側面Ｚにおける傷の発生が全くない。
図１２（Ａ）は、セット動作を簡略化して表した図であり、図１２（Ｂ）はリセット動作を簡略化して表した図である。
上記セット動作とは、ウェハリング６を構成する粘着シート２に貼り付け支持されたＬＤバー１を、粘着シート２から剥離して搬送し成膜用治具２５に収納するまでの動作を言う。リセット動作とは、スパッタリング処理の終了したＬＤバー１を成膜用治具２５から取出して搬送し再びウェハリング６の粘着シート２に戻すまでの動作を言う。

図１２（Ａ）において、粘着シート２からＬＤバー１を取出すＬＤバー搬送ユニットＨの作用を一点鎖線で示す。ウェハリング６から取出されたＬＤバー１の位置認識をなすカメラ４８は、上記ウェハリングステージ上カメラユニットＪに備えられる。ウェハリング６から成膜用治具２５へ搬送される間にＬＤバー１の姿勢を認識するカメラ５０は、上記ＬＤバー姿勢認識カメラユニットＫに備えられる。
図１２（Ｂ）において、一点鎖線で示すＬＤバー搬送ユニットＨが成膜用治具２５内のＬＤバー１を取上げた状態でＬＤバー１の姿勢を認識して重なりを検出するカメラ５２は、上記治具ストッカ正面カメラユニットＬに備えられる。粘着シート２からＬＤバー１を剥離する際のＬＤバー１の画像認識と、スパッタタリング処理のために成膜用治具２５から取出されたＬＤバー１の画像認識と、スパッタリング処理したＬＤバー１を再び成膜用治具２５内に戻し収納する際の成膜用治具２５の形状および成膜用治具２５内のクリアランスの画像認識をなすカメラ４５は、上記ＬＤバー搬送ユニット搭載カメラユニットＩに備えられる。

このような構成のもと、ＬＤバー１のセット動作時のセット平均タクトタイムを計測したところ、本出願人が先に製造した装置と比較して略３倍程度のスピードアップがあり、生産性が格段に進歩した。

図１４は、セット動作のフローチャート図であり、図１５は、リセット動作のフローチャート図である。
すなわち、図１２（Ａ）で示したセット動作のフローを図１４で詳細に説明し、図１２（Ｂ）で示したリセット動作のフローを図１５で詳細に説明している。
はじめに、セット動作フローについて説明する。
（ウェハリング６に係るフロー）
スタートからステップＡ１として、粘着シート２にＬＤバー１が貼り付けられたウェハリング６をウェハリング収納マガジン１６に多段に収納し、このマガジン１６を備えたマガジンユニットＣの所定位置にセットする。ウェハリング押出し機構１７が最上段のウェハリング６を押出し、そのあとウェハリング６が取出されたらウェハリング収納マガジン１６を上昇駆動して、１段ずつ下降位置にあるウェハリング６を押出し機構１７に対向させ、最下段位置のウェハリング６まで対向させる。

一方、ローダユニットＤのウェハリングクランプ機構２２がウェハリング押出し位置に対向し、かつクランプ作動部ｈを開いた状態で待機する。押出されたウェハリング６をクランプ作動部ｈが把持し、移動部駆動機構２４が駆動してウェハリング６をウェハリングステージＢ上へ搬送する。
ローダユニットＤの上下動機構２３が下降してウェハリングステージＢ上にウェハリング６を載せてクランプ作動部ｈを開く。そのあと、移動部駆動機構２４を作動して退避位置までウェハリングクランプ機構２２を後退させる。ウェハリングステージＢにおいてＸ，Ｙ位置決め機構９，１０がＸ、Ｙ方向の位置を決め、ウェハリング固定体７はウェハリング６の位置をクランプ固定する。この間にローダユニットＤは待機位置へ戻る。

ステップＡ２として、ウェハリングステージＢに支持したウェハリング６を、あらかじめ定められたＬＤバー１に対する剥離位置へ移動する。２本目からのＬＤバー１はピッチ送りで移動する。
ステップＡ３として、ウェハリングステージ上カメラユニットＪにおけるカメラ４８で剥離対象となるＬＤバー１の位置認識を行う。ＬＤバー１を位置認識してから、剥離位置とのずれ分を算出し補正値とする。
ステップＡ４として、ウェハリングステージＢの粗位置決めを行う。ウェハリングステージ上カメラユニットＪにおけるカメラ４８の画像認識で算出された補正値にもとづいてウェハリングステージＢを移動させ、ＬＤバー搬送ユニット搭載カメラユニットＩに搭載するカメラ４５の視野内にＬＤバー１を収める。

ステップＡ５として、ウェハリングステージＢの位置補正を行う。後述するステップＢ２で算出された補正値にもとづいてウェハリングステージＢを移動させ、ＬＤバー１を正確な剥離位置に合わせる。
ステップＡ６として、後述するステップＢ６でＬＤバー搬送ユニットＨのコレットチャック３９がＬＤバー１を吸着したことを確認し、粘着シート吸着ユニットＡにおいて粘着シート２に対する吸着作用を開始する。シート吸着ユニットＡが粘着シート２を吸着することで、粘着シート２からＬＤバー１のほとんど大部分が剥離される。
ステップＡ７として、後述するステップＢ７でＬＤバー１がＬＤバー搬送ユニットＨのコレットチャック３９によって搬送されたことを確認し、粘着シート吸着ユニットＡの粘着シート２に対する吸着作用を停止する。
ステップＡ８として、繰返しｏｒ終了？のいずれかを選択する。ウェハリング６の粘着シート２上にＬＤバー１が未だ存在していればステップＡ２へ戻り、粘着シート２上に全くＬＤバー１が存在していなければステップＡ１へ移行する。

（ＬＤバー１に係る搬送フロー）
スタートからステップＢ１として、後述するステップＣ１で成膜用治具２５が治具ストッカＦの所定位置に到着したことを確認した後、ＬＤバー搬送ユニットＨのＸ方向駆動軸４１を作動する。ＬＤバー搬送ユニット搭載カメラユニットＩのカメラ４５は成膜用治具２５におけるＬＤバー１収納部位である収納凹部６４の左右両側端部２ヶ所のエッジを認識する。
ステップＢ２として、前述したステップＡ４でＬＤバー１の粗位置決めが終了したことを確認後、ＬＤバー搬送ユニットＨのＸ方向駆動軸４１を作動させＬＤバー搬送ユニット搭載カメラユニットＩのカメラ４５でウェハリング６上の剥離対象となるＬＤバー１における左右両側端部のエッジを認識し、剥離位置とのずれ分を算出する。このとき、ウェハリングステージＢに対するＸＹ軸補正はステップＡ５で実行し、ＬＤバー搬送ユニットＨのθ軸補正はステップＢ３で実行する。

ステップＢ３として、ステップＢ２で算出された補正値にもとづいてＬＤバー搬送ユニットＨのθ軸を移動させ、同ユニットＨに備えられるコレットチャック３９をＬＤバー１の傾きに合わせ、位置補正をなす。
ステップＢ４として、ＬＤバー搬送ユニットＨのＸ方向駆動軸４１を駆動して、コレットチャック３９を予め定められたウェハリングユニットＢ上の剥離位置へ移動する。
ステップＢ５として、ＬＤバー搬送ユニットＨのコレットチャック上下駆動ユニット４０を駆動して、コレットチャック３９をＬＤバー１直前の高さ位置まで高速で下降させた後、低速に切換えてＬＤバー１へ衝撃のないようソフトに接触させる。
ステップＢ６として、コレットチャック３９先端がＬＤバー１に接触したら、コレットチャック３９に連通するバキューム機構を作動して、コレットチャック３９にＬＤバー１を吸着させる。すなわち、ＬＤバー１の位置ずれを生じさせないために、コレットチャック３９をＬＤバー１に接触させてから吸着する。

ステップＢ７として、前述したステップＡ６で粘着シート吸着ユニットＡが作用し粘着シート２の吸着を確認した後、コレットチャック３９を低速で微小距離上昇させＬＤバー１が吸着されていることを確認する。そして、コレットチャック３９を高速で搬送位置まで上昇させる。
ステップＢ８として、コレットチャック３９に吸着されているＬＤバー１の姿勢を挿入高さ位置で確認するため、コレットチャック３９をＸ方向とＺ方向に移動させ、ＬＤバー姿勢認識カメラユニットＫのカメラ５０でＬＤバー１の左右両側端部エッジを認識する。そして、前述したステップＢ１においての認識位置から挿入補正値を算出する。
ステップＢ９として、ステップＢ８で算出した補正値にもとづいてＬＤバー搬送ユニットＨにおけるＸ、Ｙ、θ方向の各軸を駆動する。ＬＤバー１の挿入姿勢補正を行いながら、ＬＤバー１を治具ストッカＦの凹陥部ｋにセットされた成膜用治具２５上方部位へ移動する。

ステップＢ１０として、ＬＤバー１を治具ストッカＦの成膜用治具２５の直前まで高速で下降させ、さらに低速に切換えてＬＤバー１を成膜用治具２５の収納凹部６４内へ挿入する。
ステップＢ１１として、ＬＤバー１を治具ストッカＦの成膜用治具２５へ収納したことを確認した後、コレットチャック３９のＬＤバー１に対する吸着作用を停止する。
ステップＢ１２として、コレットチャック３９の吸着作用が完全に停止したことを確認してから、コレットチャック３９を搬送高さまで上昇させ、ステップＢ２へ戻る。

（成膜用治具２５に係るフロー）
スタートからステップＣ１として、空の成膜用治具２５がセットされている治具ストッカＦの凹陥部Ｋを所定の位置に移動させる。
ステップＣ２として、治具ストッカＦの成膜用治具２５に対して、プッシャープレート３８に設けられる調整用孔ｑにバーリフターユニットＧのリフターピン３０，３１を挿入し、各リフターピンを同期制御してＬＤバー１の挿入高さを示すセンサ位置まで上昇させる。ＬＤバー１挿入後、センサから外れるまで下降して、再度センサ位置まで上昇させる。２本のリフターピン３０，３１は独立制御方式なので常にエンコーダ値を確認し、リフターピン間の差が開いた時に自動修正を行う。
ステップＣ３として、所定本数のＬＤバー１を治具ストッカＦの成膜用治具２５へ収納完了するまではステップＣ２へ戻る。所定本数を収納完了したらステップＣ４へ移行する。
ステップＣ４として、バーリフターユニットＧの２本のリフターピン３０，３１を治具ストッカＦの成膜用治具２５内最下部へ下降させ、さらにリフターピン３０，３１をプッシャープレート３８から抜き出して戻す。

つぎに、リセット動作フローについて説明する。
（ウェハリング６に係るフロー）
スタートからステップＤ１として、ＬＤバー１を貼り付けるべきウェハリング６が収納されたウェハリング収納マガジン１６をマガジンユニットＣの所定位置にセットする。そして、マガジンユニットＣにおける上下駆動軸１９，２０を駆動し、ウェハリング収納マガジン１６の最上段位置にあるウェハリング６を取出し位置まで移動する。ローダユニットＤのウェハリング固定体７がウェハリング６の取出し位置にクランプを開いた状態で待機する。マガジンユニットＣのウェハリング押出し機構１７でウェハリング６を押出し、ローダユニットＤのクランプ作動部ｈに対してウェハリング６を移動させる。

ついで、クランプ作動部ｈを閉じ、そのまま移動部駆動機構２４でウェハリングステージＢ上までウェハリング６を搬送する。ウェハリングステージＢ上でローダユニットＤの上下動機構２３が下降しクランプ作動部ｈを開いたあと、移動部駆動機構２４を作動して退避位置まで後退する。ウェハリングステージＢのＸＹ位置決め機構９，１０でウェハリング６のＸ、Ｙ方向の位置を決め、ウェハリング固定体７がウェハリング６の位置を固定する。ウェハリングステージＢにおいてウェハリング６を位置決めしている間にローダユニットＤは待機位置へ戻る。
ステップＤ２として、ウェハリングステージＢに固定したウェハリング６を、あらかじめ定められたＬＤバー１の貼り付け位置へ移動する。なお、２本目からのＬＤバー１に対してはピッチ送りで移動する。
ステップＤ３として、ウェハリング６に対して所定本数のＬＤバー１貼り付けが完了するまではステップＤ２へ戻って繰り返す。ＬＤバー１を所定本数貼り付けが完了した後はＤ１へ移行する。

（ＬＤバー１の搬送に係るフロー）
スタートからステップＥ１として、後述するステップＦ４でバーリフターユニットＧの水平出し動作が終了したことを確認した後、ＬＤバー搬送ユニットＨのＸ方向駆動軸４１を動作させる。そして、ＬＤバー搬送ユニット搭載カメラユニットＩのカメラ４５で治具ストッカＦに支持される成膜用治具２５内の最上段ＬＤバー１の左右両側端部エッジを認識し、ＬＤバー搬送ユニットＨのコレットチャック３９とのずれ分を算出して補正値とする。
ステップＥ２として、ステップＥ１で算出した補正値にもとづいてＬＤバー搬送ユニットＨの各軸を移動させ、コレットチャック３９を成膜用治具２５上方部位へ移動しＬＤバー１の取出し姿勢を補正する。

