JP3980300B2 - 膜状感圧抵抗体および感圧センサ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧力や荷重に応じて抵抗値が変化する膜状感圧抵抗体およびこの抵抗体を用いた感圧センサに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の感圧センサとしては、例えば図1(a)〜図1(c)に示す構造のものが知られている。図1(a)は三つの電極を用いる感圧センサの内部構造を示す断面図であり、図1(b)は図1(a)に示した感圧センサにおける上部回路基板に形成された電極および配線のパターンを示す平面図であり、図1(c)は図1(a)に示した感圧センサにおける下部回路基板に形成された電極のパターンを示す平面図である。
【0003】
この例の上部回路基板1には、図1(b)に示すように櫛歯状の電極2とこの電極2を外部装置(図示せず)に接続するための配線部3が形成されると共に、上記電極2と同一面上に形成されているが電極2とは絶縁されている櫛歯状の電極4とこの電極4を外部装置(図示せず)に接続するための配線部5が形成されている。また、下部回路基板6上には、図1(c)に示すように、円盤状の電極7が形成されている。上部回路基板1と下部回路基板6とはスペーサシート8を挟んで粘着層9により固定されており、上部回路基板1の電極2および電極4と下部回路基板6の電極7との間にはスペーサシート8の厚さに相当する隙間が形成されている。
【0004】
このような積層構造体を感圧センサとして機能させるためには、上記三つの電極2、電極4および電極7のうち少なくとも一つの電極、さらにはその電極の少なくとも一部が膜状感圧抵抗体である必要がある。
【0005】
このような構成の感圧センサでは、上部回路基板1側から荷重を加えると、上部回路基板1の一部が変形して上部回路基板1の電極2および電極4が下部回路基板6の電極7に接触するため、電極2と電極4は電極7を介して導通状態となる。さらに荷重を増すと、電極間の接触面積が増大して導通抵抗が低下する。
【0006】
他の感圧センサとしては、例えば図2(a)〜図2(c)に示す構造のものが知られている。図2(a)は対向する2の電極を用いる感圧センサの内部構造を示す断面図であり、図2(b)は図2(a)に示した感圧センサにおける上部回路基板に形成された電極および配線のパターンを示す平面図であり、図2(c)は図2(a)に示した感圧センサにおける下部回路基板に形成された電極のパターンを示す平面図である。
【0007】
この例の下部回路基板6の円盤状の電極7には外部装置(図示せず)の配線部10が接続されている。他方、上部回路基板1には下部回路基板6の電極7と対向する位置に円盤状の電極11が形成され、この電極11には外部装置(図示せず)の配線部12が接続されている。
【0008】
このタイプの感圧センサでは、上部回路基板1側から荷重を加えると、上部回路基板1の一部が変形して上部回路基板1の電極11が下部回路基板6の電極7に接触するため、電極11と電極7とが導通状態となる。さらに荷重を増すと、両電極間の接触面積が増大して導通抵抗が低下する。
【0009】
上述のような感圧センサの特性は、導通抵抗の変化が膜状感圧抵抗体と対向電極との接触抵抗の変化に起因していると考えられることから(特公平2−49029号公報)、感圧センサとしては、荷重を徐々に大きくしてゆくと、導通抵抗も徐々に低下する特性、即ち図3に示す曲線のように荷重の変化に応じて導通抵抗が緩やかに変化する特性を有するのが理想的である。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の実用化されている感圧センサにおいては、図4に示す曲線aのように荷重による抵抗変化が急峻になりすぎるため、スイッチとしてしか機能せず、接触初期の低荷重域での検知が困難となり、測定可能な荷重範囲を広くとれないという課題があった。
【0011】
また、従来の感圧センサでは、図4に示す曲線bのように抵抗−荷重特性が滑らかな曲線にならず、段差が生じ、その段差部分では実質的に測定不能になってしまうという課題もあった。
【0012】
さらに、従来の感圧センサでは、製品個体差にバラツキがあり、動作信頼性に欠けるという課題もあった。
また、従来の感圧センサでは、耐環境性や打鍵耐久性に劣るという課題もあった。
【0013】
本発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、測定可能な荷重範囲を広くとれ、抵抗−荷重特性が滑らかな曲線を示し、品質が安定し、耐環境性や打鍵耐久性に優れた膜状感圧抵抗体およびこれを用いる感圧センサを提供することを目的とするものである。
【0014】
【課題を解決するための手段】
かかる課題を解決するため、請求項1に係る膜状感圧抵抗体は、平均表面粗さが0.1μm以上3μm以下でありかつ表面凹凸周期のピークが10μm以上1,000μm以下であると共に、弾性率が800MPa以上8,000MPa以下であることを特徴とするものである。
【0015】
請求項2に係る膜状感圧抵抗体は、導電粒子とバインダと平均粒径が2μm以上50μm以下である球状の弾性粒子とを含むことを特徴とするものである。
請求項3に係る膜状感圧抵抗体は、前記弾性粒子を有機弾性フィラーとしたことを特徴とするものである。
請求項4に係る膜状感圧抵抗体は、前記弾性粒子の平均粒径が13〜20μmであることを特徴とするものである。
【0016】
請求項5に係る膜状感圧抵抗体は、前記導電粒子をグラファイトもしくはカーボンブラックとしたことを特徴とするものである。
請求項6に係る膜状感圧抵抗体は、前記バインダの少なくとも一部にポリエステル樹脂を含むことを特徴とするものである。
【0017】
請求項7に係る膜状感圧抵抗体は、平均粒径13〜20μmの弾性粒子が体積比で10〜16%含まれていることを特徴とするものである。
【0018】
請求項8に係る感圧センサは、少なくとも2の電極を無荷重時に離間させ、荷重印加時に前記電極間を導通させると共に、荷重の増加に伴い導通抵抗が低下する感圧センサにおいて、前記電極の少なくとも一方のうち少なくとも一部を上記いずれかの膜状感圧抵抗体で形成したことを特徴とするものである。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳しく説明する。
本発明の膜状感圧抵抗体は、基材上に形成され、荷重に応じて抵抗値が変化する膜状感圧抵抗体であって、その膜状感圧抵抗体を平均表面粗さが0.1μm以上3μm以下であり、かつ表面凹凸周期のピークが10μm以上1,000μm以下であると共に、弾性率が800MPa以上8,000MPa以下としたものである。ここで、表面凹凸周期とは、表面粗さをフーリエ変換した場合にピーク強度を示す周期をいう。
【0020】
平均表面粗さが0.1μm未満である場合には、膜状感圧抵抗体が対向電極と接触する際に、低い荷重が印加された場合でも両者が面で接触し、ひいては接触抵抗が低くなるため、図4で示した曲線aのように、接触初期の低荷重域での曲線の傾きが急峻となり、測定可能な荷重範囲を広くとれない。逆に、平均表面粗さが3μmを超える場合には、膜状感圧抵抗体が対向電極と接触する際に、接触状態が不均一になるため、抵抗−荷重特性が滑らかな曲線にならず、図4で示した曲線bのように、段差が生じてしまう。従って、平均表面粗さは0.1μm以上3μm以下の範囲、好ましくは0.2μm以上3μm以下の範囲とされる。
【0021】
表面凹凸周期が10μm未満である場合には、膜状感圧抵抗体が対向電極と接触する際に、低い荷重が印加された場合でも両者が面で接触し、ひいては接触抵抗が低くなるため、図4で示した曲線aのように、接触初期の低荷重域での曲線の傾きが急峻となり、測定可能な荷重範囲を広くとれない。逆に、表面凹凸周期が1,000μmを超える場合には、上述と同様に抵抗−荷重特性に段差が生じたり、接触初期の低荷重域での曲線の傾きが急峻となり、測定可能な荷重範囲を広くとれない。従って、表面凹凸周期は10μm以上1,000μm以下の範囲、好ましくは20μm以上500μm以下の範囲とされる。
【0022】
弾性率が800MPa未満である場合には、良好な抵抗−荷重特性を得ることができる反面、耐熱性、耐湿性および打鍵耐久性などが悪化してしまう。逆に、弾性率が8,000MPaを超える場合には、膜状感圧抵抗体が対向電極と接触する際に、接触状態が不均一になるため、抵抗−荷重特性が滑らかな曲線にならず、図4で示した曲線bのように、段差が生じてしまう。従って、弾性率は800MPa以上8,000MPa以下の範囲、好ましくは1,000MPa以上8,000MPa以下の範囲とされる。
【0023】
このような構成の膜状感圧抵抗体は導電粒子と弾性粒子とバインダとを含むものである。
導電粒子としては、例えば金属粒子、インジュウムドープ酸化スズなどの半導体粒子およびカーボン系粒子などの使用が可能であるが、このカーボン系粒子としてはグラファイトもしくはカーボンブラックを好適に使用できる。樹脂100重量部に対する導電粒子の配合量は2〜200重量部、好ましくは5〜100重量部の範囲とされる。この範囲での配合により、適度な塗膜の比抵抗が得られ、荷重による抵抗値の変化が現れ易くなるという効果を得ることができる。
【0024】
弾性粒子としては、平均粒径が2μm以上50μm以下、好ましくは13μm以上20μm以下の実質的に球体である有機弾性フィラーまたは無機酸化物フィラーなどの使用が可能であり、有機弾性フィラーとしてはシリコーン系、アクリル系、スチレン系、ウレタン系などのポリマーやナイロン6、ナイロン11、ナイロン12などからなる球状粒子を特に好適に使用できる。樹脂100重量部に対する弾性粒子の配合量は2〜200重量部、好ましくは5〜100重量部の範囲とされる。この範囲での配合により、感圧センサに用いられる膜状感圧抵抗体にとって必要とされる表面粗さ、表面凹凸周期および弾性率を得ることができる。
【0025】
バインダとしては、例えばシリコーンゴム系、ポリウレタン系樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリエステル樹脂などの使用が可能であるが、少なくともポリエステル樹脂、なかでも共重合ポリエステル樹脂を含むバインダが基材となる回路基板との接着性を向上させる点で好適に使用される。また、バインダとして架橋系のものでも良く、このための硬化剤としては例えばイソシアネート化合物、アミン化合物が適宜配合される。
【0026】
特に、弾性粒子として、平均粒径13〜20μmのものを用い、膜状感圧抵抗体中の弾性粒子の存在量が体積比で10〜16%となるようにした膜状感圧抵抗体が、抵抗−荷重特性が良好になり、低荷重領域での抵抗値の変化がなだらかになって、実質的な測定範囲が拡大される。また、同時に抵抗−荷重特性のばらつきが小さくなる。
【0027】
以上のように、この例の膜状感圧抵抗体は、十分な平均表面粗さ、表面凹凸周期のピークおよび弾性率を有するものであるので、接触初期の低荷重域における荷重変化に対しても接触面積が緩やかに変化するものとなる。
【0028】
この膜状感圧抵抗体は、例えば図1(a)〜図1(c)および図2(a)〜図2(c)に示した従来から知られている感圧センサの少なくとも電極の一部に好適に使用可能である。
【0029】
この膜状感圧抵抗体を組み込んだ感圧センサにおける上部回路基板1および下部回路基板6としては、例えばポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルイミド、ポリイミドなどの材料をフィルム状に加工して使用されるが、感圧センサに要求される耐熱性等の使用条件に応じて適宜選択される。
【0030】
上部回路基板1および下部回路基板6に形成される電極のうち上述の膜状感圧抵抗体以外の部分は、スクリーン印刷法、蒸着法、スパッタリング法、金属箔のエッチング法などの周知の方法により形成されるが、コスト上も有利な方法として、銀、カーボンインキ等の導電性材料を印刷、乾燥する一般的な方法により形成される。
【0031】
また、膜状感圧抵抗体についても、上述した導電粒子、バインダ、弾性粒子などの主要成分を溶剤に溶解し、分散して得たインキ状組成物を印刷、乾燥して形成されるのが好ましい。この膜状感圧抵抗体は、勿論、上部回路基板1および下部回路基板6上に直接形成して電極全体を構成してもよく、あるいは各電極2、4および7上に形成して各電極構造の一部を構成してもよい。
【0032】
以上のように、上述の膜状感圧抵抗体を組み込んだ感圧センサでは、接触初期の低荷重域における荷重変化に対しても導通抵抗が緩やかに変化するものとなり、測定可能な範囲を広げることができる。また、この感圧センサでは、抵抗−荷重特性に段差を生じることがないため、測定可能な範囲の全域で測定が可能となる。
【0033】
さらに、この感圧センサでは、センサ間の個体差を小さくでき、耐環境性、打鍵耐久性に優れたものとなる。従って、この感圧センサは、例えば椅子に座った人の体重を検知するセンサ、あるいは楽器や電子機器の入力用センサ等に好適に使用されるものとなる。
【0034】
(実施例1〜6および比較例1〜6)
図2(a)〜図2(c)に示したような接点構造を有し、16接点からなる感圧センサを次の手順で作製した。
【0035】
まず、上部回路基板1として厚さ100μmのPETフィルムを用意し、このフィルム(基板1)上に銀インキを印刷し、乾燥して電極11および配線部12を得た。次に、下部回路基板6として同じく厚さ100μmのPETフィルムを用意し、図5(a)および図5(b)に示すように、このフィルム(基板6)上に銀インキを印刷し、乾燥して円環状の銀回路13を形成し、この銀回路13上および銀回路13で囲まれる基板6上に膜状感圧抵抗体14を形成した。この膜状感圧抵抗体14は表1に示す材料を適宜溶剤に溶解し、分散させたインキを印刷し、乾燥して形成したものである。
【0036】
【表1】
【0037】
次に、スペーサシート8として、両面に粘着層9が形成された総厚約100μmのPETフィルムを用意し、この両面に上部回路基板1および下部回路基板6を貼り合わせて図2(a)に示した積層構造を得た。なお、スペーサシート8の開口径は12mmであった。
【0038】
各膜状感圧抵抗体(実施例1〜6および比較例1〜6)について表面粗さ、表面凹凸周期、微小硬度計により測定した弾性率等の物性を測定し、表2に示した。さらに、実施例1〜4および比較例1〜6の各膜状感圧抵抗体を組み込んだ感圧センサをそれぞれ作製し、各センサに厚さ10mm、直径20mmのシリコーンゴムを介して荷重を加え、端子間の導通抵抗と荷重との関係を測定し、実施例1〜4のうち、その代表例を図6に曲線で示した。また、実施例1〜4および比較例1〜6に係る16接点からなる感圧センサを10枚作製し、全160接点について次の(1)〜(3)の特性を評価し、その結果を同じく表2に示した。
【0039】
(1)感圧抵抗特性:単位面積当たりの荷重(面圧)20kPa時の抵抗値で規格化した抵抗値R/R(20kPa)が20であるときの荷重値P(20)と、抵抗値R/R(20kPa)が10であるときの荷重値P(10)との差P(10)−P(20)を評価した。この差P(10)−P(20)が大きいほど感圧センサの測定可能な範囲が広いことを示すものである。なお、表2中のCV値は標準偏差を平均値で除したものであり、バラツキを示すものである。
【0040】
(2)耐湿熱性:60℃で相対湿度95%RHの条件下に240時間放置した後のP(20)の変化率(%)を測定した。
【0041】
(3)打鍵耐久性:接点を直径10mmの球状シリコーンゴムを用い、荷重10Nで20万回打鍵した後のP(20)の変化率(%)を測定した。
【0042】
【表2】
【0043】
表2から明らかなように、実施例1〜6に係る感圧センサは、感圧抵抗特性、耐湿熱性および打鍵耐久性のいずれの物性についても、比較例1〜6に係る感圧センサよりも優れていることが分かる。特に、比較例2,3および6に係る感圧センサでは、図4の曲線bで示したように抵抗−荷重特性に段差が現れるものがあった。
【0044】
(実施例7〜12)
表3に示す平均粒径と存在量のナイロン12からなる弾性粒子を用いて、膜状感圧抵抗体を作成した。バインダーとしてはポリエステル樹脂を使用し、導電粒子にはカーボンブラックを用い、その存在量はすべて体積比で17.5%とした。弾性粒子の存在量は、いずれも膜状感圧抵抗体中の体積比で示した。
得られた膜状感圧抵抗体について、先の実施例と同様の特性を測定した。
結果を表3に示す。
【0045】
【表3】
【0046】
表3から明らかなように、弾性粒子として、平均粒径13〜20μmのナイロン12からなるものを使用し、これを膜状感圧抵抗体中に体積比で10〜16%存在させたものは、抵抗−荷重特性がさらに良好になることがわかる。
【0047】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る膜状感圧抵抗体は、十分な平均表面粗さ、表面凹凸周期のピークおよび弾性率を有するものであるので、接触初期の低荷重域における荷重変化に対しても接触面積が緩やかに変化するものとなる。
【0048】
本発明に係る膜状感圧抵抗体は、導電粒子と、バインダと、平均粒径が2μm以上50μm以下、好ましくは13μm以上20μm以下である球状の弾性粒子とを含むものであるので、適度な塗膜の比抵抗が得られ、荷重による抵抗値の変化が現れ易くなるという効果を奏するものである。
【0049】
本発明に係る膜状感圧抵抗体は、弾性粒子を有機弾性フィラーとしたことにより、感圧センサに用いられる膜状感圧抵抗体にとって必要とされる表面粗さ、表面凹凸周期および弾性率を得ることができる。
【0050】
本発明に係る膜状感圧抵抗体は、導電粒子をグラファイトもしくはカーボンブラックとしたことにより、適度な塗膜の比抵抗が得られ、荷重による抵抗値の変化が現れ易くなるという効果を得ることができる。
【0051】
本発明に係る膜状感圧抵抗体は、バインダの少なくとも一部にポリエステル樹脂を含めたことにより、回路基板に対する接着性を向上させることができる。
【0052】
本発明に係る膜状感圧抵抗体は、平均粒径13〜20μmの球状の弾性粒子を体積比で10〜16%含むようにしたので、特に低荷重領域での抵抗値の測定範囲が広がるものとなる。
【0053】
さらに、本発明に係る感圧センサは、接触初期の低荷重域における荷重変化に対しても導通抵抗が緩やかに変化するものとなり、測定可能な範囲を広げることができる。また、この感圧センサでは、抵抗−荷重特性に段差を生じることがないため、測定可能な範囲の全域で測定が可能となる。
【0054】
さらに、この感圧センサでは、センサ間の個体差を小さくでき、耐環境性、打鍵耐久性に優れたものとなる。従って、この感圧センサは、例えば椅子に座った人の体重を検知するセンサ、あるいは楽器や電子機器の入力用センサ等に好適に使用されるものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は三つの電極を用いる感圧センサの内部構造を示す断面図であり、(b)は(a)に示した感圧センサにおける上部回路基板に形成された電極および配線のパターンを示す平面図であり、(c)は(a)に示した感圧センサにおける下部回路基板に形成された電極のパターンを示す平面図である。
【図2】(a)は対向するニつの電極を用いる感圧センサの内部構造を示す断面図であり、(b)は(a)に示した感圧センサにおける上部回路基板に形成された電極および配線のパターンを示す平面図であり、(c)は(a)に示した感圧センサにおける下部回路基板に形成された電極のパターンを示す平面図である。
【図3】感圧センサの理想的な抵抗−荷重特性を示すグラフである。
【図4】従来の感圧センサの抵抗−荷重特性を示すグラフである。
【図5】(a)は膜状感圧抵抗体の電極上への搭載例を示す平面図であり、(b)は(a)のb−b線で切断して示す断面図である。
【図6】本発明に係る感圧センサの抵抗−荷重特性を示すグラフである。
【符号の説明】
2,4,7,11…電極、14…膜状感圧抵抗体
Claims (8)
- 平均表面粗さが0.1μm以上3μm以下でありかつ表面凹凸周期のピークが10μm以上1,000μm以下であると共に、弾性率が800MPa以上8,000MPa以下であることを特徴とする膜状感圧抵抗体。
- 導電粒子と、バインダと、平均粒径が2μm以上50μm以下である球状の弾性粒子とを含むことを特徴とする請求項1記載の膜状感圧抵抗体。
- 前記弾性粒子は有機弾性フィラーであることを特徴とする請求項2記載の膜状感圧抵抗体。
- 前記弾性粒子の平均粒径が13〜20μmであることを特徴とする請求項2記載の膜状感圧抵抗体。
- 前記導電粒子はグラファイトもしくはカーボンブラックであることを特徴とする請求項2記載の膜状感圧抵抗体。
- 前記バインダの少なくとも一部にポリエステル樹脂を含むことを特徴とする請求項2記載の膜状感圧抵抗体。
- 平均粒径13〜20μmの球状の弾性粒子が体積比で10〜16%含まれていることを特徴とする請求項2記載の膜状感圧抵抗体。
- 少なくとも2の電極を無荷重時に離間させ、荷重印加時に前記電極間を導通させると共に、荷重の増加に伴い導通抵抗が低下する感圧センサにおいて、
前記電極の少なくとも一方のうち少なくとも一部を請求項1ないし請求項7のいずれか1項に記載の膜状感圧抵抗体で形成したことを特徴とする感圧センサ。
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