JP6724459B2 - 磁気センサ - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施形態による磁気センサ10Aの外観を示す略斜視図である。また、図2は磁気センサ10Aの上面図であり、図3は磁気センサ10Aの側面図である。
図7は、本発明の第2の実施形態による磁気センサ10B1の構成を示す上面図である。
20 センサチップ
21 基板
22 絶縁膜
31 第1の磁性体
32 第2の磁性体
41〜45 端子
51〜57 配線
58,59 貫通導体
60 フィードバック回路
61 オペアンプ
62 定電圧源
63 定電流源
64 抵抗
I 帰還電流
L1 第1の配線層
L2 第2の配線層
MR1 第1の磁気抵抗効果素子
MR2 第2の磁気抵抗効果素子
φ1〜φ3 磁束
Claims (9)
- 第1乃至第4の端子と、
前記第1及び第2の端子間に電気的に接続され、第1の方向に延在する第1の磁気抵抗効果素子と、
前記第3及び第4の端子間に電気的に接続され、前記第1の磁気抵抗効果素子に沿って前記第1の方向に延在する第1の磁性体と、
前記第1又は第2の端子に現れる電位に基づいて、前記第3の端子と前記第4の端子との間に帰還電流を流すフィードバック回路と、を備え、
前記第1の磁気抵抗効果素子は、前記第1の方向と交差する第2の方向における前記第1の磁性体の中心位置に対してオフセットして配置されていることを特徴とする磁気センサ。 - 前記第1の磁気抵抗効果素子は、前記第1及び第2の方向と交差する第3の方向から見て、前記第1の磁性体と重ならない位置に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の磁気センサ。
- 前記第1の磁性体の前記第1の方向における長さは、前記第1の磁気抵抗効果素子の前記第1の方向における長さ以上であることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気センサ。
- 第5の端子と、
前記第2及び第5の端子間に電気的に接続され、所定の方向に延在する第2の磁気抵抗効果素子と、
前記第3及び第4の端子間に電気的に接続され、前記第2の磁気抵抗効果素子に沿って前記所定の方向に延在する第2の磁性体と、をさらに備え、
前記第2の磁気抵抗効果素子は、前記所定の方向と交差する方向における前記第2の磁性体の中心位置に対してオフセットして配置されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の磁気センサ。 - 前記第1の磁気抵抗効果素子はセンサチップの第1の配線層に形成され、前記第1の磁性体は前記センサチップの前記第1の配線層とは異なる第2の配線層に形成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の磁気センサ。
- 前記第1の磁性体は、前記第2の配線層に固定された磁性材料からなるブロック体であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の磁気センサ。
- 前記第1の磁性体は、前記第2の配線層に形成された磁性材料からなる薄膜であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の磁気センサ。
- 前記第1の磁性体は、軟磁性材料からなることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の磁気センサ。
- 磁気抵抗効果素子と、
検出すべき磁束を集め、前記磁気抵抗効果素子の磁化固定方向と平行な方向に前記磁束を誘導する磁性体と、
前記磁気抵抗効果素子の抵抗値に応じて前記磁性体に帰還電流を流すフィードバック回路と、を備えることを特徴とする磁気センサ。
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