JP5004010B2 - 基板検査装置及び基板検査方法 - Google Patents
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Description
説明の都合上、基板検査装置(図7参照)は、4つの検査対象の導通検査を並列処理可能な装置とする。導通検査は、検査プローブ2本一組で1本の配線パターンを検査することが出来る。そこで、回路基板の上下両面から夫々押圧接触された複数本の検査プローブの内、任意に選択された上側の4本の検査プローブと下側の4本の検査プローブとの合計8本の検査プローブを使用して導通検査を実施する。毎回の検査毎に、8本の検査プローブを2本一組の四組に振り分け、電気的に独立した4本の配線パターンに対して同時に導通検査を実施する。
図3及び4は、検査対象の第一の配置を説明する図である。ここで、回路基板10には、例えば、配線パターン12が8個のネットA〜Hから形成されている。各ネット間は電気的に相互に独立し(即ち、絶縁状態にあり)、同一ネット内では電気的に接続されている。各ネットを形成する配線パターン12は、回路基板10の上面10u及び/又は裏面10dに導通検査に使用する検査点Pを形成する。
(2)配線パターン乙として、ネットBの基準検査点P1(下)と検査点P2(下)との間の配線パターン
(3)配線パターン丙として、ネットCの基準検査点P1(上)と検査点P2(下)との間の配線パターン
(4)配線パターン丁として、ネットDの基準検査点P1(下)と検査点P2(上)との間の配線パターン。
(2)配線パターン乙として、ネットBの基準検査点P1(下)と検査点P3(下)との間の配線パターン
(3)配線パターン丙として、ネットCの基準検査点P1(上)と検査点P3(下)との間の配線パターン
(4)配線パターン丁として、ネットDの基準検査点P1(下)と検査点P3(上)との間の配線パターン
次の3回目の検査では、図に示す4本の配線パターンの導通検査が同時に実施される。4回目〜7回目の検査までは、図に示す3本の配線パターンの導通検査が同時に実施される。8回目の検査では、図に示す2本の配線パターンの導通検査が同時に実施される。
図5及び6に示す配置表を用いて、検査対象の第二の配置を説明する。図5の配置表に示す配置は、第一の配置(図4参照)を更に再配置して、検査時間を短縮した配置である。
(検査装置)
図7は、上述した検査対象の選出方法により決定した4本の配線パターンを同時検査する基板検査装置20のブロック図である。
図8は、図7の基板検査装置20が実行する基板検査方法のフローである。予め記憶されているプログラムに沿って、制御部36により実行される。
これら実施形態に対して、当業者が容易に実施し得る付加・変更・削除・改良は、本発明の範囲に含まれる。例えば、次のような事項が挙げられる。
実施形態では、1本の被検査配線パターンの導通検査に際して、一対の検査プローブを用いて、検査電圧を印加し、流れる電流を検出している。
第一の配置の説明で、図3を用いた説明で、回路基板の検査点に対する符号に付与を、基準検査点P1を除き、任意であるとした。
(1)複数の配線パターンの導通検査を同時に実施できることにより、検査時間の短縮が図れる。
以上により本発明に係る基板検査装置及び基板検査方法の実施形態に関して説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されない。本発明の技術的範囲、添付の特許請求の範囲の記載に基づいて定められる。
甲,乙,丙,丁:検査対象
A,B,C,D,E,F,G,H:ネット、 P1:基準検査点、 P2,P3、…:検査点、
Claims (6)
- 回路基板の配線パターンの導通検査に際し、複数個のネット(L)を形成する複数本(M)の配線パターンの検査を、同時検査可能対象数(N)単位で並列処理可能な基板検査装置であって、
前記回路基板の表面に現れた前記配線パターンに形成された検査点に対して押圧接触する検査プローブと、
毎回の検査順番毎に、検査対象となる複数本(N)の配線パターンを選出する検査対象選出手段により選出された配線パターンからの出力を選択するスキャナ手段と、
前記スキャナ手段からの出力を、検査対象となる個々の配線パターンに対応する出力に組み合わせる組み合わせ回路手段と、
検査対象となる個々の配線パターンに対して検査電圧を印加して、流れる電流を検出する、個数Nの電圧源及び電流検出手段とを備え、
前記配線パターンを選出する検査対象選出手段は、同時検査可能対象(個数N)に優先順位を付して、配線本数の多いネットの配線パターンを優先順位の高い検査対象として選出した配置表に基づき実施される、基板検査装置。 - 請求項1に記載の基板検査装置において、
前記スキャナ手段は、前記回路基板の両面に配置された上側及び下側スキャナを有し、
上側及び下側スキャナは、各々、同時検査可能対象数(N)に基づきN個の検査プローブからの出力を選択するように構成され、
前記配線パターンを選出する検査対象選出手段は、検査対象となる配線パターンの検査点の個数が前記回路基板の上面又は下面に関してN個以下であるという条件下で、同時検査可能対象(個数N)に優先順位を付して、配線本数の多いネットの配線パターンを優先順位の高い検査対象として順次選出した配置表に基づき実施される、基板検査装置。 - 請求項1に記載の基板検査装置において、
前記配線パターンを選出する検査対象選出手段は、更に、検査順番毎に、同時検査対象となる配線パターンの各々に必要な検査時間を揃えるため、検査対象となる配線パターンを再配置した配置表に基づき実施される、基板検査装置。 - 回路基板の配線パターンの導通検査に際し、複数個のネット(L)を形成する複数本(M)の配線パターンの検査を、同時検査可能対象(個数N)単位で並列処理する基板検査方法であって、
検査順番毎に、配置表に基づき、同時検査の対象となる複数本(N)の配線パターンを選出し、
検査電圧を、前記複数本(N)の配線パターンに夫々印加し、
所定時間後に、前記複数本(N)の配線パターンに夫々流れる電流を検出し、
前記検査電圧値と検出電流値から、前記複数本(N)の配線パターンの個々の抵抗値を算出し、
算出抵抗値と基準抵抗値と比較して、該配線パターンの良否を判定するステップを含み、
前記配置表は、同時検査可能対象(個数N)に優先順位を付して、配線本数の多いネットの配線パターンを優先順位の高い検査対象として選出している、基板検査方法。 - 請求項4に記載の基板検査方法において、
前記配置表は、更に、検査順番毎に、同時検査対象となる配線パターンの各々に必要な検査時間を揃えるため、検査対象となる配線パターンを再配置した配置表である、基板検査方法。 - 請求項4又は5に記載の基板検査方法において、
検査順番毎に、予め検査時間を設定し、該検査時間は同時検査可能な配線パターンの中で最も長い配線パターン長に従って決定される、基板検査方法。
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