JP4911201B2 - 弾性境界波装置 - Google Patents
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Description
.J.Campvell and W.R.Jones,IEEE Trans.Sonics and Ultrason.,Vol.SU−15(1968)pp.209−217)に開示されている方法を元に行ったものである。ここでは、SiO2とAuとの境界及びAuとLiNbO3との境界における変位と上下方向の応力を連続とし、短絡境界であるため電位を0とし、SiO2の厚みを所定の値とし、15°Y−X伝搬のLiNbO3の厚みを無限大として、境界波の変位分布とスプリアスモードの変位分布を求めた。
2…第1の媒質層
3…IDT
4,5…反射器
6…第2の媒質層
7…吸音層
7a…第1の吸音材料層
7b…第2の吸音材料層
21…弾性境界波装置
22…第1の媒質層
23…IDT
26…第2の媒質層
26a,26b…媒質材料層
31…弾性境界波装置
41,42…導体層
51…弾性境界波装置
52…配線電極
53,54…スルーホール電極
55…配線電極
61…弾性境界波装置
63…IDT
66…第2の媒質層
67…接続電極
68…第3の媒質層
69…配線電極
71…配線電極
72…配線電極
73…外部接続電極
74…保護膜
81…弾性境界波装置
82…熱伝導性材料層
83…エポキシ樹脂層
84,85…配線電極
86…保護膜
90…弾性境界波装置
91…弾性境界波装置チップ
91a,91b…電極
92a,92b…バンプ
93…セラミック基板
93a,93b…電極
94…保護膜
96…弾性境界波装置
97a,97b…導電ペースト
98a,98b…外部端子
99…補強樹脂層
101…ウエハー
102…IDT
103,104…反射器
105,106…配線電極
107…第2の媒質層
107a…上面
108…配線電極
109…吸音層
110…SiN膜
111,112…開口部
113,114…外部端子
121…第4の媒質層
121A…パターニングされた感光性樹脂薄膜
123…吸音層
124,125…開口部
126,127…外部接続端子
132,133…外部接続端子
134…吸音層
Claims (8)
- 第1の媒質層と第2の媒質層との境界を伝搬する弾性境界波を利用した弾性境界波装置であって、
第1の媒質層と、
前記第1の媒質層に積層された第2の媒質層と、
前記第1,第2の媒質層の境界に設けられた電極と、
を備え、
前記第2の媒質層は、第1の媒質材料層と前記第1の媒質材料層の上に積層された第2の媒質材料層とからなる2層構造を有し、
前記第2の媒質層の境界面とは反対側の面の直上に配されており、前記第2の媒質層の境界面とは反対側の面において変位を有し、弾性境界波装置の***振周波数よりも高域側もしくは通過帯域よりも高域側に現れる、スプリアスとなるモードを減衰させる吸音層をさらに備えることを特徴とする、弾性境界波装置。 - 前記吸音層における横波の音速が、前記第2の媒質層の横波の音速よりも低速である、請求項1に記載の弾性境界波装置。
- 前記吸音層における縦波の音速が、前記第2の媒質層における縦波の音速よりも低速である、請求項1に記載の弾性境界波装置。
- 前記吸音層の横波の音速が、前記第2の媒質層における横波の音速の0.13倍以上、1.23倍以下の範囲にある、請求項1に記載の弾性境界波装置。
- 前記吸音層における音響インピーダンスが、前記第2の媒質層の音響インピーダンスの0.20倍〜5.30倍の範囲にある、請求項1〜4のいずれか1項に記載の弾性境界波装置。
- 前記吸音層が、樹脂、ガラス、セラミックス及び金属からなる群から選択された少なくとも1種により構成されている、請求項1〜5のいずれか1項に記載の弾性境界波装置。
- 前記吸音層が積層構造を有する、請求項1〜6のいずれか1項に記載の弾性境界波装置。
- 吸音層が複数の吸音材料層を積層してなる積層構造を有し、第2の媒質層に近い側の吸音材料層の音響特性インピーダンスが、該吸音材料層よりも第2の媒質層から隔てられた吸音材料層の音響インピーダンスと、第2の媒質層の音響インピーダンスとの間の中間の値を有する、請求項7に記載の弾性境界波装置。
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