JP6179327B2 - 量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体 - Google Patents
量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6179327B2 JP6179327B2 JP2013205755A JP2013205755A JP6179327B2 JP 6179327 B2 JP6179327 B2 JP 6179327B2 JP 2013205755 A JP2013205755 A JP 2013205755A JP 2013205755 A JP2013205755 A JP 2013205755A JP 6179327 B2 JP6179327 B2 JP 6179327B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- gas cell
- package
- light emitting
- internal space
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 16
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 137
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 86
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 85
- 239000002585 base Substances 0.000 description 51
- 150000001340 alkali metals Chemical group 0.000 description 38
- 239000000463 material Substances 0.000 description 34
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 34
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 27
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 26
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 21
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 18
- 230000006870 function Effects 0.000 description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 12
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 11
- 230000005283 ground state Effects 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 10
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 8
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 8
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 8
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 8
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 7
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 7
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 6
- 230000036544 posture Effects 0.000 description 6
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 4
- 230000005281 excited state Effects 0.000 description 4
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 4
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 3
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 229910052792 caesium Inorganic materials 0.000 description 2
- TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N caesium atom Chemical compound [Cs] TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 2
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 229910052701 rubidium Inorganic materials 0.000 description 2
- IGLNJRXAVVLDKE-UHFFFAOYSA-N rubidium atom Chemical compound [Rb] IGLNJRXAVVLDKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N Glucose Natural products OC[C@H]1OC(O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]1O WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 1
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 1
- 230000036772 blood pressure Effects 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 239000008103 glucose Substances 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005549 size reduction Methods 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N zinc oxide Inorganic materials [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G04—HOROLOGY
