JP5543525B2 - 光学デバイスおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
はじめに、本発明の実施の形態1について図1A,図1B,図1Cを用いて説明する。図1A,図1B,図1Cは、本発明の実施の形態1における光学デバイスの製造方法を説明する各工程における状態を示す構成図である。図1A,図1B,図1Cでは、断面を模式的に示している。
次に、本発明の実施の形態2について説明する。実施の形態2では、図3に示すエタロンフィルタを例に説明する。このエタロンフィルタは、石英板(第1基板)301および石英板(第3基板)302を、石英からなるスペーサ(第2基板)303を介して対向して配置している。このように、スペーサ303を介して配置することで、石英板301と石英板302との間には、空間321が存在する状態となる。また、石英板301および石英板302には、各々の対向する一方の面に反射膜304,反射膜305を備えている。また、石英板301および石英板302の他方の面には、各々反射防止膜306,反射防止膜307を備えている。
Claims (10)
- 二酸化ケイ素を含む透明な材料から構成された第1基板の中央部を除く周辺部の接合領域に第1金属層を形成する工程と、
第2基板の一方の面に第2金属層を形成する工程と、
前記第1基板の前記第1金属層と前記第2基板の第2金属層とを当接させることで前記第1基板および前記第2基板を前記第1金属層および前記第2金属層により接合する工程と
を少なくとも備え、
前記第1金属層および前記第2金属層は、常温における酸化物の生成自由エネルギーが正の金属を含む金属材料から構成し、
前記第1金属層および前記第2金属層は、前記第1金属層および前記第2金属層の形成面における表面粗さの3倍以上の厚さに形成することを特徴とする光学デバイスの製造方法。 - 請求項1記載の光学デバイスの製造方法において、
前記第2基板は、二酸化ケイ素を含む透明な材料から構成し、
前記第2金属層は、前記第2基板の中央部を除く周辺部の接合領域に形成することを特徴とする光学デバイスの製造方法。 - 請求項1記載の光学デバイスの製造方法において、
二酸化ケイ素を含む透明な材料から構成された第3基板の中央部を除く周辺部の接合領域に第3金属層を形成する工程と、
前記第2基板の他方の面に第4金属層を形成する工程と、
前記第3基板の前記第3金属層と前記第2基板の第4金属層とを当接させることで前記第3基板および前記第2基板を前記第3金属層および前記第4金属層により接合する工程と
を備え、
前記第3金属層および前記第4金属層は、常温における酸化物の生成自由エネルギーが正の金属を含む金属材料から構成することを特徴とする光学デバイスの製造方法。 - 請求項3記載の光学デバイスの製造方法において、
前記第3金属層および前記第4金属層は、前記第3金属層および前記第4金属層の形成面における表面粗さの3倍以上の厚さに形成することを特徴とする光学デバイスの製造方法。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の光学デバイスの製造方法において、
前記金属材料は、Au,Pt,およびこれらの金属を含む合金の中より選択されたものであることを特徴とする光学デバイスの製造方法。 - 二酸化ケイ素を含む透明な材料から構成された第1基板の中央部を除く周辺部の接合領域に形成された第1金属層と、
第2基板の一方の面に形成されて前記第1金属層と当接して一体とされた第2金属層と
を少なくとも備え、
前記第1金属層および前記第2金属層は、常温における酸化物の生成自由エネルギーが正の金属を含む金属材料から構成され、
前記第1金属層および前記第2金属層は、前記第1金属層および前記第2金属層の形成面における表面粗さの3倍以上の厚さに形成されていることを特徴とする光学デバイス。 - 請求項6記載の光学デバイスにおいて、
前記第2基板は、二酸化ケイ素を含む透明な材料から構成され、
前記第2金属層は、前記第2基板の中央部を除く周辺部の接合領域に形成されていることを特徴とする光学デバイス。 - 請求項6記載の光学デバイスにおいて、
二酸化ケイ素を含む透明な材料から構成された第3基板の中央部を除く周辺部の接合領域に形成された第3金属層と、
前記第2基板の他方の面に形成されて前記第3金属層と当接して一体とされた第4金属層と
を少なくとも備え、
前記第3金属層および第4金属層は、常温における酸化物の生成自由エネルギーが正の金属を含む金属材料から構成されていることを特徴とする光学デバイス。 - 請求項8記載の光学デバイスにおいて、
前記第3金属層および前記第4金属層は、前記第3金属層および前記第4金属層の形成面における表面粗さの3倍以上の厚さに形成されていることを特徴とする光学デバイス。 - 請求項6〜9のいずれか1項に記載の光学デバイスにおいて、
前記金属材料は、Au,Pt,およびこれらの金属を含む合金の中より選択されたものであることを特徴とする光学デバイス。
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