JP5852132B2

JP5852132B2 - 電子音響共振器

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Publication number: JP5852132B2
Application number: JP2013545156A
Authority: JP
Inventors: ウォルフガングザウアー，
Original assignee: Epcos AG
Current assignee: TDK Electronics AG
Priority date: 2010-12-22
Filing date: 2011-12-02
Publication date: 2016-02-03
Anticipated expiration: 2031-12-02
Also published as: DE102010055628A1; WO2012084460A1; DE102010055628B4; JP2014502809A

Description

本発明は電子音響共振器に関する。

電子音響共振器は１つの圧電層と２つの電極を有し、この２つの電極は例えば前記圧電層の表面上に配置されている。この２つの電極はそれぞれ複数の電極フィンガーを有し、これらの電極フィンガーは電極のバスバー片（Sammelelektrodenabschnitt）に接続されており、このバスバー片を介して、時間に依存した電気ポテンシャルが電極フィンガーに印加される。２つの電極の電極フィンガーは互いに櫛状に噛み合っている。櫛状に互いに噛みあった電極の外側で両側に、それぞれ反射器が境界を接しており、これらの反射器は、共通の接続部を有する、複数の（ただし両側で接続されている）同様な電極フィンガーから形成されている。１つの電極の電極フィンガーは、しかしながら一方の端部でのみ電気的に接続されており、もう一方の端部は他の電極の電極フィンガーによって囲まれている。

このような構造の電子音響共振器は、インターデジタル変換器（ＩＤＴ；Interdigital transducer）と呼ばれている。高周波数の交流電圧（おおよそ１００ＭＨｚから数ＧＨｚの範囲）によって、高周波の定在波が圧電層に形成され、この定在波の大部分は、ＳＡＷ（surface acoustic wave）素子の場合のように表面波の形で形成され、あるいはＢＡＷ（bulk acoustic wave）素子またはＧＢＡＷ（guided bulk acoustic wave）素子の場合のように、体積波の形で形成される。

本出願は重み付けされた共振器、とりわけ重ね合わせで重み付けされた共振器に関する。すなわち電極フィンガーは全長（およびその長さの一定の部分を超えない）に渡ってそれぞれ他の電極の隣接する電極フィンガーの間の隙間に導入されるのでなく、異なる深さで互いに噛みあっている。両電極のバスバー片の間の全共振面積の一部を見ると、それぞれの電極は局所的に交互に並んだ短い電極フィンガーと長い電極フィンガーを有している。短い電極フィンガーは、重ね合わせ領域の外縁あるいは開始部までのみ延伸されている。短い電極フィンガーの間には長い電極フィンガーが重ね合わせ領域に向かって突出し、この重ね合わせ領域を通過している。重み付けされた共振器の重ね合わせ領域は、延伸する電極フィンガーに沿って測った場合、共振器の外縁にある。すなわち両方の反射器に最も近接し、両電極のバスバー片の間の中央付近には僅かな部分を有している。これに対し両反射器の間の中央部では、重ね合わせ領域が最大となり、実質的に両バスバー片の間隔全部を占めている。このように、重ね合わせ領域は、共振器の中央部に向かって拡大されている。

このように重ね合わせで重み付けされた共振器の欠点は、その外縁部に向かって、電極フィンガーに沿って重ね合わせ領域に至るまでの導電路長が次第に増大することである。これらの導電路長を介して、接続された電極への電荷が、とにかく固体における定在波の発生に寄与する重ね合わせ領域に到達する前に、輸送されなければならない。上記の点は、局所的に見て短い電極フィンガーに対してのみ適用されるものでなく、重ね合わせ領域を通過する長い電極フィンガーに対しても同様に適用される。励起周波数として例えば２ＧＨｚが印加される電極フィンガーは、例えば５００ｎｍの幅と１００から２００ｎｍの高さを有する。電極フィンガーの電気的抵抗によって共振器で損失が発生するが、この損失は他の損失（固体中の弾性損失等）に加算され、共振器のＱ値を低減する。これらの損失は広い帯域、すなわち大きな周波数領域を有する。このような供給電流による損失は、電極フィンガーの断面の大きさが小さいほど大きくなる。このため、重ね合わせで重み付けされた共振器のＱ値を高くすることが望ましい。

このため、本出願は第１および第２の電極を有する電子音響共振器を提供し、これらの電極はそれぞれバスバー片（Sammelelektrodenabschnitt）と複数の電極フィンガーとを備え、
これらの電極フィンガーは第１の方向に沿って並べられており、各々の電極バスバー片に接続され、第１の方向に対し横方向となる第２の方向に沿って延在し、
共振器は、重ね合わせで重み付けされた共振器であって、この共振器において、第２の方向に沿って測った重ね合わせ領域の幅が第１の方向に沿って変化し、この重ね合わせ領域で第１および第２の電極の電極フィンガーが互いに噛みあっており、
共振器は、各々の第１および第２の電極の電極フィンガーの間に導電ブリッジを備え、この導電ブリッジはそれぞれバスバー片から離れた同一の電極の複数の電極フィンガーを、互いに導通するように接続されており、
各々の導電ブリッジ（３）は、第１の電極（１１）の１つおきに隣接する２つの電極フィンガー（１ａ，１ｃ，１ｅ，．．．）または第２の電極（１２）の１つおきに隣接する２つの電極フィンガー（２ｂ，２ｄ．．．）を互いに短絡し、これらの各々の導電ブリッジ（３）は第１の電極（１１）の１つおきに隣接する２つの電極フィンガー（１ａ，１ｃ，１ｅ，．．．）の間に設けられた中間電極フィンガー（１ｂ，１ｄ，．．．）または第２の電極（１２）の１つおきに隣接する２つの電極フィンガー（２ｂ，２ｄ．．．）の間に設けられた中間電極フィンガーを通過する。

このように、本共振器によれば、全ての電極の電極フィンガーの間に導電性の追加の接続部品が設けられ、電極フィンガーを互いに短絡している。これらの導電ブリッジは、好ましくは重ね合わせ領域の外縁部で、各々の電極のバスバー片から離れて配置される。したがって、導電ブリッジの位置は共振器の重ね合わせ領域の外縁を辿り、これに対応して共振器の外縁部（反射器の付近であり、おおよそ両電極の間の中央部）に配置されており、これに対して共振器の中央部では、両電極のバスバー片に比較的近接して配置されている。ここで提案されている導電ブリッジは、電極フィンガーに対し横方向または少なくとも斜行する方向の追加の導電路片であり、重ね合わせ領域の各々の外縁部に沿ってバランス電流が直接流れることを可能とするが、同一の電極の電極フィンガー間のみである。これらのバランス電流は、供給電流によって反射器の付近で急激に増大する損失を低減し、これにより共振器のＱ値を改善する。ここで提案した導電ブリッジは、好ましくは電極と同一の面に、これらの電極フィンガー自体と共に配置されてよく、これにより既に両電極の金属層のパターニングのパターンの一部として見做されてよい。しかしながら（ここで提案された導電ブリッジにかかわらず）、共振器面内においてフィンガー状の構造が維持されている。これは、この導電ブリッジが、電極フィンガーを局所的にのみ、すなわち電極フィンガーの極めて小さな長さの部分で、これらを互いに短絡しているからである。

幾つかの実施形態例について、図を参照して以下に説明する。
従来の圧電共振器の上面概略図である。導電ブリッジを有する共振器の実施形態の拡大詳細図である。導電ブリッジを有する共振器の実施形態の拡大詳細図である。導電ブリッジを有する共振器の実施形態の拡大詳細図である。導電ブリッジを有する共振器の実施形態の拡大詳細図である。導電ブリッジを有する共振器の実施形態の拡大詳細図である。導電ブリッジを有する共振器の実施形態の拡大詳細図である。図２Ａ〜２Ｆの実施形態に基づく共振器の全体図である。図２Ａ〜２Ｆの実施形態に基づく共振器の全体図である。図２Ａ〜２Ｆの実施形態に基づく共振器の全体図である。図２Ａ〜２Ｆの実施形態に基づく共振器の全体図である。圧電共振器の概略断面図である。追加の層を有する圧電共振器の概略断面図である。共振器のアドミッタンスＹの共振器で発生した波の周波数ｆへの依存性を示す図である。反射係数Ｓの振る舞いを示す図である。共振器のＱ値を、導電ブリッジを有する、あるいは有しない共振器に対する共振器のＱ値を示すために測定されたパラメータの表形式リストで示す図である。