- G04F—TIME-INTERVAL MEASURING
- G04F5/00—Apparatus for producing preselected time intervals for use as timing standards
- G04F5/14—Apparatus for producing preselected time intervals for use as timing standards using atomic clocks
- G04F5/145—Apparatus for producing preselected time intervals for use as timing standards using atomic clocks using Coherent Population Trapping
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Ecology (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Stabilization Of Oscillater, Synchronisation, Frequency Synthesizers (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
Description
一般に、原子発振器の動作原理は、光およびマイクロ波による二重共鳴現象を利用した方式と、波長の異なる2種類の光による量子干渉効果(CPT:Coherent Population Trapping)を利用した方式とに大別されるが、量子干渉効果を利用した原子発振器は、二重共鳴現象を利用した原子発振器よりも小型化できることから、近年、様々な機器への搭載が期待されている。
そこで、特許文献1に係る原子発振器では、レーザー光の径をガスセルの内径に対して98%程度に小さくしている。
[適用例1]
本発明の量子干渉装置は、金属原子が封入されている内部空間を有するガスセルと、
前記金属原子に共鳴するための共鳴光対を含む光を前記内部空間に向けて出射する光出射部と、を備え、
前記光の軸に対して交わる方向に沿った前記内部空間の幅をW1とし、前記内部空間における前記交わる方向に沿った前記光の幅をW2とし、前記光出射部から出射される前記光の放射角をθとし、前記光出射部と前記ガスセルとの間の距離をLとしたとき、
55%≦W2/W1≦65%の関係を満たし、
前記W1は、1mm以上10mm以下の範囲内にあり、
L×tan(θ/2)は、0.2mm以上5.0mm以下の範囲内にあることを特徴とする。
また、前記W1が1mm以上10mm以下の範囲内にあることにより、ガスセルの小型化、ひいては量子干渉装置の小型化を図ることができる。また、このようにW1が比較的小さい場合、幅W1と幅W2との差が小さすぎると、ガスセルと光出射部との相対的な位置ずれが経時的に生じたときに、光出射部から出射された光がガスセルの内部空間の壁面に接近することによる長期周波数安定度の悪化が生じやすい。そのため、かかる場合に本発明の効果が顕著となる。
さらに、L×tan(θ/2)が0.2mm以上5.0mm以下の範囲内にあることにより、量子干渉装置の小型化を図ることができる。
本発明の量子干渉装置では、前記交わる方向に沿った前記内部空間の壁面と前記光との間の距離が0.25mm以上であることが好ましい。
これにより、ガスセルの内部空間が小型化しても、比較的簡単かつ確実に、優れた短期周波数安定度および長期周波数安定度を実現することができる。
本発明の量子干渉装置では、前記光の軸方向に沿った前記内部空間の長さをL1としたとき、
W1<L1の関係を満たすことが好ましい。
W1およびL1が上記関係を満たす場合、幅W1と幅W2との差が小さすぎると、光出射部から出射される光の軸に対してガスセルの内部空間が傾斜するように、光出射部とガスセルとの相対的な位置ずれが生じたとき、光出射部から出射された光がガスセルの内部空間の壁面に接近しやすくなる。したがって、この場合に前述したようなW1およびW2の関係を満たすことにより本発明の効果が顕著となる。
本発明の量子干渉装置では、前記L1は、3mm以上30mm以下の範囲内にあることが好ましい。
これにより、EIT信号の必要な強度を確保しながら、光の軸に対して平行な方向に沿った内部空間の長さを比較的短くすることができる。そのため、ガスセルが光出射部から出射した光の軸に対して傾斜するように、ガスセルと光出射部との相対的な位置ずれが生じた場合であっても、光出射部から出射された光がガスセルの内部空間の壁面に接近することによる長期周波数安定度の悪化を防止することができる。
本発明の量子干渉装置では、前記光出射部と前記内部空間との間に、前記光の絞り手段を有することが好ましい。
これにより、設計の自由度を高めることができる。
[適用例6]
本発明の量子干渉装置では、前記内部空間に前記光の軸方向の磁場を発生させるコイルを備えることが好ましい。
これにより、ゼーマン***により、内部空間に存在する金属原子の縮退している異なるエネルギー準位間のギャップを拡げて、分解能を向上させ、EIT信号の線幅を小さくすることができる。
本発明の原子発振器は、本発明の量子干渉装置を備えることを特徴とする。
これにより、優れた短期周波数安定度および長期周波数安定度を有する原子発振器を提供することができる。
[適用例8]
本発明の電子機器は、本発明の量子干渉装置を備えることを特徴とする。
これにより、優れた信頼性を有する電子機器を提供することができる。
[適用例9]
本発明の移動体は、本発明の量子干渉装置を備えることを特徴とする。
これにより、優れた信頼性を有する移動体を提供することができる。
1.原子発振器(量子干渉装置)
まず、本発明の原子発振器(本発明の量子干渉装置を備える原子発振器)について説明する。なお、以下では、本発明の量子干渉装置を原子発振器に適用した例を説明するが、本発明の量子干渉装置は、これに限定されず、原子発振器の他、例えば、磁気センサー、量子メモリー等にも適用可能である。
図1は、本発明の第1実施形態に係る原子発振器の概略構成を示す模式図である。また、図2は、アルカリ金属のエネルギー状態を説明するための図、図3は、光出射部から出射される2つの光の周波数差と、光検出部で検出される光の強度との関係を示すグラフである。
この原子発振器1は、図1に示すように、光出射側のユニットである第1ユニット2と、光検出側のユニットである第2ユニット3と、ユニット2、3間に設けられた光学部品41、42、43と、第1ユニット2および第2ユニット3を制御する制御部6と、を備える。
また、第2ユニット3は、ガスセル31と、光検出部32と、ヒーター33と、温度センサー34と、コイル35と、これらを収納する第2パッケージ36とを備える。
まず、原子発振器1の原理を簡単に説明する。
ガスセル31内には、ガス状のアルカリ金属(金属原子)が封入されており、アルカリ金属は、図2に示すように、3準位系のエネルギー準位を有し、エネルギー準位の異なる2つの基底状態(基底状態1、2)と、励起状態との3つの状態をとり得る。ここで、基底状態1は、基底状態2よりも低いエネルギー状態である。
そして、共鳴光1の周波数ω1と共鳴光2の周波数ω2との差(ω1−ω2)が基底状態1と基底状態2とのエネルギー差に相当する周波数に一致したとき、基底状態1、2から励起状態への励起がそれぞれ停止する。このとき、共鳴光1、2は、いずれも、アルカリ金属に吸収されずに透過する。このような現象をCPT現象または電磁誘起透明化現象(EIT:Electromagnetically Induced Transparency)と呼ぶ。
図4は、図1に示す原子発振器の分解斜視図、図5は、図1に示す原子発振器の縦断面図である。
なお、図4および図5では、説明の便宜上、互いに直交する3つの軸として、X軸、Y軸およびZ軸を図示しており、その図示された各矢印の先端側を「+側」、基端側を「−側」とする。また、以下では、説明の便宜上、X軸に平行な方向を「X軸方向」、Y軸に平行な方向を「Y軸方向」、Z軸に平行な方向を「Z軸方向」といい、また、+Z方向側(図5の上側)を「上」、−Z方向側(図5の下側)を「下」という。
そして、第1ユニット2および第2ユニット3は、配線基板5の配線(図示せず)およびコネクター71、72を介して制御部6に電気的に接続され、制御部6により駆動制御される。
(第1ユニット)
前述したように、第1ユニット2は、光出射部21と、光出射部21を収納する第1パッケージ22とを備える。
[光出射部]
光出射部21は、ガスセル31中のアルカリ金属原子を励起する励起光LLを出射する機能を有する。
共鳴光1の周波数ω1は、ガスセル31中のアルカリ金属を前述した基底状態1から励起状態に励起(共鳴)し得るものである。
また、共鳴光2の周波数ω2は、ガスセル31中のアルカリ金属を前述した基底状態2から励起状態に励起(共鳴)し得るものである。
また、このような光出射部21は、図示しない温度調節素子(発熱抵抗体、ペルチェ素子等)により、所定温度に温度調節される。
第1パッケージ22は、前述した光出射部21を収納する。
この第1パッケージ22は、図5に示すように、基体221(第1基体)と、蓋体222(第1蓋体)とを備える。
基体221は、光出射部21を直接的または間接的に支持する。本実施形態では、基体221は、板状をなし、平面視で円形をなしている。
このような基体221には、基体221上の光出射部21を覆う蓋体222が接合されている。
この蓋体222の一端部の開口は、前述した基体221により塞がれている。
そして、蓋体222の他端部、すなわち蓋体222の開口とは反対側の底部には、窓部23が設けられている。
この窓部23は、ガスセル31と光出射部21との間の光軸(励起光LLの軸a)上に設けられている。
本実施形態では、窓部23は、レンズである。これにより、励起光LLを無駄なくガスセル31へ照射することができる。
特に、レンズである窓部23は、励起光LLの軸aに対して垂直な方向に沿った幅を、励起光LLの軸aに対して垂直な方向に沿った内部空間Sの幅W1よりも小さい幅W2とする(図6参照)。なお、幅W1、W2については、後に詳述する。
このような蓋体222の窓部23以外の部分の構成材料としては、特に限定されず、例えば、セラミックス、金属、樹脂等を用いることができる。
また、基体221と蓋体222との接合方法としては、特に限定されないが、例えば、ろう接、シーム溶接、エネルギー線溶接(レーザー溶接、電子線溶接等)等を用いることができる。
また、第1パッケージ22内には、前述した光出射部21以外の部品が収納されていてもよい。
例えば、第1パッケージ22内には、光出射部21の温度を調節する温度調節素子や温度センサー等が収納されていてもよい。かかる温度調節素子としては、例えば、発熱抵抗体(ヒーター)、ペルチェ素子等が挙げられる。
また、第1パッケージ22は、基体221が第2パッケージ36とは反対側に配置されるように、後述する配線基板5に保持されている。
前述したように、第2ユニット3は、ガスセル31と、光検出部32と、ヒーター33と、温度センサー34と、コイル35と、これらを収納する第2パッケージ36とを備える。
ガスセル31内には、ガス状のルビジウム、セシウム、ナトリウム等のアルカリ金属が封入されている。また、ガスセル31内には、必要に応じて、アルゴン、ネオン等の希ガス、窒素等の不活性ガスが緩衝ガスとしてアルカリ金属ガスとともに封入されていてもよい。
本体部311を構成する材料としては、特に限定されず、金属材料、樹脂材料、ガラス材料、シリコン材料、水晶等が挙げられるが、加工性や窓部312、313との接合の観点から、ガラス材料、シリコン材料を用いるのが好ましい。
本体部311と窓部312、313との接合方法としては、これらの構成材料に応じて決められるものであり、特に限定されないが、例えば、接着剤による接合方法、直接接合法、陽極接合法等を用いることができる。
このような各窓部312、313は、前述した光出射部21からの励起光LLに対する透過性を有している。そして、一方の窓部312は、ガスセル31内へ入射する励起光LLが透過するものであり、他方の窓部313は、ガスセル31内から出射した励起光LLが透過するものである。
このようなガスセル31は、励起光LLの軸aに対して垂直な方向(交わる方向)に沿った内部空間Sの幅W1が励起光LLの軸aに対して垂直な方向に沿った幅W2よりも大きい(図6参照)。なお、幅W1、W2については、後に詳述する。
また、ガスセル31は、ヒーター33により加熱され、所定温度に温度調節される。
光検出部32は、ガスセル31内を透過した励起光LL(共鳴光1、2)の強度を検出する機能を有する。
この光検出部32としては、上述したような励起光を検出し得るものであれば、特に限定されないが、例えば、太陽電池、フォトダイオード等の光検出器(受光素子)を用いることができる。
ヒーター33は、前述したガスセル31(より具体的にはガスセル31中のアルカリ金属)を加熱する機能を有する。これにより、ガスセル31中のアルカリ金属を所望濃度のガス状に維持することができる。
このヒーター33は、通電により発熱するものであり、例えば、ガスセル31の外表面上に設けられた発熱抵抗体で構成されている。このような発熱抵抗体は、例えば、プラズマCVD、熱CVDのような化学蒸着法(CVD)、真空蒸着等の乾式メッキ法、ゾル・ゲル法等を用いて形成される。
このようなヒーター33は、後述する制御部6の温度制御部62に電気的に接続され、通電制御される。
温度センサー34は、ヒーター33またはガスセル31の温度を検出するものである。そして、この温度センサー34の検出結果に基づいて、前述したヒーター33の発熱量が制御される。これにより、ガスセル31内のアルカリ金属原子を所望の温度に維持することができる。
温度センサー34としては、それぞれ、特に限定されず、サーミスタ、熱電対等の公知の各種温度センサーを用いることができる。
このような温度センサー34は、図示しない配線を介して、後述する制御部6の温度制御部62に電気的に接続されている。
コイル35は、通電により、内部空間Sに励起光LLの軸aに沿った方向(平行な方向)の磁場を発生させる機能を有する。これにより、ゼーマン***により、内部空間Sに存在するアルカリ金属の原子の縮退している異なるエネルギー準位間のギャップを拡げて、分解能を向上させ、EIT信号の線幅を小さくすることができる。
このコイル35の設置位置は、特に限定されず、図示しないが、例えば、ソレノイド型を構成するようにガスセル31の外周に沿って巻回して設けられていてもよいし、ヘルムホルツ型を構成するように1対のコイルをガスセル31を介して対向させてもよい。
このコイル35は、図示しない配線を介して、後述する制御部6の磁場制御部63に電気的に接続されている。これにより、コイル35に通電を行うことができる。
第2パッケージ36は、前述したガスセル31、光検出部32、ヒーター33、温度センサー34およびコイル35を収納する。
この第2パッケージ36は、前述した第1ユニット2の第1パッケージ22と同様に、構成されている。
基体361は、ガスセル31、光検出部32、ヒーター33、温度センサー34およびコイル35を直接的または間接的に支持する。本実施形態では、基体361は、板状をなし、平面視で円形をなしている。
蓋体362は、一端部が開口した有底筒状をなしている。本実施形態では、蓋体362の筒状部は、円筒状をなす。
この蓋体362の一端部の開口は、前述した基体361により塞がれている。
この窓部37は、ガスセル31と光出射部21との間の光軸(軸a)上に設けられている。
そして、窓部37は、前述した励起光に対して透過性を有する。
なお、窓部37は、励起光に対する透過性を有するものであれば、光透過性を有する板状部材に限定されず、例えば、レンズ、偏光板、λ/4波長板等の光学部品であってもよい。
このような蓋体362の窓部37以外の部分の構成材料としては、特に限定されず、例えば、セラミックス、金属、樹脂等を用いることができる。
また、基体361と蓋体362との接合方法としては、特に限定されないが、例えば、ろう接、シーム溶接、エネルギー線溶接(レーザー溶接、電子線溶接等)等を用いることができる。
また、第2パッケージ36内には、少なくともガスセル31および光検出部32が収納されていればよく、また、前述したガスセル31、光検出部32、ヒーター33、温度センサー34およびコイル35以外の部品が収納されていてもよい。
また、第2パッケージ36は、基体361が第1パッケージ22とは反対側に配置されるように、後述する配線基板5に保持されている。
前述したような第1パッケージ22と第2パッケージ36との間には、複数の光学部品41、42、43が配置されている。この複数の光学部品41、42、43は、それぞれ、前述した第1パッケージ22内の光出射部21と、前述した第2パッケージ36内のガスセル31との間の光軸(軸a)上に設けられている。
光学部品41は、λ/4波長板である。これにより、例えば、光出射部21からの励起光が直線偏光である場合、その励起光を円偏光(右円偏光または左円偏光)に変換することができる。
このような光学部品41に対して第2ユニット3側には、光学部品42、43が配置されている。
なお、光学部品42、43の平面視形状は、これに限定されず、例えば、四角形、五角形等の多角形をなしていてもよい。
また、光学部品42、43は、それぞれ、上側と下側とで連続的または段階的に減光率の異なる部分を有していてもよい。この場合、光学部品42、43を配線基板5に対して上下方向での位置を調整することにより、励起光の減光率を調整することができる。
また、光学部品42、43は、それぞれ、周方向で連続的または断続的に減光率が異なる部分を有していてもよい。この場合、光学部品42、43を回転させることにより、励起光の減光率を調整することができる。なお、この場合、光学部品42、43の回転中心が軸aに対してずれていればよい。
また、光学部品41、42、43は、前述した種類、配置順、数等に限定されない。例えば、光学部品41、42、43は、それぞれ、λ/4波長板または減光フィルターに限定されず、レンズ、偏光板等であってもよい。
配線基板5は、図示しない配線を有し、かかる配線を介して、配線基板5に搭載された制御部6等の電子部品と、コネクター71、72とを電気的に接続する機能を有する。
また、配線基板5は、前述した第1パッケージ22、第2パッケージ36および複数の光学部品41、42、43を保持する機能を有する。
この配線基板5は、第1パッケージ22および第2パッケージ36が空間を介して互いに非接触な状態でこれらを保持する。これにより、光出射部21とガスセル31との間の熱干渉を防止または抑制し、光出射部21とガスセル31とを独立して高精度に温度制御することができる。
ここで、貫通孔51(第1貫通孔)は、配線基板5のX軸方向での一端部側に設けられ、貫通孔52(第2貫通孔)は、配線基板5のX軸方向での他端部側に設けられている。そして、貫通孔53、54、55(第3貫通孔)は、配線基板5の貫通孔51と貫通孔52との間に設けられている。
そして、貫通孔51内には、第1パッケージ22の一部が上側から挿入され、これにより、第1パッケージ22は、配線基板5に対してX軸方向、Y軸方向およびZ軸方向での位置決めがされている。
また、第1パッケージ22を貫通孔51の縁部に当接させることにより、第1パッケージ22と配線基板5との接触面積を小さくすることができる。これにより、第1パッケージ22と配線基板5との間の熱の伝達を抑制することができる。
このように、第1パッケージ22と第2パッケージ36との間の配線基板5を介した熱伝達を抑制することができるので、光出射部21とガスセル31との間の熱干渉を抑制することができる。
また、第1パッケージ22および第2パッケージ36を保持する部材を配線基板5とは別途設ける場合に比し、部品点数を少なくすることができる。その結果、原子発振器1の低コスト化および小型化を図ることができる。
また、貫通孔53内には、光学部品41の一部が挿入され、これにより、光学部品41は、配線基板5に対してX軸方向、Y軸方向およびZ軸方向での位置決めがされている。
また、貫通孔55内には、光学部品43の一部が挿入され、これにより、光学部品43は、配線基板5に対してX軸方向、Y軸方向およびZ軸方向での位置決めがされている。
同様に、貫通孔54は、第1パッケージ22と第2パッケージ36とを結ぶ線分に沿った軸線周りに光学部品42を回転可能に保持し得る。また、貫通孔55は、第1パッケージ22と第2パッケージ36とを結ぶ線分に沿った軸線周りに光学部品43を回転可能に保持し得る。
ここで、前述したように光学部品41がλ/4波長板であるため、配線基板5に対する第1パッケージ22の姿勢によらず、光学部品41を回転により姿勢を調整することにより、光出射部21からの励起光を直線偏光から円偏光へ変換することができる。
このような配線基板5の一方の面には、制御部6およびコネクター71、72が設置されている。なお、配線基板5には、制御部6以外の電子部品が搭載されていてもよい。
図1に示す制御部6は、ヒーター33、コイル35および光出射部21をそれぞれ制御する機能を有する。
本実施形態では、制御部6は、配線基板5に搭載されたIC(Integrated Circuit)チップで構成されている。
励起光制御部61は、前述した光検出部32の検出結果に基づいて、光出射部21から出射される共鳴光1、2の周波数を制御する。より具体的には、励起光制御部61は、前述した光検出部32の検出結果に基づいて、前述した周波数差(ω1−ω2)がアルカリ金属固有の周波数ω0となるように、光出射部21から出射される共鳴光1、2の周波数を制御する。
また、温度制御部62は、温度センサー34の検出結果に基づいて、ヒーター33への通電を制御する。これにより、ガスセル31を所望の温度範囲内に維持することができる。
また、磁場制御部63は、コイル35が発生する磁場が一定となるように、コイル35への通電を制御する。
コネクター71(第1コネクター)は、第1パッケージ22に装着され、光出射部21と配線基板5とを電気的に接続する機能を有する。これにより、コネクター71を介して、第1パッケージ22内の光出射部21が制御部6に電気的に接続されている。
また、コネクター72(第2コネクター)は、第2パッケージ36に装着され、光検出部32等と配線基板5とを電気的に接続する機能を有する。これにより、コネクター72を介して、第2パッケージ36内の光検出部32、ヒーター33、温度センサー34およびコイル35が制御部6に電気的に接続されている。
コネクター部712は、シート状をなし、その厚さ方向に貫通する複数の貫通孔711を有する。
このような複数のリード223は、それぞれ、例えば半田等により、図5に示すようにコネクター部712に対して固定されるとともに、コネクター部712に設けられた配線(図示せず)に電気的に接続されている。
また、この固定部713の配線(図示せず)は、ケーブル部714に設けられた配線(図示せず)を介して、コネクター部712の配線(図示せず)に電気的に接続されている。
コネクター部722は、シート状をなし、その厚さ方向に貫通する複数の貫通孔721を有する。
このような複数のリード363は、それぞれ、例えば半田等により、図5に示すようにコネクター部722に対して固定されるとともに、コネクター部722に設けられた配線(図示せず)に電気的に接続されている。
また、この固定部723の配線(図示せず)は、ケーブル部724に設けられた配線(図示せず)を介して、コネクター部722の配線(図示せず)に電気的に接続されている。
なお、光出射部21と配線基板5との電気的な接続、および、光検出部32等と配線基板5との電気的な接続は、それぞれ、前述したコネクター71、72に限定されず、例えば、コネクター部がソケット状をなすものであってもよい。
以上、原子発振器1の各部の構成について説明したが、次に、幅W1、W2について詳述する。
図6は、図1に示す原子発振器が備える光出射部およびガスセルを説明するための模式図、図7は、図6に示すガスセルを光の通過方向から見た図である。また、図8(a)は、W2/W1とEIT信号の線幅(半値幅)との関係を示すグラフ、図8(b)は、W2/W1と短期周波数安定度との関係を示すグラフである。
このようにW1およびW2が最適化されることにより、ガスセル31および光出射部21の設置時の光軸調整が容易となるだけでなく、EIT信号の線幅を小さくして優れた短期周波数安定度を実現しつつ、ガスセル31との光出射部21との相対的な位置ずれが経時的に生じたとしても、光出射部21から出射された励起光LLがガスセル31の内部空間Sの壁面に接近することによる長期周波数安定度の悪化を防止することができる。
ここで、原子発振器1では、ガスセル31と光出射部21とは、直接接続されておらず、配線基板5等の他の部材を介して接続されている。そのため、例えば、配線基板5の歪みがガスセル31と光出射部21との位置ずれの原因となる。したがって、幅W1と幅W2との差が小さいと、光出射部21から出射された励起光LLがガスセル31の内部空間Sの壁面付近に存在する他と挙動の異なるアルカリ金属に照射されやすくなる。
また、励起光LLの軸aに対して垂直な方向に沿った内部空間Sの壁面と励起光LLとの間の距離L2は、0.25mm以上であることが好ましく、0.25mm以上1.35mm以下であることがより好ましく、0.5mm以上1.2mm以下であることがさらに好ましい。これにより、ガスセル31の内部空間Sが小型化しても、比較的簡単かつ確実に、優れた短期周波数安定度および長期周波数安定度を実現することができる。
また、励起光LLの軸aに対して平行な方向に沿った(励起光LLの軸aに沿った)内部空間Sの長さをL1としたとき、W1<L1の関係を満たすことが好ましい。これにより、励起光LLに照射されるアルカリ金属の数を多くして、EIT信号の強度を大きくすることができる。また、W1およびL1が上記関係を満たす場合、幅W1と幅W2との差が小さすぎると、光出射部21から出射される励起光LLの軸aに対してガスセル31の内部空間Sが傾斜するように、光出射部21とガスセル31との相対的な位置ずれが生じたとき、光出射部21から出射された励起光LLがガスセル31の内部空間Sの壁面に接近しやすくなる。したがって、この場合に前述したようなW1およびW2の関係を満たすことにより本発明の効果が顕著となる。
また、光出射部21から出射される励起光LLの放射角をθとし、光出射部21とガスセル31との間の距離をLとしたとき、L×tan(θ/2)は、0.2mm以上5.0mm以下の範囲内であることが好ましい。これにより、原子発振器1の小型化を図ることができる。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。
図9は、本発明の第2実施形態に係る光出射部およびガスセルを説明するための模式図である。
本実施形態は、光出射部から出射した光を絞りにより整形する以外は、前述した第1実施形態と同様である。
図9に示すように、本実施形態では、窓部23(レンズ)とガスセル31との間には、開口441を有する絞り44(絞り手段)が配置されている。
以上説明したような第2実施形態によっても、第1実施形態と同様に幅W1、W2が最適化され、優れた短期周波数安定度および長期周波数安定度を発揮することができる。
次に、本発明の第3実施形態について説明する。
図10は、本発明の第3実施形態に係る原子発振器を示す断面図である。
本実施形態にかかる原子発振器は、1つのパッケージ内に光出射部およびガスセルを含む複数の構成部品を収納している以外は、前述した第1実施形態にかかる原子発振器と同様である。
