JP4678673B2 - ホトレジスト用剥離液 - Google Patents
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- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 title claims description 139
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 56
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 53
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 51
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 51
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 33
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 32
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 29
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims description 22
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 15
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 13
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 8
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 7
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 claims description 6
- 239000000908 ammonium hydroxide Substances 0.000 claims description 6
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims description 6
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 5
- 229940028356 diethylene glycol monobutyl ether Drugs 0.000 claims description 4
- XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol monomethyl ether acetate Natural products COCCOC(C)=O XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- JCGNDDUYTRNOFT-UHFFFAOYSA-N oxolane-2,4-dione Chemical compound O=C1COC(=O)C1 JCGNDDUYTRNOFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 125000001453 quaternary ammonium group Chemical group 0.000 claims description 4
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 claims description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 3
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethanol Chemical compound CCCCOCCO POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethyl acetate Chemical compound CCOCCOC(C)=O SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims description 2
- 125000002768 hydroxyalkyl group Chemical group 0.000 claims description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 2
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 claims description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 2
- 150000001346 alkyl aryl ethers Chemical class 0.000 claims 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 47
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 15
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 14
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 14
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 12
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 10
- -1 glycol ethers Chemical class 0.000 description 10
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 9
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 9
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 8
- 206010040844 Skin exfoliation Diseases 0.000 description 7
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 7
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 7
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 7
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 6
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- VDZOOKBUILJEDG-UHFFFAOYSA-M tetrabutylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].CCCC[N+](CCCC)(CCCC)CCCC VDZOOKBUILJEDG-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910018594 Si-Cu Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910008465 Si—Cu Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000012190 activator Substances 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- KIZQNNOULOCVDM-UHFFFAOYSA-M 2-hydroxyethyl(trimethyl)azanium;hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)CCO KIZQNNOULOCVDM-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATHHXGZTWNVVOU-UHFFFAOYSA-N N-methylformamide Chemical compound CNC=O ATHHXGZTWNVVOU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N catechol Chemical compound OC1=CC=CC=C1O YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- USIUVYZYUHIAEV-UHFFFAOYSA-N diphenyl ether Chemical compound C=1C=CC=CC=1OC1=CC=CC=C1 USIUVYZYUHIAEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 2
- LNTHITQWFMADLM-UHFFFAOYSA-N gallic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC(O)=C(O)C(O)=C1 LNTHITQWFMADLM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002334 glycols Chemical class 0.000 description 2
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 2
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 2
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 2
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N pyrogallol Chemical compound OC1=CC=CC(O)=C1O WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- HHVIBTZHLRERCL-UHFFFAOYSA-N sulfonyldimethane Chemical compound CS(C)(=O)=O HHVIBTZHLRERCL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 2
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 2
- 229940073455 tetraethylammonium hydroxide Drugs 0.000 description 2
- LRGJRHZIDJQFCL-UHFFFAOYSA-M tetraethylazanium;hydroxide Chemical compound [OH-].CC[N+](CC)(CC)CC LRGJRHZIDJQFCL-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- LPSKDVINWQNWFE-UHFFFAOYSA-M tetrapropylazanium;hydroxide Chemical compound [OH-].CCC[N+](CCC)(CCC)CCC LPSKDVINWQNWFE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- DGVVWUTYPXICAM-UHFFFAOYSA-N β‐Mercaptoethanol Chemical compound OCCS DGVVWUTYPXICAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004169 (C1-C6) alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- CYSGHNMQYZDMIA-UHFFFAOYSA-N 1,3-Dimethyl-2-imidazolidinon Chemical compound CN1CCN(C)C1=O CYSGHNMQYZDMIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NYCCIHSMVNRABA-UHFFFAOYSA-N 1,3-diethylimidazolidin-2-one Chemical compound CCN1CCN(CC)C1=O NYCCIHSMVNRABA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WDQFELCEOPFLCZ-UHFFFAOYSA-N 1-(2-hydroxyethyl)pyrrolidin-2-one Chemical compound OCCN1CCCC1=O WDQFELCEOPFLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZFPGARUNNKGOBB-UHFFFAOYSA-N 1-Ethyl-2-pyrrolidinone Chemical compound CCN1CCCC1=O ZFPGARUNNKGOBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MBDUIEKYVPVZJH-UHFFFAOYSA-N 1-ethylsulfonylethane Chemical compound CCS(=O)(=O)CC MBDUIEKYVPVZJH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DCALJVULAGICIX-UHFFFAOYSA-N 1-propylpyrrolidin-2-one Chemical compound CCCN1CCCC1=O DCALJVULAGICIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QQLILYBIARWEIF-UHFFFAOYSA-N 2-(2-hydroxyethylsulfonyl)ethanol Chemical compound OCCS(=O)(=O)CCO QQLILYBIARWEIF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxyethoxy)ethanol Chemical compound COCCOCCO SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZFDNAYFXBJPPEB-UHFFFAOYSA-M 2-hydroxyethyl(tripropyl)azanium;hydroxide Chemical compound [OH-].CCC[N+](CCC)(CCC)CCO ZFDNAYFXBJPPEB-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- JIGUICYYOYEXFS-UHFFFAOYSA-N 3-tert-butylbenzene-1,2-diol Chemical compound CC(C)(C)C1=CC=CC(O)=C1O JIGUICYYOYEXFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- FBPFZTCFMRRESA-FSIIMWSLSA-N D-Glucitol Natural products OC[C@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)CO FBPFZTCFMRRESA-FSIIMWSLSA-N 0.000 description 1
- FBPFZTCFMRRESA-JGWLITMVSA-N D-glucitol Chemical compound OC[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@H](O)CO FBPFZTCFMRRESA-JGWLITMVSA-N 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OHLUUHNLEMFGTQ-UHFFFAOYSA-N N-methylacetamide Chemical compound CNC(C)=O OHLUUHNLEMFGTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TVXBFESIOXBWNM-UHFFFAOYSA-N Xylitol Natural products OCCC(O)C(O)C(O)CCO TVXBFESIOXBWNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N benzotriazole Chemical compound C1=CC=C2N[N][N]C2=C1 QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012964 benzotriazole Substances 0.000 description 1
