JP2561578B2 - 現像液管理装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶基板製造工程やプ
リント基板製造工程などにおいて、感光性有機樹脂（フ
ォトレジスト、以下単に樹脂という）の現像に用いられ
るアルカリ系現像液の管理装置、詳しくは、アルカリ系
現像液の循環使用における連続自動補給機構、アルカリ
濃度調整機構、及び溶解樹脂の濃縮化に伴う現像性能の
劣化抑制のための現像液自動排出機構を併せて有する装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶基板製造工程やプリント基板製造工
程などにおいては、樹脂の現像液としてテトラメチルア
ンモニウムハイドロオキサイド（ＴＭＡＨ）水溶液（一
例として２．３８０ｗｔ％）、水酸化カリウム水溶液な
どのアルカリ水溶液がスプレー方式あるいはディップ方
式などで使用されている。従来法では、現像処理槽へ所
定濃度の一定量の新液アルカリ系現像液を充填してスタ
ートし、経験等にもとづく基板処理枚数などを指標とし
て、アルカリ系現像液が減量しつつ所定劣化濃度域に達
したとき、予め用意した新液と一挙に全量交換するバッ
チ操業の形態をとっている。この液交換時期は基板の種
類等により一定ではないが、およそ６時間前後に１回の
頻度で行なわれている。

【０００３】樹脂の現像液として用いられるアルカリ水
溶液は、樹脂中の酸との反応、ならびに空気中の炭酸ガ
ス及び酸素ガスの吸収、反応により、使用中にアルカリ
濃度が低下して逐次実効感度が低下するが、従来はアル
カリ濃度をリアルタイムで測定し、かつ所定濃度に一定
に制御することが行なわれていなかった。また、現像処
理によってアルカリ系現像液中に溶解した樹脂は、逐次
濃縮し、ポジレジストの場合においては、溶解してはな
らない未露光部の樹脂を若干溶解させる作用を持ち、未
露光部残膜率を次第に低下させるが、従来は樹脂濃度を
リアルタイムで測定し、かつ所定濃度に一定に制御する
ことが行なわれていなかった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従って、この間のアル
カリ濃度と溶解樹脂濃度は経時的に変化して一定でない
ため、現像されたレジストパターンの形状を決定する線
幅と膜厚の寸法を一定に制御できず、基板現像時の微細
寸法精度の制御が困難で製品の品質を不安定にし、歩留
りを低下させていた。また、液交換時の操業停止（ダウ
ンタイム）により大幅な稼動率低下をきたし、アルカリ
系現像液の交換作業に伴う労務コストが必要であった。
さらに、アルカリ系現像液は所定濃度及び所定品質に調
整された上、異物の汚染が少ない密閉容器で運搬される
ので流通経費が膨大となり、アルカリ系現像原液に比較
して、はるかに高額な原材料費が必要であった。

