JP6505534B2 - 現像液の管理方法及び装置 - Google Patents
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Description
本発明の現像液の管理方法によれば、繰り返し使用される、アルカリ性を示す現像液の導電率に基づいてアルカリ濃度を測定し、前記現像液の溶解フォトレジスト濃度と相関関係のある吸光度を測定し、前記現像液の吸収二酸化炭素濃度を測定し、前記現像液の吸光度及び吸収二酸化炭素濃度を指標として特定される濃度領域ごとに所定の現像性能となることが予め確認された前記現像液のアルカリ濃度値を有するアルカリ濃度データのうち、測定された吸光度及び測定された吸収二酸化炭素濃度により特定される濃度領域の前記アルカリ濃度値を、前記現像液のアルカリ濃度の制御目標値に設定し、前記現像液のアルカリ濃度が前記制御目標値となるように、前記現像液に補充液を補給する。
図1は、本実施形態の現像液管理装置Dの説明をするための現像工程の模式図である。本発明の現像液管理装置Dが、現像工程設備A、補充液貯留部B、循環攪拌機構Cなどとともに図示されている。
図2は、本実施形態の現像液管理装置Dの説明をするための現像工程の模式図である。本発明の現像液管理装置Dが、現像工程設備A、補充液貯留部B、循環攪拌機構Cなどとともに図示されている。なお、第一実施形態の構成と同様の構成には同一符号を付して説明を省略する場合がある。
)とすれば、それにSを乗じて求めるべき濃度Cu(Cuj;j=1〜n)を得ることができる。
さらに、本発明は多変量解析法(例えば、重回帰分析法)を用いているので、従来は測定が困難であった現像液の吸収二酸化炭素濃度を、精度よく算出することができる。
図3は、本実施形態の現像液管理装置Dの説明をするための現像工程の模式図である。本発明の現像液管理装置Dが、現像工程設備A、補充液貯留部B、循環攪拌機構Cなどとともに図示されている。なお、第一実施形態、及び第二実施形態の構成と同様の構成には同一符号を付して説明を省略する場合がある。
図4は、本実施形態の現像液管理装置Dの説明をするための現像工程の模式図である。本発明の現像液管理装置Dが、現像工程設備A、補充液貯留部B、循環攪拌機構Cなどとともに図示されている。なお、第一実施形態、第二実施形態、及び第三実施形態の構成と同様の構成には同一符号を付して説明を省略する場合がある。
図6は、本実施形態の現像液管理装置Dの説明をするための現像工程の模式図である。本発明の現像液管理装置Dが、現像工程設備A、補充液貯留部B、循環攪拌機構Cなどとともに図示されている。なお、第一実施形態、及び第二実施形態の構成と同様の構成には同一符号を付して説明を省略する場合がある。
現像液の溶解フォトレジスト濃度及び二酸化炭素濃度を指標として特定される濃度領域ごとに所定の現像性能となることが予め確認された前記現像液の導電率値を有する導電率データを備え、現像液の溶解フォトレジスト濃度の測定値及び吸収二酸化炭素濃度の測定値により特定される濃度領域の導電率データの導電率値を制御目標値として、現像液の導電率が前記制御目標値となるように前記現像液に補給される補充液を送液する。
1…測定部
11…導電率計、12…第1濃度測定手段、12A…第1特性値測定手段、13…第2濃度測定手段、13A…第2特性値測定手段、13B…密度計
14…サンプリングポンプ、15…サンプリング配管、16…出口側配管
21…制御手段(例えばコンピュータ)
23…データ記憶部、
31…制御部、32,33…演算部、36,37…演算手段
41〜43…制御弁、44、45、46、47…バルブ
61…現像液貯留槽、62…オーバーフロー槽、63…液面計、64…現像室フード、65…ローラーコンベア、66…基板、67…現像液シャワーノズル
71…廃液ポンプ、72、74…循環ポンプ、73、75…フィルター
80…現像液管路、81、82…補充液(現像原液及び/又は新液)用管路、83…純水用管路、84…合流管路、85…循環管路、86…窒素ガス用管路
91、92…補充液(現像原液及び/又は新液)貯留槽
Claims (6)
- 繰り返し使用される、アルカリ性を示す現像液の導電率、溶解フォトレジスト濃度及び吸収二酸化炭素濃度を測定し、
前記現像液の溶解フォトレジスト濃度及び吸収二酸化炭素濃度を指標として特定される濃度領域ごとに所定の現像性能となることが予め確認された前記現像液の導電率値を有する導電率データのうち、測定された溶解フォトレジスト濃度及び測定された吸収二酸化炭素濃度により特定される濃度領域の前記導電率値を、前記現像液の導電率の制御目標値に設定し、
前記現像液の導電率が前記制御目標値となるように、前記現像液に補充液を補給する現像液の管理方法。 - 繰り返し使用される、アルカリ性を示す現像液の溶解フォトレジスト濃度及び吸収二酸化炭素濃度を指標として特定される濃度領域ごとに所定の現像性能となることが予め確認された前記現像液の導電率値を有する導電率データが格納されているデータ記憶部と、
前記現像液の溶解フォトレジスト濃度の測定値及び吸収二酸化炭素濃度の測定値により特定される濃度領域の前記データ記憶部に格納された前記導電率値を制御目標値として、前記現像液の導電率が前記制御目標値となるように前記現像液に補給される補充液を送液する流路に設けられた制御弁に制御信号を発する制御部と、
を備えた制御手段、
を備える現像液管理装置。 - 前記現像液の溶解フォトレジスト濃度と相関のある前記現像液の特性値と前記現像液の吸収二酸化炭素濃度と相関のある前記現像液の特性値とを含む前記現像液の複数の特性値を測定する複数の測定装置をさらに備え、
前記制御手段が、前記複数の測定装置により測定された前記現像液の複数の特性値から、多変量解析法を用いて、前記現像液の溶解フォトレジスト濃度の測定値及び吸収二酸化炭素濃度の測定値を算出する演算部をさらに備える請求項2に記載の現像液管理装置。 - 前記現像液の溶解フォトレジスト濃度と相関のある前記現像液の特性値と前記現像液の吸収二酸化炭素濃度と相関のある前記現像液の特性値とを含む前記現像液の複数の特性値を測定する複数の測定装置と、
前記複数の測定装置により測定された前記現像液の複数の特性値から、多変量解析法を用いて、前記現像液の溶解フォトレジスト濃度の測定値及び吸収二酸化炭素濃度の測定値を算出する演算手段と、
をさらに備える請求項2に記載の現像液管理装置。 - 密度計を備え、
前記制御手段が、前記現像液の吸収二酸化炭素濃度と密度との間の対応関係に基づいて前記密度計により測定された前記現像液の密度から前記現像液の吸収二酸化炭素濃度を算出する演算部を、
さらに備える請求項2に記載の現像液管理装置。 - 密度計と、
前記現像液の吸収二酸化炭素濃度と密度との間の対応関係に基づいて前記密度計により測定された前記現像液の密度から前記現像液の吸収二酸化炭素濃度を算出する演算手段と、
をさらに備える請求項2に記載の現像液管理装置。
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