JP6342017B2 - 弾性波素子とこれを用いたラダーフィルタ - Google Patents
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Description
本願は、2014年2月18日に出願された「弾性波素子とこれを用いたラダーフィルタ」との名称である同時係属中の、その全体がすべての目的のためにここに参照として組み入れられる特願2014−028059の米国特許法第119条及び特許協力条約第8条の利益を主張する。
Claims (20)
- 弾性波素子であって、
上面を有する圧電体と、
前記圧電体に配置されたインターディジタルトランスデューサ(IDT)電極と、
前記圧電体に配置されて前記IDT電極に電気接続された接続配線と、
前記接続配線の上に配置された補強電極と
を含み、
前記接続配線は、
下側接続配線と、
前記下側接続配線の上に配置された上側接続配線と、
前記上側接続配線及び前記下側接続配線を通って前記圧電体の上面に垂直な方向に延びるホール電極と
を含み、
前記上側接続配線における前記ホール電極の第1直径は、前記下側接続配線における前記ホール電極の第2直径よりも大きく、
前記補強電極は、前記ホール電極を介して前記下側接続配線に接触かつ電気接続される弾性波素子。 - 前記IDT電極は、
下側IDT電極と、
前記下側IDT電極の上に設けられた上側IDT電極と
を含み、
前記下側IDT電極の材料が前記下側接続配線の材料と同じであり、
前記上側IDT電極の材料が前記上側接続配線の材料と同じである請求項1の弾性波素子。 - 請求項1の弾性波素子を含むラダーフィルタ。
- 前記下側接続配線の材料が前記上側接続配線の材料とは異なる請求項1の弾性波素子。
- 前記下側接続配線の材料の酸素親和力が、前記上側接続配線の材料の酸素親和力よりも小さい請求項2の弾性波素子。
- 前記補強電極は、前記下側接続配線の上面に接触かつ電気接続される請求項1の弾性波素子。
- 前記上側接続配線は、前記圧電体の上面に垂直な方向の断面において前記補強電極によって第1上側接続配線及び第2上側接続配線に分断され、
前記第1上側接続配線と前記第2上側接続配線とは、前記補強電極を介して互いに電気接続される請求項4の弾性波素子。 - 前記下側接続配線は、前記圧電体の上面に垂直な方向の断面において前記補強電極によって第1下側接続配線及び第2下側接続配線に分断され、
前記第1下側接続配線と前記第2下側接続配線とは、前記補強電極を介して互いに電気接続される請求項5の弾性波素子。 - 前記接続配線は、前記上側接続配線及び前記下側接続配線の双方を含んで前記圧電体の上面に垂直な方向の断面において前記補強電極によって第1接続配線及び第2接続配線に分断され、
前記第1接続配線と前記第2接続配線とは、前記補強電極を介して互いに電気接続される請求項6の弾性波素子。 - 前記第1接続配線及び前記第2接続配線間において前記圧電体に配置された第3接続配線をさらに含み、
前記第3接続配線は絶縁層によって覆われ、
前記補強電極は前記絶縁層を超えるように延びる請求項9の弾性波素子。 - 弾性波素子であって、
上面を有する圧電体と、
前記圧電体に配置された第1インターディジタルトランスデューサ(IDT)電極と、
前記圧電体に配置された第2IDT電極と、
前記圧電体の上面に配置されて前記第1IDT電極及び前記第2IDT電極に電気接続された接続配線と、
前記接続配線の上に配置された補強電極と
を含み、
前記接続配線は、
下側接続配線と、
前記下側接続配線の上に配置された上側接続配線と、
前記上側接続配線及び前記下側接続配線を通って前記圧電体の上面に垂直な方向に延びるホール電極と
を含み、
前記ホール電極は、前記上側接続配線における第1直径と前記下側接続配線における第2直径とを含み、
前記第1直径は前記第2直径よりも大きく、
前記補強電極は、前記ホール電極を介して前記上側接続配線に接触かつ電気接続され、及び前記下側接続配線に接触かつ電気接続される弾性波素子。 - 前記下側接続配線は第1材料から形成され、
前記上側接続配線は第2材料から形成され、
前記第1材料の酸素親和力が前記第2材料の酸素親和力よりも小さい請求項11の弾性波素子。 - 前記接続配線は、前記上側接続配線及び前記下側接続配線の双方を含んで前記圧電体の上面に垂直な方向の断面において前記補強電極によって第1接続配線及び第2接続配線に分断され、
前記第1接続配線と前記第2接続配線とは、前記補強電極を介して互いに電気接続される請求項11の弾性波素子。 - 前記第1接続配線及び前記第2接続配線間において前記圧電体に配置された第3接続配線をさらに含み、
前記第3接続配線は絶縁層によって覆われ、
前記補強電極は前記絶縁層を超えるように延びる請求項13の弾性波素子。 - 請求項11の弾性波素子を含むラダーフィルタ。
- 弾性波素子であって、
上面を有する圧電体と、
前記圧電体に配置されたインターディジタルトランスデューサ(IDT)電極と、
前記圧電体に配置されて前記IDT電極に電気接続された接続配線と、
前記接続配線の上に配置された補強電極と
を含み、
前記接続配線は、
下側接続配線と、
前記下側接続配線に配置された上側接続配線と
を含み、
前記補強電極は、前記下側接続配線の上面に接触かつ電気接続され、
前記上側接続配線は、前記圧電体の上面に垂直な方向の断面において前記補強電極によって第1上側接続配線及び第2上側接続配線に分断され、
前記第1上側接続配線と前記第2上側接続配線とは、前記補強電極を介して互いに電気接続される弾性波素子。 - 前記下側接続配線は、前記圧電体の上面に垂直な方向の断面において前記補強電極によって第1下側接続配線及び第2下側接続配線に分断され、
前記第1下側接続配線と前記第2下側接続配線とは、前記補強電極を介して互いに電気接続される請求項16の弾性波素子。 - 前記第1下側接続配線及び前記第2下側接続配線間においてかつ前記第1上側接続配線及び前記第2上側接続配線間において前記圧電体に配置された付加接続配線をさらに含み、
前記付加接続配線は絶縁層によって覆われ、
前記補強電極は前記絶縁層を超えるように延びる請求項17の弾性波素子。 - 前記接続配線は、前記圧電体の上面に垂直な方向に延びるホール電極を含み、
前記補強電極は、前記ホール電極を介して前記下側接続配線に電気接続される請求項16の弾性波素子。 - 前記ホール電極は前記上側接続配線及び前記下側接続配線を通って延び、
前記上側接続配線における前記ホール電極の第1直径が、前記下側接続配線における前記ホール電極の第2直径よりも大きい請求項19の弾性波素子。
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