【０００５】本発明は上記の諸点に鑑みなされたもの
で、本発明の目的は、液晶基板製造工程やプリント基板
製造工程などの大量生産に適した簡便な従来技術による
ライン搬送方式の利点を生かしながら、前述した従来技
術の問題点を解消するものである。すなわち、本発明の
目的は、アルカリ系現像液使用側においてアルカリ系現
像原液を入手すれば、アルカリ系現像液を所定のアルカ
リ濃度及び溶解樹脂濃度に自動制御し、かつ現像処理槽
の液補給に対して適切な管理を行ない、もって現像性能
を常時一定化するとともに、操業停止時間の大幅な短縮
と総合的な製造コストの低減を可能とすることにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段及び作用】本発明は、現像
処理槽のアルカリ系現像液中に溶解した樹脂濃度は、そ
の吸光度と密接な関係（高度な直線関係）にあることを
実験により確認したことから、樹脂濃度を吸光度測定す
ることにより調整、制御し、さらにアルカリ系現像液中
のアルカリ濃度が、その導電率との間に密接な関係（使
用濃度付近においては、高度な直線関係）にあることを
実験によって確認したことから、アルカリ濃度を導電率
測定により調整、制御するようにしたものであり、アル
カリ濃度と樹脂濃度の両方を同時に管理するようにした
ものである。すなわち、上記の目的を達成するために、
本発明の現像液管理装置は、図１に示すように、感光性
有機樹脂用アルカリ系現像液の溶解樹脂濃度を吸光光度
計１６により検出してアルカリ系現像液を排出する現像
液排出手段と、アルカリ系現像液の液面レベルを液面レ
ベル計３により検出してアルカリ系現像原液と純水とを
補給する第一補給手段と、アルカリ系現像液のアルカリ
濃度を導電率計１５により検出してアルカリ系現像原液
又は純水を補給する第二補給手段とを備えたことを特徴
としている。また、本発明の現像液管理装置は、第一補
給手段において、アルカリ系現像原液と純水とを補給す
る代わりに、図２に示すように、アルカリ系現像原液と
純水とを予め調合したアルカリ系現像新液を補給するよ
うにしたことを特徴としている。さらに、本発明の現像
液管理装置は、図３に示すように、感光性有機樹脂用ア
ルカリ系現像液の溶解樹脂濃度を吸光光度計１６により
検出してアルカリ系現像原液と純水とを補給する第三補
給手段と、アルカリ系現像液のアルカリ濃度を導電率計
１５により検出してアルカリ系現像原液又は純水を補給
する第二補給手段とを備えたことを特徴としている。ま
た、本発明の現像液管理装置は、図４に示すように、樹
脂用アルカリ系現像液の溶解樹脂濃度を吸光光度計１６
により検出して補給する第三補給手段において、アルカ
リ系現像原液と純水とを補給する代わりに、アルカリ系
現像原液と純水とを予め調合したアルカリ系現像新液を
補給するようにしたことを特徴としている。アルカリ系
現像原液としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウ
ム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウムなどの無機ア
ルカリの単独又は混合物からなる無機アルカリ水溶液
や、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド（Ｔ
ＭＡＨ）、トリメチルモノエタノールアンモニウムハイ
ドロオキサイド（コリン）などの有機アルカリ水溶液な
どが用いられる。

【０００７】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の好適な実施例
を詳細に説明する。ただし、この実施例に記載されてい
る構成機器の形状、その相対配置などは、とくに特定的
な記載がない限りは、本発明の範囲をそれらのみに限定
する趣旨のものではなく、単なる説明例にすぎない。図
１は、本発明の一実施例を示す装置系統図である。図中
の参照番号１〜１３は従来の既設の現像処理装置を構成
する機器である。すなわち、この従来の現像処理装置
は、アルカリ系現像液を貯留する現像処理槽１、オーバ
ーフロー槽２、液面レベル計３、現像室フード４、現像
液スプレー７、現像液スプレーへの送液ポンプ８、アル
カリ系現像液中の微細粒予等を除去するためのフィルタ
ー９、基板を配置して現像しつつ移動するローラーコン
ベア５、基板６、及びアルカリ系現像液の清浄化と攪拌
のための循環ポンプ１１、微細粒子除去用フィルター１
３、ならびにＮ_２、純水等の配管類などからなってい
る。

【０００８】本発明にもとづき上記現像処理装置に付設
される機器は、導電率計１５、吸光光度計１６、液排出
ポンプ１８、及び現像原液供給缶１９、アルカリ系現像
原液供給用の流量調節弁２１、純水供給用の流量調節弁
２２と、これら各機器を接続する配管類、電気計装類又
は空気計装類などである。現像処理槽１に貯留される液
量は、現像液スプレー７の所要量を供給できれば足りる
が、工程の安定上からは制御されることが必要である。
液面レベル計３は、現像処理中に基板に付着して系外に
持ち出されることで自然減量することによる液面レベル
低下を検出し、あるいは現像性能が劣化した液を強制排
出したときの液面レベル低下を検出し、現像処理槽１の
液量を一定範囲に管理する。ここで、劣化液は排出ポン
プ１８を作動することによりドレン用配管に流下する。
なお、劣化液をドレン用配管を経由せずに直接系外に抜
き出す場合もある。アルカリ系現像原液（例えば、ＴＭ
ＡＨ１５〜２０ｗｔ％水溶液、ＫＯＨ濃縮水溶液）の現
像原液供給缶１９は、配管２０からのＮ２ガスで例え
ば、１〜２ｋｇｆ／ｃｍ^２に加圧されており、原液流量
調節弁２１の開により圧送される。また、純水は既設配
管からの分岐管に通じており、純水流量調節弁２２の開
により送水される。このアルカリ系現像原液及び純水は
それぞれの弁を自動調節して送液され、管路２３で合流
して管路１２に連結し、循環流とともに混合されながら
現像処理槽１に入る。なお、アルカリ系現像原液と純水
とを合流させずに管路１２又は現像処理槽１に連結する
ことも可能である。しかし、図１に示すようにアルカリ
系現像原液と純水とを管路２３で合流させた後、循環管
路１２に連結するのが、十分な混合がなされるので望ま
しい。また、現像液スプレー用の管路１０にオンライン
で設置した導電率計１５と吸光光度計１６（例えば、両
器は一体構成）には、管路１４より試料液が導入されて
導電率、吸光度を連続測定し、測定済み液は管路１７よ
り管路１０に戻される。なお、導電率計１５と吸光光度
計１６とを別体として設置することも可能である。

