JP5413160B2 - 弾性波装置 - Google Patents
弾性波装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5413160B2 JP5413160B2 JP2009274431A JP2009274431A JP5413160B2 JP 5413160 B2 JP5413160 B2 JP 5413160B2 JP 2009274431 A JP2009274431 A JP 2009274431A JP 2009274431 A JP2009274431 A JP 2009274431A JP 5413160 B2 JP5413160 B2 JP 5413160B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- piezoelectric substrate
- acoustic wave
- idt
- wave device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
2…IDT電極
3…第1のくし歯電極
3a…電極指
3b…バスバー
4…第2のくし歯電極
4a…電極指
5…入力端子
6…出力端子
7…第1の放電誘発電極
8…第2の放電誘発電極
9…第1の放電誘発電極の第1の電極
9a…電極指
10…第1の放電誘発電極の第2の電極
10a…電極指
11…圧電基板
11a…金属拡散層
12,13…第1,第2の電極層
12a…電極指
14,15…第1,第2の電極層
16…絶縁層
19…第2の放電誘発電極の第1の電極
19a…電極指
20…第2の放電誘発電極の第2の電極
20a…電極指
21…バリア層
30…グラウンド端子
G1,G2…ギャップ
R1,R2…抵抗値
Claims (10)
- 圧電基板と、圧電基板上に形成されており、異なる電位に接続される複数の電極を有するIDT電極とを備え、前記IDT電極により弾性波素子が構成されており、該弾性波素子の入力端子と出力端子と、グラウンド電位に接続される端子とを備える弾性波装置であって、
前記入力端子または出力端子の少なくとも一方の端子と前記グラウンド電位に接続される端子との間に接続されており、かつ前記圧電基板上において、ギャップを隔てて配置された第1,第2の電極を有する放電誘発電極をさらに備え、該放電誘発電極が設けられている領域において前記圧電基板表面に金属拡散層が形成されており、
前記金属拡散層が設けられている部分における圧電基板の表面抵抗値が、前記弾性波素子のIDT電極を含む電極が形成されている部分における圧電基板の表面抵抗値よりも小さい、弾性波装置。 - 前記放電誘発電極の前記圧電基板と接している部分の電極構成金属が前記圧電基板に拡散されて前記金属拡散層が形成されている、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記第1,第2の電極がそれぞれくし歯電極であり、第1,第2のくし歯電極が複数本の電極指を有し、放電誘発電極における隣り合う第1,第2の電極間抵抗が、前記IDT電極の異なる電位に接続される電極間抵抗よりも小さい、請求項1または2に記載の弾性波装置。
- 前記放電誘発電極の第1,第2の電極間のギャップのうちの最小のギャップが、前記IDT電極における異なる電位に接続される電極間のギャップのうちの最小のギャップよりも大きくされている、請求項3に記載の弾性波装置。
- 前記弾性波素子が構成されている領域において、前記IDT電極と前記圧電基板との間に絶縁物または半導体からなるバリア層が形成されている、請求項1〜4のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記IDT電極の前記圧電基板と接する部分の電極構成金属と、前記放電誘発電極の前記圧電基板に接している電極構成金属が同一である、請求項5に記載の弾性波装置。
- 前記IDT電極の前記圧電基板と接する部分の電極構成金属と、前記放電誘発電極の前記圧電基板に接している電極構成金属が異なる、請求項1〜4のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記IDT電極の前記圧電基板に接している部分の電極構成金属の圧電基板への拡散係数よりも、前記放電誘発電極の圧電基板に接している電極構成金属の圧電基板への拡散係数が高い、請求項1〜4及び7のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記圧電基板に複数の前記弾性波素子が構成されており、少なくとも1つの弾性波素子において、圧電基板にIDT電極が接している部分のIDT電極の電極構成金属が圧電基板に拡散されており、残りの弾性波素子において、IDT電極の圧電基板に接している部分の電極構成金属が圧電基板に拡散されていない、請求項1〜8のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記圧電基板に前記弾性波素子が複数構成されており、少なくとも1つの弾性波素子におけるIDT電極の異なる電位に接続される電極間のギャップのうちの最小のギャップが、残りの弾性波素子のIDT電極における異なる電位に接続される電極間のギャップのうちの最小のギャップと異なっており、前記最もギャップが狭いIDT電極を有する弾性波素子における電極間抵抗が、残りの弾性波素子のIDT電極の電極間抵抗よりも小さくされている、請求項1〜9のいずれか1項に記載の弾性波装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009274431A JP5413160B2 (ja) | 2009-12-02 | 2009-12-02 | 弾性波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009274431A JP5413160B2 (ja) | 2009-12-02 | 2009-12-02 | 弾性波装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011119900A JP2011119900A (ja) | 2011-06-16 |
JP5413160B2 true JP5413160B2 (ja) | 2014-02-12 |
Family
ID=44284710
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009274431A Active JP5413160B2 (ja) | 2009-12-02 | 2009-12-02 | 弾性波装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5413160B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015159470A (ja) * | 2014-02-25 | 2015-09-03 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 弾性表面波素子 |
WO2015170528A1 (ja) | 2014-05-07 | 2015-11-12 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4202245B2 (ja) * | 2003-12-24 | 2008-12-24 | 富士通メディアデバイス株式会社 | 弾性表面波フィルタ |
JP2006101082A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-13 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置および通信装置 |
-
2009
- 2009-12-02 JP JP2009274431A patent/JP5413160B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011119900A (ja) | 2011-06-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8471653B2 (en) | Elastic wave resonator and ladder filter | |
CN107615656B (zh) | 弹性波装置 | |
WO2015098694A1 (ja) | 弾性波装置及びその製造方法 | |
JP6380558B2 (ja) | 弾性波装置 | |
JP4798319B1 (ja) | 弾性波装置 | |
WO2017187724A1 (ja) | 弾性波装置 | |
JPWO2011145449A1 (ja) | 弾性表面波装置 | |
JP5195443B2 (ja) | 弾性波装置 | |
US7205700B2 (en) | Method of producing surface acoustic wave device and the surface acoustic wave device | |
JP5413160B2 (ja) | 弾性波装置 | |
JP2007235711A (ja) | 弾性表面波装置 | |
JP2017157944A (ja) | 弾性表面波装置およびそれを用いた送受信フィルタを有するデュプレクサ | |
JP6385690B2 (ja) | 弾性波デバイス及びその製造方法 | |
JP6813084B2 (ja) | 弾性波装置の製造方法 | |
JP2011135469A (ja) | 弾性波装置 | |
JP6981772B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
JP6085147B2 (ja) | 弾性波デバイスおよびその製造方法 | |
JP5585389B2 (ja) | 弾性波素子及びその製造方法 | |
WO2007125724A1 (ja) | 電子部品及びその製造方法 | |
JP2007267117A (ja) | 弾性表面波装置及びその製造方法 | |
JP6656127B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
JP7518154B2 (ja) | 弾性波装置 | |
US6580197B2 (en) | System and method for dissipating static charge generated in a surface acoustic wave device | |
JP2019022093A (ja) | 弾性波デバイス | |
WO2023048256A1 (ja) | 弾性波装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121004 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130628 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130716 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130909 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131015 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131028 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5413160 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |