JP6816834B2 - 弾性波装置、マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路、及び通信装置 - Google Patents
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- 238000004891 communication Methods 0.000 title claims description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 65
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 51
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims description 45
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 27
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 19
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical group O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 13
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 13
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical group CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N Magnesium oxide Chemical compound [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 10
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 9
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 6
- 229910052839 forsterite Inorganic materials 0.000 claims description 6
- HCWCAKKEBCNQJP-UHFFFAOYSA-N magnesium orthosilicate Chemical compound [Mg+2].[Mg+2].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] HCWCAKKEBCNQJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 claims description 6
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims description 6
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 5
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 4
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims description 4
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 4
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052878 cordierite Inorganic materials 0.000 claims description 3
- JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N dimagnesium dioxido-bis[(1-oxido-3-oxo-2,4,6,8,9-pentaoxa-1,3-disila-5,7-dialuminabicyclo[3.3.1]nonan-7-yl)oxy]silane Chemical compound [Mg++].[Mg++].[O-][Si]([O-])(O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2)O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2 JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 22
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 22
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 9
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 5
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 4
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 3
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 3
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- -1 or W Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 1
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007405 data analysis Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
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- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
- H03H9/6483—Ladder SAW filters
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- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6489—Compensation of undesirable effects
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- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02543—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
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- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02543—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
- H03H9/02574—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles of combined substrates, multilayered substrates, piezoelectrical layers on not-piezoelectrical substrate
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- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
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- H03H9/72—Networks using surface acoustic waves
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- H03H9/70—Multiple-port networks for connecting several sources or loads, working on different frequencies or frequency bands, to a common load or source
- H03H9/72—Networks using surface acoustic waves
- H03H9/725—Duplexers
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- H04B1/0053—Details of transmission systems, not covered by a single one of groups H04B3/00 - H04B13/00; Details of transmission systems not characterised by the medium used for transmission adapting radio receivers, transmitters andtransceivers for operation on two or more bands, i.e. frequency ranges with common antenna for more than one band
- H04B1/006—Details of transmission systems, not covered by a single one of groups H04B3/00 - H04B13/00; Details of transmission systems not characterised by the medium used for transmission adapting radio receivers, transmitters andtransceivers for operation on two or more bands, i.e. frequency ranges with common antenna for more than one band using switches for selecting the desired band
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- H04B1/00—Details of transmission systems, not covered by a single one of groups H04B3/00 - H04B13/00; Details of transmission systems not characterised by the medium used for transmission
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- H04B1/04—Circuits
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Description
(1)弾性波装置の全体構成
まず、本実施形態に係る弾性波装置1の全体構成について、図面を参照して説明する。
次に、本実施形態に係る弾性波装置1の各構成要素について、図面を参照して説明する。
複数の弾性波共振子31〜39のうち、アンテナ端共振子である弾性波共振子31は、第1弾性波共振子3Aである。また、複数の並列腕共振子(弾性波共振子32,34,36,38)のうち第1端子101に電気的に最も近い弾性波共振子32も第1弾性波共振子3Aである。
実施形態1の高音速部材4Aは、高音速支持基板42Aである。高音速支持基板42Aは、圧電体層6Aを挟んでIDT電極7Aとは反対側に位置している。高音速支持基板42Aでは、圧電体層6Aを伝搬する弾性波の音速よりも、高音速支持基板42Aを伝搬するバルク波の音速が高速である。高音速支持基板42Aは、低音速膜5A、圧電体層6A、及びIDT電極7Aを支持する。
低音速膜5Aは、圧電体層6Aを伝搬するバルク波の音速より、低音速膜5Aを伝搬するバルク波の音速が低速となる膜である。低音速膜5Aは、高音速支持基板42Aと圧電体層6Aとの間に設けられている。低音速膜5Aが高音速支持基板42Aと圧電体層6Aとの間に設けられていることにより、弾性波の音速が低下する。弾性波は本質的に低音速な媒質にエネルギーが集中する。したがって、圧電体層6A内及び弾性波が励振されているIDT電極7A内への弾性波のエネルギーの閉じ込め効果を高めることができる。その結果、低音速膜5Aが設けられていない場合に比べて、損失を低減し、Q値を高めることができる。
圧電体層6Aは、例えば、Γ°YカットX伝搬LiTaO3圧電単結晶から形成されている。Γ°YカットX伝搬LiTaO3圧電単結晶は、LiTaO3圧電単結晶の3つの結晶軸をX軸、Y軸、Z軸とした場合に、X軸を中心軸としてY軸からZ軸方向にΓ°回転した軸を法線とする面で切断したLiTaO3単結晶であって、X軸方向に弾性表面波が伝搬する単結晶である。圧電体層6Aのカット角は、カット角をΓ[°]、圧電体層6Aのオイラー角を(φ,θ,ψ)をすると、Γ=θ+90°である。ただし、Γと、Γ±180×nは同義である(結晶学的に等価である)。ここにおいて、nは、自然数である。圧電体層6Aは、Γ°YカットX伝搬LiTaO3圧電単結晶に限定されず、例えば、Γ°YカットX伝搬LiTaO3圧電セラミックスであってもよい。
IDT電極7Aは、図4A及び図4Bに示すように、第1バスバー71Aと、第2バスバー72Aと、複数の第1電極指73Aと、複数の第2電極指74Aとを含み、圧電体層6Aの主面61Aに設けられている。
複数の弾性波共振子31〜39のうち第1弾性波共振子3A以外の弾性波共振子は、図1に示すように、第2弾性波共振子3Bである。図1の例では、複数の弾性波共振子33〜39が第2弾性波共振子3Bである。
実施形態1の高音速部材4Bは、高音速支持基板42Bである。高音速支持基板42Bは、圧電体層6Bを挟んでIDT電極7Bとは反対側に位置している。高音速支持基板42Bでは、圧電体層6Bを伝搬する弾性波の音速よりも、高音速支持基板42Bを伝搬するバルク波の音速が高速である。高音速支持基板42Bは、低音速膜5B、圧電体層6B、及びIDT電極7Bを支持する。
低音速膜5Bは、圧電体層6Bを伝搬するバルク波の音速より、低音速膜5Bを伝搬するバルク波の音速が低速となる膜である。低音速膜5Bは、高音速支持基板42Bと圧電体層6Bとの間に設けられている。低音速膜5Bが高音速支持基板42Bと圧電体層6Bとの間に設けられていることにより、弾性波の音速が低下する。弾性波は本質的に低音速な媒質にエネルギーが集中する。したがって、圧電体層6B内及び弾性波が励振されているIDT電極7B内への弾性波のエネルギーの閉じ込め効果を高めることができる。その結果、第1弾性波共振子3A(図3A参照)と同様、低音速膜5Bが設けられていない場合に比べて、損失を低減し、Q値を高めることができる。
圧電体層6Bは、圧電体層6Aと同様、例えば、Γ°YカットX伝搬LiTaO3圧電単結晶から形成されている。圧電体層6Bのカット角は、カット角をΓ[°]、圧電体層6Bのオイラー角を(φ,θ,ψ)をすると、Γ=θ+90°である。なお、圧電体層6Bは、Γ°YカットX伝搬LiTaO3圧電単結晶に限定されず、例えば、Γ°YカットX伝搬LiTaO3圧電セラミックスであってもよい。
IDT電極7Bは、IDT電極7Aと同様、図5A及び図5Bに示すように、第1バスバー71Bと、第2バスバー72Bと、複数の第1電極指73Bと、複数の第2電極指74Bとを含み、圧電体層6Bの主面61B(図3B参照)に設けられている。
次に、第1弾性波共振子3Aにおける圧電体層6Aのカット角θ1及び第2弾性波共振子3Bにおける圧電体層6Bのカット角θ2について説明する。本実施形態では、圧電体層6A,6Bの材料は、LiTaO3である。
次に、本実施形態に係る弾性波装置1の動作原理について説明する。本実施形態では、弾性波装置1は、ラダー型フィルタである。
次に、本実施形態に係るマルチプレクサ100について、図2を参照して説明する。
次に、本実施形態に係る高周波フロントエンド回路300について、図2を参照して説明する。
次に、本実施形態に係る通信装置400について、図2を参照して説明する。
以上説明したように、本実施形態に係る弾性波装置1では、アンテナ200に接続される第1端子101に電気的に最も近いアンテナ端共振子である第1弾性波共振子3Aの圧電体層6Aのカット角θ1がθB±4°の範囲内である。これにより、通過帯域の特性劣化を抑えつつ、通過帯域よりも低周波数側に発生するレイリー波のスプリアスを低減させることができる。
以下、本実施形態の変形例について説明する。
以上説明した実施形態及び変形例より以下の態様が開示されている。
31〜39 弾性波共振子
3A,3Af 第1弾性波共振子
3B,3Bf 第2弾性波共振子
4A,4B 高音速部材
42A,42B 高音速支持基板
44A,44B 支持基板
45A,45B 高音速膜
5A,5B 低音速膜
6A,6B 圧電体層
61A,61B 主面
7A,7B IDT電極
71A,71B 第1バスバー
72A,72B 第2バスバー
73A,73B 第1電極指
74A,74B 第2電極指
100,100b マルチプレクサ
101 第1端子
102 第2端子
103 第3端子
104 第4端子
105 第5端子
11 第1フィルタ
12 第2フィルタ
21 第3フィルタ
22 第4フィルタ
30 共振子群
200 アンテナ
300 高周波フロントエンド回路
301 第1スイッチ回路
302 第2スイッチ回路
303 第1増幅回路
304 第2増幅回路
400 通信装置
401 RF信号処理回路
402 ベースバンド信号処理回路
N1〜N4 ノード
r1 第1経路
r21〜r24 第2経路
TIDT 厚さ
TLT 厚さ
TVL 厚さ
θ1,θ2,θB カット角
λ 波長
ρ 比重
Claims (12)
- アンテナ端子である第1端子と、前記第1端子とは異なる第2端子との間に設けられる弾性波装置であって、
複数の弾性波共振子を備え、
前記複数の弾性波共振子は、
前記第1端子と前記第2端子とを結ぶ第1経路上に設けられた複数の直列腕共振子と、
前記第1経路上の複数のノードそれぞれとグラウンドとを結ぶ複数の第2経路上に設けられた複数の並列腕共振子と、を含み、
前記複数の弾性波共振子のうち前記第1端子に電気的に最も近い弾性波共振子をアンテナ端共振子とした場合に、
前記アンテナ端共振子は、第1弾性波共振子であり、
前記複数の弾性波共振子のうち前記アンテナ端共振子以外の少なくとも1つの弾性波共振子は、第2弾性波共振子であり、
前記第1弾性波共振子及び前記第2弾性波共振子の各々は、
圧電体層と、
前記圧電体層上に形成されており複数の電極指を有するIDT電極と、
前記圧電体層を挟んで前記IDT電極とは反対側に位置しており前記圧電体層を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が高速である高音速部材と、
前記高音速部材と前記圧電体層との間に設けられており前記圧電体層を伝搬するバルク波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が低速である低音速膜と、を含み、
前記圧電体層の厚さが、前記IDT電極の前記複数の電極指の周期である電極指周期で定まる弾性波の波長をλとしたときに、3.5λ以下であり、
前記第1弾性波共振子の前記圧電体層のカット角は、前記波長をλ(μm)とし、前記IDT電極の厚さをTIDT(μm)とし、前記IDT電極の比重をρ(g/cm3)とし、電極指の幅を前記電極指周期の2分の1の値で除した値であるデューティ比をDuとし、前記圧電体層の厚さをTLT(μm)とし、前記低音速膜の厚さTVL(μm)とした場合、式(1)で求まるθB(°)を基準として、θB±4°の範囲内であり、
弾性波装置。 - 前記複数の弾性波共振子のうち前記アンテナ端共振子を含む少なくとも1つの弾性波共振子は、前記第1弾性波共振子であり、
前記複数の弾性波共振子のうち前記少なくとも1つの弾性波共振子以外の弾性波共振子は、前記第2弾性波共振子であり、
前記第1弾性波共振子は、前記第2弾性波共振子とは異なるチップである、
請求項1に記載の弾性波装置。 - 前記圧電体層の材料がリチウムタンタレート又はリチウムニオベイトであり、
前記低音速膜の材料が酸化ケイ素であり、
前記高音速部材の材料がシリコンである、
請求項1又は2に記載の弾性波装置。 - 前記第1弾性波共振子及び前記第2弾性波共振子の各々は、支持基板を更に含み、
前記高音速部材は、前記支持基板上に形成されており前記圧電体層を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が高速である高音速膜を含み、
前記低音速膜は、前記高音速膜上に形成されている、
請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 前記圧電体層の材料が、リチウムタンタレート又はリチウムニオベイトであり、
前記低音速膜の材料が、酸化ケイ素と、ガラスと、酸窒化ケイ素と、酸化タンタルと、酸化ケイ素にフッ素、炭素又はホウ素を加えた化合物と、からなる群から選択される少なくとも1種の材料であり、
前記高音速膜の材料が、ダイヤモンドライクカーボン、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、窒化ケイ素、シリコン、サファイア、リチウムタンタレート、リチウムニオベイト、水晶、アルミナ、ジルコニア、コージライト、ムライト、ステアタイト、フォルステライト、マグネシア、及びダイヤモンドからなる群から選択される少なくとも1種の材料である、
請求項4に記載の弾性波装置。 - 前記複数の直列腕共振子のうち1つの直列腕共振子が、前記複数の並列腕共振子よりも前記第1端子に電気的に近く、
前記1つの直列腕共振子が、前記アンテナ端共振子である、
請求項1〜5のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 前記複数の直列腕共振子のうち1つの直列腕共振子と前記複数の並列腕共振子のうち1つの並列腕共振子とが、前記第1端子と直接的に接続されており、
前記1つの直列腕共振子と前記1つの並列腕共振子との少なくとも一方が、前記アンテナ端共振子である、
請求項1〜6のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 請求項1〜7のいずれか1項に記載の弾性波装置からなる第1フィルタと、
前記第1端子と前記第1端子とは異なる第3端子との間に設けられた第2フィルタと、を備え、
前記第1フィルタの通過帯域が、前記第2フィルタの通過帯域よりも高周波数域である、
マルチプレクサ。 - 前記複数の弾性波共振子からなる共振子群を複数備え、
前記複数の共振子群では、前記第1端子が共通端子であり、かつ、前記第2端子が個別端子であり、
前記複数の共振子群の前記アンテナ端共振子が1チップに集積されている、
請求項8に記載のマルチプレクサ。 - 前記第1フィルタの前記通過帯域の最小周波数が、前記第2フィルタの前記通過帯域の最大周波数よりも高い、
請求項8又は9に記載のマルチプレクサ。 - 請求項8〜10のいずれか1項に記載のマルチプレクサと、
前記マルチプレクサに接続された増幅回路と、を備える、
高周波フロントエンド回路。 - 請求項11に記載の高周波フロントエンド回路と、
アンテナで受信される高周波信号を処理する信号処理回路と、を備え、
前記高周波フロントエンド回路は、前記アンテナと前記信号処理回路との間で前記高周波信号を伝達する、
通信装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018003869 | 2018-01-12 | ||
JP2018003869 | 2018-01-12 | ||
PCT/JP2018/046700 WO2019138813A1 (ja) | 2018-01-12 | 2018-12-19 | 弾性波装置、マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路、及び通信装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019138813A1 JPWO2019138813A1 (ja) | 2020-10-22 |
JP6816834B2 true JP6816834B2 (ja) | 2021-01-20 |
Family
ID=67219150
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019564600A Active JP6816834B2 (ja) | 2018-01-12 | 2018-12-19 | 弾性波装置、マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路、及び通信装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11115003B2 (ja) |
JP (1) | JP6816834B2 (ja) |
CN (1) | CN111587534B (ja) |
WO (1) | WO2019138813A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112653421A (zh) * | 2020-12-18 | 2021-04-13 | 广东广纳芯科技有限公司 | 一种高声速高频高性能的窄带滤波器 |
CN112600529A (zh) * | 2020-12-18 | 2021-04-02 | 广东广纳芯科技有限公司 | 一种具有poi结构的兰姆波谐振器 |
CN112600531A (zh) * | 2020-12-18 | 2021-04-02 | 广东广纳芯科技有限公司 | 一种高频近零频率温度系数的窄带滤波器及制造方法 |
CN112702035A (zh) * | 2020-12-18 | 2021-04-23 | 广东广纳芯科技有限公司 | 一种高频大宽带低插损高性能声表面波谐振器及制造方法 |
CN112653420A (zh) * | 2020-12-18 | 2021-04-13 | 广东广纳芯科技有限公司 | 一种高声速高频低频率温度系数窄带滤波器及制造方法 |
CN112737543A (zh) * | 2020-12-18 | 2021-04-30 | 广东广纳芯科技有限公司 | 一种基于poi结构的高性能声表面波谐振器及制造方法 |
CN112838841A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-05-25 | 中国科学院半导体研究所 | 基于周期性弹性波反射结构的静电式谐振器 |
WO2022158363A1 (ja) * | 2021-01-19 | 2022-07-28 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2022270330A1 (ja) * | 2021-06-25 | 2022-12-29 | 株式会社村田製作所 | 高周波モジュール及び通信装置 |
CN113708739B (zh) * | 2021-08-27 | 2024-06-18 | 中国科学院上海微***与信息技术研究所 | 一种声波滤波器 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4003434B2 (ja) * | 2001-10-31 | 2007-11-07 | 株式会社村田製作所 | 表面波装置 |
US6717327B2 (en) | 2001-04-23 | 2004-04-06 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device |
JP5136690B2 (ja) * | 2009-05-15 | 2013-02-06 | 株式会社村田製作所 | 弾性境界波装置 |
KR101623099B1 (ko) | 2010-12-24 | 2016-05-20 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치 및 그 제조 방법 |
JP5679558B2 (ja) * | 2011-01-19 | 2015-03-04 | 太陽誘電株式会社 | 分波器 |
KR101924025B1 (ko) * | 2014-02-04 | 2018-11-30 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치 |
CN106105031B (zh) * | 2014-04-11 | 2018-12-21 | 株式会社村田制作所 | 弹性波滤波器装置 |
US10418971B2 (en) * | 2015-03-31 | 2019-09-17 | Kyocera Corporation | Acoustic wave module |
WO2016208446A1 (ja) * | 2015-06-24 | 2016-12-29 | 株式会社村田製作所 | フィルタ装置 |
WO2017006742A1 (ja) * | 2015-07-06 | 2017-01-12 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
JP6465047B2 (ja) | 2016-02-19 | 2019-02-06 | 株式会社村田製作所 | 弾性波共振子、帯域通過型フィルタ及びデュプレクサ |
JP6954378B2 (ja) * | 2018-01-12 | 2021-10-27 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置、マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
-
2018
- 2018-12-19 WO PCT/JP2018/046700 patent/WO2019138813A1/ja active Application Filing
- 2018-12-19 CN CN201880086213.7A patent/CN111587534B/zh active Active
- 2018-12-19 JP JP2019564600A patent/JP6816834B2/ja active Active
-
2020
- 2020-07-06 US US16/920,811 patent/US11115003B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2019138813A1 (ja) | 2019-07-18 |
JPWO2019138813A1 (ja) | 2020-10-22 |
US11115003B2 (en) | 2021-09-07 |
CN111587534A (zh) | 2020-08-25 |
US20200336133A1 (en) | 2020-10-22 |
CN111587534B (zh) | 2021-10-01 |
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