JP5890587B2 - 単結晶の製造方法およびシリコンウェーハの製造方法 - Google Patents
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Description
そこで、砒素(As)やアンチモン(Sb)より比較的揮発性の低い性質をもつn型ドーパントとしてリン(P)を高濃度にドープした基板抵抗率が非常に低いシリコンウェーハが使用されつつある。
ゲッタリング不足を解消するために対策としては、ポリバックシール(PBS)法をエピタキシャル成長処理前に行う技術が知られている。ポリバックシール法とは、シリコンウェーハの裏面にポリシリコン膜を形成して、シリコンウェーハとの界面などにできる歪み場や格子不整合を利用するEG法(External Gettering)の一例である。
そこで、このような不具合を抑制するための検討がなされている(例えば、特許文献1参照)。
この特許文献1には、シリコンウェーハの裏面に、600℃未満でポリシリコン膜を形成することで、SFの発生を効果的に抑制できることが開示されている。
そこで、このようなエピタキシャルシリコンウェーハを製造する際に、特許文献1に記載のような方法を適用することが考えられる。
特許文献1に記載されているように、エピタキシャル成長後に発生しているSFは、ポリシリコン膜を形成した基板においては、エピタキシャル成長前(プリベーク後)のシリコンウェーハ表面に存在する微小ピット(微小凹部)を起点に発生している、ということが確認されている。
この微小ピットは、p型ドーパントとしてボロン(B)を高濃度に添加したシリコンウェーハにプリベーク処理を施しても観察されないことから、シリコンウェーハの結晶内に高濃度にドープしたリンが関与している可能性が高いと考えられる。
この状態から、ポリシリコン膜を形成するためにシリコンウェーハを加熱すると、酸素の拡散能が赤リンの拡散能よりも大きいため、酸素が格子間を移動して赤リンと結合し、酸素と赤リンのクラスター(微小析出物)が形成される。
この後、エピタキシャル成長前のプリベークを水素雰囲気中で行うと、シリコンウェーハの最表層の酸素と赤リンは外方拡散するが、クラスターは安定状態にあるため、最表層に残留する。そして、水素エッチングが行われると、シリコンウェーハの最表層とクラスターとのエッチング速度の違いから、クラスターが選択的にエッチングされ微小ピットとなる。
この微小ピットが形成されたシリコンウェーハに対してエピタキシャル成長を行うと、微小ピットが起源となってSFが発生すると考えられる。
しかしながら、本発明者が行った実験の結果、基板抵抗率を0.9mΩ・cm以下とするために、赤リンの濃度をさらに高くすると、ポリバックシール法を適用しないだけでは、SFの発生が抑制できないことが分かり、これまでに想定し得ない結果となった。ところが、実験で育成された結晶の長さ方向のSF分布を、対応するエピタキシャルウェーハで詳細に調査したところ、図1に示すように、単結晶のうち、固化率が約60%より小さい部分では、直径200mmのシリコンウェーハ1cm2あたりのSFの個数(以下、単に、SFの個数という)が10個以上であり、固化率が前記約60%より大きい部分(点線で囲まれる部分)では、SFの個数が0個となることが分かった。すなわち、SFの個数が単結晶の固化率に依存していることが分かった。
なお、固化率とは、最初に石英坩堝に貯留されたドーパント添加融液の初期チャージ重量に対する単結晶の引上げ重量の割合をいう。ここで、SFの個数は、レーザーテック社製Magicsで欠陥の実体観察を行い、個数を測定した。
そこで、本発明者は、固化率と熱履歴との相関を調べるための実験を行った。
単結晶の製造では、種結晶に連続し直径が徐々に増加する肩部を形成する工程(肩部形成工程)と、肩部に連続して形成され直径が略均一の直胴部を形成する工程(直胴部形成工程)と、直胴部の下端に連続し直径が徐々に低下してゼロになるテール部を形成する工程(テール部形成工程)とを行う。そして、テール部形成工程が終了した後、単結晶を冷却する工程(冷却工程)を行い、単結晶を引き上げ装置から取り出す。
このような製造条件のため、単結晶の下端に近くなるほど(固化率が大きくなるほど)、ドーパント添加融液から出た後の冷却時間が短くなると考えられる。
図2に示すように、二点鎖線で囲まれる部分であって、固化率が60%より大きい部分では、固化率が60%より小さい部分と比べて、特に500℃±50℃での滞在時間が極端に短いことが分かった。
また、この単結晶から複数の固化率に対応するシリコンウェーハを切り出して、エピタキシャルシリコンウェーハを製造し、各エピタキシャルシリコンウェーハのSFの個数を調べた。その結果を図2に示す。
なお、エピタキシャルシリコンウェーハの製造においては、ポリシリコン膜を設けずにプリベーク処理を施した後、エピタキシャル膜を形成した。また、プリベークは、エピタキシャル膜形成前のシリコンウェーハを、1200℃の水素雰囲気中で30秒加熱することで行った。
図2に示すように、SFの個数は、単結晶の500℃±50℃での滞在時間とほぼ相関があり、固化率が60%より大きい部分では0となることが分かった。
以上から、単結晶が500℃±50℃となる時間を短くすれば、SFの発生を抑制できることが分かった。
まず、シリコンウェーハのLPDの評価と、シリコンウェーハに対してプリベークを行った後のLPDの評価を行った。
具体的には、まず、以下の基板条件を満たし、SFが発生する固化率での単結晶から得られた(SFが発生する固化率に対応する)シリコンウェーハと、SFが発生しない固化率に対応するシリコンウェーハとを準備した。
[基板条件]
直径:200mm
基板抵抗率:0.8mΩ・cm
(赤リン濃度:9.47×1019atoms/cm3)
次に、各シリコンウェーハの裏面(エピタキシャル膜の形成面と反対の面)に、以下の裏面酸化膜形成条件を満たす裏面酸化膜を形成した。
[裏面酸化膜形成条件]
成膜方法:CVD法
裏面酸化膜の厚さ:550nm
そして、上記条件により形成された裏面酸化膜が形成された各シリコンウェーハから、当該シリコンウェーハの外周部の裏面酸化膜を除去してLPD評価を行った。なお、LPDの評価は、以下のLPD評価条件で行った。
[LPD評価条件]
使用装置:表面検査装置(Tencor社製 SP−1)
観察モード:DWNモード
測定対象:90nm以上のLPD
図3に、SFが発生する固化率に対応するシリコンウェーハの測定結果を示す。なお、ここでは図示しないが、SFが発生しない固化率に対応するシリコンウェーハでの測定結果は、図3に示すものとほぼ同じであった。
[プリベーク条件]
雰囲気:水素
熱処理温度:1200℃
熱処理時間:30秒
そして、上記条件でプリベークを行った各シリコンウェーハのLPD評価を、当該実験2の上記LPD評価条件に基づいて行った。その結果を図4および図5に示す。
ここで、LPDが増加した図4に示すシリコンウェーハをAFM(Atomic Force Microprobe:原子間力顕微鏡)で観察したところ、図6に示すようなピットPであることが確認された。すなわち、プリベーク後に発生するピットPを、KLA−Tencor社製SP−1のDCNモードで90nm以上のLPDとして測定できることが分かった。
上記実験2において、図4に示すような、SFが発生する固化率に対応するシリコンウェーハにプリベークを行った後、当該シリコンウェーハの表面に、以下のエピタキシャル膜成長条件を満たすエピタキシャル膜を形成することで、エピタキシャルシリコンウェーハを製造した。
[エピタキシャル膜成長条件]
ドーパントガス:フォスフィン(PH3)ガス
原料ソースガス:トリクロロシラン(SiHCl3)ガス
キャリアガス:水素ガス
成長温度:1080℃
エピタキシャル膜の厚さ:3μm
抵抗率(エピ膜抵抗率):1Ω・cm
(赤リン濃度:4.86×1015atoms/cm3)
そして、上記条件で製造したエピタキシャルシリコンウェーハのLPD評価を、実験2のLPD評価条件に基づいて行った。また、このエピタキシャルシリコンウェーハのLPD評価結果と、図4に示す実験で用いたプリベーク後(であり、エピタキシャル膜成長前)のシリコンウェーハ表面のLPD評価結果とを重ね合わせて評価した。その結果を図7に示す。また、図7における二点鎖線で囲まれる領域を拡大した分布を図8に示す。
[LPD評価条件]
使用装置:表面検査装置(レーザーテック社製Magics)
その結果、上記評価位置には、平面視で四角形かつ断面視で三角形(すなわち、底面がエピタキシャル膜の表面と略同一面に位置し、頂点がシリコンウェーハ側に位置する略四角錐状)のフラットタイプのSFが発生していることが分かった。
実験1と同様の条件で単結晶を製造した後、冷却工程に入らずに、テール部がドーパント添加融液から切れた状態で、かつ、テール部形成工程での加熱状態を維持したまま、単結晶の引き上げを10時間停止した。この停止状態において、各固化率での単結晶中心の温度分布は、図9に示すような分布であった。
そして、10時間経過後に単結晶を引き上げ装置から取り出し、実験1と同様の条件で(単結晶から得たシリコンウェーハに対して1200℃の水素雰囲気中で30秒のプリベーク処理を施した後、エピタキシャル膜を形成する条件で)エピタキシャルシリコンウェーハを製造した。そして、直径200mmの各エピタキシャルシリコンウェーハ1枚あたりのLPDの個数(以下、単にLPDの個数という)と固化率との関係を調べた。その結果を図10に示す。
ここで、LPDの個数は、KLA−Tencor社製SP−1のDCNモードで測定したが、そのときのLPDの測定対象を、90nm以上のものとした。また、ここでは、LPDの個数はSFの個数と良い相関があるため、LPDの個数でSF個数を代替した。
このことから、SFは、単結晶の温度が約470℃〜約700℃で長時間維持されたときに発生しやすく、特に、約570℃で長時間維持されたときに発生しやすいことが分かった。
具体的には、上記図10の実験結果に基づいて、各対応する固化率について、550℃、570℃、600℃を中心にしたそれぞれ±30℃の範囲での滞在時間を調べた。その結果を図11に示す。また、550℃、570℃、600℃を中心にした±50℃の範囲での滞在時間を図12に示し、±70℃の範囲での滞在時間を図13に示す。
図11〜図13に示すように、±70℃の範囲での滞在時間の上昇幅(図中の横軸方向の長さ)と、LPD個数の上昇幅(図中の横軸方向の長さ)とがほぼ一致することが分かった。
このことから、LPDは、単結晶の温度が570℃±70℃の範囲内で長時間維持されたときに、発生しやすいことが分かった。
まず、実験1と同様の条件でテール部形成工程まで行った後、通常の冷却工程では、図14の二点鎖線で示すように単結晶を急冷するところ、実線で示すように単結晶を急冷せずに徐冷した。なお、図14において、縦軸は、650℃±50℃での滞在時間を表している。
そして、図14に実線で示す条件で製造した単結晶を用いて、実験1と同様の条件でエピタキシャルシリコンウェーハを製造し、各固化率におけるLPD個数を調べた。各固化率における滞在時間とLPD個数との関係を図15に示す。なお、図15において、縦軸は、570℃±70℃での滞在時間を表している。
図15に示すように、固化率が約66%を超える場合に、LPD個数が0となることが分かった。そして、このときの570℃±70℃での滞在時間が、約200分であることが分かった。
このことから、単結晶の温度が570℃±70℃の範囲内となる時間を200分以下とすることで、LPDの発生を抑制できる可能性があると推定した。
実験1と同様の条件でテール部形成工程まで行った後、図14の二点鎖線で示す冷却工程を行い、単結晶を製造した。そして、この単結晶を用いて、実験1と同様の条件でエピタキシャルシリコンウェーハを製造し、各固化率におけるLPD個数を調べた。その結果を図16に示す。
図16に示すように、固化率が約44%よりも後ろの場合に、単結晶の温度が570℃±70℃の範囲内となる時間が20分以上200分以下となり、LPD個数も少なくなることが分かった。
このことから、単結晶の温度が570℃±70℃の範囲内となる時間を20分以上200分以下とすることで、LPDの発生を単結晶の後半部分だけでなく、長さ方向全長にわたって抑制できることが分かった。ここで単結晶の長さ方向全長とは、種結晶に連続し直径が徐々に増加する肩部を形成する工程(肩部形成工程)と、肩部に連続して形成され直径が略均一の直胴部を形成する工程(直胴部形成工程)と、直胴部の下端に連続し直径が徐々に低下してゼロになるテール部を形成する工程(テール部形成工程)のうち、直胴部形成工程で形成される直径が略均一の直胴部の全長をいう。
本発明は、上述のような知見に基づいて完成されたものである。
したがって、このような単結晶を用いてエピタキシャルシリコンウェーハを製造すると、KLA−Tencor社製SP−1のDCNモードで測定される90nm以上のLPDの個数を0.1個/cm2以下にすることができる。よって、抵抗率が低くかつ高品質のエピタキシャルシリコンウェーハを得ることができる。
なお、シリコン融液に赤リンとともに、ゲルマニウム(Ge)を添加してもよい。このような構成にすれば、シリコンウェーハとエピタキシャル膜との界面部分での赤リンの濃度差に起因する転移欠陥(ミスフィット転移)の発生を抑制できる。
本発明の単結晶の製造方法では、前記チャンバ内の前記坩堝の上方に、ヒーターを配置し、前記単結晶の直胴部を形成する直胴部形成工程において、前記単結晶を前記ヒーターで加熱することで前記単結晶の温度の下降を抑制し、前記単結晶のテール部を形成するテール部形成工程後に冷却工程を行うことで、前記単結晶の温度が570℃±70℃の範囲内となる時間を任意に制御することが好ましい。
本発明によれば、温度が上述の範囲内となる時間が20分以上200分以下となるように設定された部分から得られるシリコンウェーハに発生するピットの数を、0.1個/cm2以下にすることができる。
この発明によれば、上述のように、抵抗率が低くかつ高品質のエピタキシャルシリコンウェーハを提供することができる。また、エピタキシャルシリコンウェーハにポリシリコン膜を設けないため、工程の簡略化を図れる。
本発明のエピタキシャルシリコンウェーハは、上述のシリコン単結晶の前記直胴部から切り出されたシリコンウェーハ上にエピタキシャル膜を有することを特徴とする。
〔単結晶引き上げ装置の構成〕
まず、単結晶引き上げ装置の構成について説明する。
単結晶引き上げ装置1は、図17に示すように、単結晶引き上げ装置本体3と、図示しないドーピング装置と、図示しない制御部とを備える。
単結晶引き上げ装置本体3は、チャンバ30と、このチャンバ30内に配置された坩堝31と、この坩堝31に熱を放射して加熱する加熱部32と、引き上げ部としての引き上げケーブル33と、断熱筒34と、シールド36と備える。
加熱部32は、坩堝31の外側に配置されており、坩堝31を加熱して、坩堝31内のシリコンを融解する。
引き上げケーブル33は、例えば坩堝31上部に配置された図示しない引き上げ駆動部に、一端が接続されている。また、引き上げケーブル33は、他端に、種子結晶を保持するシードホルダ38、または、図示しないドーピング装置が適宜取り付けられる。引き上げケーブル33は、引き上げ駆動部の駆動により回転可能に構成されている。この引き上げケーブル33は、制御部による引き上げ駆動部の制御により、所定の引き上げ速度で上昇する。
断熱筒34は、坩堝31および加熱部32の周囲を取り囲むように配置されている。
シールド36は、加熱部32から上方に向かって放射される輻射熱を遮断する熱遮蔽用シールドである。このシールド36は、シリコン融液4の表面を覆うように設置されている。このシールド36は、下端側の開口部が上端側の開口部より小さくなった円錐形状となっている。
制御部は、作業者の設定入力に基づいて、チャンバ30内のガス流量、炉内圧力、引き上げケーブル33の引き上げ速度を適宜制御して、単結晶6製造時の制御をする。
次に、単結晶引き上げ装置1を用いて、単結晶6を製造する方法の一例について説明する。
まず、同一の石英坩堝311を利用し、かつ、単結晶6を引き上げるごとにポリシリコン素材411をチャージして、複数本の単結晶6を引き上げるいわゆるマルチ引き上げ法により、単結晶6を製造する方法について説明する。
ここで、図18に示すように、初期段階として70kgのポリシリコン素材を入れた石英坩堝311がセットされた単結晶引き上げ装置1は、制御部の制御により、ポリシリコン素材を加熱して融解させた後、チャンバ30内のガス流量および炉内圧力を所定の状態にして、シリコン融液4に揮発性ドーパントとしての赤リンを添加してドーパント添加融液41を生成する。
なお、エピタキシャルシリコンウェーハのミスフィット転移を抑制するために、赤リンとともにゲルマニウムを添加してもよい。また、赤リンの添加量は、単結晶6から切り出したシリコンウェーハの抵抗率が、0.7mΩ・cm以上0.9mΩ・cm以下となるような量である。
なお、引き上げ時間以外の条件、例えば加熱部32による加熱条件は、従来と同じであってもよい。
これに対して、本実施形態の図18で示す製造方法では、従来よりも短い単結晶6を製造することで、テール部形成工程が終了して冷却工程に入るときに、単結晶6全体を570℃±70℃よりも高い温度にすることができ、この状態から急激に冷却することで、570℃±70℃となる時間を従来の下端部と同様に短くすることができると考えられる。
その結果として、上述したように、単結晶6全体の熱履歴が図14の二点鎖線で囲む領域のようになり、単結晶6の温度が570℃±70℃の範囲内となる時間が20分以上200分以下となると考えられる。したがって、LPDの発生を単結晶の長さ方向全長にわたって抑制できる。
ここで、単結晶引き上げ装置1の制御部は、最後に製造する単結晶6以外の単結晶6の取り出しを待って冷却している間(冷却工程の間)、炉内圧力を13.3kPa(100torr)以上、60kPa(450torr)以下に調整することが好ましい。炉内圧力が13.3kPa未満の場合、揮発性ドーパントである赤リンが蒸発し、次に製造する単結晶6の抵抗率が上昇してしまう。一方、炉内圧力が60kPaを超える場合、蒸発物がチャンバ30内に付着しやすくなり、単結晶6の単結晶化を阻害してしまう。
このように製造された単結晶6から得られるシリコンウェーハの抵抗率は、0.7mΩ・cm以上0.9mΩ・cm以下となる。また、シリコンウェーハの酸素濃度は、7×1017〜10×1017atoms/cm3(IGFA(Inert Gas Fusion Analysis:不活性ガス融解法))であり、赤リンの濃度は、8.0×1019〜1.1×1020atoms/cm3であり、ゲルマニウムの濃度は、3.0×1019〜3.0×1020atoms/cm3となる。
また、このシリコンウェーハを1200℃の水素雰囲気中で30秒以上加熱すると、当該シリコンウェーハの表面においてKLA−Tencor社製SP−1のDCNモードで測定される90nm以上のLPDの個数は、0.1個/cm2以下となる。すなわち、シリコンウェーハの表面に発生するピットの個数は0.1個/cm2以下となる。
次に、上述の製造方法で製造された単結晶6から、図示しないエピタキシャルシリコンウェーハを製造する方法について説明する。
まず、単結晶6からシリコン結晶板を切り出した(第1工程)後、そのシリコンウェーハの表層から酸素をアニールアウトするために、シリコンウェーハのプリベーク処理を行う(第2工程)。
ここで、望ましくは、プリベーク処理は、1150℃〜1200℃の水素雰囲気中で行われ、プリベーク時間は30秒以上(例えば最短の30秒)である。
プリベーク処理の後に、CVD法によりシリコンウェーハ上にエピタキシャル膜を形成する(第3工程)。ここで、エピタキシャル成長のプロセス温度は、1000℃〜1150℃の範囲内であり、望ましくは、1050℃〜1080℃の範囲内である。
以上の製造プロセスにより、シリコンウェーハの抵抗率が0.7mΩ・cm以上0.9mΩ・cm以下と非常に低く、かつ、エピタキシャル膜のミスフィット転位が極めて少なく、かつ、SF(スタッキングフォルト)に起因するLPDの個数も0.1個/cm2以下という、パワーMOSトランジスタ用として十分に実用的であるシリコンエピタキシャルウェーハが製造される。
なお、本発明は上記実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々の改良ならびに設計の変更などが可能である。
ここで、単結晶引き上げ装置1の制御部は、2本の単結晶6を製造する場合、1本目の単結晶を引き上げた後、取り出しを待って冷却している間(冷却工程の間)、炉内圧力を13.3kPa以上、60kPa以下に調整することが好ましい。このように炉内圧力を調整することが好ましい理由は、前記実施形態のマルチ引き上げ法の理由と同じである。
なお、マルチ引上げ法を行う場合でも、最後の単結晶を引上げる際に原料を追加せず、上記抜き取り引上げ法が適用できる。
例えば、初期段階として、157kgのドーパント添加融液41をチャージして、31kgの単結晶6を5回連続で引き上げる方法を適用してもよい。このような方法によっても、単結晶6の温度が570℃±70℃の範囲内となる時間を20分以上200分以下とすることができる。
単結晶引き上げ装置1におけるチャンバ30内の坩堝31の上方には、クーラーとしての水冷体50が配置されている。水冷体50の配置位置としては、引き上げ中の単結晶6のうち低温部を冷却するために、図20に実線で示すように、ドーパント添加融液41の表面から水冷体50の下端までの距離D1が、単結晶6の直径Rの1.5倍以上3.0倍以下となる位置が好ましい。
単結晶引き上げ装置1に水冷体50を配置しない状態において、単結晶6を製造した。そして、各固化率における570℃±70℃での滞在時間を調べた。その結果を、図21に一点鎖線で示す。
図21に示すように、単結晶6の半分以上の領域において、570℃±70℃での滞在時間が200分以上になっていることが確認できた。
図21に示すように、単結晶6の殆どの領域において、570℃±70℃での滞在時間が200分以上になっていることが確認できた。
図21に示すように、単結晶6の全領域において、570℃±70℃での滞在時間が200分以下であることが確認できた。
なお、クーラーのひとつの形態として、円筒状の水冷体50を例に挙げて、その効果を説明したが、クーラーの形態としては、図20に二点鎖線で示すように、チャンバ30から下方へ延伸するドローチューブ53でも構わない。
単結晶引き上げ装置1にアフターヒーター51を配置しない状態において、例えば上記実験1と同様の条件で単結晶6を製造した。そして、テール部がドーパント添加融液41から切れた時点での、各固化率における単結晶中心の温度分布を調べた。その結果を、図22Aに一点鎖線で示す。さらに、各固化率における570℃±70℃での滞在時間を調べた。その結果を、図22Bに一点鎖線で示す。
また、図20に実線で示す位置にアフターヒーター51を配置したこと以外は、上記実験1と同様の条件で、すなわち、直胴部形成工程において、単結晶6をアフターヒーター51で加熱することで単結晶6の温度の下降を抑制しながら当該単結晶6を製造し、各固化率における単結晶中心の温度分布および570℃±70℃での滞在時間を調べた。それぞれの結果を、図22Aおよび図22Bに実線で示す。
具体的に、82kgのポリシリコン素材を石英坩堝311にセットし、ポリシリコン素材を加熱して融解させた後、チャンバ30内のガス流量および炉内圧力を所定の状態にして、シリコン融液4に揮発性ドーパントとしての赤リンを添加してドーパント添加融液41を生成した。赤リンの添加量は、単結晶6から切り出したシリコンウェーハの抵抗率が、0.7mΩ・cm以上0.9mΩ・cm以下となるような量である。
そして、40kgの単結晶6を2回連続で引き上げた。この引き上げの際、ネック部形成工程、肩部形成工程、直胴部形成工程、テール部形成工程、冷却工程のうち、少なくとも直胴部形成工程における引き上げ時間を従来よりも短くして、寸法が従来のものより短い40kgの単結晶6を製造した。また、2本の単結晶6を製造する際、1本目の単結晶を引き上げた後、取り出しを待って冷却している間(冷却工程の間)、炉内圧力を13.3kPa以上、60kPa以下に調整した。
製造した2本の単結晶6について、所定の固化率の部位から切り出したシリコンウェーハの抵抗率を測定した。
1本目の単結晶6の抵抗率分布を図23に示し、2本目の単結晶6の抵抗率分布を図24に示す。
30…チャンバ
33…引き上げ部としての引き上げケーブル
50…クーラーとしての水冷体
51…ヒーターとしてのアフターヒーター
53…クーラーとしてのドローチューブ
311…石英坩堝
Claims (8)
- チャンバと、
このチャンバ内に配置されシリコン融液に赤リンを添加したドーパント添加融液を収納可能な坩堝と、
種子結晶を前記ドーパント添加融液に接触させた後に引き上げる引き上げ部と、を備えた単結晶引き上げ装置を利用した単結晶の製造方法であって、
前記単結晶の抵抗率が0.7mΩ・cm以上0.9mΩ・cm以下となるように、前記シリコン融液に前記赤リンを添加し、前記単結晶から得られる評価シリコンウェーハに対して1200℃の水素雰囲気中で30秒加熱する熱処理を施した後に、当該評価シリコンウェーハに発生するピットの数が0.1個/cm2以下となるように、前記単結晶の温度が570℃±70℃の範囲内となる時間を任意に制御して前記単結晶を引き上げることを特徴とする単結晶の製造方法。 - 請求項1に記載の単結晶の製造方法において、
前記チャンバ内の前記坩堝の上方に、クーラーを配置し、
前記単結晶の直胴部を形成する直胴部形成工程において、前記単結晶を前記クーラーで冷却することで、前記単結晶の温度が570℃±70℃の範囲内となる時間を任意に制御することを特徴とする単結晶の製造方法。 - 請求項1に記載の単結晶の製造方法において、
前記チャンバ内の前記坩堝の上方に、ヒーターを配置し、
前記単結晶の直胴部を形成する直胴部形成工程において、前記単結晶を前記ヒーターで加熱することで前記単結晶の温度の下降を抑制し、前記単結晶のテール部を形成するテール部形成工程後に冷却工程を行うことで、前記単結晶の温度が570℃±70℃の範囲内となる時間を任意に制御することを特徴とする単結晶の製造方法。 - 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の単結晶の製造方法において、
前記単結晶の少なくとも一部の温度が、570℃±70℃の範囲内となる時間が20分以上200分以下となるように前記単結晶を引き上げることを特徴とする単結晶の製造方法。 - チャンバと、
このチャンバ内に配置されシリコン融液に赤リンを添加したドーパント添加融液を収納可能な坩堝と、
種子結晶を前記ドーパント添加融液に接触させた後に引き上げる引き上げ部と、を備えた単結晶引き上げ装置を利用して得られる単結晶を用いたシリコンウェーハの製造方法であって、
前記単結晶の抵抗率が0.7mΩ・cm以上0.9mΩ・cm以下となるように、前記シリコン融液に前記赤リンを添加し、前記単結晶を引き上げ、当該単結晶の引き上げ時の温度が570℃±70℃の範囲内となる時間が20分以上200分以下となり、かつ、当該単結晶から得られる評価シリコンウェーハに対して1200℃の水素雰囲気中で30秒加熱する熱処理を施した後に、当該評価シリコンウェーハの表面における90nm以上のLPDの個数が0.1個/cm2以下となる部分から前記シリコンウェーハを切り出すことを特徴とするシリコンウェーハの製造方法。 - 請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の単結晶の製造方法により製造された単結晶から、シリコンウェーハを切り出す第1工程と、
前記第1工程で切り出された前記シリコンウェーハを水素雰囲気中で加熱する第2工程と、
前記第2工程の後に、前記シリコンウェーハ上にエピタキシャル膜を形成してエピタキシャルシリコンウェーハを製造する第3工程とを含むことを特徴とするエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。 - 赤リンを含有し、抵抗率が0.7mΩ・cm以上0.9mΩ・cm以下のシリコン単結晶であって、
前記シリコン単結晶から切り出されたシリコンウェーハに対して1200℃の水素雰囲気中で30秒加熱する熱処理を施した後に、当該シリコンウェーハの表面における90nm以上のLPDの個数が0.1個/cm2以下となる結晶領域からなる直胴部を有することを特徴とするシリコン単結晶。 - 請求項7に記載のシリコン単結晶の前記直胴部から切り出されたシリコンウェーハ上にエピタキシャル膜を有することを特徴とするエピタキシャルシリコンウェーハ。
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