JP5217557B2 - 電子部品の製造方法 - Google Patents
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Description
以下、本発明の実施の形態1における電子部品の製造方法について図面を参照しながら説明する。
11 第2の媒質層(SOI基板)
12 素子形成層
13 第1のテープ
14 レーザ
15 第1の線
16 第1の改質領域
17 第2のテープ
18 レーザ
19 第2の線
20 第2の改質領域
Claims (14)
- 第1の媒質層と前記第1の媒質層の表面に対向する裏面が形成された第2の媒質層とを有し、第1の線および第2の線に沿って前記第1の媒質層と前記第2の媒質層の間にスペースを有する素子形成層において、
前記第2の媒質層の表面に第1のテープを貼り付ける工程と、
前記第1の媒質層の裏面から前記第1の媒質層内に焦点を有するレーザを照射するとともに、前記レーザの照射位置を前記第1の媒質層の面方向に伸びる前記第1の線に沿って移動させ、前記第1の媒質層内に多光子吸収による第1の改質領域を形成する工程と、
前記第1の媒質層の裏面に第2のテープを貼り付ける工程と、
前記第2の媒質層の表面から前記第1のテープを剥離する工程と、
前記第2の媒質層の表面から前記第2の媒質層内に焦点を有するレーザを照射するとともに、前記レーザの照射位置を前記第2の媒質層の面方向に伸びる前記第2の線に沿って移動させ、前記第2の媒質層内に多光子吸収による第2の改質領域を形成する工程と、
前記第2のテープを前記素子形成層の面方向に拡張し前記素子形成層を前記第1、第2の線に沿って個片化する工程とを有する
電子部品の製造方法。 - 前記第2の線は
前記第1の媒質層の表面に関して前記第1の線と対称である
請求項1に記載の電子部品の製造方法。 - 前記第1のテープは
第1の基材とこの第1の基材表面に形成された第1の粘着層とを有し、
前記第1の基材はポリエチレン・テレフタレートを用いて形成した
請求項1に記載の電子部品の製造方法。 - 前記第1のテープは
第1の基材とこの第1の基材表面に形成された第1の粘着層とを有し、
前記第1の粘着層が易剥離性の粘着層である
請求項1に記載の電子部品の製造方法。 - 前記第1のテープは
第1の基材とこの第1の基材表面に形成された第1の粘着層とを有し、
前記第1の粘着層がUV硬化型の粘着層である
請求項1に記載の電子部品の製造方法。 - 前記第1のテープは
第1の基材とこの第1の基材表面に形成された第1の粘着層とを有し、
前記第1の粘着層が熱発泡型の粘着層である
請求項1に記載の電子部品の製造方法。 - 前記第1のテープは
第1の基材とこの第1の基材表面に形成された第1の粘着層とを有し、
前記第1の粘着層が光発泡型の粘着層である
請求項1に記載の電子部品の製造方法。 - 前記第2のテープは
第2の基材とこの第2の基材表面に形成された第2の粘着層とを有し、
前記第2の基材はポリ塩化ビニル又はポリ・オレフィンを用いて形成した
請求項1に記載の電子部品の製造方法。 - 前記第2のテープは
第2の基材とこの第2の基材表面に形成された第2の粘着層とを有し、
前記第2の粘着層がUV硬化型の粘着層である
請求項1に記載の電子部品の製造方法。 - 前記第1、第2の線は
それぞれ複数の線からなる
請求項1に記載の電子部品の製造方法。 - 前記第2の媒質層が前記第1の媒質層よりも脆弱な形状である
請求項1に記載の電子部品の製造方法。 - 前記第2の媒質層における最薄部の厚みが
前記第1の媒質層における最薄部の厚みよりも薄い
請求項1に記載の電子部品の製造方法。 - 前記第2の媒質層における最細部の太さが
前記第1の媒質層における最細部の太さよりも細い
請求項1に記載の電子部品の製造方法。 - 前記第2の線は
前記第1の媒質層の表面に関して前記第1の線と非対称である
請求項1に記載の電子部品の製造方法。
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