JP4975377B2 - 弾性境界波素子、共振器およびフィルタ - Google Patents
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Description
12 電極
14 第2媒質
16 第3媒質
22 引き出し電極
30 バリア層
Claims (10)
- 圧電性を有する第1媒質と、
該第1媒質上に設けられた弾性波を励振する電極と、
前記第1媒質と異なる材料からなり、前記第1媒質上に前記電極を覆うように設けられた第2媒質と、
前記第2媒質より熱伝導率が大きく、前記第2媒質の側面の少なくとも一部に接すると共に、前記電極が設けられた領域で前記第2媒質の上面に接して設けられた第3媒質と、を具備し、
前記第3媒質の少なくとも一部は前記第1媒質に接していて、前記第3媒質はシリコン、窒化シリコン、窒化アルミニウムおよび酸化アルミニウムのいずれかを含むことを特徴とする弾性境界波素子。 - 圧電性を有する第1媒質と、
該第1媒質上に設けられた弾性波を励振する電極と、
前記第1媒質と異なる材料からなり、前記第1媒質上に前記電極を覆うように設けられた第2媒質と、
前記電極と前記第2媒質との間に設けられたバリア層と、
前記第2媒質より熱伝導率が大きく、前記第2媒質の側面の少なくとも一部に接すると共に、前記電極が設けられた領域で前記第2媒質の上面に接して設けられた第3媒質と、を具備し、
前記第3媒質の少なくとも一部は前記バリア層を介し前記第1媒質に接していることを特徴とする弾性境界波素子。 - 圧電性を有する第1媒質と、
該第1媒質上に設けられた弾性波を励振する電極と、
前記第1媒質と異なる材料からなり、前記第1媒質上に前記電極を覆うように設けられた第2媒質と、
前記第2媒質より熱伝導率が大きく、前記第2媒質の側面の少なくとも一部に接すると共に、前記電極が設けられた領域で前記第2媒質の上面に接して設けられた第3媒質と、
前記第1媒質上に設けられた金属からなる放熱部と、を具備し、
前記第3媒質の少なくとも一部は前記放熱部に接していて、前記第3媒質はシリコン、窒化シリコン、窒化アルミニウムおよび酸化アルミニウムのいずれかを含むことを特徴とする弾性境界波素子。 - 圧電性を有する第1媒質と、
該第1媒質上に設けられた弾性波を励振する電極と、
前記第1媒質と異なる材料からなり、前記第1媒質上に前記電極を覆うように設けられた第2媒質と、
前記電極と前記第2媒質との間に設けられたバリア層と、
前記第2媒質より熱伝導率が大きく、前記第2媒質の側面の少なくとも一部に接すると共に、前記電極が設けられた領域で前記第2媒質の上面に接して設けられた第3媒質と、
前記第1媒質上に設けられた金属からなる放熱部と、を具備し、
前記第3媒質の少なくとも一部は前記バリア層を介し前記放熱部に接していることを特徴とする弾性境界波素子。 - 前記放熱部は、前記弾性波を励振する電極と電気的に接続していることを特徴とする請求項3または4記載の弾性境界波素子。
- 前記第3媒質は、シリコン、窒化シリコン、窒化アルミニウムおよび酸化アルミニウムのいずれかを含むことを特徴とする請求項2または4記載の弾性境界波素子。
- 前記第2媒質は酸化シリコンを含むことを特徴とする請求項1から6のいずれか一項記載の弾性境界波素子。
- 前記弾性波を励振する電極は銅を含むことを特徴とする請求項1から7のいずれか一項記載の弾性境界波素子。
- 請求項1から8のいずれか一項記載の弾性境界波素子を有することを特徴とする共振器。
- 請求項1から8のいずれか一項記載の弾性境界波素子を有することを特徴とするフィルタ。
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