JP4577522B2 - パターン転写装置及びパターン転写方法 - Google Patents
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Description
2 基板
1a,2a センタ孔
1aL 大径円弧部
1aS 小径円弧部
3 転写面
5 樹脂層
10 パターン転写装置
11 上部側加圧部材
12 下部側加圧部材
15 下部側加圧プレート
18 上部側加圧プレート
22 吸引通路
23 紫外線照射手段
24 昇降駆動手段
30 チャック部材
32 回動ドラム
33 チャック爪
36 カム部材
Claims (5)
- 相対向する位置に一対からなる加圧部材を配設し、一方側の加圧部材に凹凸パターンを形成した転写面を有するモールドを支持させ、また他方側の加圧部材には表面に樹脂層を積層した円環状の基板を支持させて設け、両加圧部材間で前記モールドと前記基板との間を加圧することによって、このモールドの転写面の凹凸パターンを前記基板の樹脂層に転写するパターン転写装置において、
前記モールドには、それぞれ少なくとも3箇所の小径円弧部と大径円弧部とを交互に形成したセンタ孔が設けられ、
前記基板の内径は、前記モールドの小径円弧部と一致するものであり、
前記基板の内周部には、円周方向に少なくとも3箇所のチャック爪を設け、これら各チャック爪を前記基板の内径をチャックする作動位置と、この基板内径から離間した退避位置とに変位させるチャック部材を配置し、
前記チャック部材の前記チャック爪を前記基板の内径と共に前記モールドの小径円弧部に当接させることにより、この基板を前記モールドに対して位置合わせし、前記チャック爪を前記モールドの大径円弧部に間隔を置いて対面させ、前記基板の内径に当接させ、前記モールドから引き離すことにより、前記基板を前記モールドから剥離させる
構成としたことを特徴とするパターン転写装置。 - 前記チャック部材を構成する各チャック爪を回転ドラムに3箇所設けて、この回転ドラムを軸回りに回転させることによって、前記基板の前記モールドに対する位置合わせとなる状態と、前記基板を前記モールドから剥離させる状態とに切り換え可能な構成としたことを特徴とする請求項1記載のパターン転写装置。
- 前記モールドは前記基板より大径のものからなり、前記一方側の加圧部材には、このモールドの基板より外側に張り出した部位を吸着する吸着手段を設ける構成としたことを特徴とする請求項1記載のパターン転写装置。
- 前記樹脂層は紫外線硬化樹脂からなり、前記モールド及び前記一方側の加圧部材は紫外線を透過させる部材で構成したことを特徴とする請求項3記載のパターン転写装置。
- 表面に凹凸パターンからなる転写面が形成され、少なくとも3箇所の小径円弧部と、少なくとも3箇所の大径円弧部とを交互に形成したセンタ孔を有するモールドを一方の加圧部材に装着し、このモールドの小径円弧部と一致する内径を有する円環状の基板を他方の加圧部材に装着して、これらモールドと基板との間を加圧することによって、このモールドの転写面の凹凸パターンを前記基板の樹脂層に転写する方法であって、
前記両加圧部材の少なくとも一方を移動させて、前記モールドと基板とを近接させる工程と、
円周方向に少なくとも3箇所設けたチャック爪で前記基板の内径と共に前記モールドの小径円弧部に当接させることによって、この基板を前記モールドに対して位置合わせする工程と、
前記チャック爪を前記基板の内径から離脱させて、前記両加圧部材間で前記基板と前記モールドとを接合させて、その間を加圧することによって、このモールドの転写面形状を前記樹脂層に転写する工程と、
前記基板と前記モールドとの接合状態を保って前記樹脂層を硬化させる工程と、
前記チャック爪を前記モールドの大径円弧部と対面させると共に前記基板の内径に当接させて、前記両加圧部材を離間させることにより、前記基板を前記モールドから剥離させる工程と
からなるパターン転写方法。
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09219041A (ja) * | 1996-02-13 | 1997-08-19 | Sony Corp | 光学記録媒体の製造方法とこれに用いる製造装置 |
JPH09251672A (ja) * | 1996-03-14 | 1997-09-22 | Seiko Epson Corp | ディスク基板の剥離方法及び剥離機構並びにディスク基板の成形装置 |
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---|---|---|---|---|
JPH09219041A (ja) * | 1996-02-13 | 1997-08-19 | Sony Corp | 光学記録媒体の製造方法とこれに用いる製造装置 |
JPH09251672A (ja) * | 1996-03-14 | 1997-09-22 | Seiko Epson Corp | ディスク基板の剥離方法及び剥離機構並びにディスク基板の成形装置 |
JP2003331481A (ja) * | 2002-05-13 | 2003-11-21 | Sony Disc Technology Inc | 光学記録媒体の製造方法 |
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