JP2003195031A - エアギャップ型エタロンフィルタとその製造方法 - Google Patents
エアギャップ型エタロンフィルタとその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】高い温度安定性を維持したまま低コスト化が実
現出来るエアギャップ型エタロンフィルタとその製造方
法を提供する 【解決手段】所定の寸法に加工した透明基板（ガラス板
等）の光信号を通過させる面に、反射膜（ＭＲコート）
と反射防止膜（ＡＲコート）とを夫々成膜させたＭＲ材
５ａ、５ｂを製作し、２枚のＭＲ材５ａ、５ｂの反射膜
が成膜されている面を平行に対向させて、ＭＲ材５ａ、
５ｂの側面と所定の空隙を隔ててギャップ材６ａ、６ｂ
を接合し、２枚のＭＲ材とギャップ材６ａ、６ｂとを固
定したものである。２枚のＭＲ材５ａ、５ｂとギャップ
材６ａ、６ｂの接合は接着剤７を用いている。
現出来るエアギャップ型エタロンフィルタとその製造方
法を提供する 【解決手段】所定の寸法に加工した透明基板（ガラス板
等）の光信号を通過させる面に、反射膜（ＭＲコート）
と反射防止膜（ＡＲコート）とを夫々成膜させたＭＲ材
５ａ、５ｂを製作し、２枚のＭＲ材５ａ、５ｂの反射膜
が成膜されている面を平行に対向させて、ＭＲ材５ａ、
５ｂの側面と所定の空隙を隔ててギャップ材６ａ、６ｂ
を接合し、２枚のＭＲ材とギャップ材６ａ、６ｂとを固
定したものである。２枚のＭＲ材５ａ、５ｂとギャップ
材６ａ、６ｂの接合は接着剤７を用いている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光通信において波
長多重する際の分光素子として用いられているエアギャ
ップ型エタロンフィルタの改良に関し、特に高い性能を
維持したまま低価格化を図る構造とその製造方法に関す
る。
長多重する際の分光素子として用いられているエアギャ
ップ型エタロンフィルタの改良に関し、特に高い性能を
維持したまま低価格化を図る構造とその製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】一本の光ファイバーを使用して多重度の
大きな伝送を行うため、波長が異なる複数の光信号を多
重する波長多重技術を用いた光通信が実用化されてい
る。又、近年では、通信量の増大により更なる大容量化
が求められており、波長多重技術においても波長多重数
の増大に伴い光信号の各波長間隔が狭まり、隣接した光
信号との干渉を防ぐため、各波長を厳密にコントロール
する必要性が生じている。光信号の波長を安定させる方
法としては、一般的にファブリペロー共振を用いたエタ
ロンフィルタによる波長監視機能を半導体レーザに組み
合わせる方法を用いる。そこで、エタロンフィルタは、
波長間隔が狭まったことにより高い光学特性と温度安定
性が求められるようになってきている。
大きな伝送を行うため、波長が異なる複数の光信号を多
重する波長多重技術を用いた光通信が実用化されてい
る。又、近年では、通信量の増大により更なる大容量化
が求められており、波長多重技術においても波長多重数
の増大に伴い光信号の各波長間隔が狭まり、隣接した光
信号との干渉を防ぐため、各波長を厳密にコントロール
する必要性が生じている。光信号の波長を安定させる方
法としては、一般的にファブリペロー共振を用いたエタ
ロンフィルタによる波長監視機能を半導体レーザに組み
合わせる方法を用いる。そこで、エタロンフィルタは、
波長間隔が狭まったことにより高い光学特性と温度安定
性が求められるようになってきている。
【０００３】エタロンフィルタの構成手段としては、ソ
リッドタイプのエタロンフィルタとエアギャップタイプ
のエタロンフィルタがある。ソリッドタイプのエタロン
フィルタは、極めて単純な構成で低コスト化が可能であ
るが、その温度特性は、ギャップ材料の屈折率温度依存
性と線熱膨張係数によって決定され、現実的には、光学
的損失が少なく、且つ温度特性の優れた材料が実現され
ていないため本目的で使用するには不向きである。因み
に、ソリッド型エタロンフィルタの温度特性は、石英を
使用した場合約１０ｐｍ／℃、水晶を使用した場合で約
５ｐｍ/℃程度である。尚、後述するエアギャップ型エ
タロンフィルタにおいては、約０．１ｐｍ/℃程度が実
現可能である。
リッドタイプのエタロンフィルタとエアギャップタイプ
のエタロンフィルタがある。ソリッドタイプのエタロン
フィルタは、極めて単純な構成で低コスト化が可能であ
るが、その温度特性は、ギャップ材料の屈折率温度依存
性と線熱膨張係数によって決定され、現実的には、光学
的損失が少なく、且つ温度特性の優れた材料が実現され
ていないため本目的で使用するには不向きである。因み
に、ソリッド型エタロンフィルタの温度特性は、石英を
使用した場合約１０ｐｍ／℃、水晶を使用した場合で約
５ｐｍ/℃程度である。尚、後述するエアギャップ型エ
タロンフィルタにおいては、約０．１ｐｍ/℃程度が実
現可能である。
【０００４】そこで、本目的を満足させるため、一般的
に高い温度安定性を備えたエアギャップタイプのエタロ
ンフィルタが用いられることが多い。エアギャップ型エ
タロンフィルタは、片面に反射膜を成膜した２枚のガラ
ス板等の透明基板を、所定の空隙を隔てて反射面同士が
平行に対向するように組み立てたものであり、エアギャ
ップ型エタロンフィルタの温度安定度は、反射膜間の空
気の屈折率温度依存性と反射膜を成膜した２枚の透明基
板を隔てるギャップ材の熱膨張係数により、その基本特
性が決定される。従って、空気の屈折率温度依存性をコ
ントロールすることは困難であるため、エアギャップ型
エタロンフィルタの温度安定度は、反射膜を成膜した２
枚の透明基板を隔てるギャップ長の変化を温度変化によ
りいかに抑えるかにかかっている。一般的に、反射膜を
成膜した２枚の透明基板を所定の空隙を隔てて対向させ
るために取り付けるギャップ材は、２枚の透明基板と接
着剤を用いないでオプティカルコンタクト法により直接
接合される。
に高い温度安定性を備えたエアギャップタイプのエタロ
ンフィルタが用いられることが多い。エアギャップ型エ
タロンフィルタは、片面に反射膜を成膜した２枚のガラ
ス板等の透明基板を、所定の空隙を隔てて反射面同士が
平行に対向するように組み立てたものであり、エアギャ
ップ型エタロンフィルタの温度安定度は、反射膜間の空
気の屈折率温度依存性と反射膜を成膜した２枚の透明基
板を隔てるギャップ材の熱膨張係数により、その基本特
性が決定される。従って、空気の屈折率温度依存性をコ
ントロールすることは困難であるため、エアギャップ型
エタロンフィルタの温度安定度は、反射膜を成膜した２
枚の透明基板を隔てるギャップ長の変化を温度変化によ
りいかに抑えるかにかかっている。一般的に、反射膜を
成膜した２枚の透明基板を所定の空隙を隔てて対向させ
るために取り付けるギャップ材は、２枚の透明基板と接
着剤を用いないでオプティカルコンタクト法により直接
接合される。
【０００５】図６に、従来のオプティカルコンタクト法
を用いたエアギャップ型エタロンフィルタの構造例を示
す。同図に示すようにエアギャップ型エタロンフィルタ
は、所定の寸法に加工した透明基板（ガラス板等）の光
信号を通過させる面（ＩＮから入力してＯＵＴに出力す
る）に、反射膜（ＭＲコート）と反射防止膜（ＡＲコー
ト）とを夫々成膜させたＭＲ材１ａ、１ｂを製作し、２
枚のＭＲ材１ａ、１ｂの反射膜が成膜されている面を平
行に対向させてギャップ材２ａ、２ｂを接合し、２枚の
ＭＲ材１ａ、１ｂを所定の空隙を隔てて固定したもので
ある。
を用いたエアギャップ型エタロンフィルタの構造例を示
す。同図に示すようにエアギャップ型エタロンフィルタ
は、所定の寸法に加工した透明基板（ガラス板等）の光
信号を通過させる面（ＩＮから入力してＯＵＴに出力す
る）に、反射膜（ＭＲコート）と反射防止膜（ＡＲコー
ト）とを夫々成膜させたＭＲ材１ａ、１ｂを製作し、２
枚のＭＲ材１ａ、１ｂの反射膜が成膜されている面を平
行に対向させてギャップ材２ａ、２ｂを接合し、２枚の
ＭＲ材１ａ、１ｂを所定の空隙を隔てて固定したもので
ある。
【０００６】２枚のＭＲ材１ａ、１ｂとギャップ材２
ａ、２ｂとの接合はオプティカルコンタクト３を用いて
おり、高い温度安定性を有している。オプティカルコン
タクト３による接合方法は、極めて平坦で滑らかな接着
面を研磨加工により実現する必要があり、特殊な技能で
製造する為その製造歩留まりは悪く低価格化を図ること
は困難であった。又、フィルタ特性の中心波長を規定の
波長に合わせ込むためには、ギャップの間隔を絶対値で
サブミクロンの加工精度で仕上げる必要があるが、途中
工程での微調整を行うことが出来ないという問題が生じ
ていた。一方、これを解決するために、図６に示した従
来のエアギャップ型エタロンフィルタと同一な構造で、
ＭＲ材とギャップ材とを接着剤を用いて接着固定した方
法が考えられている。
ａ、２ｂとの接合はオプティカルコンタクト３を用いて
おり、高い温度安定性を有している。オプティカルコン
タクト３による接合方法は、極めて平坦で滑らかな接着
面を研磨加工により実現する必要があり、特殊な技能で
製造する為その製造歩留まりは悪く低価格化を図ること
は困難であった。又、フィルタ特性の中心波長を規定の
波長に合わせ込むためには、ギャップの間隔を絶対値で
サブミクロンの加工精度で仕上げる必要があるが、途中
工程での微調整を行うことが出来ないという問題が生じ
ていた。一方、これを解決するために、図６に示した従
来のエアギャップ型エタロンフィルタと同一な構造で、
ＭＲ材とギャップ材とを接着剤を用いて接着固定した方
法が考えられている。
【０００７】図７に、従来の接着剤を用いたエアギャッ
プ型エタロンフィルタの構造例を示す。同図に示すよう
にエアギャップ型エタロンフィルタは、所定の寸法に加
工した透明基板（ガラス板等）の光信号を通過させる面
に、反射膜（ＭＲコート）と反射防止膜（ＡＲコート）
とを夫々成膜させたＭＲ材１ａ、１ｂを製作し、２枚の
ＭＲ材１ａ、１ｂの反射膜が成膜されている面を平行に
対向させてギャップ材２ａ、２ｂを接合し、２枚のＭＲ
材１ａ、１ｂを所定の空隙を隔てて固定したものであ
る。
プ型エタロンフィルタの構造例を示す。同図に示すよう
にエアギャップ型エタロンフィルタは、所定の寸法に加
工した透明基板（ガラス板等）の光信号を通過させる面
に、反射膜（ＭＲコート）と反射防止膜（ＡＲコート）
とを夫々成膜させたＭＲ材１ａ、１ｂを製作し、２枚の
ＭＲ材１ａ、１ｂの反射膜が成膜されている面を平行に
対向させてギャップ材２ａ、２ｂを接合し、２枚のＭＲ
材１ａ、１ｂを所定の空隙を隔てて固定したものであ
る。
【０００８】２枚のＭＲ材１ａ、１ｂとギャップ材２
ａ、２ｂの接合は接着剤４を用いている。この方法は、
オプティカルコンタクト法に比較すると、接着剤の熱膨
張の分だけ温度安定性が悪化するという欠点があり、そ
こで、接着剤の熱膨張係数が小さなものを選択し、且つ
接着層の厚みを極力抑えることで温度変化による影響を
少なくする必要性がある。しかし、接着剤の影響は少な
からず残るので、実用には至っていない。
ａ、２ｂの接合は接着剤４を用いている。この方法は、
オプティカルコンタクト法に比較すると、接着剤の熱膨
張の分だけ温度安定性が悪化するという欠点があり、そ
こで、接着剤の熱膨張係数が小さなものを選択し、且つ
接着層の厚みを極力抑えることで温度変化による影響を
少なくする必要性がある。しかし、接着剤の影響は少な
からず残るので、実用には至っていない。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】高い温度安定性が求め
られているエアギャップタイプのエタロンフィルタにお
いて、上述したように特殊な技能で製造する為、その製
造歩留まりが悪く低価格化を図ることが困難であった
り、組立時に接着剤を使用することにより接着剤の熱膨
張の分だけ温度安定性が悪化したりする問題を解決する
ためになされたものであって、高い温度安定性を維持し
たまま低コスト化が実現出来るエアギャップ型エタロン
フィルタとその製造方法を提供することを目的とする。
られているエアギャップタイプのエタロンフィルタにお
いて、上述したように特殊な技能で製造する為、その製
造歩留まりが悪く低価格化を図ることが困難であった
り、組立時に接着剤を使用することにより接着剤の熱膨
張の分だけ温度安定性が悪化したりする問題を解決する
ためになされたものであって、高い温度安定性を維持し
たまま低コスト化が実現出来るエアギャップ型エタロン
フィルタとその製造方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明に係わるエアギャップ型エタロンフィルタとそ
の製造方法は、以下の構成をとる。請求項１記載のエア
ギャップ型エタロンフィルタは、一面に反射膜を他面に
反射防止膜を成膜した２枚の透明基板を、その反射膜及
び反射防止膜が形成された面と直交する面に接着剤を介
して前記反射面同士が対向し、かつ、前記２枚の透明基
板が所定の空隙を隔てて位置するようギャップ材に固定
するよう構成する。
に本発明に係わるエアギャップ型エタロンフィルタとそ
の製造方法は、以下の構成をとる。請求項１記載のエア
ギャップ型エタロンフィルタは、一面に反射膜を他面に
反射防止膜を成膜した２枚の透明基板を、その反射膜及
び反射防止膜が形成された面と直交する面に接着剤を介
して前記反射面同士が対向し、かつ、前記２枚の透明基
板が所定の空隙を隔てて位置するようギャップ材に固定
するよう構成する。
【００１１】請求項２記載のエアギャップ型エタロンフ
ィルタは、前記ギャップ材が前記透明基板と同質の材料
により構成する。
ィルタは、前記ギャップ材が前記透明基板と同質の材料
により構成する。
【請求項７】請求項３記載のエアギャップ型エタロンフ
ィルタは、前記ギャップ材が前記透明基板と異質の材料
であって、かつ、前記透明基板に対して負の膨張係数を
備えたものである。
ィルタは、前記ギャップ材が前記透明基板と異質の材料
であって、かつ、前記透明基板に対して負の膨張係数を
備えたものである。
【００１２】請求項４記載のエアギャップ型エタロンフ
ィルタの製造方法は、片面に反射膜を他の片面に反射防
止膜を成膜した２枚の透明基板を、所定の空隙を隔てて
反射面同士が平行に対向するようギャップ材を介して組
み立てたエアギャップ型エタロンフィルタにおいて、所
定のサイズに加工した透明基板の片面に反射防止膜を成
膜する工程と、前記透明基板の他の片面に反射膜を成膜
する工程と、透明基板に成膜処理することにより作成し
た２枚のＭＲ材の反射面を対向させ、所定の肉厚を持ち
所定の高さ寸法に加工された枠からなるスペース治具を
挟み込み接着剤を用いて接着固定する工程と、該スペー
ス治具を挟みこんだ２枚のＭＲ材の光学面を所定のピッ
チで切断機を用いて切断する工程と、該切断したＭＲ材
の切断面の両側に所定のサイズに加工したギャップ材を
接着剤を用いて接着固定する工程と、該ギャップ材を固
定したＭＲ材の短辺側に平行に所定のピッチで切断機を
用いて切断する工程とを含むよう構成する。
ィルタの製造方法は、片面に反射膜を他の片面に反射防
止膜を成膜した２枚の透明基板を、所定の空隙を隔てて
反射面同士が平行に対向するようギャップ材を介して組
み立てたエアギャップ型エタロンフィルタにおいて、所
定のサイズに加工した透明基板の片面に反射防止膜を成
膜する工程と、前記透明基板の他の片面に反射膜を成膜
する工程と、透明基板に成膜処理することにより作成し
た２枚のＭＲ材の反射面を対向させ、所定の肉厚を持ち
所定の高さ寸法に加工された枠からなるスペース治具を
挟み込み接着剤を用いて接着固定する工程と、該スペー
ス治具を挟みこんだ２枚のＭＲ材の光学面を所定のピッ
チで切断機を用いて切断する工程と、該切断したＭＲ材
の切断面の両側に所定のサイズに加工したギャップ材を
接着剤を用いて接着固定する工程と、該ギャップ材を固
定したＭＲ材の短辺側に平行に所定のピッチで切断機を
用いて切断する工程とを含むよう構成する。
【００１３】請求項５記載のエアギャップ型エタロンフ
ィルタは、所定の膜を成膜した透明基板をギャップ材を
介し接着固定して構成するエアギャップ型エタロンフィ
ルタにおいて、片面に反射膜を他の片面に反射防止膜を
成膜した２枚の透明基板を、所定の空隙を隔てて反射防
止面同士が平行に対向すると共に、該２枚の透明基板の
非光学面である同一側面同士に２枚のギャップ材を夫々
接着剤を用いて接着し、透明基板を固定するよう構成す
る。
ィルタは、所定の膜を成膜した透明基板をギャップ材を
介し接着固定して構成するエアギャップ型エタロンフィ
ルタにおいて、片面に反射膜を他の片面に反射防止膜を
成膜した２枚の透明基板を、所定の空隙を隔てて反射防
止面同士が平行に対向すると共に、該２枚の透明基板の
非光学面である同一側面同士に２枚のギャップ材を夫々
接着剤を用いて接着し、透明基板を固定するよう構成す
る。
【００１４】請求項６記載のエアギャップ型エタロンフ
ィルタの製造方法は、片面に反射膜を他の片面に反射防
止膜を成膜した２枚の透明基板を、所定の空隙を隔てて
反射防止面同士が平行に対向するようギャップ材を介し
て組み立てたエアギャップ型エタロンフィルタにおい
て、所定のサイズに加工した透明基板の片面に反射防止
膜を成膜する工程と、透明基板に成膜処理することによ
り作成した２枚のＭＲ材の反射防止面を対向させ、所定
の肉厚を持ち所定の高さ寸法に加工された枠からなるス
ペース治具を挟み込み接着剤を用いて接着固定する工程
と、該スペース治具を挟みこんだ２枚のＭＲ材を所定の
ピッチで切断機を用いて切断する工程と、該切断したＭ
Ｒ材の切断面の両側に所定のサイズに加工したギャップ
材を接着剤を用いて接着固定する工程と、該ギャップ材
を固定したＭＲ材の短辺側に平行に所定のピッチで切断
機を用いて切断する工程と、切断したＭＲ材の外面を両
面研削加工する工程と、該ＭＲ材の外面に反射膜を成膜
する工程とを含むよう構成する。
ィルタの製造方法は、片面に反射膜を他の片面に反射防
止膜を成膜した２枚の透明基板を、所定の空隙を隔てて
反射防止面同士が平行に対向するようギャップ材を介し
て組み立てたエアギャップ型エタロンフィルタにおい
て、所定のサイズに加工した透明基板の片面に反射防止
膜を成膜する工程と、透明基板に成膜処理することによ
り作成した２枚のＭＲ材の反射防止面を対向させ、所定
の肉厚を持ち所定の高さ寸法に加工された枠からなるス
ペース治具を挟み込み接着剤を用いて接着固定する工程
と、該スペース治具を挟みこんだ２枚のＭＲ材を所定の
ピッチで切断機を用いて切断する工程と、該切断したＭ
Ｒ材の切断面の両側に所定のサイズに加工したギャップ
材を接着剤を用いて接着固定する工程と、該ギャップ材
を固定したＭＲ材の短辺側に平行に所定のピッチで切断
機を用いて切断する工程と、切断したＭＲ材の外面を両
面研削加工する工程と、該ＭＲ材の外面に反射膜を成膜
する工程とを含むよう構成する。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図示した実施例に基づいて
本発明を詳細に説明する。図１は、本発明に係る接着剤
を用いたエアギャップ型エタロンフィルタの第一の実施
例を示す構成図である。第一の実施例は、透明基板に反
射膜（ＭＲコート）と反射防止膜（ＡＲコート）とを夫
々成膜させたＭＲ材と、２枚のＭＲ材を所定の空隙を隔
てて対向させるギャップ材との接合方法を従来の方法か
ら変更し、ＭＲ材接着剤を介してギャップ材を接合した
もので、ＭＲ材の接着面が反射膜を成膜した光学面では
なくなることから、接着剤による温度安定性の劣化を防
ぐという特徴を有している。
本発明を詳細に説明する。図１は、本発明に係る接着剤
を用いたエアギャップ型エタロンフィルタの第一の実施
例を示す構成図である。第一の実施例は、透明基板に反
射膜（ＭＲコート）と反射防止膜（ＡＲコート）とを夫
々成膜させたＭＲ材と、２枚のＭＲ材を所定の空隙を隔
てて対向させるギャップ材との接合方法を従来の方法か
ら変更し、ＭＲ材接着剤を介してギャップ材を接合した
もので、ＭＲ材の接着面が反射膜を成膜した光学面では
なくなることから、接着剤による温度安定性の劣化を防
ぐという特徴を有している。
【００１６】図１に示すようにエアギャップ型エタロン
フィルタは、所定の寸法に加工した透明基板（ガラス板
等）の光信号を通過させる面に、反射膜（ＭＲコート）
と反射防止膜（ＡＲコート）とを夫々成膜させたＭＲ材
５ａ、５ｂを製作し、２枚のＭＲ材５ａ、５ｂが反射膜
の成膜されている面が平行となるように所定の空隙を隔
てて対向させ、ＭＲ材５ａ、５ｂの反射膜と反射防止膜
とが形成された面と直交する面にＭＲ材５ａ、５ｂと同
質のギャップ材６ａ、６ｂを接合し、２枚のＭＲ材５
ａ、５ｂとギャップ材６ａ、６ｂとを固定したものであ
る。２枚のＭＲ材５ａ、５ｂとギャップ材６ａ、６ｂの
接合は接着剤７を用いている。本実施例によれば、接着
剤はＭＲ材５ａ、５ｂの反射膜及び反射防止膜を形成し
た面、すなわち側面に塗布され、ＭＲコート面には付着
しない。従って、接着位置を変更したことによりエアギ
ャップ型エタロンフィルタの温度特性に、接着剤の熱膨
張が影響を与えることを防ぐことが出来る。
フィルタは、所定の寸法に加工した透明基板（ガラス板
等）の光信号を通過させる面に、反射膜（ＭＲコート）
と反射防止膜（ＡＲコート）とを夫々成膜させたＭＲ材
５ａ、５ｂを製作し、２枚のＭＲ材５ａ、５ｂが反射膜
の成膜されている面が平行となるように所定の空隙を隔
てて対向させ、ＭＲ材５ａ、５ｂの反射膜と反射防止膜
とが形成された面と直交する面にＭＲ材５ａ、５ｂと同
質のギャップ材６ａ、６ｂを接合し、２枚のＭＲ材５
ａ、５ｂとギャップ材６ａ、６ｂとを固定したものであ
る。２枚のＭＲ材５ａ、５ｂとギャップ材６ａ、６ｂの
接合は接着剤７を用いている。本実施例によれば、接着
剤はＭＲ材５ａ、５ｂの反射膜及び反射防止膜を形成し
た面、すなわち側面に塗布され、ＭＲコート面には付着
しない。従って、接着位置を変更したことによりエアギ
ャップ型エタロンフィルタの温度特性に、接着剤の熱膨
張が影響を与えることを防ぐことが出来る。
【００１７】図２は、本発明に係る接着剤を用いたエア
ギャップ型エタロンフィルタの第二の実施例を示す構成
図である。第二の実施例は、ＭＲ材の材質とギャップ材
の材質とを異なるものを組み合わせた複合形のエアギャ
ップ型エタロンフィルタを構成する。従って、ＭＲ材の
熱膨張係数に対してギャップ材の熱膨張係数がマイナス
である材質のものを選択することにより、熱膨張を二つ
の材質により相殺させ、極めて安定な温度特性を実現す
ることが可能である。又、第一の実施例と同じく、ＭＲ
材と、２枚のＭＲ材を所定の空隙を隔てて対向させるギ
ャップ材との接合方法は、ＭＲ材の側面にギャップ材を
接合する方法を採用しているので、ＭＲ材の接着面が反
射膜を成膜した光学面ではなくなることから、接着剤に
よる温度安定性の劣化を防ぐという特徴を有している。
ギャップ型エタロンフィルタの第二の実施例を示す構成
図である。第二の実施例は、ＭＲ材の材質とギャップ材
の材質とを異なるものを組み合わせた複合形のエアギャ
ップ型エタロンフィルタを構成する。従って、ＭＲ材の
熱膨張係数に対してギャップ材の熱膨張係数がマイナス
である材質のものを選択することにより、熱膨張を二つ
の材質により相殺させ、極めて安定な温度特性を実現す
ることが可能である。又、第一の実施例と同じく、ＭＲ
材と、２枚のＭＲ材を所定の空隙を隔てて対向させるギ
ャップ材との接合方法は、ＭＲ材の側面にギャップ材を
接合する方法を採用しているので、ＭＲ材の接着面が反
射膜を成膜した光学面ではなくなることから、接着剤に
よる温度安定性の劣化を防ぐという特徴を有している。
【００１８】図２に示すようにエアギャップ型エタロン
フィルタは、所定の寸法に加工した透明基板（ガラス板
等）の光信号を通過させる面に、反射膜（ＭＲコート）
と反射防止膜（ＡＲコート）とを夫々成膜させたＭＲ材
８ａ、８ｂを製作し、２枚のＭＲ材８ａ、８ｂの反射膜
が成膜されている面を平行に対向させて、ＭＲ材８ａ、
８ｂの側面と所定の空隙を隔ててＭＲ材８ａ、８ｂと異
質のギャップ材９ａ、９ｂを接合し、２枚のＭＲ材８
ａ、８ｂとギャップ材９ａ、９ｂとを固定したものであ
る。２枚のＭＲ材８ａ、８ｂとギャップ材９ａ、９ｂの
接合は接着剤１０を用いている。本実施例によれば、接
着剤はＭＲ材８ａ、８ｂの側面に塗布され、ＭＲコート
面には付着しない。又、ギャップ材がＭＲ材に対して負
の熱膨張係数を持ち互いに熱膨張を相殺するので、極め
て安定な温度特性が得られる。
フィルタは、所定の寸法に加工した透明基板（ガラス板
等）の光信号を通過させる面に、反射膜（ＭＲコート）
と反射防止膜（ＡＲコート）とを夫々成膜させたＭＲ材
８ａ、８ｂを製作し、２枚のＭＲ材８ａ、８ｂの反射膜
が成膜されている面を平行に対向させて、ＭＲ材８ａ、
８ｂの側面と所定の空隙を隔ててＭＲ材８ａ、８ｂと異
質のギャップ材９ａ、９ｂを接合し、２枚のＭＲ材８
ａ、８ｂとギャップ材９ａ、９ｂとを固定したものであ
る。２枚のＭＲ材８ａ、８ｂとギャップ材９ａ、９ｂの
接合は接着剤１０を用いている。本実施例によれば、接
着剤はＭＲ材８ａ、８ｂの側面に塗布され、ＭＲコート
面には付着しない。又、ギャップ材がＭＲ材に対して負
の熱膨張係数を持ち互いに熱膨張を相殺するので、極め
て安定な温度特性が得られる。
【００１９】次に、本実施例におけるようなＭＲ材とギ
ャップ材とを異質なもので構成する複合形のエタロンフ
ィルタについて、具体的な設計方法を説明する。先ず、
エタロンフィルタの中心波長λｐは、 λｐ＝２ｎｄcosθ／ｍ 但し、θ：光の入射角 ｎ：媒質の屈折率 ｍ：任意の
整数 ｄ：ギャップの距離とする。と表記できる。そこ
で、入射光を０°入射としてΔＴ温度上昇したとする
と、この時、中心波長λｐのずれが零となるためには、 ｎｄ＝ｎ（ΔＴ）ｄ（ΔＴ） であれば良い。この条件を図２のモデルに適応する。 空気の屈折率：ｎａ 空気の屈折率温度依存性：βａ ギャップ寸法：ｄ ギャップ材線熱膨張係数：αｓ ＭＲ材屈折率：ｎｇ ＭＲ材屈折率温度依存性：βｇ ＭＲ材寸法：Ｄ／２ ＭＲ材線熱膨張係数：αｇ とすると、 ｎａｄ＋ｎｇｄ＝（βａ＋ｎａ）（αｓｄ＋ｄ）＋（β
ｇ＋ｎｇ）（αｇＤ＋Ｄ） と表記できるので Ｄ＝−〔{ｎａ−（βａ＋ｎａ）（αｓ＋１）}／{ｎｇ
−（βｇ＋ｎｇ）（αｇ＋１）}〕ｄ となる。そこで、異なる２種類の材料の線熱膨張係数か
ら上式を満たすＭＲ材とギャップ材の寸法により、温度
変動による中心波長のずれを零とすることが可能であ
る。
ャップ材とを異質なもので構成する複合形のエタロンフ
ィルタについて、具体的な設計方法を説明する。先ず、
エタロンフィルタの中心波長λｐは、 λｐ＝２ｎｄcosθ／ｍ 但し、θ：光の入射角 ｎ：媒質の屈折率 ｍ：任意の
整数 ｄ：ギャップの距離とする。と表記できる。そこ
で、入射光を０°入射としてΔＴ温度上昇したとする
と、この時、中心波長λｐのずれが零となるためには、 ｎｄ＝ｎ（ΔＴ）ｄ（ΔＴ） であれば良い。この条件を図２のモデルに適応する。 空気の屈折率：ｎａ 空気の屈折率温度依存性：βａ ギャップ寸法：ｄ ギャップ材線熱膨張係数：αｓ ＭＲ材屈折率：ｎｇ ＭＲ材屈折率温度依存性：βｇ ＭＲ材寸法：Ｄ／２ ＭＲ材線熱膨張係数：αｇ とすると、 ｎａｄ＋ｎｇｄ＝（βａ＋ｎａ）（αｓｄ＋ｄ）＋（β
ｇ＋ｎｇ）（αｇＤ＋Ｄ） と表記できるので Ｄ＝−〔{ｎａ−（βａ＋ｎａ）（αｓ＋１）}／{ｎｇ
−（βｇ＋ｎｇ）（αｇ＋１）}〕ｄ となる。そこで、異なる２種類の材料の線熱膨張係数か
ら上式を満たすＭＲ材とギャップ材の寸法により、温度
変動による中心波長のずれを零とすることが可能であ
る。
【００２０】図３は、第一及び第二の実施例に示したエ
アギャップ型エタロンフィルタを組み立てる際の工程例
を示す図である。同図を説明すると、先ず工程（１）に
おいて、所定のサイズ（３０ｍｍ×３０ｍｍで厚さ１．
５ｍｍ）に加工したガラス板の片面に反射防止膜を成膜
する。次に、（２）片面に反射防止膜を成膜したガラス
板の他の片面に、反射膜を成膜してＭＲ母材とする。そ
こで、（３）このＭＲ母材１１ａ、１１ｂの反射面を対
向させ、ガラス製で５ｍｍ程度の肉厚を持ち所定の高さ
に加工した枠からなるスペース治具１２を挟み込んで接
着する。接着剤は、２枚のＭＲ母材１１ａ、１１ｂの間
隔を厳密に設定するため、粘度の低いものを使用する。
この時形成される２枚のＭＲ母材１１ａ、１１ｂのギャ
ップ長は、エアギャップ型エタロンフィルタの特性に大
きく依存する。
アギャップ型エタロンフィルタを組み立てる際の工程例
を示す図である。同図を説明すると、先ず工程（１）に
おいて、所定のサイズ（３０ｍｍ×３０ｍｍで厚さ１．
５ｍｍ）に加工したガラス板の片面に反射防止膜を成膜
する。次に、（２）片面に反射防止膜を成膜したガラス
板の他の片面に、反射膜を成膜してＭＲ母材とする。そ
こで、（３）このＭＲ母材１１ａ、１１ｂの反射面を対
向させ、ガラス製で５ｍｍ程度の肉厚を持ち所定の高さ
に加工した枠からなるスペース治具１２を挟み込んで接
着する。接着剤は、２枚のＭＲ母材１１ａ、１１ｂの間
隔を厳密に設定するため、粘度の低いものを使用する。
この時形成される２枚のＭＲ母材１１ａ、１１ｂのギャ
ップ長は、エアギャップ型エタロンフィルタの特性に大
きく依存する。
【００２１】次に、（４）スペース治具を挟み込んで接
着したＭＲ母材を、ワイヤーソーを用いて所定の寸法
（２．３ｍｍピッチで切断して２．１ｍｍに仕上げる）
に切断する。更に、（５）切断したＭＲ材（３０ｍｍ×
９ｍｍで厚さ２．１ｍｍ）の両側面に、同一サイズ（３
０ｍｍ×９ｍｍで厚さ１ｍｍ）のガラス製、或いは他の
材質のギャップ母材１５を接着固定する。図では、手前
のギャップ母材は省略してある。最後に、（６）ギャッ
プ母材で固定されたＭＲ材を、所定のピッチでＭＲ材の
短辺方向に平行にワイヤーソーを用いて切断する（２．
３ｍｍピッチで切断して２．１ｍｍに仕上げる）。切断
した両端のＭＲ材は、スペース治具が挟みこまれている
ので廃棄する。
着したＭＲ母材を、ワイヤーソーを用いて所定の寸法
（２．３ｍｍピッチで切断して２．１ｍｍに仕上げる）
に切断する。更に、（５）切断したＭＲ材（３０ｍｍ×
９ｍｍで厚さ２．１ｍｍ）の両側面に、同一サイズ（３
０ｍｍ×９ｍｍで厚さ１ｍｍ）のガラス製、或いは他の
材質のギャップ母材１５を接着固定する。図では、手前
のギャップ母材は省略してある。最後に、（６）ギャッ
プ母材で固定されたＭＲ材を、所定のピッチでＭＲ材の
短辺方向に平行にワイヤーソーを用いて切断する（２．
３ｍｍピッチで切断して２．１ｍｍに仕上げる）。切断
した両端のＭＲ材は、スペース治具が挟みこまれている
ので廃棄する。
【００２２】図４は、本発明に係る接着剤を用いたエア
ギャップ型エタロンフィルタの第三の実施例を示す構成
図である。第三の実施例は、ＭＲ材に成膜した反射面を
外面に配置したことにある。そこで、ＭＲ材とギャップ
材を接着固定した後の最終工程で、ＭＲ材の外面の両面
研削加工や反射膜の成膜が可能となり、所定の中心波長
が得られるよう容易に制御できることが特徴である。
ギャップ型エタロンフィルタの第三の実施例を示す構成
図である。第三の実施例は、ＭＲ材に成膜した反射面を
外面に配置したことにある。そこで、ＭＲ材とギャップ
材を接着固定した後の最終工程で、ＭＲ材の外面の両面
研削加工や反射膜の成膜が可能となり、所定の中心波長
が得られるよう容易に制御できることが特徴である。
【００２３】図４に示すようにエアギャップ型エタロン
フィルタは、所定の寸法に加工した透明基板（ガラス板
等）の光信号を通過させる面に、反射防止膜（ＡＲコー
ト）を成膜させたＭＲ材１６ａ、１６ｂを製作し、２枚
のＭＲ材１６ａ、１６ｂの反射防止膜が成膜されている
面を平行に対向させて、ＭＲ材１６ａ、１６ｂの側面と
所定の空隙を隔ててギャップ材１７ａ、１７ｂを接合
し、２枚のＭＲ材１６ａ、１６ｂとギャップ材１７ａ、
１７ｂとを固定した後、ＭＲ材１６ａ、１６ｂの外面の
両面研削を行い反射膜（ＭＲコート）を成膜したもので
ある。
フィルタは、所定の寸法に加工した透明基板（ガラス板
等）の光信号を通過させる面に、反射防止膜（ＡＲコー
ト）を成膜させたＭＲ材１６ａ、１６ｂを製作し、２枚
のＭＲ材１６ａ、１６ｂの反射防止膜が成膜されている
面を平行に対向させて、ＭＲ材１６ａ、１６ｂの側面と
所定の空隙を隔ててギャップ材１７ａ、１７ｂを接合
し、２枚のＭＲ材１６ａ、１６ｂとギャップ材１７ａ、
１７ｂとを固定した後、ＭＲ材１６ａ、１６ｂの外面の
両面研削を行い反射膜（ＭＲコート）を成膜したもので
ある。
【００２４】本実施例においては、エタロンフィルタの
特性に重要な２枚のＭＲ材１６ａ、１６ｂ間の平行度
も、ギャップ材１７ａ、１７ｂとＭＲ材１６ａ、１６ｂ
とを貼り合わせた後に両面研削加工を行うことにより調
整出来ると共に、ＭＲコートの成膜をＭＲ材１６ａ、１
６ｂの外面に行ったことにより、最終工程でＭＲコート
の成膜が出来るので、成膜により所定の中心波長が正確
に得られるよう制御出来る。従って、温度特性が良好
で、中心波長の合わせ込みが容易な構造を有している。
又、接着剤はＭＲ材１６ａ、１６ｂの側面に塗布され、
ＭＲコート面には付着しない。
特性に重要な２枚のＭＲ材１６ａ、１６ｂ間の平行度
も、ギャップ材１７ａ、１７ｂとＭＲ材１６ａ、１６ｂ
とを貼り合わせた後に両面研削加工を行うことにより調
整出来ると共に、ＭＲコートの成膜をＭＲ材１６ａ、１
６ｂの外面に行ったことにより、最終工程でＭＲコート
の成膜が出来るので、成膜により所定の中心波長が正確
に得られるよう制御出来る。従って、温度特性が良好
で、中心波長の合わせ込みが容易な構造を有している。
又、接着剤はＭＲ材１６ａ、１６ｂの側面に塗布され、
ＭＲコート面には付着しない。
【００２５】図５は、第三の実施例に示したエアギャッ
プ型エタロンフィルタを組み立てる際の工程例を示す図
である。同図を説明すると、先ず工程（１）において、
所定のサイズ（３０ｍｍ×３０ｍｍで厚さ１．５ｍｍ）
に加工したガラス板の片面に反射防止膜を成膜してＭＲ
母材とする。次に、（２）このＭＲ母材１９ａ、１９ｂ
の反射防止面を対向させ、ガラス製で５ｍｍ程度の肉厚
を持ち所定の高さに加工した枠からなるスペース治具１
２を挟み込んで接着する。接着剤は、２枚のＭＲ母材１
９ａ、１９ｂの間隔を厳密に設定するため、粘度の低い
ものを使用する。この時形成される２枚のＭＲ母材１９
ａ、１９ｂのギャップ長は、エアギャップ型エタロンフ
ィルタの特性に大きく依存する。
プ型エタロンフィルタを組み立てる際の工程例を示す図
である。同図を説明すると、先ず工程（１）において、
所定のサイズ（３０ｍｍ×３０ｍｍで厚さ１．５ｍｍ）
に加工したガラス板の片面に反射防止膜を成膜してＭＲ
母材とする。次に、（２）このＭＲ母材１９ａ、１９ｂ
の反射防止面を対向させ、ガラス製で５ｍｍ程度の肉厚
を持ち所定の高さに加工した枠からなるスペース治具１
２を挟み込んで接着する。接着剤は、２枚のＭＲ母材１
９ａ、１９ｂの間隔を厳密に設定するため、粘度の低い
ものを使用する。この時形成される２枚のＭＲ母材１９
ａ、１９ｂのギャップ長は、エアギャップ型エタロンフ
ィルタの特性に大きく依存する。
【００２６】そこで、（３）スペース治具を挟み込んで
接着したＭＲ母材を、ワイヤーソーを用いて所定の寸法
（２．３ｍｍピッチで切断して２．１ｍｍに仕上げる）
に切断する。更に、（４）切断したＭＲ材（３０ｍｍ×
９ｍｍで厚さ２．１ｍｍ）の両側面に、同一サイズ（３
０ｍｍ×９ｍｍで厚さ１ｍｍ）のガラス製のギャップ母
材２２を接着固定する。図では、手前のギャップ母材は
省略してある。次に、（５）ギャップ材で固定されたＭ
Ｒ材を、所定のピッチでＭＲ材の短辺方向に平行にワイ
ヤーソーを用いて切断する（２．３ｍｍピッチで切断し
て２．１ｍｍに仕上げる）。切断した両端のＭＲ材は、
スペース治具が挟みこまれているので廃棄する。最後
に、（６）個別に切断したＭＲ材の外面に、所定の中心
波長を得られるよう制御しながら両面研削加工と反射膜
の成膜を行う。ここで、この両面研削加工と反射膜の成
膜を行う工程は、ＭＲ母材をスペース治具に接着した後
（図５（２））、これを切断した後（図５（３））、或
いはギャップ材を接着した後（図５（４））のいずれの
段階で行ってもよい。
接着したＭＲ母材を、ワイヤーソーを用いて所定の寸法
（２．３ｍｍピッチで切断して２．１ｍｍに仕上げる）
に切断する。更に、（４）切断したＭＲ材（３０ｍｍ×
９ｍｍで厚さ２．１ｍｍ）の両側面に、同一サイズ（３
０ｍｍ×９ｍｍで厚さ１ｍｍ）のガラス製のギャップ母
材２２を接着固定する。図では、手前のギャップ母材は
省略してある。次に、（５）ギャップ材で固定されたＭ
Ｒ材を、所定のピッチでＭＲ材の短辺方向に平行にワイ
ヤーソーを用いて切断する（２．３ｍｍピッチで切断し
て２．１ｍｍに仕上げる）。切断した両端のＭＲ材は、
スペース治具が挟みこまれているので廃棄する。最後
に、（６）個別に切断したＭＲ材の外面に、所定の中心
波長を得られるよう制御しながら両面研削加工と反射膜
の成膜を行う。ここで、この両面研削加工と反射膜の成
膜を行う工程は、ＭＲ母材をスペース治具に接着した後
（図５（２））、これを切断した後（図５（３））、或
いはギャップ材を接着した後（図５（４））のいずれの
段階で行ってもよい。
【００２７】
【発明の効果】上述したように、請求項１及び３記戴の
発明は、製造時に特殊な技能が必要ないため製造歩留ま
りの向上が図られ、ＭＲ材の光学面に接着剤を使用しな
いことにより接着剤の影響による温度特性の劣化を回避
出来ることから、高い温度安定性を維持したまま低コス
トなエアギャップ型エタロンフィルタが実現出来、光信
号を波長多重する上で著しい効果を発揮する。請求項２
記載の発明は、請求項１に記戴の発明の効果に加えて、
ＭＲ材とギャップ材とが熱膨張係数を相殺することによ
り極めて安定な温度特性を実現出来ることから、更に大
きな効果を発揮することが可能である。請求項４及び５
記載の発明は、請求項１及２に記戴の発明の効果に加え
て、ＭＲ材とギャップ材を接着固定した後の最終工程
で、ＭＲ材の外面の両面研削加工や反射膜の成膜が可能
となり、所定の中心波長が得られるよう容易に制御でき
ることから更に大きな効果を発揮することが可能であ
る。
発明は、製造時に特殊な技能が必要ないため製造歩留ま
りの向上が図られ、ＭＲ材の光学面に接着剤を使用しな
いことにより接着剤の影響による温度特性の劣化を回避
出来ることから、高い温度安定性を維持したまま低コス
トなエアギャップ型エタロンフィルタが実現出来、光信
号を波長多重する上で著しい効果を発揮する。請求項２
記載の発明は、請求項１に記戴の発明の効果に加えて、
ＭＲ材とギャップ材とが熱膨張係数を相殺することによ
り極めて安定な温度特性を実現出来ることから、更に大
きな効果を発揮することが可能である。請求項４及び５
記載の発明は、請求項１及２に記戴の発明の効果に加え
て、ＭＲ材とギャップ材を接着固定した後の最終工程
で、ＭＲ材の外面の両面研削加工や反射膜の成膜が可能
となり、所定の中心波長が得られるよう容易に制御でき
ることから更に大きな効果を発揮することが可能であ
る。
【図１】本発明に係る接着剤を用いたエアギャップ型エ
タロンフィルタの第一の実施例を示す構成図である。
タロンフィルタの第一の実施例を示す構成図である。
【図２】本発明に係る接着剤を用いたエアギャップ型エ
タロンフィルタの第二の実施例を示す構成図である。
タロンフィルタの第二の実施例を示す構成図である。
【図３】第一及び第二の実施例に示したエアギャップ型
エタロンフィルタを組み立てる際の工程例を示す図であ
る。
エタロンフィルタを組み立てる際の工程例を示す図であ
る。
【図４】本発明に係る接着剤を用いたエアギャップ型エ
タロンフィルタの第三の実施例を示す構成図である。
タロンフィルタの第三の実施例を示す構成図である。
【図５】第三の実施例に示したエアギャップ型エタロン
フィルタを組み立てる際の工程例を示す図である。
フィルタを組み立てる際の工程例を示す図である。
【図６】従来のオプティカルコンタクト法を用いたエア
ギャップ型エタロンフィルタの構造例を示す。
ギャップ型エタロンフィルタの構造例を示す。
【図７】従来の接着剤を用いたエアギャップ型エタロン
フィルタの構造例を示す。
フィルタの構造例を示す。
１ａ、１ｂ・・ＭＲ材、 ２ａ、２ｂ・・ギ
ャップ材、３・・オプティカルコンタクト、 ４・・
接着剤、５ａ、５ｂ・・ＭＲ材、 ６ａ、６
ｂ・・ギャップ材、７・・接着剤、
８ａ、８ｂ・・ＭＲ材、９ａ、９ｂ・・ギャップ材、
１０・・接着剤、１１ａ、１１ｂ・・ＭＲ母材、
１２・・スペース治具、１３ａ、１３ｂ・・Ｍ
Ｒ材、 １４ａ、１４Ｂ・・スペース治具、１５
・・ギャップ母材、 １６ａ、１６ｂ・・
ＭＲ材、１７ａ、１７ｂ・・ギャップ材、 １８・・
接着剤、１９ａ、１９ｂ・・ＭＲ母材、 ２０
ａ、２０ｂ・・ＭＲ材、２１ａ、２１ｂ・・スペース治
具、 ２２・・ギャップ母材
ャップ材、３・・オプティカルコンタクト、 ４・・
接着剤、５ａ、５ｂ・・ＭＲ材、 ６ａ、６
ｂ・・ギャップ材、７・・接着剤、
８ａ、８ｂ・・ＭＲ材、９ａ、９ｂ・・ギャップ材、
１０・・接着剤、１１ａ、１１ｂ・・ＭＲ母材、
１２・・スペース治具、１３ａ、１３ｂ・・Ｍ
Ｒ材、 １４ａ、１４Ｂ・・スペース治具、１５
・・ギャップ母材、 １６ａ、１６ｂ・・
ＭＲ材、１７ａ、１７ｂ・・ギャップ材、 １８・・
接着剤、１９ａ、１９ｂ・・ＭＲ母材、 ２０
ａ、２０ｂ・・ＭＲ材、２１ａ、２１ｂ・・スペース治
具、 ２２・・ギャップ母材
Claims (6)
- 【請求項１】一面に反射膜を他面に反射防止膜を成膜し
た２枚の透明基板を、その反射膜及び反射防止膜が形成
された面と直交する面に接着剤を介して前記反射面同士
が対向し、かつ、前記２枚の透明基板が所定の空隙を隔
てて位置するようギャップ材に固定したことを特徴とす
るエアギャップ型エタロンフィルタ。 - 【請求項２】前記ギャップ材が前記透明基板と同質の材
料により構成したことを特徴とする請求項１記載のエア
ギャップ型エタロンフィルタ。 - 【請求項３】前記ギャップ材が前記透明基板と異質の材
料であって、かつ、前記透明基板に対して負の膨張係数
を備えたものであることを特徴とする請求項１記載のエ
アギ - 【請求項４】片面に反射膜を他の片面に反射防止膜を成
膜した２枚の透明基板を、所定の空隙を隔てて反射面同
士が平行に対向するようギャップ材を介して組み立てた
エアギャップ型エタロンフィルタにおいて、 所定のサイズに加工した透明基板の片面に反射防止膜を
成膜する工程と、 前記透明基板の他の片面に反射膜を成膜する工程と、 透明基板に成膜処理することにより作成した２枚のＭＲ
材の反射面を対向させ、所定の肉厚を持ち所定の高さ寸
法に加工された枠からなるスペース治具を挟み込み接着
剤を用いて接着固定する工程と、 該スペース治具を挟みこんだ２枚のＭＲ材の光学面を所
定のピッチで切断機を用いて切断する工程と、 該切断したＭＲ材の切断面の両側に所定のサイズに加工
したギャップ材を接着剤を用いて接着固定する工程と、 該ギャップ材を固定したＭＲ材の短辺側に平行に所定の
ピッチで切断機を用いて切断する工程とを含んだことを
特徴とするエアギャップ型エタロンフィルタの製造方
法。 - 【請求項５】所定の膜を成膜した透明基板を、ギャップ
材を介し接着固定して構成するエアギャップ型エタロン
フィルタにおいて、 片面に反射膜を他の片面に反射防止膜を成膜した２枚の
透明基板を、所定の空隙を隔てて反射防止面同士が平行
に対向するよう、該２枚の透明基板の非光学面である同
一側面同士に２枚のギャップ材を夫々接着剤を用いて接
着し、透明基板を固定したことを特徴とする請求項１及
び２記載のエアギャップ型エタロンフィルタ。 - 【請求項６】片面に反射膜を他の片面に反射防止膜を成
膜した２枚の透明基板を、所定の空隙を隔てて反射防止
面同士が平行に対向するようギャップ材を介して組み立
てたエアギャップ型エタロンフィルタにおいて、 所定のサイズに加工した透明基板の片面に反射防止膜を
成膜する工程と、 透明基板に成膜処理することにより作成した２枚のＭＲ
材の反射防止面を対向させ、所定の肉厚を持ち所定の高
さ寸法に加工された枠からなるスペース治具を挟み込み
接着剤を用いて接着固定する工程と、 該スペース治具を挟みこんだ２枚のＭＲ材を所定のピッ
チで切断機を用いて切断する工程と、 該切断したＭＲ材の切断面の両側に所定のサイズに加工
したギャップ材を接着剤を用いて接着固定する工程と、 該ギャップ材を固定したＭＲ材の短辺側に平行に所定の
ピッチで切断機を用いて切断する工程と、 切断したＭＲ材の外面を両面研削加工する工程と、 該ＭＲ材の外面に反射膜を成膜する工程とを含んだこと
を特徴とするエアギャップ型エタロンフィルタの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001396586A JP2003195031A (ja) | 2001-12-27 | 2001-12-27 | エアギャップ型エタロンフィルタとその製造方法 |
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|---|---|---|---|
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003195031A true JP2003195031A (ja) | 2003-07-09 |
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|---|---|---|---|
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|---|---|
| JP (1) | JP2003195031A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011112998A (ja) * | 2009-11-30 | 2011-06-09 | Seiko Epson Corp | 干渉フィルター、測色センサー、測色モジュール、及び干渉フィルターの製造方法 |
| JP2012078475A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-19 | Kyocera Kinseki Corp | エタロンフィルタ |
| JP2012141473A (ja) * | 2011-01-04 | 2012-07-26 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | エタロンフィルタ、エタロンフィルタを用いた周波数校正システム、周波数校正方法 |
| WO2013172080A1 (ja) * | 2012-05-15 | 2013-11-21 | 国立大学法人東北大学 | 光学デバイスおよびその製造方法 |
| WO2013171929A1 (ja) * | 2012-05-15 | 2013-11-21 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | エタロン及びエタロンの製造方法 |
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-
2001
- 2001-12-27 JP JP2001396586A patent/JP2003195031A/ja active Pending
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