JPH02166645A - 光学的記録媒体用基板の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は光ビームにより記録、再生を行なうことか可能
な光学的記録媒体用基板の製造方法に関するものである
。

［従来の技術］ 従来、光学的記録媒体用基板の製造方法の１つとして、
スタンパの上に光硬化性スタンパ樹脂を塗布した後、熱
硬化性樹脂、熱可塑性樹脂からなる透明な基板を密着さ
せて基板側から紫外線の如き光エネルギーを封手し、前
記光硬化型樹脂を硬化させてスタンパのレプリカを基板
に転写する、いわゆる２Ｐ法が知られている。この２２
法において、ディスク状の基板とスタンパとの離型方法
として、■基板とスタンパの間に爪状のものを挿入して
離型する方法、■基板を真空チャックして引っ張る方法
、また■基板の中心孔の周辺部を押し上げてＲＩ型する
方法（特開昭５３−　［１３５２号公報）等が知られて
いる。

［発明が解決しようとする課８］ しかしながら、上記のいずれの方法においても、下記に
示す様な問題点が残されていた。

すなわち、まず、■の方法の爪状の物を挿入する場合、
離型なかなり容易に行うことができるか、スタンパや光
硬化型樹脂層を傷つけたり、また基板に局所的な力が加
わるため、基板が割れることがあり、歩留り２作業の安
全性に問題があった。

次に、■の基板を真空チャックして引っ張る方法は離型
の為に必ずしも適した方法とは言えず、力がうまくかけ
られないため離型が困難である場合が少なくない。また
、部分的に離型するのが困難なため、基板全面を離型し
なければならず、その為には大きな力が必要になり、大
きな装置を必要とする問題があった。

更に、■のディスク状の基板の中心孔の周辺部を押し上
げて離型する方法においては、基板の中心孔付近だけを
押し上げ軸で押し上げるため、基板が大きな場合、離型
が困難になる場合があった。また、離型完了時に、基板
の外周がはね上がるために、離型完了後に押し上げ軸を
下降する際に、はね上がった基板の外周部がスタンパを
傷つける事があった。

本発明は、この様な従来技術の問題点を改善するために
なされたものであり、小さな力で、基板およびスタンパ
を傷つけることがなく、歩留りよく、基板をスタンパか
ら離型することが可能な光学的記録媒体用基板の製造方
法を提供することを目的とするものである。

［課題を解決するための手段］ 即ち、本発明は、案内溝および記録情報などの凹凸を有
するディスク状のスタンパの上に、光硬化型樹脂を塗布
して中心孔を有するディスク状の基板を積置し、次いで
光を照射して光硬化型樹脂を硬化させて光硬化型樹脂と
基板を一体化した後、スタンパから離型して光学的記録
媒体用基板を製造する方法において、前記光硬化型樹脂
と一体化した基板を真空チャックしてスタンパから引き
上げると共に、その引き上げ方向に基板の中心孔の周辺
部を押し上げて離型することを特徴とする光学的記録媒
体用基板の製造方法である。

以下、本発明を図面に基づいて説明する。

第１図（ａ）〜（Ｃ）は本発明の光学的記録媒体用基板
の製造方法の一例を示す工程図である。同図において、
本発明の光学的記録媒体用基板の製造方法は、まず、第
１図（ａ）に示す様に、案内溝および記録情報などの凹
凸を有するディスク状のスタンパｌの上に、光硬化型樹
脂２を塗布し、その上に中心孔１０を有するディスク状
の透明な基板３を積置し、次いで透明な基板３側から紫
外線を照射して光硬化型樹脂２を硬化させて光硬化型樹
脂２と基板３を一体化した後、中心部に中心軸７を上下
方向に可動自在に設けた相持体４の上にスタンパｌが接
触する様にｖ１置し、また基板３の上部には真空吸引管
６を有し基板よりやや小さい真空チャック５を０リング
８を介して設器し、真空吸引管６，６ａから吸引して基
板３を真空チャックする。

次いで、第１図（ｂ）に示す様に、光硬化型樹脂２と一
体化した基板３を真空チャックして、担持体４に真空チ
ャックされているスタンパｌから引き上げると共に、中
心軸７を上方に移動しその引き上げ方向に基板３の中心
孔ＩＯの周辺部１１を押し上げる。

その後、第１図（ｃ）に示す様に、真空チャック５を上
昇させる事により、基板３はスタンパｌから全面剥離さ
れて離型を完了し、光学的記録媒体用基板を得ることが
できる。

次に、第２図（ａ）〜（Ｃ）は本発明の光学的記録媒体
用基板の製造方法の他の例を示す工程図である。同図に
おいては、担持体４の中心部に設けられている中心軸７
にガス吐出口９が形成されており、第１図と同様に、光
硬化型樹脂２と一体化した基板３を真空チャックしてス
タンパｌから引き上げると共に、中心軸７を上方に移動
しその引き上げ方向に基板３の中心孔ＩＯの周辺部１１
を押し上げ、さらにその際に基板３とスタンパ１の間に
形成された間隙１２に中心軸７に形成されているガス吐
出口９からガスを圧送して離型する方法である。

上記の本発明における離型方法においては、強力な真空
チャックは必要ではなく、基板をささえる程度で良い。

これは、離型の際に最も力が必要な離型の始まりを、上
記の第１図（ｂ）および第２図（ｂ）に示す様に、基板
の真空チャックと同時に基板の基板の中心孔の周辺部を
押し上げるが、または中心孔の周辺部を押し上げると共
にそこにガスを圧送することにより行なうので、その後
の工程には大きな力がなくても離型することができる。

本発明において、基板Ｉは記録・再生時に用いられる光
に対して透明なものであれば良く、例えばアクリル樹脂
、エポキシ樹脂等の樹脂、ガラス等を用いることができ
る。

また、光硬化型樹脂としては、ウレタン系、ポリカーボ
ネイト系などの紫外線硬化型スタンパ樹脂や、電子線、
Ｘ線など硬化型スタンパ樹脂を用いる事も可能である。

［作用コ 本発明の光学的記録媒体用基板の製造方法は、案内溝お
よび記録情報などの凹凸を有するディスク状のスタンパ
の上に、光硬化型樹脂を塗布して中心孔を有するディス
ク状の基板を積置し、次いで光を照射して光硬化型樹脂
を硬化させて光硬化型樹脂と基板を一体化した後、基板
を真空チャックしてスタンパから引き上げると共に、そ
の引き上げ方向に基板の中心孔の周辺部を押し上げるか
或いはその押し上げと共に基板とスタンパの間に形成さ
れた間隙にガスを圧送して離型するのて、真空チャック
のみで離型する場合に比べて小さな力で、また基板およ
びスタンパを傷つけることかなく、歩留りよく、基板を
スタンパから離型することが可能となる。

［実施例］ 以下、実施例を示し本発明をさらに具体的に説明する。

実施例１ 第１図に示す方法により、光学的記録媒体用基板を製造
した。ピッチＬ、Ｓ　ｐ−ｍ　、段差９００人のスパイ
ラル状の案内溝を形成したＮｉスタンパｌ上に、紫外線
硬化型のエポキシアクリレート系の光硬化型樹脂（商品
名：　ＭＲＡ−５０００，三菱レイヨン■製）２（以下
、樹脂２と記す）を塗布し、その上に直ｆｆｌ：１０ｍ
ｍφ、内径１５ｍｍφ、厚さ１．２ａ＋ｍのガラス製の
基板３を積置した。樹脂２が基板３の内周縁近傍部分ま
てまわり込まない様にしておき、この状態で、基板３側
から波長：１６０ｎｍの紫外線を基板上の光強度２３０
ｍＷ／ａｍ２で照射し、樹脂２を硬化させた。

次いで、一体化しているスタンパ、樹脂、基板を、スタ
ンパ１が下となるように、中心軸７の設置されている担
持体４上に積置し、続いて真空吸引管６ａからの真空吸
引により、それらを担持体４上に固定した。また、基板
３上に真空チャック５を積置して、基板３を真空チャッ
クした後、中心軸７を３　ｋｇ／ｃｓ”の力で上に押し
上げ、基板３の内周部から離型を始める。次いで、真空
チャック５を上方に引き上げる事により、基板３をスタ
ンパｌから離型して、光学的記録媒体用基板を製造した
。

実施例２ 実施例１の基板をチャックして、中心軸を押し上げる際
、第２図に示す様に、中心軸７を２ｋｇ／ｃｎ＋２の力
で押し上げると共に、中心軸７のガス吐出口９より窒素
ガスを１ｋｇ／ｃ１１２の圧力で流したこと以外は、実
施例Ｉと同様にして光学的記録媒体用基板を製造した。

上記の窒素ガスを吐出する事により、基板の局所的に力
を加える事かさけられる。また、離型が始−まると、樹
脂とスタンパ間を、ガスが外周に向かって流れるので、
実施例１よりもよりスムーズに剥離できる。

実施例３，４ 基板としてポリカーボネイト樹脂を用いた以外は、実施
例１．２と同様にして、光学的記録媒体用基板を製造し
た。

比較例１ 基板として、ポリカーボネート樹脂を用いた。

実施例１て用いた基板上面の真空チャックを行なわない
以外は、実施例１と同様にして、光学的記録媒体用基板
を製造した。

基板として、樹脂基板を用いた場合、比較例に示す従来
法では、基板中心部を持ち上げる離型の力により基板の
変形があったが、上記の実施例の方法では、基板にかか
る力は小さく、変形する事はなかった。

［発明の効果］ 以上説明した様に、本発明の方法によれば、スタンパか
ら基板を離型する際に、基板に局所的に力を加える事が
なく、また従来法に比べ小さな力で離型てききるのて、
基板を傷つけることがなく、歩留りが向上される。更に
、剥離による衝撃がないので、スタンパを傷つける事も
ない。

また、離型する際に基板の中心孔の周辺部を押し上げる
と共に、そこにガスを圧送する事により、離型がスムー
ズに行なわれる事の他に、離型詩に発生するゴミが、基
板の外周に向かって流れる前記ガスによって、基板及び
スタンパの外に飛ばされる。したがって、スタンパを傷
つけることかないと共に、欠陥の少ない高品質の光学的
記録媒体用基板を得ることができる。

更に、基板の大きさが大きな場合でも、小さな時と同様
にスムーズに離型する事ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）〜（Ｃ）は本発明の光学的記録媒体用基板
の製造方法の一例を示す工程図および第２図（ａ）〜（
Ｃ）は本発明の製造方法の他の例を示す工程図である。 ｌ・・・スタンパ ２・・・紫外線硬化スタンパ樹脂

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）案内溝および記録情報などの凹凸を有するディス
   ク状のスタンパの上に、光硬化型樹脂を塗布して中心孔
   を有するディスク状の基板を積置し、次いで光を照射し
   て光硬化型樹脂を硬化させて光硬化型樹脂と基板を一体
   化した後、スタンパから離型して光学的記録媒体用基板
   を製造する方法において、前記光硬化型樹脂と一体化し
   た基板を真空チャックしてスタンパから引き上げると共
   に、その引き上げ方向に基板の中心孔の周辺部を押し上
   げて離型することを特徴とする光学的記録媒体用基板の
   製造方法。
2. （２）前記光硬化型樹脂と一体化した基板を真空チャッ
   クしてスタンパから引き上げると共に、その引き上げ方
   向に基板の中心孔の周辺部を押し上げ、さらに基板とス
   タンパの間に形成された間隙にガスを圧送して離型する
   請求項１記載の光学的記録媒体用基板の製造方法。