なお、以下の説明では、第3実施形態の原子発振器に関し、第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図10において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。
ここで、ユニット部8は、ガスセル31と、光出射部21と、光学部品4Aと、光検出部32と、ヒーター33(発熱部)と、温度センサー34と、基板81と、接続部材82とを含み、これらがユニット化されている。なお、光学部品4Aは、前述した第1実施形態の光学部品41、42、43を組み合わせたものである。また、図10では図示しないが、原子発振器1Aは、上記のほか、コイル35および制御部6を有する。
基板81の一方の面(上面)には、光出射部21、ヒーター33、温度センサー34および接続部材82が搭載されている。
基板81は、ヒーター33からの熱を接続部材82へ伝達する機能を有する。これにより、ヒーター33が接続部材82に対して離間していても、ヒーター33からの熱を接続部材82へ伝達することができる。
また、光出射部21が基板81に搭載されていることにより、ヒーター33からの熱により光出射部21を温度調節することができる。
なお、基板81は、接続部材82の形状、ヒーター33の設置位置等によっては、省略することができる。この場合、ヒーター33を接続部材82に接触させる位置に設置すればよい。
この接続部材82は、ヒーター33とガスセル31の各窓部312、313とを熱的に接続している。これにより、ヒーター33からの熱を接続部材82による熱伝導により各窓部312、313に伝達し、各窓部312、313を加熱することができる。また、ヒーター33とガスセル31とを離間することができる。そのため、ヒーター33への通電により生じた不要磁場がガスセル31内の金属原子に悪影響を与えるのを抑制することができる。また、ヒーター33の数を少なくすることができるため、例えば、ヒーター33への通電のための配線の数を少なくし、その結果、原子発振器1A(量子干渉装置)の小型化を図ることができる。
伝熱層83、84は、それぞれ、窓部312、313を構成する材料の熱伝導率よりも大きい熱伝導率の材料で構成されている。これにより、接続部材82からの熱を伝熱層83、84による熱伝導により効率的に拡散させることができる。その結果、各窓部312、313の温度分布を均一化することができる。
このような伝熱層83、84の構成材料としては、窓部312、313の構成材料の熱伝導率よりも高い熱伝導率を有し、かつ、伝熱層83、84が励起光を透過し得る材料であれば、特に限定されないが、例えば、ダイヤモンド、DLC(diamond‐like carbon)等を用いることができる。
なお、伝熱層83、84は、省略してもよい。
以上説明したようなユニット部8は、支持部材9を介してパッケージ10に支持されている。
パッケージ10は、ユニット部8および支持部材9を収納する機能を有する。なお、図10では、図示を省略しているが、パッケージ10内には、コイル35も収納されている。また、パッケージ10内には、前述した部品以外の部品が収納されていてもよい。
基体11は、支持部材9を介してユニット部8を支持している。
また、図示しないが、基体11には、パッケージ10の外部から内部のユニット部8への通電のための複数の配線および複数の端子が設けられている。
このような基体11には、蓋体12が接合されている。
基体11と蓋体12との接合方法としては、特に限定されないが、例えば、ろう接、シーム溶接、エネルギー線溶接(レーザー溶接、電子線溶接等)等を用いることができる。
このような蓋体12の構成材料としては、特に限定されず、例えば、樹脂材料、セラミックス材料、金属材料等を用いることができる。
また、基体11と蓋体12とは気密的に接合されているのが好ましい。すなわち、パッケージ10内が気密空間であることが好ましい。これにより、パッケージ10内を減圧状態または不活性ガス封入状態とすることができ、その結果、原子発振器1Aの特性を向上させることができる。
また、支持部材9は、ユニット部8とパッケージ10の外部との間の熱の伝達を抑制する機能を有する。
この支持部材9は、複数の脚部91(柱部)と、複数の脚部91を連結する連結部92とを有する。
この複数の脚部91は、基体11とユニット部8とが重なる方向からみた平面視(以下、単に「平面視」ともいう)にて、ユニット部8の外側に配置されている。これにより、基体11とユニット部8との間の距離を小さくしても、支持部材9を介したユニット部8から基体11への熱の伝達経路を長くすることができる。
この連結部92の上面(脚部91とは反対側の面)には、ユニット部8(より具体的には基板81)が接合(接続)されている。これにより、支持部材9によりユニット部8が支持されている。
以上説明したような第3実施形態によっても、第1実施形態と同様に幅W1、W2が最適化され、優れた短期周波数安定度および長期周波数安定度を発揮することができる。
以上説明したような原子発振器は、各種電子機器に組み込むことができる。このような電子機器は、優れた信頼性を有する。
以下、本発明の電子機器について説明する。
図11は、GPS衛星を利用した測位システムに本発明の原子発振器を用いた場合のシステム構成概要図である。
GPS衛星200は、測位情報(GPS信号)を送信する。
基地局装置300は、例えば電子基準点(GPS連続観測局)に設置されたアンテナ301を介してGPS衛星200からの測位情報を高精度に受信する受信装置302と、この受信装置302で受信した測位情報をアンテナ303を介して送信する送信装置304とを備える。
GPS受信装置400は、GPS衛星200からの測位情報をアンテナ401を介して受信する衛星受信部402と、基地局装置300からの測位情報をアンテナ403を介して受信する基地局受信部404とを備える。
図12は、本発明の移動体の一例を示す図である。
この図において、移動体1500は、車体1501と、4つの車輪1502とを有しており、車体1501に設けられた図示しない動力源(エンジン)によって車輪1502を回転させるように構成されている。このような移動体1500には、原子発振器1が内蔵されている。
このような移動体によれば、優れた信頼性を発揮することができる。
また、本発明の量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体では、各部の構成は、同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成を付加することもできる。
また、本発明の原子発振器は、前述した各実施形態の任意の構成同士を組み合わせるようにしてもよい。
また、本発明は、光出射部から出射された光の軸に対して垂直な方向に沿ったガスセルの内部空間の幅W1と、ガスセルの内部空間における同方向に沿った光の幅W2とが前述したような関係を満たしていれば、原子発振器(量子干渉装置)の構造は、前述した実施形態の構成に限定されない。
