JP2013055281A - 電流センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】磁化方向が略固定された強磁性固定層及び外部磁界に対して磁化方向が変動するフリー磁性層を含んで構成された複数の磁気検出部(32)と、前記フリー磁性層にバイアス磁界を印加するハードバイアス層を含んで構成された複数の永久磁石部(33)と、が交互に接して配置された磁気抵抗効果素子(12a、12b)を備え、隣接する前記永久磁石部(33)の間隔が20μm〜100μmであることを特徴とする。
【選択図】図3
Description
11 導体
12 磁界検出ブリッジ回路
12a、12b 磁気抵抗効果素子
12c、12d 固定抵抗素子
31 長尺パターン
32 磁気検出部
33 永久磁石部
34a、34b 接続端子
41 アルミニウム酸化膜
42 シード層
43 第1の強磁性膜
44 反平行結合膜
45 第2の強磁性膜
46 非磁性中間層
47 フリー磁性層
48 保護層
49 強磁性固定層
51 下地層
52 ハードバイアス層
53 拡散防止層
54 導電層
Claims (5)
- 磁化方向が略固定された強磁性固定層及び外部磁界に対して磁化方向が変動するフリー磁性層を含んで構成された複数の磁気検出部と、前記フリー磁性層にバイアス磁界を印加するハードバイアス層を含んで構成された複数の永久磁石部と、が交互に接して配置された磁気抵抗効果素子を備え、隣接する前記永久磁石部の間隔が20μm〜100μmであることを特徴とする電流センサ。
- 前記磁気検出部の幅が0.5μm〜1.5μmであることを特徴とする請求項1に記載の電流センサ。
- 前記フリー磁性層の磁化量が0.6memu/cm2〜1.0memu/cm2であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の電流センサ。
- 前記永久磁石部は、隣接する前記磁気検出部を電気的に接続する導電層を含んで構成されたことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の電流センサ。
- 前記磁気抵抗効果素子を含んで構成され、誘導磁界に略比例する電圧差を生じる2つの出力を備える磁界検出ブリッジ回路を具備した磁気比例式電流センサであることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の電流センサ。
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