JP5402841B2 - 弾性表面波デバイス - Google Patents
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Description
12 圧電基板
12a 主面
14 第1の絶縁膜
16 第2の絶縁膜
18 第3の絶縁膜
20 IDT(第1の導電膜)
21 隙間
22 バスバー
24 電極指
26 層間接続膜(目張り膜)
27 目張り膜
28 第2の導電膜
29 バンプ
Claims (2)
- 圧電基板と、
前記圧電基板の主面にIDTを形成する第1の導電膜と、
前記第1の導電膜に隣接し、かつ前記第1の導電膜の周囲を取り囲むように、前記圧電基板の前記主面に形成された第1の絶縁膜と、
前記圧電基板の前記主面と前記第1の絶縁膜と前記第1の導電膜とに接合されるように形成された第2の導電膜と、
前記第1の絶縁膜に接合され、前記第1の導電膜を覆うように形成された第2の絶縁膜と、
を備えた弾性表面波デバイスにおいて、
前記第1の導電膜と前記第1の絶縁膜との境界部分と前記第2の導電膜とが交差する領域及びその近傍領域において、前記第2の導電膜と前記第1の導電膜との間及び前記第2の導電膜と前記第1の絶縁膜との間に延在するように形成された目張り膜を備えたことを特徴とする、弾性表面波デバイス。 - 前記目張り膜は、
前記第1の導電膜に接合された、導電性を有する本体部と、該本体部から、前記第1の導電膜と前記第1の絶縁膜との境界部分を越えて、前記第1の絶縁膜上に膨出した、導電性を有する膨出部とを有する層間接続膜であることを特徴とする、請求項1に記載の弾性表面波デバイス。
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