ステップＥ３として、コレットチャック３９を治具ストッカＦの成膜用治具２５直前位置まで高速で下降させてから、低速に切換えてＬＤバー１の取出し位置へ下降し停止する。
ステップＥ４として、コレットチャック３９がＬＤバー１の取出し位置に達したことを確認した後、コレットチャック３９の吸着動作を開始しＬＤバー１を吸着する。
ステップＥ５として、ＬＤバー１の重なりを検出するため、ＬＤバー搬送ユニットＨのコレットチャック３９をＬＤバー１数本分上昇させ、停止してから後述するステップＦ５において認識する。
ステップＥ６として、ＬＤバー１の重なりが発生していることを判明したらステップＥ７へ移行し、ＬＤバー１の重なりが発生しないことが判明したらステップＥ９へ移行する。
ステップＥ７として、ＬＤバー１の重なりを検出した高さでコレットチャック３９の吸着作用を停止し、成膜用治具２５内にＬＤバー１を自然落下させる。このことにより、重なっているＬＤバー１相互が分離する。

ステップＥ８として、コレットチャック３９を搬送高さまで上昇させ、ステップＥ１へ戻る。
ステップＥ９として、ステップＥ６でＬＤバー１の重なり発生がない場合は、コレットチャック３９にＬＤバー１を吸着したまま搬送高さまで上昇させる。
ステップＥ１０として、ＬＤバー搬送ユニットＨのＸ方向駆動軸４１を動作させ、ＬＤバー１をウェハリングステージＢに固定したウェハリング６の粘着シート２におけるＬＤバー１貼り付け位置まで移動させる。
ステップＥ１１として、ＬＤバー搬送ユニットＨのコレットチャック３９を下降させ、ＬＤバー１をウェハリング６の粘着シート２に貼り付ける。ＬＤバー１を貼り付け後、コレットチャック３９の吸着作用を停止する。吸着作用停止の確認後、コレットチャック３９を搬送位置まで上昇させて、ステップＥ１へ戻る。

（成膜用治具２５に係るフロー）
スタートからステップＦ１として、スパッタリング処理されたＬＤバー１を収納する成膜用治具２５を、治具ストッカＦに収納したまま所定の位置まで移動する。
ステップＦ２として、成膜用治具２５にセットされたプッシャープレート３８の２ヶ所の調整用孔ｑへバーリフターユニットＧの２本のリフターピン３０，３１を挿入する。そして、リフターピン３０，３１を同期制御してＬＤバー１の取出し高さを示すセンサ位置まで上昇させる。
ステップＦ３として、治具ストッカ正面カメラユニットＬのカメラ５２で成膜用治具２５に収納される最上段のＬＤバー１の姿勢（傾き）を認識し、２本のリフターピン３０，３１に対して補正値を算出する。

ステップＦ４として、ステップＦ３で算出された補正値にもとづいてバーリフターユニットＧの２本のリフターピン３０，３１を動作させ、成膜用治具２５に収納されるＬＤバー１を水平姿勢にする。
ステップＦ５として、前述したステップＥ５で移動したＬＤバー１を治具ストッカ正面カメラユニットＬのカメラ５２で認識し、コレットチャック３９で取出したＬＤバー１が２本以上重なっていないかを検出する。
ステップＦ６として、治具ストッカＦの成膜用治具２５内にＬＤバー１が存在すればＦ２へ戻り、ＬＤバー１が全て取出されていたらＦ７へ移行する。
ステップＦ７として、２本のリフターピン３０，３１を治具ストッカＦの成膜用治具２５内最下部へ下降させ、リフターピンを戻す。
なお、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形実施できることは勿論である。

本発明の一実施の形態に係わる、レーザダイオードの搬送装置構成を示す概略の平面図と正面図。 同実施の形態に係る、マガジンユニットの構成を説明する概略の斜視図。 同実施の形態に係る、ウェハリングステージおよびウェハリングステージ上カメラユニットの構成を説明する概略の斜視図と、粘着シート吸着ユニットの概略の断面図。 同実施の形態に係る、ローダユニットの構成を説明する概略の斜視図。 同実施の形態に係る、治具ホルダと治具ストッカの構成を説明する概略の斜視図と、ＬＤバーを収納した治具ホルダ一側部の横断平面図。 同実施の形態に係る、治具ストッカに支持される治具ホルダと、治具ホルダに収納される成膜用治具に対するバーリフターユニットおよび、治具ストッカ正面カメラユニットの構成を説明する斜視図。 同実施の形態に係る、ＬＤバー搬送ユニット搭載カメラユニットを備えたＬＤバー搬送ユニットの構成を説明する概略の斜視図。 同実施の形態に係る、ＬＤバー姿勢認識カメラユニットの構成を説明する概略の斜視図。 同実施の形態に係る、粘着シート吸着ユニットにおいて粘着シートからＬＤバーを剥離する工程を順に示す図。 同実施の形態に係る、成膜用治具に収納されるＬＤバーを平行に保つ工程を順に示す図。 同実施の形態に係る、成膜用治具内のＬＤバーを取り出す際の、ＬＤバーの重なりを分離する工程を順に示す図。 同実施の形態に係る、スパッタリング処理のためＬＤバーをウェハリングから成膜用治具に収納するセット動作を概略に示す説明図と、スパッタリング処理後のウェハリングを成膜用治具からウェハリングへ戻すリセット動作を概略に示す説明図。 ウェハからＬＤバーを介してダイオードチップに成形する工程にもとづいて、それぞれの寸法形態を説明する図。 同実施の形態に係る、ＬＤバーに対するセット動作のフローチャート図。 同実施の形態に係る、ＬＤバーに対するリセット動作のフローチャート図。

符号の説明

２…粘着シート、１…ＬＤバー（レーザダイオードバー）、Ａ…粘着シート吸着ユニット（剥離手段）、３…吸着ボックス、５ａ…刃部、５…支持刃、４…バキューム機構、２５…成膜用治具（収納部）、２５ａ…第１の治具体（第１の収納体）、２５ｂ…第２の治具体（第２の収納体）、６４…収納凹部、６３…取付けねじ（調整手段）、６…ウェハリング、Ｃ…マガジンユニット、Ｂ…ウェハリングステージ、Ｄ…ローダユニット、Ｊ…ウェハリングリング上カメラユニット、Ｅ…治具ホルダ（収納部ホルダ）、Ｆ…治具ストッカ（収納部ストッカ）、Ｇ…バーリフターユニット、Ｌ…治具ストッカ正面カメラユニット（重なり検出手段）、Ｈ…ＬＤバー搬送ユニット、Ｉ…ＬＤバー搬送ユニット搭載カメラユニット、Ｋ…ＬＤバー姿勢認識カメラユニット。

Claims (13)