図１は、従来の圧電共振器１０の導電路面２５の概略上面図を示すが、対称的な構造のため半分（左側）のみ表示されている。２つの反射器２３および２４（図４Ａおよび４Ｂ参照）の間には、２つの電極１１，１２の配列が延在しており、これらの電極はそれぞれバスバー部２１あるいは２２、およびこれらと接続された複数の電極フィンガー１，２を備える。本共振器は重ね合わせで重み付けされている。すなわち重ね合わせ領域２０で、両電極の電極フィンガー１，２が櫛状に互いに噛み合い、すなわち重なり合っており、この重ね合わせ領域２０は、２つの外縁部Ｒの間にのみ延在し、この２つの外縁部は反射器２３，２４に向けて次第に近づいてゆく。共振器の中央部（図１に示す部分図の右側）では、重ね合わせ領域２０の幅２０が最大となっている。重ね合わせ領域の内側でのみ、第１の電極１１および第２の電極１２の電極フィンガー１，２は対向した側から互いに噛み合っている。重ね合わせ領域の外側のそれぞれの側においては、しかしながら両電極１１，１２のいずれかの電極フィンガーのみが配置されている。

図２Ａ〜２Ｆは、共振器の実施形態の拡大詳細図を示し、これらにおいては電極フィンガーに対して横方向に延在する導電ブリッジが設けられている。図示されている拡大部分図は下側の外縁部Ｒの領域であり、この上側で重ね合わせ領域２０が開始される。さらに、図２Ａおよび２Ｃには、下側の第１の電極１１のバスバー片（Sammelelektrodenabschnitt）２１の部分が例示されている。これらの電極フィンガー１ａ〜１ｄは、重ね合わせ領域２０の外縁部Ｒまで延伸しており、第１の電極１１の１つおきの電極フィンガー１ａ，１ｃは重ね合わせ領域２０に導入されている。第１の電極１１のその他の短い電極フィンガー１ｂ，１ｄの終端は、重ね合わせ領域２０の外側となっている。これらに対応して重ね合わせ領域２０には、第２の電極１２の電極フィンガー２ｂ，２ｄが設けられている。図２Ａ〜２Ｆには、第２の電極１２の電極フィンガーが斜線で示されている。図２Ａによれば、重ね合わせ領域２０の外縁部Ｒに沿って導電ブリッジ３（あるいは短いジャンパ導体）が設けられ、第１の電極の隣り合う電極フィンガーが導通するように互いに接続し、好ましくは電極フィンガーに垂直に延在する。このような導電ブリッジは重ね合わせ領域２０の両外縁部Ｒに沿って設けられている。なお、（図示しないが）対応する第２の電極１２の電極フィンガーを互いに接続する導電ブリッジは、重ね合わせ領域の上方の他の外縁部Ｒに沿って設けられている。

図２Ａの実施形態によれば、各々の導電ブリッジ３は２つの互いに隣接する電極フィンガー（同一の電極）を接続している。図２Ｂは１つの実施形態を示すが、図３Ａにさらにこの全体図が示されている。ここでは各々の導電ブリッジ３は、それぞれの電極の１つおきに隣接した２つの（長い）導電ブリッジを接続している。具体的には、図２Ｂでは電極フィンガー１ａと１ｃが接続され、また１ｃと１ｅが接続されている。このようにして導電ブリッジ３は、間に配置された短い電極フィンガー１ｂおよび１ｄを、対応した第２の電極１２の長い電極フィンガー２ｂ，２ｄから分離し、重ね合わせ領域２０を横切っている。横方向に延在する導電ブリッジ３は、両電極１１，１２の縦方向位置までのみ設けられているが、反射器２３および２４の領域には設けられていない（図３Ａおよび４参照）。

図２Ｃによる実施形態では、各々の導電ブリッジ３は、さらに中間部の短い電極フィンガー１ｂおよび１ｄを、隣接する長い電極フィンガーに接続している。他の部分についても導電路面２５内の導電パターンの構造および経路は図２Ｂのそれぞれと同様である。図２Ｄは１つの実施形態を示すが、図３Ｂにさらにこの全体図が示されている。ここでは、導電ブリッジ３に加えてさらに導電路片５が設けられており、この導電路片は第１の電極にも第２の電極にも接続されていない。これにより、電極フィンガーの終端での電気的な印加ピークすなわち電圧最大値が低減される。しかしながら、（図２Ｂのように）導電ブリッジ３は、それぞれの電極の１つおきに隣接した２つの長い電極フィンガーを互いに接続する。図３Ｂに示すように、導電路片５は、重ね合わせ領域２０の両外縁部Ｒに沿って配置されている。

図２Ｅは１つの実施形態を示すが、図３Ｃにさらにこの全体図が示されている。ここでは図２Ｄとは対称的に、導電路片５に対応したパターンは導電ブリッジ３と導通するように接続される。このように、電極フィンガー延伸部７（すなわち追加の小さな中間フィンガー）が構成され、短い電極フィンガー１ｂ，１ｄの縦方向位置に配置される。それぞれの導電ブリッジ３はこれらを超えてさらに延伸している。図２Ｆは１つの実施形態例を示すが、図３Ｄにさらにこの全体図が示されている。ここでは、導電ブリッジ３は１つおきに隣接する長い電極フィンガー１ａと１ｃおよびそれぞれの電極フィンガー延伸部７を接続するだけでなく、さらに（図２Ｅとは対照的に）短い電極フィンガー１ｂをも接続している。

単なる例示である、全てのこれらの実施形態例により、導電ブリッジは、重ね合わせ領域２０の外縁部Ｒに沿って、損失の少ない電位平衡を可能とする。これは導通抵抗に起因する損失が低減されるためであり、共振器のＱ値が改善されるからである。特に両反射器の付近では、重ね合わせ領域２０の外縁部Ｒのバスバー片２１，２２からの距離が最大となり、導電ブリッジ３は重ね合わせ領域２０への電位注入を効果的に加速することを可能とする。

図３Ａ〜３Ｄに示す全体図は、既に図２Ａ〜２Ｆで説明している。図３Ｄには、しかしながら、さらに追加の特徴および要素が図示されている。これらについて以下に述べる。

図３Ｄには、電極のバスバー片２１，２２の、両電極１１，１２の電極フィンガー１，２への移行部分における概略形状がより正確に示されている。なお、ここではそれぞれの電極フィンガーが、これに関係するバスバー片２１，２２すなわちバスバー片から出発し、また直接バスバー片に接続されている。バスバー（Sammelelektrode）およびこれに接続された電極フィンガーは、このようにして切断されていない、連続した櫛状のパターン（例えば、導電路面２５におけるパターニングされた金属層、合金層または積層金属層であり、これらの上面図が図３Ｄに示されている）を構成する。図１，２Ａ〜２Ｆおよび３Ａ〜３Ｅにおいても、（概略的に表示された）バスバーと電極フィンガーの間の移行部は図３Ｄと同様に構成されている。図３Ｄには、完全を期すために、両電極の接続端子８，９が示されている。これらの接続端子は任意の他の場所に導入され、他の形状であってもよい。図３Ｄは単にこの両接続端子８，９の存在を示すものである。さらに図３Ｄには座標軸が記載されており、電極フィンガー１，２は、（他の既に説明した図と同様に）第１の方向ｘに沿って揃えられ、この第１の方向ｘに対し横方向となる第２の方向ｙに沿って延伸している。

導電ブリッジは必ずしも導電路面２５内に延在する必要はなく、その上方または下方に配置されてよい。電極フィンガーからビアまたは他の接触部が更に高い面または更に深い面に導出され、ここに導電ブリッジが配置される。図３Ｄは更に、第２の方向ｙに沿って、両外縁部Ｒの間に延在する重ね合わせ領域２０が共振器面Ｆよりも、すなわち両電極のバスバー片２１，２２の間隔よりも、狭くなることを示している。ｙ方向に沿って計った重ね合わせ領域２０の拡がりまたは幅は、とりわけ反射器２３，２４付近で減少する。ここで提案する電極フィンガーの間の導電路ブリッジすなわち中間接続部は、共振器特性を改善する。なお、本出願の実施形態においては、図示された１つの導電ブリッジに替えて複数の導電ブリッジを設けてもよく、特に２つの近接して配設された導電ブリッジ１組を設けてもよい。

図４Ａは圧電共振器１０の断面を単に概略的に示すものであって、この導電路面２５は図１，２Ａ〜２Ｆおよび３Ａ〜３Ｄの上面図に示されている。導電路面２５の下方には圧電層が配置され、この上面に両電極１１，１２および両反射器２３，２４がパターニングされている。

図４Ｂは圧電共振器１０の断面を単に概略的に示すものであって、この導電路面２５は図１，２Ａ〜２Ｆおよび３Ａ〜３Ｄの上面図に示されている。この共振器は図４Ａと同様に概略を示すものであるが、ただしここでは導電路面の上に更に１つまたは複数の誘電層２６および／または２７が取り付けられている。層２６および／または２７は、温度補償の目的および／または製造時の周波数状態のバラつきの補正の目的で、後で除去／トリミングが適用される。ここでもまた寸法は必ずしも正確ではない。

導電路面を覆う、温度補償のための誘電層２６に適した材質としては、その熱的特性のために例えばＳｉＯ２がある。その上に配設されるトリミング層２７の材質としては、その大きな曲げ強度のために例えばＳｉ３Ｎ４が用いられる。

図５は、共振器で発生された波（好ましくは表面波、代替として体積波）の周波数に依存したアドミッタンスＹ、すなわち共振器の複素コンダクタンスを示す。実部と虚部およびアドミッタンスの大きさが重ね合わせて図５に示されている。約１９７０ＭＨｚの周波数で共振となり、これに対し約２１１０ＭＨｚで***振となる。

図５には更に上側にサブピークが認められるが、これは他の好ましくない効果に関するものである。ただし、これは共振と***振の間の利用可能な波長領域の外にある。図５には、導電ブリッジのない従来の共振器のアドミッタンス（曲線Ｉ）、および追加の導電路ブリッジ３を有する本発明の共振器のアドミッタンス
（曲線ＩＩ）がそれぞれ示されている。縦軸は対数表示されており、実部と虚部お
よびアドミッタンスＹ（ｆ）の大きさが周波数［ＭＨｚ］に対して対数表示［ｄＢ］されている。

図５で上側に認められるように、約２０３０〜２１１０ＭＨｚの範囲でアドミッタンスの実部は従来の共振器に対し（すなわち曲線Ｉに対し）低下し、共振器
のＱ値が改善している。その他、図５の下側でアドミッタンスＹの大きさから分かるように、２１１０ＭＨｚの極小値は更に小さくなっている。ここでは***振の両側は急激に降下しており、曲線Ｉより小さな極小値に到達している。ここで
も導電ブリッジを備えた共振器の改善されたＱ値（曲線ＩＩ）が認められる。アド
ミッタンスＹの虚部に対応して、***振周波数は多少低下しているが、ほんの僅かである。

図６は、スミスチャートに、共振器アドミッタンスＹ（ｆ）と測定ポートの標準アドミッタンスＺ０＝５０オームとから計算された分散パラメータ（Ｓパラメータ）

Ｓ（ｆ）＝（１−Ｚ０＊Ｙ（ｆ））／（１＋Ｚ０＊Ｙ（ｆ））

を周波数の関数として示している。図５に１９００ＭＨｚ〜２３００ＭＨｚで示されたアドミッタンス関数Ｙ（ｆ）に対応して、図６に示されたＳパラメータＩ
またはＩＩはスミスチャートを時計方向に通行する。左側の実軸との交点は共振周
波数に対応し、右側の実軸との交点は***振周波数に対応する。ここで共振と***振の間の有用な領域（図６の虚軸上側の半面）は、改善された共振器（曲線ＩＩ
）の場合には図６での略半円形状の軌道は、曲線Ｉよりも大きな半径（あるいは
半径１で示された円の中心点からの距離）を有する。分散パラメータＳ（ｆ）は、本発明の共振器では更に外側の遠い領域、すなわち単位円の付近に存在し、従って損失がより小さくなっている。とりわけ電極フィンガーの間の導電ブリッジは、共振周波数から***振周波数以上までの周波数領域における損失を低減する。接触端子あるいは電極フィンガー延伸部７（図２Ｄ〜２Ｆ）を有しない、追加の導電路片５によって、更に***振が生じる周波数の低下を妨げることができる。虚軸下側の半面（すなわち技術的に有用な周波数領域の外側）には、例えばフィンガー格子（Fingergitter）の音響阻止帯域の上側の帯域端部の寄生効果および体積放射（すなわち体積波の形成）の使用の増加などから生じる異常が認められる。

このように本出願は、電子音響的に重みづけされ、改善されたＱ値のインターデジタル変換器（ＩＤＴ）を提供するものである。図７には、共振器Ｑ値を示すためのパラメータを、導電ブリッジのない４つの共振器（１〜４）と導電ブリッジを有する４つの共振器（５〜８）のそれぞれに対して表形式でまとめたものである。共振の場合（短絡Ｑ値、quality short）の共振Ｑ値Ｑｓと***振の場合（開放Ｑ値、quality open）の共振Ｑ値および平均Ｑ値Ｑｔ＝０．５（Ｑｏ＋Ｑｓ）が記載されている。更に共振の周波数（ｆｓ）と***振の周波数（ｆｏ）がＭＨｚで表示されている。共振器５〜８の数値（これらは図５および６の曲線ＩＩ
に対応する。）と共振器１〜４の数値（これらは図５および６の曲線Ｉに対応す
る。）との比較で、電極フィンガーの間の導電ブリッジによって***振のＱ値Ｑｏが約２０パーセント高くなっていることが分かる。図７の最後から２つ目の列には、更にポールゼロ距離ＰＺＤ（pole-zero-distance）が、

ＰＺＤ＝（ｆｏ−ｆｓ）／（０．５×（ｆｏ＋ｆｓ））

に基づいて記載されており、これは導電ブリッジによって、約７パーセントから約６．８パーセントに、僅かにのみ低減されている。共振器Ｑ値のさらなる指標として、図７の最後の列には、更なるＱ値パラメータとして「性能指数」が（ＦｏＭ＝ＰＺＤ×Ｑｔ）に基づいて記載されている。ここには共振器５〜８の場合に、約１０パーセントの増加およびこれによる改善が示されている。

その他、導電ブリッジ３，導電路片５および／または電極フィンガー延伸部７の幅および／または長さを変化させてもよく、特に電極フィンガーの幅および／または長さから外れるように小さくあるいは大きくしてもよい。

導電ブリッジ３はこのようにして直列共振から***振以上の周波数領域で発生する損失を低減する。このようにして、改善された共振器は、例えば圧電フィルターまたはデュプレクサ素子に用いることができる。

１，１ａ，１ｂ．．．：第１の電極の電極フィンガー
２，２ａ，２ｂ．．．：第２の電極の電極フィンガー
３：導電ブリッジ
５：導電路片
７：電極フィンガー延伸部
８，９：接触端子
１０：共振器
１１：第１の電極
１２：第２の電極
２０：重ね合わせ領域
２１，２２：バスバー片
２３，２４：反射器
２５：導電路面
Ｆ：共振器面
ｆｏ： ***振周波数
ｆｓ：共振周波数
ＰＺＤ：共振−***振距離
Ｒ：外縁部
Ｑｏ： ***振Ｑ値
Ｑｓ：共振Ｑ値
Ｑｔ：平均Ｑ値
ｘ：第１の方向
ｙ：第２の方向

Claims

第１および第２の電極（１１，１２）を有する電子音響共振器（１０）であって、
前記第１および第２の電極（１１，１２）は、それぞれバスバー片（２１，２２）と、複数の電極フィンガー（１，２）とを備え、
前記電極フィンガー（１，２）は、第１の方向（ｘ）に沿って並べられており、それぞれの前記第１および第２の電極（１１，１２）の前記電極バスバー片（２１，２２）に導通するように接続され、前記第１の方向（ｘ）に対し横方向となる第２の方向（ｙ）に沿って延在し、
前記共振器（１０）は、重ね合わせで重み付けされた共振器であって、当該共振器において、前記第２の方向（ｙ）に沿って測った重ね合わせ領域（２０）の幅が前記第１の方向（ｘ）に沿って変化し、当該重ね合わせ領域で両電極（１１，１２）の前記電極フィンガー（１，２）が互いに噛みあっており、
前記共振器（１０）は、各々の前記第１および第２の電極（１１，１２）の前記電極フィンガー（１，２）の間に導電ブリッジ（３）を備え、当該導電ブリッジはそれぞれ前記バスバー片（２１，２２）から離れた前記第１または前記第２の電極（１１，１２）の同一の電極の複数の電極フィンガーを、互いに導通するように接続されており、
各々の導電ブリッジ（３）は、前記第１の電極（１１）の１つおきに隣接する２つの電極フィンガー（１ａ，１ｃ，１ｅ，．．．）または前記第２の電極（１２）の１つおきに隣接する２つの電極フィンガー（２ｂ，２ｄ．．．）を互いに短絡し、当該各々の導電ブリッジ（３）は前記第１の電極（１１）の１つおきに隣接する２つの電極フィンガー（１ａ，１ｃ，１ｅ，．．．）の間に設けられた中間電極フィンガー（１ｂ，１ｄ，．．．）または前記第２の電極（１２）の１つおきに隣接する２つの電極フィンガー（２ｂ，２ｄ．．．）の間に設けられた中間電極フィンガーを通過する、
ことを特徴とする共振器。
請求項１に記載の共振器において、
各々の前記電極フィンガー（１，２）の前記導電ブリッジ（３）は、前記重ね合わせ領域（２０）のそれぞれの前記電極フィンガー（１，２）に対向した外縁部（Ｒ)の前記バスバー片（２１，２２）に沿って配置されていることを特徴とする共振器。
請求項１または２に記載の共振器において、
各々の前記電極フィンガー（１，２）の前記導電ブリッジ（３）は、前記バスバー片（２１，２２）から距離を置いて配置されており、前記距離はそれぞれの前記導電ブリッジ（３）と前記バスバー片（２１，２２）との間で前記第１の方向（ｘ）に沿って変化することを特徴とする共振器。
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の共振器において、
前記導電ブリッジ（３）の間で、前記中間電極（１ｂ）に到達する、前記第２の電極（１２）の電極フィンガー（２ｂ）の縦方向位置に、導電路片（５）が設けられ、前記第１の電極（１１）にも前記第２の電極（１２）にも接続されていないことを特徴とする共振器。
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の共振器において、
各々の導電ブリッジ（３）にはそれぞれ電極フィンガー延伸部（７）が接続されており、前記電極フィンガー延伸部は、前記中間電極フィンガー（１ｂ）の縦方向位置で、前記導電ブリッジ（３）から出発して前記第２の電極（１２）に向けて延在することを特徴とする共振器。
請求項４または５に記載の共振器において、
前記導電路片（５）および／または前記電極フィンガー延伸部（７）は長さを有し、前記長さは一定に設定されるか、あるいは共振器面（Ｆ)内で前記導電路片（５）および／または前記電極フィンガー延伸部（７）の位置で前記第１の方向（ｘ）に沿って変化することを特徴とする共振器。
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の共振器において、
前記電極フィンガー（１，２）の間にそれぞれ１つ以上の導電ブリッジ（３）が設けられ、前記導電ブリッジ（３）は前記第２の方向（ｙ）に沿って、大きさおよび／または相互の距離を有し、前記第１の方向（ｘ）に沿った前記電極フィンガー（１，２）の幅以上であることを特徴とする共振器。