【０００９】図２は、本発明の他の実施例を示す装置系
統図である。本実施例は、アルカリ系現像液の液面レベ
ルを液面レベル計３により検出してアルカリ系現像原液
と純水とを補給する代わりに、図２に示すように、アル
カリ系現像液の液面レベルを液面レベル計３により検出
してアルカリ系現像原液と純水とを予め混合して調合し
たアルカリ系現像新液を補給するように構成したもので
ある。２７は現像新液供給缶、２８は新液流量調節弁で
ある。他の構成は図１の場合と同様である。図３は、本
発明の他の実施例を示す装置系統図である。本実施例
は、樹脂用アルカリ系現像液の溶解樹脂濃度を吸光光度
計１６により検出してアルカリ系現像原液と純水とを補
給するように構成したものである。図３に示すように、
通常において、液面レベルはオーバーフロー用の堰の位
置付近にあり、アルカリ系現像原液又は純水が補給され
た場合は、オーバーフロー用の堰から劣化したアルカリ
系現像液がオーバーフローして自動排出される。なお、
排出ポンプ１８は必ずしも必要ではなく、排出ポンプ１
８の代わりに弁を設けてもよい。他の構成は図１の場合
と同様である。図４は、本発明の他の実施例を示す装置
系統図である。本実施例は、樹脂用アルカリ系現像液の
溶解樹脂濃度を吸光光度計１６により検出して補給する
第三補給手段において、アルカリ系現像原液と純水とを
補給する代わりに、図４に示すように、アルカリ系現像
原液と純水とを予め調合したアルカリ系現像新液を補給
するように構成したものである。他の構成は図３の場合
と同様である。

【００１０】次に、図１に示す実施例装置の制御系統に
ついて説明する。液面レベル計３と現像処理槽１の液面
レベル、導電率計１５と現像液アルカリ濃度、吸光光度
計１６と現像液溶解樹脂濃度の３者は本質的にはそれぞ
れ独立機能として作用するが、本発明においては、これ
らを相互の補完的な関連において機能させることを特徴
としている。また、はじめに製品基板の品質管理上で必
要なアルカリ系現像液のアルカリ濃度の目標値、溶解樹
脂濃度の劣化限界値などは、操業実績又は計算に基づ
き、予め各制御器に設定しておかねばならない。アルカ
リ系現像液のアルカリ濃度は、基板樹脂との反応、ある
いは空気中の炭酸ガス、酸素ガスの吸収、反応により低
下する。アルカリ濃度が低下するとともに、基板樹脂の
現像後の線幅が太く（あるいはスペースが狭く）変化
し、初期の設計値との差異を大きくして寸法精度不良の
現象を生ずる。その具体的な操業例を図５に示した。こ
のため、現像液アルカリ濃度は所定の目標値、例えばＴ
ＭＡＨの場合２．３８（±０．０２）ｗｔ％に管理する
必要がある。従来は、経験からの基板処理枚数との相関
又は化学分析等によって、アルカリ系現像液劣化の程度
を判定していたが、迅速かつ正確な把握が困難であっ
た。

【００１１】本発明者は、アルカリ系現像液のアルカリ
濃度と導電率の関係を実験により検討し、図６に示す如
く使用濃度付近においては、導電率に対してアルカリ濃
度が支配的で高度な直線相関をもって測定できることを
確認した。管路１０にオンラインで設置した導電率計１
５は、測定誤差を最小限とするための諸補償機能と導電
率制御器２５を備えている。管路１０から導入した試料
液の導電率測定値は、導電率制御器２５に入力して、そ
の値が目標値になるように、出力信号によりアルカリ系
現像原液又は純水を流量調節弁２１、２２により、それ
ぞれ自動制御してアルカリ濃度を目標値に調整するまで
補給する。現像性能の劣化は上述のアルカリ濃度による
ほか、溶解樹脂濃度も関与している。基板処理のアルカ
リ系現像液は送液ポンプ８により現像処理槽１から取り
出され、現像液スプレー７を経て循環使用されるため、
溶解樹脂がアルカリ系現像液中に漸次濃縮してくる。そ
の結果、図７に操業例として示すように、未露光部残膜
率の低下など現像性能を著しく劣化させるが、従来は、
この濃度変化をリアルタイムで測定し、現像性能を一定
値で管理することが行なわれていなかった。すなわち、
基板の処理枚数を劣化指標としたりしているが、基板の
形状や樹脂の塗布量及び露光部と未露光部との比率が一
定でないため、基板種類毎の溶解樹脂量も異なるので、
処理枚数を判定要因とすることには無理がある。

【００１２】本発明者は、アルカリ系現像液の樹脂汚染
状態の研究から、これを吸光度との関係において測定す
ることに着目し、実験により図８に示すような結果を得
た。図８に見る如く、溶解樹脂濃度と吸光度とはアルカ
リ濃度の影響なしに高度な直線関係にあり、基板処理枚
数とは無関係な溶解樹脂濃度自体による現像性能限界値
が判定可能となった。なお、樹脂溶解によってアルカリ
系現像液は茶褐色になるため、測定波長として、λ＝４
８０ｎｍを使用した。したがって、管路１０に導電率計
１５と一体又は別体で設置した吸光光度計１６が、アル
カリ系現像液の溶解樹脂濃度を連続測定して劣化限界値
を超えたことを検出し、吸光度制御器２６の出力信号に
より排出ポンプ１８が作動し、劣化したアルカリ系現像
液を現像処理槽１より抜き出してドレン管に廃棄する
か、または直接系外に廃棄する。その結果、減量した現
像処理槽１においては、直ちに液面レベル計３が下降し
た液面レベルを検出して新鮮なアルカリ系現像液が補給
され、溶解樹脂濃度は劣化限界値に希釈されることで現
像性能が回復し、排出ポンプ１８は停止する。ここで、
図１に示す実施例装置が意図した制御系統の機能的関連
について述べる。現像処理槽１が空の建浴時において
は、液面レベル計３が液面レベルを検出して、液面レベ
ル制御器２４の出力信号により、アルカリ系現像原液及
び純水を適正な流量比において、流量調節弁２１、２２
により弁開度を調節して送液される。ついで、導電率計
１５が建浴現像液の導電率を連続測定して、導電率制御
器２５の出力信号により、アルカリ系現像原液又は純水
を適正な微少流量において、流量調節弁２１又は２２に
より弁開度を調節して送液され、目標値のアルカリ濃度
になるよう自動制御される。

【００１３】次の現像処理が開始されると、アルカリ濃
度低下、基板の持ち出しによる液の減量及び溶解樹脂濃
縮が進行する。アルカリ濃度低下の場合は、導電率計１
５がアルカリ系現像液の導電率を連続測定して、導電率
制御器２５の出力信号によりアルカリ系現像原液を適正
な微少流量において、流量調節弁２１により弁開度を調
節して送液され、目標値のアルカリ濃度になるよう自動
制御される。基板の持ち出しによる液の減量の場合は、
液面レベル計３が下降した液面レベルを検出して、液面
レベル制御器２４の出力信号により、アルカリ系現像原
液及び純水を適正な流量比において、流量調節弁２１、
２２により弁開度を調節して送液される。溶解樹脂濃度
が濃縮されて劣化限界値に達した場合は、吸光光度計１
６が、アルカリ系現像液の溶解樹脂濃度を連続測定して
劣化限界値を超えたことを検出し、吸光度制御器２６の
出力信号により排出ポンプ１８が作動し、劣化したアル
カリ系現像液を現像処理槽１より抜き出してドレン管に
廃棄するか、または直接系外に廃棄する。その結果、液
面レベルが低下し、液面レベル計３が下降した液面レベ
ルを検出して、液面レベル制御器２４の出力信号によ
り、アルカリ系現像原液及び純水を適正な流量比におい
て、流量調節弁２１、２２により弁開度を調節して送液
される。新鮮なアルカリ系現像液が補給されるので、溶
解樹脂濃度は劣化限界値に希釈されることで現像性能が
回復し、排出ポンプ１８は停止する。液面レベル計３よ
り上部に、オーバーフロー用の堰が、通常ではオーバー
フローしない位置に設けてあるが、若干オーバーフロー
することがあってもよい。