1. 粘着力によって、長手方向と、幅方向を有するレーザダイオードバーが貼り付けられる粘着シートと、
   この粘着シートを、上面において支持する開口部が設けられた吸着ボックスと、
   この吸着ボックスの上記開口部内に収容されていて、上記吸着ボックスの所定の方向に沿って波形をなし、上記所定の方向と交差する方向に沿って設けられ、かつ上記粘着シートが載置される複数の刃部を有する支持刃と、
   上記吸着ボックスに接続され、上記レーザダイオードバーが、上記粘着シート上に貼り付けられ、上記粘着シートを介し、上記長手方向に沿って、上記複数の刃部上に載置されたときに、上記吸着ボックス内を真空状態にして、上記粘着シートを上記支持刃の複数の刃部相互間に真空吸着させ、上記粘着シートに貼り付けられたレーザダイオードバーを、上記支持刃の刃部による支持部分を除いて、上記粘着シートから剥離させるバキューム機構と、を備えた剥離手段と、
   この剥離手段によって上記粘着シートから剥離されたレーザダイオードバーを、吸着して所定の処理手段へ搬送する手段と、
   上記処理手段で処理されたレーザダイオードバーを搬送して、再び粘着シートに貼り付ける手段と、
   を具備することを特徴とするレーザダイオードの搬送装置。
2. 上記粘着シートは、周縁部に沿って設けられ剛性を有する鍔部とともにウェハリングを構成し、
   このウェハリングを上下方向に複数段重ねた状態で収容するとともに、最上段のウェハリングから順次１枚ずつ押出す押出し機構を備えたマガジンユニットを、さらに具備することを特徴とする請求項１記載のレーザダイオードの搬送装置。
3. 上記マガジンユニットから押出された上記ウェハリングを把持し、上記剥離手段へ搬送するローダユニットを、さらに具備することを特徴とする請求項２記載のレーザダイオードの搬送装置。
4. 上記ローダユニットが把持し搬送してきたウェハリングをクランプ固定し、かつ上記剥離手段に対する粘着シート上のレーザダイオードバー剥離位置を設定するアライメント機能を有するウェハリングステージを、さらに具備することを特徴とする請求項３記載のレーザダイオードの搬送装置。
5. 上記粘着シートから剥離したレーザダイオードバーを吸着する吸着手段および、この吸着手段を移動し、移動方向であるＸ軸上にＹ−Ｚ−θの補正軸を備えたレーザダイオードバー搬送ユニットを、さらに具備することを特徴とする請求項４記載のレーザダイオードの搬送装置。
6. 上記レーザダイオードバー搬送ユニットの移動方向に配置され、搬送されるレーザダイオードバーを順次１本ずつ上下方向に積み重ねた状態で収納する収納部を、さらに具備することを特徴とする請求項５記載のレーザダイオードの搬送装置。
7. 上記収納部内に収納されるレーザダイオードバーの最下段に設けられ、上部にレーザダイオードバーが積み重ねられるプッシャープレートおよび、このプッシャープレートの傾きを調整し最上段のレーザダイオードバーの傾きを矯正する機能を有するバーリフターユニットを、さらに具備することを特徴とする請求項６記載のレーザダイオードの搬送装置。
8. 上記収納部に対向して配置され、収納部に収納されるレーザダイオードバーの姿勢と、収納部から取出されたレーザダイオードバーの重なりを検出する重なり検出手段を、さらに具備することを特徴とする請求項７記載のレーザダイオードの搬送装置。
9. 上記収納部は、レーザダイオードバーに対する収納凹部を形成する第１の収納体および第２の収納体を備えるとともに、上記収納凹部幅を調整可能な調整手段を備えることを特徴とする請求項６、請求項７、および請求項８のいずれかに記載のレーザダイオードの搬送装置。
10. 粘着シートの粘着力で固定され、長手方向と、幅方向を有するレーザダイオードバーを剥離し、この剥離したレーザダイオードバーを搬送して収納するセット機能と、上記セットしたレーザダイオードバーをスパッタリング処理したあとレーザダイオードバーを取出し、搬送して上記粘着シートに貼り付けるリセット機能を備えたレーザダイオードの搬送装置において、
    上記粘着シートを底部となし、粘着シートの周縁部に沿って剛体からなる鍔部を取付けた皿状のウェハリングと、
    このウェハリングを上下方向に多段に収納し、ウェハリングを１枚ずつ取出し／収納するピッチ送り出し機能およびウェハリングに対する押し出し機能を備えたマガジンユニットと、
    このマガジンユニットから所定間隔だけ離間した部位に配置され、ウェハリングの位置決め固定機能とレーザダイオードバーの剥離位置を微調整移動する機能を備えたウェハリングステージと、
    上記マガジンユニットと上記ウェハリングステージとの間に亘って配置され、マガジンユニットからウェハリングを取出し／収納し、ウェハリングステージへ供給／排出するローダユニットと、
