CN104060221B - 光学器件制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种光学器件制造方法，使用第一掩模和第二掩模，其中，第一掩模由X字形臂部、在该X字交叉部分形成为多边形或圆形的图案部、以及与该图案部相连接的框部构成，第二掩模由十字形臂部、在该十字交叉部分形成为多边形或圆形的图案部、以及与该图案部相连接的框部构成，包括：将第一掩模重叠到2个透明构件片中的一个透明构件片上并在图案部与框部之间设置金属膜的第一透明构件片金属膜形成工序；将第二掩模重叠到另一个透明构件片上并在图案部与框部之间设置金属膜的第二透明构件片金属膜形成工序；将其中一个透明构件片与另一个透明构件片重叠并接合的接合工序；以及将接合的2个透明构件片切断从而得到各个光学器件的切片工序。

Description

光学器件制造方法

技术领域

本发明涉及在光学设备中使用的光学器件的制造方法。

背景技术

一直以来，在光通信、测量设备、半导体激光器等光学设备中使用标准具、1/2波长板、1/4波长板等光学器件。

这些光学器件有的是通过将多片透明构件粘贴起来而构成的。

例如，若以标准具为例来进行说明，则提出了将2个透明构件接合起来而构成的气隙型光学器件（例如参照专利文献1）。

这样的光学器件在透明构件的表面设有用于接合的金属膜，并在金属膜彼此重合的状态下进行接合。

另外，还提出了例如在光透过的路径部分设置内部空间来接合多个透明构件这种状态的光学器件（例如参照专利文献1）。

在制造由多个透明构件接合而成的光学器件时，使用例如由框部、形成为内部空间形状的图案部、和将该图案部与框部连接起来的臂部所构成的掩模，在该掩模与透明构件重合的状态下在掩模的间隙中形成金属膜。

在这种情况下，由于在臂部没有设置金属膜，因此，例如专利文献2所公开的那样形成与外部连通的凹部。

现有专利文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开平09-257567号公报

专利文献2：日本专利特开平06-258611号公报

发明内容

发明所要解决的问题

在这样的现有光学器件中，由于形成了将内部空间与光学器件的外部空间连通的凹部，因此，在透明构件上存在未设置金属膜的部分，从而如果长期使用，金属膜就有剥离的危险性。

另外，由于进行接合的透明构件所使用的掩模是具有同一形状的图案，因此，透明构件上未设置金属膜的部分会重叠从而形成将外部空间与内部空间连接起来的路径，因此，在高温高湿的使用环境下透明构件会出现污点。

因此，本发明的目的在于解决上述问题，提供一种能够降低剥离的危险性并能减少污点产生的光学器件。

因此，本发明的目的在于解决上述问题，提供一种能够降低剥离的危险性并使杂质难以混入的光学器件。

解决问题的技术方案

为解决上述问题，本发明的一个方式所涉及的第一观点的光学器件制造方法中，用于制造由2个透明构件接合而成的光学器件，使用第一掩模和第二掩模，其中，第一掩模由至少一个第一臂部、与该第一臂部相连的形成为多边形或圆形的图案部、以及与该图案部相连接的框部构成，第二掩模由设置在与所述第一掩模的所述第一臂部不同方向上的至少一个第二臂部、与该第二臂部相连的形成为多边形或圆形的图案部、以及与该图案部相连接的框部构成，该光学器件制造方法包括：将第一掩模重叠到具有多个成为透明构件的部分的2个透明构件片中的一个透明构件片上并在图案部与框部之间设置金属膜的第一透明构件片金属膜形成工序；将第二掩模重叠到另一个透明构件片上并在图案部与框部之间设置金属膜的第二透明构件片金属膜形成工序；使所述一个透明构件片与所述另一个透明构件片相对并在规定温度和规定压力下将它们接合的接合工序；以及将接合的所述2个透明构件片切断从而得到各个光学器件的切片工序。

另外，为解决上述问题，本发明的一个方式所涉及的光学器件制造方法中，用于制造由2个透明构件接合而成的光学器件，使用第一掩模和第二掩模，其中，第一掩模由至少一个第一臂部、与该第一臂部相连的形成为多边形或圆形的图案部、以及与该图案部相连接的框部构成，第二掩模由设置在与所述第一掩模的所述第一臂部不同方向上的至少一个第二臂部、与该第二臂部相连的形成为多边形或圆形的图案部、以及与该图案部相连接的框部构成，该光学器件制造方法包括：第一透明构件片金属膜形成工序，在该第一透明构件片金属膜形成工序中，将第一掩模或第二掩模重叠到具有多个成为透明构件的部分的2个透明构件片中的一个透明构件片上，并在图案部与框部之间设置第一金属膜；第二透明构件片金属膜形成工序，该第二透明构件片金属膜形成工序是在第一透明构件片金属膜形成工序之后，将所述第一透明构件片金属膜形成工序中未使用的掩模重叠到所述一个透明构件片的所述第一金属膜侧，并在图案部与框部之间设置第二金属膜；第三透明构件片金属膜形成工序，在该第三透明构件片金属膜形成工序中，将第一掩模或第二掩模重叠到另一个透明构件片上，并在图案部与框部之间设置第三金属膜；第四透明构件片金属膜形成工序，该第四透明构件片金属膜形成工序是在第三透明构件片金属膜形成工序之后，将所述第三透明构件片金属膜形成工序中未使用的掩模重叠到所述另一个透明构件片的所述第三金属膜侧，并在图案部与框部之间设置第四金属膜；接合工序，在该接合工序中，使所述一个透明构件片的第一及第二金属膜侧与所述另一个透明构件片的第三及第四金属膜侧相对，并在规定温度和规定压力下将这些透明构件片接合；以及切片工序，在该切片工序中，将相接合的所述2个透明构件片切断而得到各个光学器件。

本发明优选在所述透明构件的一个主面上设有反射膜，且在另一个主面上设有防反射膜，并且在所述防反射膜上设有所述金属膜。

本发明优选在设置所述金属膜时，使用溅射技术或蒸镀技术来进行。

发明效果

根据上述光学器件制造方法，第一掩模和第二掩模的图案并不相同，第一掩模和第二掩模的臂部的痕迹不会重叠，从而能够减少透明构件上污点的产生。另外，由于在与第一掩模和第二掩模的臂部的痕迹的部分相对的透明构件的面上设置金属膜，因此不易发生剥离。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式1所涉及的光学器件的一个示例的立体图。

图2(a)是表示第一掩模重叠到其中一个透明构件片上之前的状态的立体图，图2(b)是表示第一掩模重叠在其中一个透明构件片上的状态的立体图。

图3是表示在其中一个透明构件片上设有金属膜的一个示例的立体图。

图4(a)是表示第二掩模重叠到另一个透明构件片上之前的状态的立体图，图4(b)是表示第二掩模重叠在另一个透明构件片上的状态的立体图。

图5是表示在另一个透明构件片上设有金属膜的一个示例的立体图。

图6(a)是表示其中一个透明构件片与另一个透明构件片接合之前的状态的立体图，图6(b)是表示其中一个透明构件片与另一个透明构件片相接合的状态的立体图。

图7是表示本发明的实施方式2所涉及的光学器件的一个示例的立体图。

图8(a)是表示第一掩模重叠到其中一个透明构件片上之前的状态的立体图，图8(b)是表示第一掩模重叠在其中一个透明构件片上的状态的立体图。

图9是表示在其中一个透明构件片上设有金属膜的一个示例的立体图。

图10(a)是表示第二掩模重叠到另一个透明构件片上之前的状态的立体图，图10(b)是表示第二掩模重叠在另一个透明构件片上的状态的立体图。

图11是表示在另一个透明构件片上设有金属膜的一个示例的立体图。

图12(a)是表示其中一个透明构件片与另一个透明构件片接合之前的状态的立体图，图12(b)是表示其中一个透明构件片与另一个透明构件片相接合的状态的立体图。

图13(a)是表示本发明的实施方式3所涉及的光学器件的一个示例的立体图，图13(b)是图13(a)的剖视图。

图14是表示第二掩模重叠在其中一个透明构件片上的状态的立体图。

图15是表示用第二掩模在其中一个透明构件片上设置了金属膜的一个示例的立体图。

图16是表示用第一掩模在另一个透明构件片上设置金属膜后再用第二掩模设置了金属膜的一个示例的立体图。

图17(a)是表示其中一个透明构件片与另一个透明构件片接合之前的状态的立体图，图17(b)是表示其中一个透明构件片与另一个透明构件片相接合的状态的立体图。

图18(a)是表示本发明的实施方式4所涉及的光学器件的一个示例的立体图，图18(b)是图18(a)的剖视图。

图19是表示第二掩模重叠在其中一个透明构件片上的状态的立体图。

图20是表示用第二掩模在其中一个透明构件片上设置了金属膜的一个示例的立体图。

图21是表示用第二掩模在另一个透明构件片上设置金属膜后再用第一掩模设置了金属膜的一个示例的立体图。

图22是表示用第二掩模在另一个透明构件片上设置金属膜后再用第一掩模设置了金属膜的一个示例的立体图。

图23(a)是表示其中一个透明构件片与另一个透明构件片接合之前的状态的立体图，图23(b)是表示其中一个透明构件片与另一个透明构件片相接合的状态的立体图。

具体实施方式

下面，适当地参照附图，对用于实施本发明的最佳方式（以下称为“实施方式”）进行详细说明。为了便于理解，夸张地图示了各构成要素的状态。

另外，将光入射和出射的面记为主面，将包围该主面的面记为侧面。

(实施方式1)

（光学器件）

如图1所示，用本发明的实施方式1所涉及的光学器件制造方法所制造的光学器件11例如由2个透明构件20、20接合而成。

透明构件20使用例如厚度均匀形成的四边形平板状的透明材质构件，例如使用玻璃、水晶等。该透明构件20在从侧面一侧观察时也可以是梯形的形状。对于没有特别说明的事项，后文所述的其它实施方式的透明构件20也与实施方式1的透明构件20相同。

这些透明构件20的一个主面上设有反射膜21，在另一个主面上设有防反射膜22。

在这些透明构件20的防反射膜22上，除主面的中央部分和从该中央部分向外侧延伸的至少2根直线以外，都设有金属膜23。

金属膜23由室温下氧化物的生成自由能为正的单金属或合金形成，且形成为薄膜状。例如，该金属膜23的底层金属例如使用Ta、Cr、Ti、Ni等，在该底层金属上形成Au、Pt、金合金等室温下氧化物的生成自由能为正的单金属或合金。金属膜23的厚度设计在0.2nm以上。对于没有特别说明的事项，后文所述的其它实施方式的金属膜23也与实施方式1的金属膜23相同。

对上述本发明的实施方式1所涉及的光学器件制造方法进行说明。如图2～图6所示，本发明的实施方式1所涉及的光学器件制造方法包括第一透明构件片金属膜形成工序、第二透明构件片金属膜形成工序、接合工序、和切片工序。

如图2(a)所示，首先准备2个具有不同图案的掩模。

第一掩模31由至少一个第一臂部32、与该第一臂部32连接的形成为多边形或圆形的图案部33、以及与该图案部连接的框部34构成。

这里，第一掩模31的第一臂部32具有一个臂部。另外，第一掩模31在框部34的中央设置了圆形的图案部33，成为第一臂部32将该图案部33与框部34连接起来的状态，且这样的形状设有多个。

这样的第一掩模31的第一臂部32的宽度可以为例如100μｍ。

如图4(a)所示，第二掩模41由设置在与第一掩模31的第一臂部32不同的方向上的至少一个第二臂部32、与该第二臂部42连接的形成为多边形或圆形的图案部43、以及与该图案部43连接的框部44构成。

这里，第二掩模41的第二臂部42具有一个臂部。另外，第二掩模41在框部44的中央设置了圆形的图案部43，成为第二臂部42将该图案部43与框部44连接起来的状态，且这样的形状设有多个。

这样的第二掩模41的第二臂部42的宽度可以为例如100μｍ。

接着，准备将成为透明构件20的透明构件片20W。该透明构件片20W的一个主面上设有反射膜21，在另一个主面上设有防反射膜22。

（第一透明构件片金属膜形成工序）

如图2～图3所示，第一透明构件片金属膜形成工序是首先将第一掩模31重叠到一个主面上设有防反射膜22且在另一个主面上设有反射膜21的2个透明构件片20W中的一个透明构件片20W上（参照图2(b)），再在图案部33与框部34之间设置金属膜23（参照图3）的工序。

经过该第一透明构件片金属膜形成工序，变成防反射膜22上设有金属膜23的状态。此时，透明构件片20W处于如下状态：其与第一掩模31的第一臂部32及图案部33重叠的部分上未设置金属膜23，而在框部34、图案部33、和第一臂部32所形成的空间中设有金属膜23。

在设置金属膜时，虽然未图示，但使用的是溅射技术或蒸镀技术。从而，能够在透明构件20的防反射膜22上设置规定厚度的金属膜23。

（第二透明构件片金属膜形成工序）

如图4～图5所示，第二透明构件片金属膜形成工序是将第二掩模41重叠到另一个透明构件片20W上（参照图4(b)），然后在图案部43与框部44之间设置金属膜23（参照图5）的工序。

经过该第二透明构件片金属膜形成工序，变成防反射膜22上设有金属膜23的状态。此时，透明构件片20W处于如下状态：其与第二掩模41的第二臂部42及图案部43重叠的部分上未设置金属膜23，而在框部44、图案部43、和第二臂部42所形成的空间中设有金属膜23。另外，由于第一臂部32和第二臂部42各自从框部34、44的中央开始延伸的方向并不相同，因此，第二透明构件片金属膜形成工序中与第二臂部42重叠的部分不会与第一透明构件片金属膜形成工序中与第一臂部32重叠的部分重叠。

在设置金属膜23时，使用的是溅射技术或蒸镀技术。从而，能够在透明构件20的防反射膜22上设置规定厚度的金属膜23。

（接合工序）

如图6(a)和图6(b)所示，接合工序是将其中一个透明构件片20W与另一个透明构件片20W重叠并在规定温度和规定压力下将它们接合的工序。

该接合工序中，是在其中一个透明构件片20W上设置的金属膜23与另一个透明构件片20W上设置的金属膜23重合的状态下，在规定压力和规定温度下进行接合。接合可以采用例如原子扩散接合。

从而，能够使其中一个透明构件片20W与另一个透明构件片20W接合，得到包含多个光学器件11的相接合的透明构件片20W。

（切片工序）

切片工序是将相接合的2个透明构件片20W、20W切断而得到各个光学器件11的工序。进行切断时，可以使用旋转刀片等。

该切片工序中，可以通过以第一掩模31的图案部33与第二掩模41的图案部43重叠的部分为中心，按照规定的尺寸进行切割，由此得到各个光学器件。

由于采用上述光学器件制造方法，因此，第一掩模31和第二掩模41的图案并不相同，第一掩模31和第二掩模41的臂部32、42的痕迹不会重叠，从而能够减少污点的产生。另外，由于在与第一掩模31和第二掩模41的臂部32、42的痕迹的部分相对的透明构件20的面上设置金属膜23，因此不易发生剥离。

(实施方式2)

用本发明的实施方式2所涉及的光学器件制造方法制造的光学器件12在第一掩模51的第一臂部52的痕迹与第二掩模61的第二臂部62的痕迹不同这一点上不同于实施方式1。

（光学器件）

如图7所示，用本发明的实施方式2所涉及的光学器件制造方法制造的光学器件12例如由2个透明构件20、20接合而成。

该透明构件20的一个主面上设有反射膜21，在另一个主面上设有防反射膜22。

在该透明构件20的防反射膜22上，除主面的中央部分和从该中央部分向外侧呈放射状延伸的8根直线以外，都设有金属膜23。

对上述本发明的实施方式2所涉及的光学器件的制造方法进行说明。如图8～图12所示，本发明的实施方式2所涉及的光学器件制造方法包括第一透明构件片金属膜形成工序、第二透明构件片金属膜形成工序、接合工序、和切片工序。

首先准备2个具有不同图案的掩模。

如图8(a)所示，第一掩模51由X字形的第一臂部52、在该X字交叉部分形成为多边形或圆形的图案部53、以及与该图案部53连接的框部54构成。

这里，第一掩模51在框部54的中央设置了圆形的图案部53，成为第一臂部52将该图案部53与框部54连接起来的状态，且这样的形状设有多个。

这样的第一掩模51的第一臂部52的宽度可以为例如100μｍ。

如图10(a)所示，第二掩模61由十字形的第二臂部62、在该十字交叉部分形成为多边形或圆形的图案部63、以及与该图案部63连接的框部64构成。

这里，第二掩模61在框部64的中央设置了圆形的图案部63，成为第二臂部62将该图案部63与框部64连接起来的状态，且这样的形状设有多个。

这样的第二掩模61的第二臂部62的宽度可以为例如100μｍ。

接着，准备将成为透明构件20的透明构件片20W。该透明构件片20W的一个主面上设有反射膜21，在另一个主面上设有防反射膜22。

（第一透明构件片金属膜形成工序）

第一透明构件片金属膜形成工序是首先将第一掩模51重叠到一个主面上设有防反射膜22且在另一个主面上设有反射膜21的2个透明构件片20W中的一个透明构件片20W上（参照图8(b)），再在图案部53与框部54之间设置金属膜23（参照图9）的工序。

经过该第一透明构件片金属膜形成工序，变成防反射膜22上设有金属膜23的状态。此时，透明构件片20W处于如下状态：其与第一掩模51的第一臂部52及图案部53重叠的部分上未设置金属膜23，而在框部54、图案部53、和第一臂部52所形成的空间中设有金属膜23。即，变成如下状态：除了圆形和连接透明构件20对角的呈放射状延伸的4条直线的图案以外，都设有金属膜23。

在设置金属膜23时，虽然未图示，但使用的是溅射技术或蒸镀技术。从而，能够在透明构件20的防反射膜22上设置规定厚度的金属膜23。

（第二透明构件片金属膜形成工序）

第二透明构件片金属膜形成工序是将第二掩模61重叠到另一个透明构件片20W上（参照图10(b)），然后在图案部63与框部64之间设置金属膜23（参照图11）的工序。

经过该第二透明构件片金属膜形成工序，变成防反射膜22上设有金属膜23的状态。此时，透明构件片20W处于如下状态：其与第二掩模61的第二臂部62及图案部63重叠的部分上未设置金属膜23，而在框部64、图案部63、和第二臂部62所形成的空间中设有金属膜23。另外，由于第一臂部52和第二臂部62各自从框部54、64的中央开始延伸的方向并不相同，因此，第二透明构件片金属膜形成工序中与第二臂部62重叠的部分不会与第一透明构件片金属膜形成工序中与第一臂部52重叠的部分重叠。即，变成如下状态：除了圆形和连接透明构件20的平行的边中心的呈放射状延伸的4条直线的图案以外，都设有金属膜23。在设置金属膜23时，虽然未图示，但使用的是溅射技术或蒸镀技术。从而，能够在透明构件20的防反射膜22上设置规定厚度的金属膜23。

（接合工序）

如图12(a)和图6(b)所示，接合工序是将其中一个透明构件片20W与另一个透明构件片20W重叠并在规定温度和规定压力下将它们接合的工序。

该接合工序中，是在其中一个透明构件片20W上设置的金属膜23与另一个透明构件片20W上设置的金属膜23重合的状态下，在规定压力和规定温度下进行接合。接合可以采用例如原子扩散接合。

从而，能够使其中一个透明构件片20W与另一个透明构件片20W接合，得到包含多个光学器件12的相接合的透明构件片20W。

（切片工序）

切片工序是将相接合的2个透明构件片切断而得到各个光学器件12的工序。进行切断时，可以使用旋转刀片等。

该切片工序中，可以通过以第一掩模51的图案部53与第二掩模61的图案部63重叠的部分为中心，按照规定的尺寸进行切割，由此得到各个光学器件。

由于采用上述光学器件制造方法，因此，第一掩模和第二掩模的图案并不相同，第一掩模和第二掩模的臂部的痕迹不会重叠，从而能够减少污点的产生。另外，由于在与第一掩模和第二掩模的臂部的痕迹的部分相对的透明构件的面上设置金属膜，因此不易发生剥离。

(实施方式3)

（光学器件）

如图13（a）和图13(b)所示，用本发明的实施方式3所涉及的光学器件制造方法制造的光学器件13例如由2个透明构件20、20接合而成。

该透明构件20的一个主面上设有反射膜21，在另一个主面上设有防反射膜22。

在该透明构件20的防反射膜22上，除主面的中央部分和从该中央部分向外侧延伸的至少4根直线以外，都设有金属膜23。

对上述本发明的实施方式3所涉及的光学器件的制造方法进行说明。

如图2、图3、以及图14～17所示，本发明的实施方式3所涉及的光学器件制造方法包括第一透明构件片金属膜形成工序、第二透明构件片金属膜形成工序、第三透明构件片金属膜形成工序、第四透明构件片金属膜形成工序、接合工序、和切片工序。

首先准备2个具有不同图案的掩模。

如图2(a)所示，第一掩模31为实施方式1中已说明的第一掩模31。如图14所示，第二掩模41为实施方式1中已说明的第二掩模41。

接下来，如图2(a)所示，准备将成为透明构件20的透明构件片。该透明构件片的一个主面上设有反射膜21，在另一个主面上设有防反射膜22。

（第一透明构件片金属膜形成工序）

第一透明构件片金属膜形成工序是首先将第一掩模31或第二掩模41重叠到一个主面上设有防反射膜22且在另一个主面上设有反射膜21的2个透明构件片20W中的一个透明构件片20W上，再在图案部与框部之间设置金属膜23的工序。本实施方式中说明使用第一掩模31的情况（例如参照图2(b)）。

经过该第一透明构件片金属膜形成工序，变成防反射膜22上设有金属膜23的状态。此时，如图3所示，透明构件片20W处于如下状态：其与第一掩模31的第一臂部32及图案部33重叠的部分上未设置金属膜23，而在框部34、图案部33、和第一臂部32所形成的空间中设有金属膜23。

在设置金属膜时，使用的是溅射技术或蒸镀技术。从而，能够在透明构件20的防反射膜22上设置规定厚度的金属膜23。

（第二透明构件片金属膜形成工序）

第二透明构件片金属膜形成工序是在第一透明构件片金属膜形成工序之后，将第一透明构件片金属膜形成工序中未使用的掩模重叠到其中一个透明构件片20W上，然后在图案部与框部之间设置金属膜23的工序。这里说明第一透明构件片金属膜形成工序中未使用的掩模为第二掩模41的情况（参照图14）。

经过该第二透明构件片金属膜形成工序，变成在第一透明构件片金属膜形成工序中设置的金属膜23上进一步设有金属膜23的状态。此时，如图15所示，透明构件片20W处于如下状态：其与第二掩模41的第二臂部42及图案部43重叠的部分上未设置金属膜23，而在框部44、图案部43、和第二臂部42所形成的空间中设有金属膜23。另外，由于第一臂部32和第二臂部42各自从框部34、44的中央开始延伸的方向并不相同，因此，第二透明构件片金属膜形成工序中与第二臂部42重叠的部分不会与第一透明构件片金属膜形成工序中与第一臂部32重叠的部分重叠。也就是说，变成如下状态：在第一透明构件片金属膜形成工序中与第一臂部32重叠的部分上，经过第二透明构件片金属膜形成工序后设有金属膜23。

在设置金属膜23时，使用的是溅射技术或蒸镀技术。从而，能够在透明构件20的防反射膜22上设置规定厚度的金属膜23。

（第三透明构件片金属膜形成工序）

第三透明构件片金属膜形成工序是将第二掩模41重叠到另一个透明构件片上，然后在图案部43与框部44之间设置金属膜23的工序。本实施方式中说明使用第二掩模41的情况（未图示）。

经过该第三透明构件片金属膜形成工序，变成防反射膜22上设有金属膜23的状态。此时，透明构件20处于如下状态：其与第二掩模41的第二臂部42及图案部43重叠的部分上未设置金属膜23，而在框部44、图案部43、和第二臂部42所形成的空间中设有金属膜23。此时，重叠在透明构件片上的掩模优选使用与第一透明构件片金属膜形成工序中所使用的掩模不相同的掩模。

在设置金属膜23时，使用的是溅射技术或蒸镀技术。从而，能够在透明构件20的防反射膜22上设置规定厚度的金属膜23。

另外，在该第三透明构件片金属膜形成工序中，将掩模重叠到透明构件片上的顺序与第二透明构件片金属膜形成工序中使用的掩模的顺序相同，以使设置在透明构件片上的金属膜能够反映出该掩模的图案。

（第四透明构件片金属膜形成工序）

第四透明构件片金属膜形成工序是在第三透明构件片金属膜形成工序之后，将第三透明构件片金属膜形成工序中未使用的掩模重叠到另一个透明构件片20W上，然后在图案部与框部之间设置金属膜23的工序。这里说明第三透明构件片金属膜形成工序中未使用的掩模为第一掩模31的情况（未图示）。

经过该第四透明构件片金属膜形成工序，变成在第三透明构件片金属膜形成工序中设置的金属膜23上进一步设有金属膜23的状态。此时，如图16所示，透明构件片20W处于如下状态：其与第一掩模31的第一臂部32及图案部33重叠的部分上未设置金属膜23，而在框部34、图案部33、和第一臂部32所形成的空间中设有金属膜23。也就是说，变成如下状态：在第三透明构件片金属膜形成工序中与第二臂部42重叠的部分上，经过第四透明构件片金属膜形成工序后设有金属膜23。

在设置金属膜时，使用的是溅射技术或蒸镀技术。从而，能够在透明构件片20W的防反射膜22上设置规定厚度的金属膜23。

另外，由于第一臂部32和第二臂部42各自从框部34、44的中央开始延伸的方向并不相同，因此，第三透明构件片金属膜形成工序中与第二臂部42重叠的部分不会与第四透明构件片金属膜形成工序中与第一臂部32重叠的部分重叠。

（接合工序）

如图17(a)和图17(b)所示，接合工序是将其中一个透明构件片20W与另一个透明构件片20W重叠并在规定温度和规定压力下将它们接合的工序。

该接合工序中，是在其中一个透明构件片20W上设置的金属膜23与另一个透明构件片20W上设置的金属膜23重合的状态下，在规定压力和规定温度下进行接合。接合可以采用例如原子扩散接合。

从而，能够使其中一个透明构件片20W与另一个透明构件片20W接合，得到包含多个光学器件的相接合的透明构件片。

（切片工序）

切片工序是将相接合的2个透明构件片20W切断而得到各个光学器件的工序。

该切片工序中，可以在第一掩模31和第二掩模41的框部相重叠的部分上、即未设有金属膜23的部分进行切断，由此得到各个光学器件。

由于采用上述光学器件制造方法，因此，第一掩模和第二掩模的图案并不相同，第一掩模和第二掩模的臂部的痕迹不会重叠，从而能够减少污点的产生。另外，由于在与第一掩模和第二掩模的臂部的痕迹的部分相对的透明构件的面上设置有金属膜，因此不易发生剥离。

(实施方式4)

用本发明的实施方式4所涉及的光学器件制造方法制造的光学器件14在第一掩模的第一臂部的痕迹与第二掩模的第二臂部的痕迹不同这一点上不同于实施方式3。

（光学器件）

如图18（a）和图18(b)所示，用本发明的实施方式4所涉及的光学器件制造方法制造的光学器件14例如由2个透明构件20、20接合而成。

该透明构件20的一个主面上设有反射膜21，在另一个主面上设有防反射膜22。

在该透明构件20的防反射膜22上，除主面的中央部分以外都设有金属膜23，且从该中央部分呈放射状地形成有向外侧延伸的8条直线。

对上述本发明的实施方式4所涉及的光学器件的制造方法进行说明。

如图8、图9、以及图19～23所示，本发明的实施方式4所涉及的光学器件制造方法包括第一透明构件片金属膜形成工序、第二透明构件片金属膜形成工序、第三透明构件片金属膜形成工序、第四透明构件片金属膜形成工序、接合工序、和切片工序。

首先准备2个具有不同图案的掩模。

如图8(a)所示，第一掩模51为实施方式2中已说明的第一掩模51。如图19所示，第二掩模61为实施方式2中已说明的第二掩模61。

接着，准备将成为透明构件20的透明构件片。该透明构件片的一个主面上设有防反射膜，在另一个主面上设有反射膜。

（第一透明构件片金属膜形成工序）

第一透明构件片金属膜形成工序是首先将第一掩模51或第二掩模61重叠到一个主面上设有防反射膜22且在另一个主面上设有反射膜21的2个透明构件片20W中的一个透明构件片20W上，再在图案部与框部之间设置金属膜23的工序。本实施方式中说明使用第一掩模51的情况（参照图8(a)和图8(b)）。

如图9所示，经过该第一透明构件片金属膜形成工序，变成防反射膜22上设有金属膜23的状态。此时，透明构件片20W处于如下状态：其与第一掩模51的第一臂部52及图案部53相重叠的部分上未设置金属膜23，而在框部54、图案部53、和第一臂部52所形成的空间中设有金属膜23。即，变成如下状态：除了连接透明构件20的平行的边中心的呈放射状延伸的4条直线的图案和圆形以外，都设有金属膜23。

在设置金属膜时，使用的是溅射技术或蒸镀技术。从而，能够在透明构件片20W的防反射膜22上设置规定厚度的金属膜23。

（第二透明构件片金属膜形成工序）

第二透明构件片金属膜形成工序是在第一透明构件片金属膜形成工序之后，将第一透明构件片金属膜形成工序中未使用的掩模重叠到其中一个透明构件片上，然后在图案部与框部之间设置金属膜23的工序。这里说明第一透明构件片金属膜形成工序中未使用的掩模为第二掩模61的情况（参照图19）。

经过该第二透明构件片金属膜形成工序，变成在第一透明构件片金属膜形成工序中设置的金属膜23上进一步设有金属膜23的状态。此时，透明构件片20W处于如下状态：其与第二掩模61的第二臂部62及图案部63重叠的部分上未设置金属膜23，而在框部64、图案部63、和第二臂部62所形成的空间中设有金属膜23。另外，由于第一臂部52和第二臂部62各自从框部54、64的中央开始延伸的方向并不相同，因此，第二透明构件片金属膜形成工序中与第二臂部62重叠的部分不会与第一透明构件片金属膜形成工序中与第一臂部52重叠的部分重叠。也就是说，变成如下状态：在第一透明构件片金属膜形成工序中与第一臂部52重叠的部分上，经过第二透明构件片金属膜形成工序后设有金属膜23。即，变成如下状态：除了圆形和连接透明构件20对角的呈放射状延伸的4条直线的图案以外，都设有金属膜23（参照图20）。

在设置金属膜23时，使用的是溅射技术或蒸镀技术。从而，能够在透明构件20的防反射膜22上设置规定厚度的金属膜23。

（第三透明构件片金属膜形成工序）

第三透明构件片金属膜形成工序是将第一掩模或第二掩模重叠到另一个透明构件片上，然后在图案部与框部之间设置金属膜的工序。本实施方式中说明使用第二掩模61的情况（未图示）。

经过该第三透明构件片金属膜形成工序，变成防反射膜22上设有金属膜23的状态。此时，透明构件20处于如下状态：其与第二掩模61的第二臂部62及图案部63重叠的部分上未设置金属膜23，而在框部64、图案部63、和第二臂部62所形成的空间中设有金属膜23。此时，重叠在透明构件片20W上的掩模优选使用与第一透明构件片金属膜形成工序中所使用的掩模不相同的掩模。

在设置金属膜23时，使用的是溅射技术或蒸镀技术。从而，能够在透明构件20的防反射膜22上设置规定厚度的金属膜23。

另外，在该第三透明构件片金属膜形成工序中，将掩模重叠到透明构件片上的顺序与第二透明构件片金属膜形成工序中使用的掩模的顺序相同，以使设置在透明构件片上的金属膜能够反映出该掩模的图案。

（第四透明构件片金属膜形成工序）

第四透明构件片金属膜形成工序是在第三透明构件片金属膜形成工序之后，将第三透明构件片金属膜形成工序中未使用的掩模重叠到另一个透明构件片20W上，然后在图案部与框部之间设置金属膜23的工序。这里说明第三透明构件片金属膜形成工序中未使用的掩模为第一掩模51的情况（参照图21）。

经过该第四透明构件片金属膜形成工序，变成在第三透明构件片金属膜形成工序中设置的金属膜23上进一步设有金属膜23的状态（参照图22）。此时，透明构件片20W处于如下状态：其与第一掩模51的第一臂部52及图案部53相重叠的部分上未设置金属膜23，而在框部54、图案部53、和第一臂部52所形成的空间中设有金属膜23。也就是说，变成如下状态：在第三透明构件片金属膜形成工序中与第二臂部62重叠的部分上，经过第四透明构件片金属膜形成工序后设有金属膜23。

在设置金属膜时，使用的是溅射技术或蒸镀技术。从而，能够在透明构件20的防反射膜22上设置规定厚度的金属膜23。

另外，由于第一臂部52和第二臂部62各自从框部54、64的中央开始延伸的方向并不相同，因此，第三透明构件片金属膜形成工序中与第二臂部62重叠的部分不会与第四透明构件片金属膜形成工序中与第一臂部52重叠的部分重叠。

（接合工序）

如图23(a)和图17(b)所示，接合工序是将其中一个透明构件片20W与另一个透明构件片20W重叠并在规定温度和规定压力下将它们接合的工序。

该接合工序中，是在其中一个透明构件片20W上设置的金属膜23与另一个透明构件片20W上设置的金属膜23重合的状态下，在规定压力和规定温度下进行接合。接合可以采用例如原子扩散接合。

从而，能够使其中一个透明构件片20W与另一个透明构件片20W接合，得到包含多个光学器件的相接合的透明构件片。

（切片工序）

切片工序是将相接合的2个透明构件片20W切断而得到各个光学器件的工序。

该切片工序中，可以在第一掩模51和第二掩模61的框部相重叠的部分上、即未设有金属膜23的部分进行切断，由此得到各个光学器件。进行切断时，可以使用旋转刀片等。

由于采用上述光学器件制造方法，因此，第一掩模和第二掩模的图案并不相同，第一掩模和第二掩模的臂部的痕迹不会重叠，从而能够减少污点的产生。使得杂质难以混入。另外，由于在与第一掩模和第二掩模的臂部的痕迹的部分相对的透明构件的面上设置有金属膜，因此不易发生剥离。

此外，本发明并不限于这些实施方式，也可以进行适当地变更来使用。

例如，在实施方式3、4中也可为，重叠在透明构件片上的掩模在第一透明构件片金属膜形成工序中使用第一掩模，在第二透明构件片金属膜形成工序中使用第二掩模，在第三透明构件片金属膜形成工序中使用第一掩模，在第四透明构件片金属膜形成工序中使用第二掩模。

还例如，在实施方式3、4中也可为，重叠在透明构件片上的掩模在第一透明构件片金属膜形成工序中使用第二掩模，在第二透明构件片金属膜形成工序中使用第一掩模，在第三透明构件片金属膜形成工序中使用第二掩模，在第四透明构件片金属膜形成工序中使用第一掩模。

另外，例如金属膜并不限于2层或4层，也可以是3层或5层以上。

另外，上述本发明的实施方式所涉及的光学器件制造方法能够用于标准具、1/2波长板、1/4波长板等由透明构件贴合而成的光学器件。

例如在一个主面上设有反射膜且在另一个主面上设有防反射膜的2个透明构件中，通过在防反射膜上设置金属膜，将金属膜彼此接合，从而能得到标准具这一光学器件。

此外还例如在未设置反射膜的2个透明构件上设置金属膜，通过将金属膜彼此接合来构成1/2波长板、1/4波长板这样的光学器件。

标号说明

11、12、13、14 光学器件

20 透明构件

23 金属膜

31、51 第一掩模

32、52 第一臂部

33、53 图案部

34、54 框部

41、61 第二掩模

42、62 第二臂部

43、63 图案部

44、64 框部

Claims (10)

1.一种光学器件制造方法，用于制造将2个透明构件的互相相对的平面状的主面彼此接合而成的光学器件，其特征在于，

使用第一掩模和第二掩模，其中，所述第一掩模由至少一个第一臂部、与该第一臂部相连的形成为多边形或圆形的图案部、以及与该图案部相连接的框部构成，所述第二掩模由设置在与所述第一掩模的所述第一臂部不同方向上的至少一个第二臂部、与该第二臂部相连的形成为多边形或圆形的图案部、以及与该图案部相连接的框部构成，

所述光学器件制造方法包括：

第一透明构件片金属膜形成工序，在该第一透明构件片金属膜形成工序中，将第一掩模重叠到具有多个成为透明构件的部分的2个透明构件片中的一个透明构件片上，并在图案部与框部之间设置金属膜；

第二透明构件片金属膜形成工序，在该第二透明构件片金属膜形成工序中，将第二掩模重叠到另一个透明构件片上，并在图案部与框部之间设置金属膜；

接合工序，在该接合工序中，使所述一个透明构件片的金属膜侧与所述另一个透明构件片的金属膜侧相对，并在规定温度和规定压力下将这些透明构件片接合；以及

切片工序，在该切片工序中，将相接合的所述2个透明构件片切断而得到各个光学器件。

2.如权利要求1所述的光学器件制造方法，其特征在于，

所述第一臂部由一个臂部构成，

所述第二臂部由一个臂部构成。

3.如权利要求1所述的光学器件制造方法，其特征在于，

在所述透明构件的一个主面上设有反射膜，且在另一个主面上设有防反射膜，并且在所述防反射膜上设有所述金属膜。

4.如权利要求1所述的光学器件制造方法，其特征在于，

在设置所述金属膜时，使用溅射技术或蒸镀技术来进行。

5.一种光学器件制造方法，用于制造由2个透明构件接合而成的光学器件，其特征在于，

使用第一掩模和第二掩模，其中，所述第一掩模由至少一个第一臂部、与该第一臂部相连的形成为多边形或圆形的图案部、以及与该图案部相连接的框部构成，所述第二掩模由设置在与所述第一掩模的所述第一臂部不同方向上的至少一个第二臂部、与该第二臂部相连的形成为多边形或圆形的图案部、以及与该图案部相连接的框部构成，

所述光学器件制造方法包括：

第一透明构件片金属膜形成工序，在该第一透明构件片金属膜形成工序中，将第一掩模重叠到具有多个成为透明构件的部分的2个透明构件片中的一个透明构件片上，并在图案部与框部之间设置金属膜；

第二透明构件片金属膜形成工序，在该第二透明构件片金属膜形成工序中，将第二掩模重叠到另一个透明构件片上，并在图案部与框部之间设置金属膜；

接合工序，在该接合工序中，使所述一个透明构件片的金属膜侧与所述另一个透明构件片的金属膜侧相对，并在规定温度和规定压力下将这些透明构件片接合；以及

切片工序，在该切片工序中，将相接合的所述2个透明构件片切断而得到各个光学器件，

所述第一臂部是以所述图案部为交叉部分的X字形，

所述第二臂部是以所述图案部为交叉部分的十字形。

6.一种光学器件制造方法，用于制造由2个透明构件接合而成的光学器件，其特征在于，

使用第一掩模和第二掩模，其中，所述第一掩模由至少一个第一臂部、与该第一臂部相连的形成为多边形或圆形的图案部、以及与该图案部相连接的框部构成，所述第二掩模由设置在与所述第一掩模的所述第一臂部不同方向上的至少一个第二臂部、与该第二臂部相连的形成为多边形或圆形的图案部、以及与该图案部相连接的框部构成，

所述光学器件制造方法包括：

第一透明构件片金属膜形成工序，在该第一透明构件片金属膜形成工序中，将第一掩模或第二掩模重叠到具有多个成为透明构件的部分的2个透明构件片中的一个透明构件片上，并在图案部与框部之间设置第一金属膜；

第二透明构件片金属膜形成工序，该第二透明构件片金属膜形成工序是在第一透明构件片金属膜形成工序之后，将所述第一透明构件片金属膜形成工序中未使用的掩模重叠到所述一个透明构件片的所述第一金属膜侧，并在图案部与框部之间设置第二金属膜；

第三透明构件片金属膜形成工序，在该第三透明构件片金属膜形成工序中，将第一掩模或第二掩模重叠到另一个透明构件片上，并在图案部与框部之间设置第三金属膜；

第四透明构件片金属膜形成工序，该第四透明构件片金属膜形成工序是在第三透明构件片金属膜形成工序之后，将所述第三透明构件片金属膜形成工序中未使用的掩模重叠到所述另一个透明构件片的所述第三金属膜侧，并在图案部与框部之间设置第四金属膜；

接合工序，在该接合工序中，使所述一个透明构件片的第一及第二金属膜侧与所述另一个透明构件片的第三及第四金属膜侧相对，并在规定温度和规定压力下将这些透明构件片接合；以及

切片工序，在该切片工序中，将相接合的所述2个透明构件片切断而得到各个光学器件。

7.如权利要求6所述的光学器件制造方法，其特征在于，

所述第一臂部由一个臂部构成，

所述第二臂部由一个臂部构成。

8.如权利要求6所述的光学器件制造方法，其特征在于，

所述第一臂部是以所述图案部为交叉部分的X字形，

所述第二臂部是以所述图案部为交叉部分的十字形。

9.如权利要求6所述的光学器件制造方法，其特征在于，

在所述透明构件的一个主面上设有反射膜，且在另一个主面上设有防反射膜，并且在所述防反射膜上设有所述金属膜。

10.如权利要求6所述的光学器件制造方法，其特征在于，

在设置所述金属膜时，使用溅射技术或蒸镀技术来进行。