JP6838326B2 - 発光素子モジュール、原子発振器、電子機器および移動体 - Google Patents
発光素子モジュール、原子発振器、電子機器および移動体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6838326B2 JP6838326B2 JP2016174978A JP2016174978A JP6838326B2 JP 6838326 B2 JP6838326 B2 JP 6838326B2 JP 2016174978 A JP2016174978 A JP 2016174978A JP 2016174978 A JP2016174978 A JP 2016174978A JP 6838326 B2 JP6838326 B2 JP 6838326B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light emitting
- emitting element
- temperature
- base
- lid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 30
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 20
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 claims description 17
- 239000002585 base Substances 0.000 description 84
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 24
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 22
- 150000001340 alkali metals Chemical group 0.000 description 18
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 16
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 14
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 13
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 12
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 11
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 10
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 5
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000005679 Peltier effect Effects 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052792 caesium Inorganic materials 0.000 description 2
- TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N caesium atom Chemical compound [Cs] TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 229910052701 rubidium Inorganic materials 0.000 description 2
- IGLNJRXAVVLDKE-UHFFFAOYSA-N rubidium atom Chemical compound [Rb] IGLNJRXAVVLDKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 description 1
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001020 Au alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000599 Cr alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N Glucose Natural products OC[C@H]1OC(O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]1O WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000269800 Percidae Species 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 1
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 1
- 230000036772 blood pressure Effects 0.000 description 1
- 229910052576 carbides based ceramic Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000788 chromium alloy Substances 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000008103 glucose Substances 0.000 description 1
- 239000003353 gold alloy Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N selanylidenegallium;selenium Chemical compound [Se].[Se]=[Ga].[Se]=[Ga] VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/024—Arrangements for thermal management
- H01S5/02407—Active cooling, e.g. the laser temperature is controlled by a thermo-electric cooler or water cooling
- H01S5/02415—Active cooling, e.g. the laser temperature is controlled by a thermo-electric cooler or water cooling by using a thermo-electric cooler [TEC], e.g. Peltier element
-
- G—PHYSICS
- G04—HOROLOGY
- G04F—TIME-INTERVAL MEASURING
- G04F5/00—Apparatus for producing preselected time intervals for use as timing standards
- G04F5/14—Apparatus for producing preselected time intervals for use as timing standards using atomic clocks
- G04F5/145—Apparatus for producing preselected time intervals for use as timing standards using atomic clocks using Coherent Population Trapping
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/024—Arrangements for thermal management
- H01S5/02476—Heat spreaders, i.e. improving heat flow between laser chip and heat dissipating elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/06—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
- H01S5/068—Stabilisation of laser output parameters
- H01S5/06804—Stabilisation of laser output parameters by monitoring an external parameter, e.g. temperature
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03L—AUTOMATIC CONTROL, STARTING, SYNCHRONISATION OR STABILISATION OF GENERATORS OF ELECTRONIC OSCILLATIONS OR PULSES
- H03L7/00—Automatic control of frequency or phase; Synchronisation
- H03L7/26—Automatic control of frequency or phase; Synchronisation using energy levels of molecules, atoms, or subatomic particles as a frequency reference
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/005—Optical components external to the laser cavity, specially adapted therefor, e.g. for homogenisation or merging of the beams or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/02208—Mountings; Housings characterised by the shape of the housings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/06—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
- H01S5/068—Stabilisation of laser output parameters
- H01S5/0683—Stabilisation of laser output parameters by monitoring the optical output parameters
- H01S5/0687—Stabilising the frequency of the laser
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/18—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities
- H01S5/183—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities having only vertical cavities, e.g. vertical cavity surface-emitting lasers [VCSEL]
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Ecology (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Stabilization Of Oscillater, Synchronisation, Frequency Synthesizers (AREA)
Description
本発明の発光素子モジュールは、ペルチェ素子と、
前記ペルチェ素子上に配置されている発光素子と、
前記ペルチェ素子が配置されているベース、および、前記ベースに接合され、前記ペルチェ素子および前記発光素子を収納している内部空間を前記ベースとの間に形成しているリッドを有するパッケージと、を備え、
前記パッケージの外部の温度をTsとし、前記発光素子の温度をTvとし、前記ベースの温度をTc1とし、前記リッドの温度をTc2としたとき、
Tv<Tsなる関係を満たす条件下で、Ts<Tc2<Tc1なる関係を満たすことを特徴とする。
前記窓部が前記突出部に設けられていることが好ましい。
これにより、リッドとベースとの接合をシーム溶接等により容易に行うことができる。
このような原子発振器によれば、高温下であっても、ペルチェ素子を用いて発光素子の温度変動を低減することができる。そのため、発光素子からの光の波長変動を低減し、当該光を利用して優れた発振特性を有する原子発振器を実現することができる。
このような電子機器によれば、高温下であっても、ペルチェ素子を用いて発光素子の温度変動を低減することができる。
このような移動体によれば、高温下であっても、ペルチェ素子を用いて発光素子の温度変動を低減することができる。
まず、本発明の原子発振器(本発明の発光素子モジュールを備える原子発振器)について説明する。
図1に示す原子発振器10は、アルカリ金属原子に対して特定の異なる波長の2つの共鳴光を同時に照射したときに当該2つの共鳴光がアルカリ金属原子に吸収されずに透過する現象が生じる量子干渉効果(CPT:Coherent Population Trapping)を利用した原子発振器である。なお、この量子干渉効果による現象は、電磁誘起透明化(EIT:Electromagnetically Induced Transparency)現象とも言う。
図4は、図2および図3に示す原子発振器が備える発光素子モジュールの断面図である。図5は、図4に示す発光素子モジュールの平面図である。図6は、図4に示す発光素子モジュールが備えるリッドの平面図である。図7は、図4に示す発光素子モジュールの熱の伝達経路での位置と温度との関係を示すグラフである。なお、以下では、説明の便宜上、図4中の上側を「上」、下側を「下」ともいう。
以上説明したような発光素子モジュール1および原子発振器10は、各種電子機器に組み込むことができる。以下、本発明の電子機器について説明する。
GPS衛星1200は、測位情報(GPS信号)を送信する。
図9は、本発明の移動体の一例を示す図である。
Claims (8)
- ペルチェ素子と、
前記ペルチェ素子上に配置されている発光素子と、
前記ペルチェ素子が配置されているベース、および、前記ベースに接合され、前記ペルチェ素子および前記発光素子を収納している内部空間を前記ベースとの間に形成しているリッドを有するパッケージと、を備え、
前記リッドは、前記ベースとは反対側に突出している突出部と、
前記突出部に設けられ、前記発光素子からの光を透過させる窓部と、
前記突出部を支持している第1部分と、
前記ベースに接合されている第2部分と、
前記第1部分と前記第2部分との間に位置し、前記第1部分よりも厚さが薄い第3部分と、を有し、
前記パッケージの外部の温度をTsとし、前記発光素子の温度をTvとし、前記ベースの温度をTc1とし、前記リッドの温度をTc2としたとき、
Tv<Tsなる関係を満たす条件下で、Ts<Tc2<Tc1なる関係を満たすことを特徴とする発光素子モジュール。 - 前記第2部分の厚さは、前記第1部分の厚さよりも薄い請求項1に記載の発光素子モジュール。
- 前記内部空間は、大気圧よりも減圧されている請求項1または2に記載の発光素子モジュール。
- 前記リッドの構成材料の熱伝導率は、前記ベースの構成材料の熱伝導率よりも高い請求項1ないし3のいずれか1項に記載の発光素子モジュール。
- 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の発光素子モジュールを備えることを特徴とする原子発振器。
- 前記リッドの外表面の少なくとも一部に接触して配置されている放熱性を有する放熱部材を備える請求項5に記載の原子発振器。
- 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の発光素子モジュールを備えることを特徴とする電子機器。
- 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の発光素子モジュールを備えることを特徴とする移動体。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016174978A JP6838326B2 (ja) | 2016-09-07 | 2016-09-07 | 発光素子モジュール、原子発振器、電子機器および移動体 |
US15/695,321 US10199797B2 (en) | 2016-09-07 | 2017-09-05 | Light-emitting element module, atomic oscillator, and electronic apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016174978A JP6838326B2 (ja) | 2016-09-07 | 2016-09-07 | 発光素子モジュール、原子発振器、電子機器および移動体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018041839A JP2018041839A (ja) | 2018-03-15 |
JP6838326B2 true JP6838326B2 (ja) | 2021-03-03 |
Family
ID=61280875
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016174978A Active JP6838326B2 (ja) | 2016-09-07 | 2016-09-07 | 発光素子モジュール、原子発振器、電子機器および移動体 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10199797B2 (ja) |
JP (1) | JP6838326B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019193238A (ja) * | 2018-04-27 | 2019-10-31 | セイコーエプソン株式会社 | 原子発振器および周波数信号生成システム |
US11303095B2 (en) * | 2019-02-15 | 2022-04-12 | Nichia Corporation | Method of manufacturing light emitting device, light emitting device, and base member |
US11815588B2 (en) * | 2019-07-05 | 2023-11-14 | University Of Electronic Science And Technology Of China | Room-temperature semiconductor maser and applications thereof |
CN110247288B (zh) * | 2019-07-05 | 2024-02-13 | 电子科技大学 | 常温半导体脉泽及其应用 |
US11402479B1 (en) | 2022-02-08 | 2022-08-02 | Quantum Valley Ideas Laboratories | Communicating information using photonic crystal transceivers |