【００１４】次に、図３に示す実施例装置が意図した制
御系統の機能的関連について述べる。現像処理槽１が空
の建浴時においては、手動操作により、アルカリ系現像
原液及び純水を適正な流量比において、流量調節弁２
１、２２により弁開度を調節して送液される。ついで、
導電率計１５が建浴アルカリ系現像液の導電率を連続測
定して、導電率制御器２５の出力信号により、アルカリ
系現像原液又は純水を適正な微少流量において、流量調
節弁２１又は２２により弁開度を調節して送液され、目
標値のアルカリ濃度になるよう自動制御される。次の現
像処理が開始されると、アルカリ濃度低下、基板の持ち
出しによる液の減量及び溶解樹脂濃縮が進行する。アル
カリ濃度低下の場合は、導電率計１５がアルカリ系現像
液の導電率を連続測定して、導電率制御器２５の出力信
号によりアルカリ系現像原液を適正な微少流量におい
て、流量調節弁２１により弁開度を調節して送液され、
目標値のアルカリ濃度になるよう自動制御される。基板
の持ち出しによる液の減量の場合は、液面レベルはオー
バーフロー用の堰の位置より若干低下する。溶解樹脂濃
度が濃縮されて劣化限界値に達した場合は、吸光光度計
１６が、アルカリ系現像液の溶解樹脂濃度を連続測定し
て劣化限界値を超えたことを検出し、吸光度制御器２６
の出力信号によりアルカリ系現像原液及び純水を、適正
な流量比において流量調節弁２１、２２により弁開度を
調節して送液される。新鮮なアルカリ系現像液が補給さ
れるので、溶解樹脂濃度は劣化限界値に希釈されること
で現像性能が回復する。液面レベルはオーバーフロー用
の堰の位置付近にあり、アルカリ系現像原液又は純水が
補給された場合は、オーバーフロー用の堰から劣化した
アルカリ系現像液がオーバーフローする。本発明者は、
以上のように各制御機能に基づく結果を相互補完的な関
連で運用することによって、総合的に現像性能の回復、
連続操業、およびアルカリ系現像液使用量の削減を容易
に実現することができることを実験により知見してい
る。

【００１５】次に、概念的理解のために、本発明と従来
法の操業パターンの効果の比較を図９〜図１２に示す。
従来法では、図１０に示すように、スタート時のアルカ
リ濃度が、例えば２．３８ｗｔ％で、このアルカリ濃度
が時間が経過するにつれて低下して、例えば２．２９ｗ
ｔ％で液交換を行なっていた。この場合、図１０に示す
ように、アルカリ濃度の経時変化は鋸歯状になり、アル
カリ濃度の変化幅が生じるので、現像性能が一定しなか
った。しかし、本発明の装置を用いれば、図９に示すよ
うに、アルカリ濃度は時間が経過しても、例えば２．３
８±０．０２ｗｔ％で一定であり、液交換作業も必要な
く、しかも現像性能が一定する。また、従来法では、図
１２に示すように、スタート時の溶解樹脂濃度（この時
の未露光部残膜率は、例えば９９％）が時間の経過とと
もに増加し、この濃度が所定の値（この時の未露光部残
膜率は、例えば９０％）になると、液交換を行なってい
た。この場合、図１２に示すように、溶解樹脂濃度の経
時変化は鋸歯状になり、溶解樹脂濃度の変化幅が生じる
ので、現像性能が一定しなかった。しかし、本発明の装
置を用いれば、図１１に示すように、溶解樹脂濃度はあ
る時間の経過後は一定となり、したがって未露光部残膜
率も低下することなく一定となり、液交換の必要もな
く、しかも現像性能を一定にすることができる。

【００１６】

【発明の効果】本発明は、上記のように構成されている
ので、つぎのような効果を奏する。 （１） 本発明を、液晶基板製造工程やプリント基板製
造工程などに適用することにより、アルカリ系現像液の
アルカリ濃度と溶解樹脂濃度を、リアルタイムで連続的
に監視することができ、所定濃度に一定に精度よく制御
することができる。そのため、現像後のレジストパター
ンを決定する線幅と残膜率を一定に制御することがで
き、製品の歩留りが大幅に向上する。また、アルカリ系
現像液のアルカリ濃度と溶解樹脂濃度を常時監視して所
望の目標値に制御し、かつ安定した液面レベルにおいて
長時間の連続操業を可能とする。 （２） アルカリ系現像液の品質を一定に制御すること
ができるので、基板の現像性能も安定化する。さらに、
所定濃度のアルカリ系現像液に比べてはるかに安価なア
ルカリ系現像原液を使用して、連続制御することによ
り、液交換のダウンタイムと無駄な廃棄が無くなり、液
使用量と現像液コストの大幅削減、稼動率の向上による
生産性の大幅な向上、無人化による労務コストの低減な
どが図れる。したがって、液晶基板製造工程に適用する
場合は、液使用量の大幅削減、また操業停止時間の減
少、労務及び現像液コスト等の低減という総合的効果も
達成できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す現像液管理装置の系統
図である。

【図２】本発明の他の実施例を示す現像液管理装置の系
統図である。

【図３】本発明の他の実施例を示す現像液管理装置の系
統図である。

【図４】本発明のさらに他の実施例を示す現像液管理装
置の系統図である。

【図５】アルカリ濃度と現像後樹脂の線幅との関係を示
す操業例のグラフである。

【図６】本発明に係わる導電率とアルカリ濃度との関係
を示す実施例のグラフである。

【図７】溶解樹脂濃度と未露光部残膜率との関係を示す
操業例のグラフである。

【図８】本発明に係わる吸光度と溶解樹脂濃度との関係
を示す実施例のグラフである。

【図９】本発明の装置を用いた場合におけるアルカリ濃
度と時間との関係を示すグラフである。

【図１０】従来法におけるアルカリ濃度と時間との関係
を示すグラフである。

【図１１】本発明の装置を用いた場合における溶解樹脂
濃度と時間との関係を示すグラフである。

【図１２】従来法における溶解樹脂濃度と時間との関係
を示すグラフである。

【符号の説明】

１ 現像処理槽 ３ 液面レベル計 ５ ローラーコンベア ６ 基板 ７ 現像液スプレー ８ 送液ポンプ １１ 循環ポンプ １５ 導電率計 １６ 吸光光度計 １８ 排出ポンプ １９ 現像原液供給缶 ２１ 原液流量調節弁 ２２ 純水流量調節弁 ２４ 液面レベル制御器 ２５ 導電率制御器 ２６ 吸光度制御器 ２７ 現像新液供給缶 ２８ 新液流量調節弁

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小川 修 東京都中央区日本橋小舟町５番１号 長 瀬産業株式会社内 (72)発明者 塩津 信一郎 兵庫県竜野市竜野町中井236 ナガセ電 子化学株式会社 兵庫工場内 (56)参考文献 特開 平３−30314（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−186265（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−107167（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−64792（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−131368（ＪＰ，Ａ)

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 感光性有機樹脂用アルカリ系現像液の溶
   解樹脂濃度を吸光光度計（１６）により検出してアルカ
   リ系現像液を排出する現像液排出手段と、アルカリ系現
   像液の液面レベルを液面レベル計（３）により検出して
   アルカリ系現像原液と純水とを補給する第一補給手段
   と、アルカリ系現像液のアルカリ濃度を導電率計（１
   ５）により検出してアルカリ系現像原液又は純水を補給
   する第二補給手段とを備えたことを特徴とする現像液管
   理装置。
2. 【請求項２】 第一補給手段において、アルカリ系現像
   原液と純水とを補給する代わりに、アルカリ系現像原液
   と純水とを予め調合したアルカリ系現像新液を補給する
   ようにしたことを特徴とする請求項１記載の現像液管理
   装置。
3. 【請求項３】 感光性有機樹脂用アルカリ系現像液の溶
   解樹脂濃度を吸光光度計（１６）により検出してアルカ
   リ系現像原液と純水とを補給する第三補給手段と、アル
   カリ系現像液のアルカリ濃度を導電率計（１５）により
   検出してアルカリ系現像原液又は純水を補給する第二補
   給手段とを備えたことを特徴とする現像液管理装置。
4. 【請求項４】 第三補給手段において、アルカリ系現像
   原液と純水とを補給する代わりに、アルカリ系現像原液
   と純水とを予め調合したアルカリ系現像新液を補給する
   ようにしたことを特徴とする請求項３記載の現像液管理
   装置。