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 1
- XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol monoethyl ether Chemical compound CCOCCOCCO XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940075557 diethylene glycol monoethyl ether Drugs 0.000 description 1
- POLCUAVZOMRGSN-UHFFFAOYSA-N dipropyl ether Chemical compound CCCOCCC POLCUAVZOMRGSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- KVFVBPYVNUCWJX-UHFFFAOYSA-M ethyl(trimethyl)azanium;hydroxide Chemical compound [OH-].CC[N+](C)(C)C KVFVBPYVNUCWJX-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229940074391 gallic acid Drugs 0.000 description 1
- 235000004515 gallic acid Nutrition 0.000 description 1
- 150000008624 imidazolidinones Chemical class 0.000 description 1
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- HEBKCHPVOIAQTA-UHFFFAOYSA-N meso ribitol Natural products OCC(O)C(O)C(O)CO HEBKCHPVOIAQTA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- PJUIMOJAAPLTRJ-UHFFFAOYSA-N monothioglycerol Chemical compound OCC(O)CS PJUIMOJAAPLTRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AJFDBNQQDYLMJN-UHFFFAOYSA-N n,n-diethylacetamide Chemical compound CCN(CC)C(C)=O AJFDBNQQDYLMJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012788 optical film Substances 0.000 description 1
- 125000005429 oxyalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 239000002798 polar solvent Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 229940079877 pyrogallol Drugs 0.000 description 1
- HNJBEVLQSNELDL-UHFFFAOYSA-N pyrrolidin-2-one Chemical compound O=C1CCCN1 HNJBEVLQSNELDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003242 quaternary ammonium salts Chemical class 0.000 description 1
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000600 sorbitol Substances 0.000 description 1
- 150000005846 sugar alcohols Chemical class 0.000 description 1
- HXJUTPCZVOIRIF-UHFFFAOYSA-N sulfolane Chemical compound O=S1(=O)CCCC1 HXJUTPCZVOIRIF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003457 sulfones Chemical class 0.000 description 1
- 150000003462 sulfoxides Chemical class 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- JVOPCCBEQRRLOJ-UHFFFAOYSA-M tetrapentylazanium;hydroxide Chemical compound [OH-].CCCCC[N+](CCCCC)(CCCCC)CCCCC JVOPCCBEQRRLOJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 1
- GRNRCQKEBXQLAA-UHFFFAOYSA-M triethyl(2-hydroxyethyl)azanium;hydroxide Chemical compound [OH-].CC[N+](CC)(CC)CCO GRNRCQKEBXQLAA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- BJAARRARQJZURR-UHFFFAOYSA-N trimethylazanium;hydroxide Chemical compound O.CN(C)C BJAARRARQJZURR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
- 239000000811 xylitol Substances 0.000 description 1
- HEBKCHPVOIAQTA-SCDXWVJYSA-N xylitol Chemical compound OC[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)CO HEBKCHPVOIAQTA-SCDXWVJYSA-N 0.000 description 1
- 229960002675 xylitol Drugs 0.000 description 1
- 235000010447 xylitol Nutrition 0.000 description 1
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- C11D2111/00—Cleaning compositions characterised by the objects to be cleaned; Cleaning compositions characterised by non-standard cleaning or washing processes
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Description
本発明ホトレジスト用剥離液を液晶パネルの製造工程に用いる場合、(a)成分としてTMAHを、(b)成分としてエチレングリコール、プロピレングリコール、ジエチレングリコールモノブチルエーテルの中のいずれか1種以上を、(c)成分としてジメチルスルホキシド(DMSO)を単独で用いるのが、特に好ましい。
本発明ホトレジスト用剥離液を半導体素子のパッケージ(特にはW−CSP)製造工程に用いる場合、(a)成分としてTMAHを、(b)成分としてプロピレングリコールを、(c)成分として、ジメチルスルホキシド(DMSO)単独溶媒、あるいは、ジメチルスルホキシド(DMSO)とN−メチル−2−ピロリドン(NMP)とからなり、DMSO/NMP=1.9以上(質量比)、好ましくは5.5(質量比)以上、より好ましくは7.0以上(質量比)である混合溶媒、を用いるのが特に好ましい。DMSOを単独、若しくはDMSOを特定配合量以上の割合でNMPと混合した溶媒を用いることにより、ネガ型ホトレジストを用いた場合のホトレジスト剥離性に特に優れる。DMSO/NMP=1.9未満(質量比)では、ホトレジストの剥離性に劣り、ホトレジスト剥離残りがみられることがある。
下記表1に示す組成の剥離液を調製した。これを試料として、下記試験方法により、ホトレジストの剥離性、アクリル系透明膜へのダメージ(膨潤・着色)、金属配線(Al系配線)材料の腐食の評価を行った。結果を表2に示す。
シリコン基板上に、ナフトキノンジアジド化合物とノボラック樹脂からなるポジ型ホトレジストであるTFR−1070(東京応化工業(株)製)をスピンナーで塗布し、110℃にて90秒間プリベークを施し、膜厚1.5μmのホトレジスト層を形成した。このホトレジスト層を露光装置NSR−1505G7E((株)ニコン製)を用いてマスクパターンを介して露光し、2.38質量%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)水溶液にて現像し、ホトレジストパターンを形成した。次いで140℃で90秒間のポストベークを行った。
(評価)
S: ホトレジストが完全に除去された
A: わずかであるがホトレジスト残渣が発生していた
B: ホトレジスト残りがみられた
シリコン基板上に、アクリル系透明膜をスピンナーで塗布し、95℃にて110秒間プリベークした後、G線、H線、I線で全面露光を施し、さらに230℃にて30分間のベークを行った。
(評価)
S: 膨潤・着色は非常に小さかった
A: 膨潤・着色は小さかった
B: 大きな膨潤・着色がみられた
シリコン基板上にAl−Si−Cu層を形成(150nm厚)した後、該基板を、下記表1に示すホトレジスト用剥離液(60℃)に10分間浸漬し、シート抵抗値を測定し、その結果からAl−Si−Cu層の膜減り量(エッチング量)を求め、Al−Si−Cu層に対する防食性を、下記評価基準により評価した。なお、シート抵抗値の測定は、VR−70(国際電気(株)製)を用いて測定した。
(評価)
A: 腐食がみられなかった
B: 腐食がみられた
下記表3に示す組成の剥離液を調製した。これを試料として、下記試験方法によりホトレジストの剥離性、銅の溶解、銅の酸化について評価を行った。結果を表4に示す。
銅スパッタ膜上に銅再配線が形成されたウェーハ上に、ネガ型ホトレジストからなる感光性ドライフィルム(「ORDYL」;東京応化工業(株)製)をラミネートした。このネガ型感光性ドライフィルムを、マスクパターンを介して、選択的に露光し、炭酸ソーダ溶液にて現像してホトレジストパターン(膜厚120μm)を形成した。
(評価)
S: ホトレジストが完全に除去された
A: わずかであるがホトレジスト残渣が発生していた
B: ホトレジスト残りがみられた
銅スパッタ膜が形成された基板を、下記表3に示すホトレジスト用剥離液(60℃)に60分間浸漬した後、走査型電子顕微鏡(SEM)観察にて、表面状態、溶解度合いを下記評価基準により評価した。
(評価)
S: 銅の溶解がなかった
A: わずかであるが銅の溶解がみられた
B: 銅の溶解がみられた
銅スパッタ膜が形成された基板を、下記表3に示すホトレジスト用剥離液(60℃)に60分間浸漬した後、銅スパッタ膜のシート抵抗値を測定し、酸化度合いを評価した。結果を表4に示す。なお、シート抵抗値の測定は、VR−70(国際電気(株)製)を用いて測定した。
(評価)
S: 銅の酸化が少なかった
A: わずかであるが銅の酸化がみられた
B: 銅の酸化がみられた
Claims (12)
- (a)第4級アンモニウム水酸化物と、(b)エチレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコール、ジエチレングリコールモノアルキルエーテル(アルキルは炭素原子数1〜6の低級アルキル)、プロピレングリコールの中から選ばれる少なくとも1種の水溶性有機溶媒と、(c)非アミン系水溶性有機溶媒とからなるホトレジスト用剥離液。
- (b)成分がエチレングリコール、プロピレングリコール、ジエチレングリコールモノブチルエーテルの中から選ばれる少なくとも1種である、請求項1または2記載のホトレジスト用剥離液。
- (c)成分がジメチルスルホキシド(DMSO)である、請求項1〜3のいずれか1項に記載のホトレジスト用剥離液。
- (a)成分を0.1〜10質量%、(b)成分を5〜40質量%、(c)成分を50〜90質量%含有する、請求項4記載のホトレジスト用剥離液。
- (c)成分がジメチルスルホキシド(DMSO)単独溶媒、あるいは、ジメチルスルホキシド(DMSO)とN−メチル−2−ピロリドン(NMP)とからなり、DMSO/NMP=1.9以上(質量比)の混合溶媒である、請求項1〜3のいずれか1項に記載のホトレジスト用剥離液。
- (a)成分を0.5〜5質量%、(b)成分を5〜30質量%、(c)成分を65〜90質量%含有する、請求項6記載のホトレジスト用剥離液。
- 液晶パネルの製造工程に用いられるホトレジスト用剥離液であって、ガラス基板上に設けられた透明絶縁膜面上に形成されたホトレジストパターンの剥離のために用いられる、請求項1〜5のいずれか1項に記載のホトレジスト用剥離液。
- 透明絶縁膜がアクリル系透明膜である、請求項8記載のホトレジスト用剥離液。
- 半導体素子のパッケージ製造工程において用いられるホトレジスト用剥離液であって、金属薄膜を有する基板上のホトレジストパターン非形成部(金属薄膜露出部)に導電層を形成した後の該ホトレジストパターンの剥離のために用いられる、請求項1〜3、6、7のいずれか1項に記載のホトレジスト用剥離液。
- 金属薄膜および導電層が銅からなる、請求項10記載のホトレジスト用剥離液。
- ホトレジストパターンが、放射線の照射により重合しアルカリ不溶化するネガ型ホトレジスト組成物を用いて形成した光硬化パターンである、請求項10または11記載のホトレジスト用剥離液。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005140384A JP4678673B2 (ja) | 2005-05-12 | 2005-05-12 | ホトレジスト用剥離液 |
KR1020060041922A KR100730521B1 (ko) | 2005-05-12 | 2006-05-10 | 포토레지스트용 박리액 |
US11/431,750 US20070078072A1 (en) | 2005-05-12 | 2006-05-11 | Photoresist stripping solution |
CN2006100802421A CN1873543B (zh) | 2005-05-12 | 2006-05-12 | 光致抗蚀剂用剥离液 |
TW095116976A TWI332126B (en) | 2005-05-12 | 2006-05-12 | Photoresist stripping solution |
US12/585,973 US8114825B2 (en) | 2005-05-12 | 2009-09-30 | Photoresist stripping solution |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005140384A JP4678673B2 (ja) | 2005-05-12 | 2005-05-12 | ホトレジスト用剥離液 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006317714A JP2006317714A (ja) | 2006-11-24 |
JP4678673B2 true JP4678673B2 (ja) | 2011-04-27 |
Family
ID=37484044
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005140384A Active JP4678673B2 (ja) | 2005-05-12 | 2005-05-12 | ホトレジスト用剥離液 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20070078072A1 (ja) |
JP (1) | JP4678673B2 (ja) |
KR (1) | KR100730521B1 (ja) |
CN (1) | CN1873543B (ja) |
TW (1) | TWI332126B (ja) |
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- 2006-05-12 TW TW095116976A patent/TWI332126B/zh active
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JP2006317714A (ja) | 2006-11-24 |
CN1873543A (zh) | 2006-12-06 |
KR20060117219A (ko) | 2006-11-16 |
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CN1873543B (zh) | 2012-02-08 |
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