    上記ウェハリングステージに設けられ、ウェハリングステージに搬入されるウェハリングの粘着シートを上面において支持する開口部を有する吸着ボックスと、この吸着ボックスの上記開口部内に収容されていて、上記吸着ボックスの所定の方向に沿って波形をなし、上記所定の方向と交差する方向に沿って設けられ、かつ上記粘着シートが載置される複数の刃部を有する支持刃と、上記吸着ボックスに接続され、上記レーザダイオードバーが、上記粘着シート上に貼り付けられ、上記粘着シートを介し、上記長手方向に沿って、上記複数の刃部上に載置されたときに、上記吸着ボックス内を真空状態にして上記粘着シートを上記支持刃の複数の刃部相互間に真空吸着することによりし、上記粘着シートに貼り付けられたレーザダイオードバーを、上記支持刃の刃部による支持部分を除いて粘着シートから剥離させるバキューム機構と、を備えた粘着シート吸着ユニットと、
    上記ウェハリングステージの直上方部位に設けられ、ウェハリングに支持されるウェハリングバーを整列順に検出する位置に移動して認識する機能および、ウェハリングバーに対する照明を有するウェハリングステージ上カメラユニットと、
    上記粘着シートから剥離したレーザダイオードバーを吸着して搬送する吸着手段および、この吸着手段の搬送方向であるＸ軸上にＹ−Ｚ−θの補正軸を備えたウェハリングバー搬送ユニットと、
    このウェハリングバー搬送ユニットの搬送方向端に配置され、搬送されるレーザダイオードバーを順次１本ずつ受け入れて上下方向に積み重ねた状態で収納する収納部と、
    この収納部を着脱自在に保持するとともに、レーザダイオードバーの幅に対して収納部におけるレーザダイオードバーの収納幅を一定に保つ収納部ホルダと、
    複数の収納部ホルダを搭載する収納部ストッカと、
    この収納部ストッカに近接した位置に配置され、収納部に収納されるレーザダイオードバーの傾きを矯正する機能を有するバーリフターユニットと、
    このバーリフターユニットの近傍部位に配置され、収納部内のレーザダイオードバーの姿勢と重なりを検出する機能およびレーザダイオードバーに対する照明を有する収納部ストッカ正面カメラユニットと、
    上記ウェハリングステージとバーリフターユニットとの間に亘って配置され、ウェハリングステージ上のウェハリングにあるレーザダイオードバーを上記収納部ストッカ内の収納部に搬入／搬出し、Ｘ軸上にＹ−Ｚ−θの補正軸を搭載するレーザダイオードバー搬送ユニットと、
    このレーザダイオードバー搬送ユニットに搭載され、ウェハリングの粘着シート上に貼り付けられたレーザダイオードバーの認識と、収納部と収納部に収納されるレーザダイオードバーを認識する機能および、対象物により切換えられる２種類の照明系を有するレーザダイオードバー搬送ユニット搭載カメラユニットと、
    上記バーリフターユニットの近傍部位に配置され、レーザダイオードバーを吸着する吸着手段の姿勢認識と、搬送中のレーザダイオードバーの姿勢を認識する機能および、レーザダイオードに対する照明を有するレーザダイオードバー姿勢認識カメラユニットとを具備することを特徴とするレーザダイオードの搬送装置。
11. 粘着シートの粘着力によって貼り付けられたレーザダイオードバーを、粘着シートから剥離して搬送し、所定の処理後に収納部から取出して粘着シートへ搬送し貼り付けるレーザダイオードの搬送方法において、
    粘着シートからレーザダイオードバーを剥離するのに、
    上記粘着シートを吸着ボックスの開口部に支持し、吸着ボックスに収容される支持刃の刃部上に粘着シートを載置する第１の工程と、
    上記粘着シート上のレーザダイオードバーに吸着手段を接触させ、この吸着手段にレーザダイオードを吸着する第２の工程と、
    上記吸着ボックス内を真空状態にして、粘着シートを支持刃の刃部相互間に真空吸着し、粘着シートからレーザダイオードバーを剥離させる第３の工程と、
    上記吸着手段を上昇駆動して、粘着シートから剥離したレーザダイオードバーを吸着搬送する第４の工程とを具備することを特徴とするレーザダイオードの搬送方法。
12. 粘着シートの粘着力によって貼り付けられたレーザダイオードバーを、粘着シートから剥離して搬送し収納部へ収納してから所定の処理をなす手段と、所定の処理後に収納部から取出して搬送し粘着シートへ貼り付ける手段を備えるレーザダイオードの搬送方法において、
    所定の処理後に収納部からレーザダイオードバーを取出すのに、
    収納部内の最上段のレーザダイオードバーを吸着手段にて吸着させる第１の工程と、
    上記吸着手段を上昇させ、かつ吸着したレーザダイオードバーが収納部内にある位置で吸着手段の上昇を停止させる第２の工程と、
    上記レーザダイオードバーを画像認識して、下部のレーザダイオードバーとの重なりを検出する第３の工程と、
    下部レーザダイオードバーとの重なりが検出されない状態では吸着手段の上昇を開始してレーザダイオードバーの搬送をなし、下部レーザダイオードバーとの重なりが検出された状態ではその位置で吸着手段の吸着作用を解除し、下方に積層するレーザダイオードバー上に落下させることにより分離を図る第４の工程とを具備することを特徴とするレーザダイオードの搬送方法。
13. レーザダイオードバーを落下する上記第４の工程のあと、収納部内の上部に位置するレーザダイオードバーの側面を押し分離を図る第５の工程とを具備することを特徴とする請求項１２記載のレーザダイオードの搬送方法。

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