JP5938111B2 - 感圧センサ - Google Patents
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Description
文献の参照による組み込みが認められる指定国については、2013年2月4日に日本国に出願された特願2013−19176号に記載された内容を参照により本明細書に組み込み、本明細書の記載の一部とする。
[2]上記発明において、前記第2の電極は、前記第2の基板上に設けられた第3の電極層と、前記第3の電極層を覆うように設けられ、前記第3の電極層の電気抵抗値よりも高い電気的抵抗値を有する第4の電極層と、を備えていてもよい。
図1は本実施形態における感圧センサ1を示す断面図である。
図2は本発明の第2実施形態での感圧センサ1Bを示す断面図であり、図3は本発明における第2実施形態の変形例を示す感圧センサを示す断面図である。ここで、第2実施形態における感圧センサ1Bは、第1の電極4Bとスペーサ6Bが異なること以外は、上述した第1実施形態と同様であるので、第1実施形態と相違する部分についてのみ説明し、第1実施形態と同一である部分については、第1実施形態と同一の符号を付して説明を省略する。
図4は本発明の第3実施形態での感圧センサ1Cを示す断面図である。ここで、第3実施形態における感圧センサ1Cは、第1の電極4Cが異なること以外は、上述した第2実施形態と同様であるので、第2実施形態と相違する部分についてのみ説明し、第2実施形態と同一である部分については、第2実施形態と同一の符号を付して説明を省略する。
図5は本発明の第4実施形態での感圧センサ1Dを示す断面図である。ここで、第4実施形態における感圧センサ1Dは、第2の電極5Bが異なること以外は、上述した第3実施形態と同様であるので、第3実施形態と相違する部分についてのみ説明し、第3実施形態又は第1実施形態と同一である部分については、第3実施形態又は第1実施形態と同一の符号を付して説明を省略する。
実施例1では、実施形態2において説明した図2に示すような感圧センサを作製した。
実施例2では、第1の電極4Bのフランジ部44を省略すると共にスペーサ6として厚さ20[μm]の両面粘着シート(リンテック社製)を用い、第1の電極層41の直径を5[mm]とし、第2の電極層42の直径を6[mm]とし、第3の電極層51の直径を8[mm]とし、第4の電極層52の直径を9[mm]としたこと以外は実施例1と同様にして、図1に記載されているような構成の感圧センサ1を作製した。
実施例3では、図5に示すような構造の感圧センサ1Dを作製した。
比較例1では、第1の電極を第2の電極5と同様な構成としたこと以外は実施例1と同様の構成を有する感圧センサを作製した。
比較例2では、第2の電極5Cを第1の電極4Bと同様な構成としたこと以外は実施例1と同様にして、図6に記載されているような構成の感圧センサを作製した。この場合においては、第1の電極4Bと、第2の電極5Cと、を含む領域Dにおいて、第1の面21と第2の面31は非平行となっている。なお、本例では、平面視において、第1の電極4Bを取り囲む最小の連続領域D1と、第2の電極5Cを取り囲む最小の連続領域D2と、は等しくなっており(D1=D2)、当該領域D1及びD2が領域Dに相当する。
比較例3では、スペーサを第1の電極上ではなく第1の基板上に貼り付けたこと以外は実施例1と同様にして、上述の特許文献1の図2に記載されているような構成の感圧センサを作製した。
2・・・第1の基板
21・・・第1の面
3・・・第2の基板
31・・・第2の面
4、4B、4C・・・第1の電極
40・・・挿入部
41・・・第1の電極層
42、421、422・・・第2の電極層
43・・・本体部
44・・・低背部
45・・・第1の検出用電極
46・・・第1のダミー電極
5、5B・・・第2の電極
51、511、512・・・第3の電極層
52、521、522・・・第4の電極層
53・・・第2の検出用電極
54・・・第2の検出用電極
6・・・スペーサ
61・・・開口
62・・・上面
63・・・下面
Claims (8)
- 第1の基板と、
前記第1の基板に対向する第2の基板と、
前記第1の基板の第1の面に設けられた第1の電極と、
前記第1の電極に対向するように、前記第2の基板の第2の面に設けられた第2の電極と、
前記第1の電極及び前記第2の電極に対応する位置に開口を有し、前記第1の基板と前記第2の基板との間に介在するスペーサと、を備え、
前記第1の電極は、前記開口に挿入された挿入部を有し、
前記挿入部の総厚は、前記スペーサの厚さと実質的に同一の厚さを有しており、
前記第1の電極の一部又は前記第1の基板は、前記スペーサの一方面と接触し、
前記第2の電極において前記第1の基板に最も近い面の一部は、前記スペーサの他方面と接触しており、
前記第1の電極と、前記第2の電極と、を含む領域において、前記第1の面と前記第2の面は実質的に平行であることを特徴とする感圧センサ。 - 請求項1に記載の圧力センサであって、
前記第2の電極は、
前記第2の基板上に設けられた第3の電極層と、
前記第3の電極層を覆うように設けられ、前記第3の電極層の電気抵抗値よりも高い電気的抵抗値を有する第4の電極層と、を備えたことを特徴とする感圧センサ。 - 請求項1又は2に記載の感圧センサであって、
前記挿入部は、前記開口の内壁面から離間していることを特徴とする感圧センサ。 - 請求項1〜3の何れか一項に記載の感圧センサであって、
前記第1の電極は、
前記挿入部を含む本体部と、
前記本体部の周囲に設けられ、前記本体部よりも低い高さを有する低背部と、を有し、
前記低背部は、前記スペーサの一方面と接触していることを特徴とする感圧センサ。 - 請求項4に記載の感圧センサであって、
前記本体部は、
前記第1の基板上に設けられた第1の電極層と、
前記第1の電極層を覆うように設けられ、前記第1の電極層の電気抵抗値よりも高い電気的抵抗値を有する第2の電極層と、を備え、
前記低背部は、前記第1の電極層又は前記第2の電極層を備えることを特徴とする感圧センサ。 - 請求項5に記載の感圧センサであって、
前記第1の電極層と前記第2の電極層の厚さは実質的に異なっており、
前記低背部は、前記第1の電極層の厚さ又は前記第2の電極層の厚さのうち、大きい方の厚さと実質的に等しい厚さの電極層を有することを特徴とする感圧センサ。 - 請求項4〜6の何れか1項に記載の感圧センサであって、
前記低背部は、前記本体部から径方向に連続して形成されていることを特徴とする感圧センサ。 - 請求項4〜6の何れか1項に記載の感圧センサであって、
前記低背部は、前記本体部から径方向に離間して形成されているダミー電極であることを特徴とする感圧センサ。
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