また、前述した第1実施形態では、配線基板に形成された貫通孔に第1パッケージ、第2パッケージおよび光学部品をそれぞれ係合させた場合を例に説明したが、これに限定されず、例えば、第1パッケージ、第2パッケージおよび光学部品を配線基板の一方の面上に配置してもよいし、第1パッケージ、第2パッケージおよび光学部品を一括して箱状またはブロック状のホルダーで保持し、そのホルダーを配線基板上に配置してもよい。
Claims (9)
- 金属原子が封入されている内部空間を有するガスセルと、
前記金属原子に共鳴するための共鳴光対を含む光を前記内部空間に向けて出射する光出射部と、を備え、
前記光の軸に対して交わる方向に沿った前記内部空間の幅をW1とし、前記内部空間における前記交わる方向に沿った前記光の幅をW2とし、前記光出射部から出射される前記光の放射角をθとし、前記光出射部と前記ガスセルとの間の距離をLとしたとき、
55%≦W2/W1≦65%の関係を満たし、
前記W1は、1mm以上10mm以下の範囲内にあり、
L×tan(θ/2)は、0.2mm以上5.0mm以下の範囲内にあることを特徴とする量子干渉装置。 - 前記交わる方向に沿った前記内部空間の壁面と前記光との間の距離が0.25mm以上である請求項1に記載の量子干渉装置。
- 前記光の軸方向に沿った前記内部空間の長さをL1としたとき、
W1<L1の関係を満たす請求項1または2に記載の量子干渉装置。 - 前記L1は、3mm以上30mm以下の範囲内にある請求項3に記載の量子干渉装置。
- 前記光出射部と前記内部空間との間に、前記光の絞り手段を有する請求項1ないし4のいずれか1項に記載の量子干渉装置。
- 前記内部空間に前記光の軸方向の磁場を発生させるコイルを備える請求項5に記載の量子干渉装置。
- 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の量子干渉装置を備えることを特徴とする原子発振器。
- 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の量子干渉装置を備えることを特徴とする電子機器。
- 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の量子干渉装置を備えることを特徴とする移動体。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013205755A JP6179327B2 (ja) | 2013-09-30 | 2013-09-30 | 量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体 |
CN201410490591.5A CN104518794B (zh) | 2013-09-30 | 2014-09-23 | 量子干涉装置、原子振荡器、电子设备以及移动体 |
US14/499,766 US20150091662A1 (en) | 2013-09-30 | 2014-09-29 | Quantum interference device, atomic oscillator, electronic apparatus, and moving object |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013205755A JP6179327B2 (ja) | 2013-09-30 | 2013-09-30 | 量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015070228A JP2015070228A (ja) | 2015-04-13 |
JP6179327B2 true JP6179327B2 (ja) | 2017-08-16 |
Family
ID=52739545
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013205755A Expired - Fee Related JP6179327B2 (ja) | 2013-09-30 | 2013-09-30 | 量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20150091662A1 (ja) |
JP (1) | JP6179327B2 (ja) |
CN (1) | CN104518794B (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015089055A (ja) * | 2013-11-01 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 光学モジュールおよび原子発振器 |
US10145909B2 (en) * | 2014-11-17 | 2018-12-04 | Seiko Epson Corporation | Magnetism measuring device, gas cell, manufacturing method of magnetism measuring device, and manufacturing method of gas cell |
JP6672615B2 (ja) * | 2015-05-28 | 2020-03-25 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス、量子干渉装置、原子発振器および電子機器 |
JP6728867B2 (ja) * | 2016-03-28 | 2020-07-22 | セイコーエプソン株式会社 | 量子干渉装置、原子発振器、および電子機器 |
JP2018042079A (ja) * | 2016-09-07 | 2018-03-15 | セイコーエプソン株式会社 | 原子発振器 |
CN109565283B (zh) * | 2016-10-19 | 2023-07-07 | 株式会社村田制作所 | 原子振荡器以及电子设备 |
CN109716657B (zh) * | 2016-11-22 | 2023-02-28 | 株式会社村田制作所 | 原子振荡器以及电子设备 |
JP6841190B2 (ja) * | 2017-08-31 | 2021-03-10 | セイコーエプソン株式会社 | 周波数信号生成装置および周波数信号生成システム |
US20200378892A1 (en) * | 2019-05-28 | 2020-12-03 | Si-Ware Systems | Integrated device for fluid analysis |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002344314A (ja) * | 2001-05-21 | 2002-11-29 | Nec Miyagi Ltd | ルビジウム原子発振器 |
JP3755001B2 (ja) * | 2002-08-30 | 2006-03-15 | 独立行政法人情報通信研究機構 | 原子発振取得装置及び原子時計 |
EP2073515A1 (en) * | 2007-12-21 | 2009-06-24 | Koninklijke KPN N.V. | Identification of proximate mobile devices |
JP2009164331A (ja) * | 2008-01-07 | 2009-07-23 | Epson Toyocom Corp | 原子発振器および発振デバイス |
JP5532679B2 (ja) * | 2008-07-03 | 2014-06-25 | セイコーエプソン株式会社 | 原子発振器の光学系及び原子発振器 |
US8237514B2 (en) * | 2009-02-06 | 2012-08-07 | Seiko Epson Corporation | Quantum interference device, atomic oscillator, and magnetic sensor |
JP2013030513A (ja) * | 2011-07-26 | 2013-02-07 | Seiko Epson Corp | ガスセルユニットおよび原子発振器 |
JP6160021B2 (ja) * | 2012-02-17 | 2017-07-12 | セイコーエプソン株式会社 | 原子発振器 |
-
2013
- 2013-09-30 JP JP2013205755A patent/JP6179327B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2014
- 2014-09-23 CN CN201410490591.5A patent/CN104518794B/zh active Active
- 2014-09-29 US US14/499,766 patent/US20150091662A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104518794A (zh) | 2015-04-15 |
CN104518794B (zh) | 2018-12-11 |
JP2015070228A (ja) | 2015-04-13 |
US20150091662A1 (en) | 2015-04-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6179327B2 (ja) | 量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体 | |
JP6291768B2 (ja) | 原子共鳴遷移装置、原子発振器、電子機器および移動体 | |
JP6354151B2 (ja) | 量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体 | |
JP6119295B2 (ja) | 量子干渉装置、原子発振器および移動体 | |
US9191017B2 (en) | Quantum interference device, atomic oscillator, and moving object | |
JP6409267B2 (ja) | 量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体 | |
US9203026B2 (en) | Quantum interference device, atomic oscillator, electronic apparatus, and moving object | |
JP6287169B2 (ja) | 量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体 | |
JP6484922B2 (ja) | 原子セル、量子干渉装置、原子発振器および電子機器 | |
JP6347101B2 (ja) | 量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体 | |
JP2014183484A (ja) | 電子デバイス、量子干渉装置、原子発振器、電子機器、移動体および電子デバイスの製造方法 | |
JP6728850B2 (ja) | 量子干渉装置、原子発振器および電子機器 | |
JP6337456B2 (ja) | 量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体 | |
US9768791B2 (en) | Quantum interference device, atomic oscillator, electronic apparatus, and moving object | |
JP6237096B2 (ja) | 量子干渉装置、原子発振器、および電子機器 | |
JP6493576B2 (ja) | 量子干渉装置、原子発振器、および電子機器 | |
JP6089847B2 (ja) | 量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体 | |
JP2015170882A (ja) | 発振器、電子機器および移動体 | |
US10340930B2 (en) | Quantum interference device, an atomic oscillator, an electronic apparatus, and a vehicle | |
JP6075138B2 (ja) | 量子干渉装置、原子発振器、電子機器、移動体および原子発振器の製造方法 | |
JP2014160978A (ja) | 量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体 | |
JP2017022653A (ja) | 量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160727 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170411 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170412 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170606 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170620 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170703 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6179327 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |