JP5672928B2 - 電子部品装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
2…基板
2a…第1の主面
2b…第2の主面
3a…第1の電極ランド
3b…第2の電極ランド
4…接続電極
5…導電性接合材層
6…第1の貫通電極
7…第1の外部電極
8…第2の貫通電極
9…第2の外部電極
10…台座部材
11…圧電振動子
11a…先端
12…内部空間
13…封止用枠材
13A…封止用枠材
13a…第1の封止用枠材
13b…第2の封止用枠材
14…蓋材
14a…導電層
Claims (15)
- 対向し合う第1,第2の主面を有する基板と、
前記基板の第1の主面に搭載される電子部品素子と、
前記基板の第1の主面に下端が固定されており、前記電子部品素子を取り囲むように設けられており、かつ導電性を有する封止用枠材と、
前記基板の第1の主面及び前記封止用枠材と共に前記電子部品素子が内部に配置される内部空間を形成するように、前記封止用枠材の上端に接合されており、かつ導電層を有する蓋材と、
前記基板の第1の主面に形成されており、前記電子部品素子に電気的に接続されている第1の電極ランドと、
前記第1の電極ランドに電気的に接続されており、前記基板の第1の主面から第2の主面に貫通するように設けられている第1の貫通電極と、
前記第1の貫通電極に電気的に接続されており、かつ前記基板の第2の主面に形成されている第1の外部電極と、
前記封止用枠材の下端と前記基板の第1の主面とを接合しており、かつ枠状の導電性接合材層と、
前記基板の第1の主面において前記内部空間に臨むように形成されており、かつ前記導電性接合材層に連ねられている接続電極と、
前記基板の第1の主面から第2の主面を貫通するように設けられており、かつ前記接続電極に電気的に接続されている第2の貫通電極と、
前記第2の貫通電極に電気的に接続されており、かつ前記基板の第2の主面に設けられているグラウンド電極である第2の外部電極とを備える、電子部品装置。 - 前記接続電極が、前記内部空間内に位置しており、内部空間内において、前記第2の貫通電極が前記接続電極に電気的に接続されている、請求項1に記載の電子部品装置。
- 前記導電性接合材層から前記内部空間側に向かって延びている部分と直交する方向の前記接続電極の寸法を、該接続電極の幅とした場合、該接続電極の幅が、前記導電性接合材層の幅よりも大きい、請求項1または2に記載の電子部品装置。
- 前記基板の第1の主面から上方に突出するように、第1の主面上に設けられており、前記電子部品素子を片持ち梁状に支持している台座部材をさらに備える、請求項1〜3のいずれか1項に記載の電子部品装置。
- 前記電子部品素子が圧電振動子であり、前記蓋材の下面及び前記基板の第1の主面の前記内部空間に臨む部分が段差を有せず平坦であり、かつ
前記蓋材の下面と前記基板の第1の主面との間の距離が、前記台座部材により支持された前記圧電振動子の振動状態において圧電振動子が接触しない長さとされている、請求項4に記載の電子部品装置。 - 前記封止用枠材が、前記基板の第1の主面側に位置している第1の封止用枠材と、前記蓋材の下面側に位置している第2の封止用枠材とを有し、第1の封止用枠材の上端と第2の封止用枠材の下端とが接合されている、請求項4または5に記載の電子部品装置。
- 前記第1の封止用枠材と、前記台座部材とが同じ材料からなる、請求項6に記載の電子部品装置。
- 前記接続電極の少なくとも一部が、前記圧電振動子の直下の領域内に位置している、請求項1〜7のいずれか1項に記載の電子部品装置。
- 対向し合う第1,第2の主面を有し、第1の主面から第2の主面に至っている第1,第2の貫通電極と、前記第1の主面に形成されており、前記第1の貫通電極に接続されている電極ランドと、前記第1,第2の貫通電極にそれぞれ接続されるように前記第2の主面に形成されている第1の外部電極及びグラウンド電極である第2の外部電極と、前記電極ランド及び第1,第2の貫通電極が設けられている領域を囲むように設けられている枠状の導電性接合材層と、該導電性接合材層に接続されており、かつ該導電性接合材層で囲まれている領域内に至るように設けられた接続電極とを有する基板を用意する工程と、
前記基板の第1の主面上に、前記電極ランドに電気的に接続されるように電子部品素子を搭載する工程と、
前記電子部品素子の周囲を囲むように前記基板の第1の主面に、前記導電性接合材層を介して封止用枠材を接合する工程と、
前記封止用枠材の上面に蓋材を接合する工程とを備える、電子部品装置の製造方法。 - 前記導電性接合材層により前記封止用枠材を前記基板の第1の主面に接合した後に、前記蓋材を前記封止用枠材の上端に固定する、請求項9に記載の電子部品装置の製造方法。
- 前記封止用枠材を前記蓋材の下面に接合した後に、前記封止用枠材の下端を前記導電性接合材層を介して前記基板の第1の主面に接合する、請求項9に記載の電子部品装置の製造方法。
- 前記電子部品素子が圧電振動子であり、前記基板の内部空間に臨む部分が平坦である基板と、前記蓋材の前記内部空間に臨む部分が平坦である蓋材とを用い、前記基板上に基板の第1の主面から突出するように台座部材を設けた後に、該台座部材に前記圧電振動子を片持ち梁で台座部材により支持されるように固定する、請求項9〜11のいずれか1項に記載の電子部品装置の製造方法。
- 前記封止用枠材として、前記基板の第1の主面側に位置する第1の封止用枠材と、前記蓋材側に位置する第2の封止用枠材とを用意し、第1,第2の封止用枠材を接合する工程をさらに備える、請求項9〜12のいずれか1項に記載の電子部品装置の製造方法。
- 前記第1,第2の封止用枠材の接合を、金属拡散により行う、請求項13に記載の電子部品装置の製造方法。
- 前記封止用枠材の形成を、フォトリソグラフィー法により行う、請求項9〜14のいずれか1項に記載の電子部品装置の製造方法。
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