US11533101B1 (en) * | 2022-02-08 | 2022-12-20 | Quantum Valley Ideas Laboratories | Communicating information using photonic crystal masers |
US11469566B1 (en) | 2022-02-08 | 2022-10-11 | Quantum Valley Ideas Laboratories | Generating electromagnetic radiation from a photonic crystal maser |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04105572U (ja) * | 1991-02-26 | 1992-09-10 | ソニー株式会社 | レーザ装置 |
JPH07104332A (ja) | 1993-09-30 | 1995-04-21 | Sony Corp | レーザ光発生装置 |
JP2003101122A (ja) * | 2001-09-20 | 2003-04-04 | Komatsu Ltd | 半導体レーザモジュール |
JP4795739B2 (ja) * | 2005-07-15 | 2011-10-19 | 富士フイルム株式会社 | レーザパッケージ及びレーザモジュール |
JP2007324234A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 発光モジュール |
US7856038B2 (en) * | 2006-03-27 | 2010-12-21 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Light-emitting module installing thermo-electric controller |
JP4702315B2 (ja) * | 2007-03-29 | 2011-06-15 | ヤマハ株式会社 | 半導体レーザモジュール |
JP5375279B2 (ja) * | 2008-06-18 | 2013-12-25 | セイコーエプソン株式会社 | 原子発振器 |
JP2013182954A (ja) * | 2012-02-29 | 2013-09-12 | Sumitomo Electric Device Innovations Inc | 光通信モジュール |
KR101621712B1 (ko) * | 2012-05-01 | 2016-05-17 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 반도체 패키지 |
JP6413362B2 (ja) * | 2013-06-21 | 2018-10-31 | 日亜化学工業株式会社 | 光源装置及び光源装置を用いた光学エンジン |
JP6218106B2 (ja) * | 2013-06-28 | 2017-10-25 | 株式会社リコー | 光学モジュール、光走査装置、画像形成装置、及び光学モジュールの製造方法 |
KR101788540B1 (ko) * | 2013-08-12 | 2017-10-20 | 한국전자통신연구원 | 온도 제어 장치를 가진 광송신 모듈 및 그 제조 방법 |
US9625671B2 (en) * | 2013-10-23 | 2017-04-18 | Lasermax, Inc. | Laser module and system |
JP6303481B2 (ja) * | 2013-12-20 | 2018-04-04 | セイコーエプソン株式会社 | 発光素子モジュール、量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体 |
JP6225812B2 (ja) * | 2014-04-18 | 2017-11-08 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置 |
JP6379755B2 (ja) * | 2014-07-07 | 2018-08-29 | 株式会社リコー | 光源モジュール、光走査装置、画像形成装置、及び光源モジュールの製造方法 |
JP6296024B2 (ja) * | 2015-08-28 | 2018-03-20 | 日亜化学工業株式会社 | 半導体レーザ装置 |
-
2016
- 2016-09-07 JP JP2016174978A patent/JP6838326B2/ja active Active
-
2017
- 2017-09-05 US US15/695,321 patent/US10199797B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10199797B2 (en) | 2019-02-05 |
US20180069372A1 (en) | 2018-03-08 |
JP2018041839A (ja) | 2018-03-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6838326B2 (ja) | 発光素子モジュール、原子発振器、電子機器および移動体 | |
US10069504B2 (en) | Quantum interference device, atomic oscillator, electronic apparatus, and moving object | |
US9627846B2 (en) | Light-emitting element module, quantum interference apparatus, atomic oscillator, electronic apparatus and moving object | |
JP6119295B2 (ja) | 量子干渉装置、原子発振器および移動体 | |
JP6209840B2 (ja) | 量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体 | |
JP6409267B2 (ja) | 量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体 | |
US9342269B2 (en) | Quantum interference unit, quantum interference device, atomic oscillator, electronic apparatus, and moving object | |
JP6179327B2 (ja) | 量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体 | |
JP6939344B2 (ja) | 原子発振器およびシステム | |
US10096970B2 (en) | Light-emitting element module, atomic oscillator, and electronic apparatus | |
US10333536B2 (en) | Atomic oscillator, and electronic apparatus | |
JP2014183484A (ja) | 電子デバイス、量子干渉装置、原子発振器、電子機器、移動体および電子デバイスの製造方法 | |
JP6728850B2 (ja) | 量子干渉装置、原子発振器および電子機器 | |
JP6926519B2 (ja) | 発光素子モジュール、原子発振器、電子機器および移動体 | |
US20180219554A1 (en) | Atomic oscillator and electronic apparatus | |
JP2019092023A (ja) | 原子発振器、信号生成システムおよび電子機器 | |
US10348318B2 (en) | Light-emitting element module, atomic oscillator, and electronic apparatus | |
JP6237096B2 (ja) | 量子干渉装置、原子発振器、および電子機器 | |
JP2018125362A (ja) | 原子発振器、電子機器および移動体 | |
JP2020162054A (ja) | 原子発振器および周波数信号生成システム | |
US11005486B2 (en) | Atomic oscillator and frequency signal generation system | |
JP2018125543A (ja) | 発光素子モジュール、量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体 | |
JP6750355B2 (ja) | 量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体 | |
JP2018125625A (ja) | 原子発振器、電子機器および移動体 | |
JP2019161569A (ja) | 原子発振器、信号生成システムおよび電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190617 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200520 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200609 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200805 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210112 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210125 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6838326 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |