JPH03225640A - ディスク基板製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光ディスクや光磁気ディスク等のディスク基
板を２Ｐ法により複製して製造するためのディスク基板
製造装置に関するものである。

〔発明の概要〕

本発明は、スタンパ−の凹凸パターンをディスク基板に
設けた紫外線硬化樹脂層に転写させてディスク基板を複
製するディスク基板製造装置において、スタンパ−の凹
凸パターンが紫外線硬化樹脂の光硬化により転写された
ディスク基板を該スタンパ−より剥離させるセンタピン
に気体の吹出し口を設けることにより、ディスク基板の
剥離時にスタンパ−上に塵埃等が残存することを防止す
るとともに、ディスク基板のスタンパ−からの剥離を容
易なものとし、当該ディスク基板の破損を防止しようと
するものである。

さらに本発明は、スタンパ−の凹凸パターンをディスク
基板に設けた紫外線硬化樹脂層に転写させてディスク基
板を複製するディスク基板製造装置において、スタンパ
−保持部に気体の吹出しロト排気口とを有してなる洗浄
機構を設けることにより、ディスク基板の剥離後にスタ
ンパ−上に塵埃等が残存することを防止するとともに、
当該スタンパ−の傷つき等を防止しようとするものであ
る。

〔従来の技術］ 従来、光ディスクや光磁気ディスク等のディスク基板を
複製する手法の一つとして、例えば紫外線照射により硬
化する紫外線硬化樹脂を用いたホトポリマー法、いわゆ
る２Ｐ法が提案されている。

２Ｐ法は、例えばスクリーン印刷等によってディスク基
板の片面に液状の紫外線硬化樹脂を塗布し、該紫外線硬
化樹脂がスタンパ−と密着するように上記ディスク基板
をスタンパ−の上に載置させ、ローラで該ディスク基板
をスタンパ−に押圧せしめた後、紫外線を照射して前記
紫外線硬化樹脂を硬化させ、当該紫外線硬化樹脂層とと
もにディスク基板をスタンパ−より剥離することにより
、スタンパ−表面に形成された微細な凹凸（グループや
ビット）パターンをディスク基板上の紫外線硬化樹脂層
に転写する手法である。

上記２Ｐ法は、液状の樹脂を使用することから複製の忠
実度に優れるとともにスタンパ−の劣化がほとんどなく
、また特に基板にガラス基板を使用した場合には、寸法
安定、耐熱性、低複屈折等の点で優れたディスク基板を
得ることができるという利点を有している。

上記２Ｐ法によってディスク基板を複製するには、例え
ば第１０図に示すように、表面に微細な凹凸パターンが
形成されたスタンパ−（１０１）と、該スタンパ−（１
０１）を固定する載置台（１０２）と、該スタンパ−（
１０１）の凹凸パターンが紫外線硬化樹脂の光硬化によ
り転写された例えばガラスよりなるディスク基板（１０
３）を該スタンパ−（１０１）より剥離させるセンタピ
ン（１０４）とからなる製造装置が用いられている。

上記載１台（１０２）は、微細な凹凸パターンが表面に
形成されたスタンパ−（１０１）を固定させ、当該スタ
ンパ−（１０１）の凹凸パターンをディスク基板（１０
３）上に設けた紫外線硬化樹脂層（図示は省略する。）
に転写させる際の受台としての役割をするものである。

この載置台（１０２）には、前記センタピン（１０４）
の軸部（１０５）を挿通させる貫通孔（１０６）が当該
載！台（１０２）の略中央部に板厚方向に形成されてい
る。なお、上記載置台（１０２）は、支持柱（１０７）
を介して基台（１０８）上に支持されている。

上記センタピン（１０４）は、上記ディスク基板（１０
３）をスタンパ−（１０１）の所定位置に固定させ、ま
たディスク基板（１０３）を硬化した紫外線硬化樹脂層
ととともにスタンパ−（１０１）より剥離させるための
ものである。従って、上記センタピン（１０４）は、上
記ディスク基Ｉ　（１０３）の略中央に穿設されるセン
ター孔（１０９）に嵌合して当該ディスク基板（１０３
）をスタンパ−（１０１）の所定位置に位置決め固定さ
せる円盤状の頭部（１１０）と、上記載置台（１０２）
の貫通孔（１０６）の内周面をガイドとして摺動自在と
なる軸部（１０５）とからなっている。

上記頭部（１１０）は、上記ディスク基板（１０３）の
センター孔（１０９）の形状と略凹−形状に形成され、
当該ディスク基板（１０３）の上記スタンパ−（１０１
）との対向面側からセンター孔（１０９）に臨み嵌合す
るようになっている。一方、軸部（１０５）は、上記貫
通孔（１０６）に挿通され、下端部が基台（１０８）上
に配設されるエアシリンダ（１１１）と連結されて当該
貫通孔（１０６）の内周面をガイドとして上下動するよ
うになっている。すなわち、上記エアシリンダ（１１１
）より突出するピストンロッド（１１２）の先端に取り
付けられる連結部材（１１３）の嵌合孔（１１４）に上
記軸部（１０５）の下端部が嵌合され、ボルト（１１５
）にて固定されることで、これら軸部（１０５）とエア
シリンダ（１１１）とが連結されている。

このように構成された製造装置を用いてディスク基板を
複製するには、先ず、載置台（１０２）上に固定される
スタンパ−（１０１）の上に紫外線硬化樹脂を塗布した
ディスク基板（１０３）を当該紫外線硬化樹脂がスタン
パ−（１０１）と密着するように１２する。このとき、
ディスク基板（１０３）は、センター孔（１０９）がセ
ンタピン（１０４）の頭部（１１０）に嵌合されて前記
スタンパ−（１０１）の所定位置に固定される。

次いで、ディスク基板（１０３）をローラ（図示は省略
する。）によってスタンパ−（１０１）側へ押圧せしめ
、これらスタンパ−（１０１）とディスク基板（１０３
）間に紫外線硬化樹脂を均一に充填させる。

次に、ディスク基板（１０３）側より紫外線を照射して
紫外線硬化樹脂を硬化させる。

そして、センタピン（１０４）を突き上げ、硬化した紫
外線硬化樹脂層とともにディスク基板（１０３）を上記
スタンパ−（１０１）より剥離させる。

この結果、スタンパ−（１０１）の凹凸パターンが紫外
線硬化樹脂層に転写されてなるディスク基板が得られる
。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、上記ディスク基板（１０３）のスタンパ−（
１０１）からの剥離時においては、第１１図に示すよう
に、密着されていたスタンパ−（１０１）とディスク基
板（１０３）間に負圧が生じ、この間が真空状態となっ
て該ディスク基板（１０３）をスタンパ−（１０１）側
へ引き寄せようとする力Ｆが働く、このため、ディスク
基板（１０３）の剥離に伴って硬化した紫外線硬化樹脂
がスタンパ−（１０１）上に残存することがある。また
、剥離後においては、ディスク基板（１０３）の剥離時
に残存した紫外線硬化樹脂の微粒子のみならず、空気中
に含まれる塵埃等がスタンパ−（１０１）上に付着し残
存する震れがある。

従って、この状態で転写を続けると、スタンパ−（１０
）を傷つける原因となるばかりか、塵埃が紫外線硬化樹
脂中に入り込みむことになり、記録再生に支障を来す戊
れがある。

また、上記ディスク基板（１０３）をスタンパ−（１０
１）より剥離させるには、前記した負圧に打ち勝つ力で
上記センタピン（１０４）を突き上げて前記ディスク基
板（１０３）をスタンパ−（１０１）より剥離させる必
要があるが、あまり大きな力で突き上げるとディスク基
板（１０３）が破損することがある。

そこで本発明は、かかる従来の実情に鑑みて提案された
ものであって、ディスク基板の剥離時にスタンパ−上に
塵埃等が残存することを防止するとともに、ディスク基
板のスタンパ−からの剥離を容易なものとし、当該ディ
スク基板の破損を防止することが可能なディスク基板製
造装置を提供することを目的とするものである。

さらに本発明は、ディスク基板の剥離後にスタンパ−上
に塵埃等が残存することを防止するとともに、当該スタ
ンパ−の傷つきを防止することが可能なディスク基板製
造装置を提供することを目的とするものである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明にかかるディスク基板製造装置は、上述の目的を
達成するために提案されたものであって、表面に凹凸パ
ターンが形成されたスタンパ−と、該スタンパ−を保持
するスタンパ−保持部と、上記スタンパ−の凹凸パター
ンが紫外線硬化樹脂の光硬化により転写されたディスク
基板を該スタンパ−より剥離するセンタピンとを備えて
なり、上記センタピンに気体の吹出し口が設けられてい
ることを特徴とするものである。

さらに本発明にかかるディスク基板製造装置は、表面に
凹凸パターンが形成されたスタンパ−と、該スタンパ−
を保持するスタンパ−保持部と、上記スタンパ−の凹凸
パターンが紫外線硬化樹脂の光硬化により転写されたデ
ィスク基板を該スタンパ−より剥離するセンタピンとを
備えてなり、上記スタンパ−保持部に気体の吹出し口と
排気口を有してなる洗浄機構が設けられていることを特
徴とするものである。

〔作用〕

本発明にかかるディスク基板製造装置においては、スタ
ンパ−の凹凸パターンが紫外線硬化樹脂の光硬化により
転写されたディスク基板を該スタンパーより剥離するセ
ンタピンに気体を吹き出させる吹出し口が設けられてい
るので、当該センタピンの突き出しと同時にこの吹出し
口より気体を噴出せしめれば、スタンパ−とディスク基
板間の負圧が減ぜられ、上記ディスク基板のスタンパ−
からの剥離が無理なく行われる。このため、上記スタン
パ−上には硬化した紫外線硬化樹脂よりなる塵埃等が残
らない。

さらに本発明にかかるディスク基板製造装置においては
、スタンパ−保持部に気体の吹出し口と排気口を有して
なる洗浄機構が設けられているので、ディスク基板を剥
離するごとにスタンパ−表面を上記洗浄機構によって洗
浄すれば、当該スタンバ−表面に残存した紫外線硬化樹
脂等の塵埃や空気中に含まれる塵埃等がなくなり、スタ
ンパ−への傷つきが防止される。

〔実施例〕

以下、本発明を適用した具体的な実施例について説明す
る。なお本実施例は、２Ｐ法の一連の工程を連続して行
うことによりディスク基板を複製して製造するディスク
基板製造装置に適用したものである。

先ず、本実施例のディスク基板製造装置がどのような工
程を経てディスク基板を製造するものであるかを明確な
ものとするために、該ディスク基板製造装置の概要につ
いて簡単に説明する。

ディスク基板製造装置（１）は、第１図に示すように、
機台（２）上のｍ個縁近傍に設けられるディスク基板供
給部（３）と、他側縁近傍に設けられるディスク基板搬
出部（４）と、これらディスク基板供給部（３）とディ
スク基板搬出部（４）間に順次配設される紫外線硬化樹
脂供給部（５）と、転写部（６）とからなっている。

上記ディスク基板供給部（３）は、隣に配設される紫外
線硬化樹脂供給部（５）に例えばガラス基板等のディス
ク基板（７）を供給するための当該ディスク基板（７）
を収容しておくストック部に相当するもので、複数のデ
ィスク基板（７）をカートリッジ（８）内に収容させる
ようになっている。

上記紫外線硬化樹脂供給部（５）は、上記カートリッジ
（８）からディスク受渡機構（図示は省略する。）によ
って機械的に一枚づつ取り出されてきたディスク基板（
７）の一方の面に液状の紫外線硬化樹脂（９）を塗布す
るようになっている。

上記転写部（６）　は、上記紫外線硬化樹脂供給部（５
）からやはりディスク受渡機構（図示は省略する。）に
よって機械的に一枚づつ搬送されるディスク基板（７）
をスタンパ−（１０）上に載置させ所定の場所に移動せ
しめる転写装置（１１）と、ディスク基板（７）をスタ
ンパ−７（１０）に密着させる押圧装置（１２）と、こ
れらディスク基板（７）とスタンパ−（１０）間に挾み
込まれた紫外線硬化樹脂を硬化させる紫外線照射装置（
１３）とからなっている。

上記転写装置（１１）は、スタンパ−（１０）上にディ
スク基板（７）が載置されると、該スタンパ−（１０）
を保持するスタンパ−保持部（１４）に取り付けられた
移動テーブル（１５）が紫外線照射装置（１３）側へ移
動するようになっている。そして、その中途部に配設さ
れる押圧装置１（１２）でディスク基板（７）がスタン
パ−（１０）側へ押圧せしめられ、次いで紫外線照射装
置（１３）にて紫外線硬化樹脂が硬化せしめられると、
上記移動テーブル（１５）かもとの位置に戻り、ここで
硬化した紫外線硬化樹脂層とともに前記ディスク基板（
７）がスタンパ−（１０）より剥離されるようになって
いる。

上記押圧装置（１２）は、上記転写装置（１１）によっ
て搬送されてきたディスク基板（７）にローラ等によっ
て圧力を加えることにより、スタンパ−（１０）の凹凸
パターンに紫外線硬化樹脂を均一に充填させるものであ
る。

一方、紫外線照射装置（１３）は、上記押圧装置（１２
）にて押圧せしめられた紫外線硬化樹脂にディスク基板
（７）側から紫外線を照射させ、当該紫外線硬化樹脂を
硬化させるようになっている。

前記ディスク基板搬出部（４）は、スタンパ−（１０）
から剥離されたディスク基板（７）を受渡アーム（１６
）によって搬出させ、当該ディスク基板（７）を搬送用
カートリッジ（１７）内に収容させるようになっている
。

上述のようなディスク基板製造装置（１）を用いてディ
スク基板を製造するには、先ず、ディスク基板搬出部（
３）のカートリッジ（８）内に収容されるディスク基板
（７）を受渡機構にて取り出し、紫外線硬化樹脂供給部
（５）に搬送させる。

次に、この紫外線硬化樹脂供給部（５）にてディスク基
板（７）の一方の面に紫外線硬化樹脂を塗布する。

次いで、上記ディスク基１（７）を受渡機構によって搬
送させ、前記転写装置（１１）のスタンパ＝（１０）上
に載置させる。このとき、ディスク基板（７）に塗布さ
れた紫外線硬化樹脂がスタンパ−（１０）と密着するよ
うに載置する。

ディスク基板（７）がスタンパ−（１０）上に載置され
ると、移動テーブル（１５）が前記紫外線照射装置（１
３）側へ移動し、その中途部に配設される押圧装置（１
２）にてディスク基板（７）がスタンパ−（１０）側へ
押圧せしめられる。

次いで、上記移動テーブル（１５）がさらに前方へ移動
して上記ディスク基板（７）を紫外線照射装置（１３）
へ搬送させ、ここで紫外線が照射されて紫外線硬化樹脂
が硬化される。

次に、上記移動テーブル（１５）かもとの位置に戻り、
ここで転写装置（１１）に設けられたセンタピン（図示
は省略する。）によってディスク基板（７）が硬化した
紫外線硬化樹脂層とともにスタンパ−（１０）より剥離
される。

そして、剥離されたディスク基板（７）が受渡アーム（
１６）によってディスク基板搬送部（４）の搬送用カー
トリッジ（１７）内に収容される。

以上がディスク基板製造装置（１）の概略的な説明であ
り、本発明は特に上記ディスク基板製造装置（１）の転
写部（６）における転写装置（１１）に適用されるもの
である。

以下に、上記転写装置（１１）の具体的な実施例につい
て図面を参照しながら説明する。

上記転写装置（１１）は、主として第２図ないし第４図
に示すように、表面に微細な凹凸パターンが形成された
スタンパ−（１０）と、該スタンパ−（１０）を保持す
るスタンパ−保持部（１４）と、上記スタンパ−保持部
（１４）を所定の場所に移動させる移動テーブル（１５
）と、該スタンパ−（１０）の凹凸パターンが紫外線硬
化樹脂の光硬化により転写されたディスク基板を当該ス
タンパ−（ｌＯ）より剥離させるセンタピン（１８）と
を備えてなっている。

上記スタンパ−（１０）は、例えばニッケル等によって
略円板状に形成されたもので、−主面（１０ａ）にグル
ープや記録情報に応じたピット等の微細な凹凸パターン
（図示は省略する。）を有している。

また、上記−主面（１０ａ）とは反対側の裏面（１０ｂ
）は、後述のマグネットアダプター（１９）の載置面（
１９ａ）に載置される面となっており、極めて平滑な平
坦面となされている。さらに、上記スタンパ−（１０）
の略中央部には、板厚方向に貫通するセンター孔（２２
）が形成され、上記マグネットアダプター（１９）への
位置決め用の孔として用いられるようになっている。

上記スタンパ−保持部（１４）は、スタンパ−（１０）
を載置させるマグネットアダプター（１９）と、このマ
グネットアダプター（１９）を磁気吸着して固定させる
マグ２Ａ７トチヤノク（２０）と、これらマグネットア
ダプター（１９）とマグネットチャック（２０）を保持
するホルダー（２１）とから構成されている。

上記マグネットアダプター（１９）は、上記スタンパ−
（１０）を載置させるためのもので、強磁性材料からな
る磁性体（２３）と、透磁率の低い材料からなるセパレ
ータ（２４）とが同一方向に延在して交互に配列されて
平板状となされている。上記マグネットアダプター（１
９）は、スタンパ−（１０）を載置させるためのもので
あるため、該スタンパ−（１０）を載置させる載置面（
１９ａ）が極めて平滑な平坦面とされている。また、上
記マグネットアダプター（１９）には、上記スタンパ−
（１０）を当該マグネットアダプター（１９）の所定位
置に固定させるための後述の固定リング（２７）が挿通
する位置決め孔（２５）が略中央部に板厚方向に貫通し
て形成されている。また、上記スタンパ−（ｌＯ）を載
置させる載置面（１９ａ）　とは反対側の裏面（１９ｂ
）には、前記固定リング（２７）をマグネットアダプタ
ー（１９）に固定させるためのナラｌ−（２８）を嵌挿
させる凹部（２６）が上記位置決め孔（２５）に対応し
た位置に板厚を貫通しないいわゆる止まり孔として形成
されている。この凹部（２６）は、上記ナラ）　（２８
）の外形よりも大きな円形状の富みとして形成され、当
該凹部（２６）内にナツト（２８）が嵌挿されたときに
該ナツト（２８）が上記マグネットアダプター（１９）
内に完全に収容されるようになされている。

なお、上記マグネットアダプター（１９）は、スタンパ
−（１０）の種類に応してそれぞれ適したものが使用さ
れるようになっている。例えば、光ディスクと光磁気デ
ィスクあるいはこれらの中でもその種類によっては、ス
タンパ−の外径やセンター孔の大きさ等がそれぞれ異な
るため、これらに適したマグネットアダプター（１９）
が必要とされる。

上記固定リング（２７）は、第５図に示すように、前記
スタンパ−（１０）のセンター孔（２２）及びマグネッ
トアダプター（１９）の位置決め孔（２５）に挿通され
る円管状の管状部（２９）と、該管状部（２９）の上端
から僅かに外方に張り出したフランジ状のスタンパ−押
さえ部（３０）とが一体的に形成されてなってい上記管
状部（２９）は、上記スタンパ−（１０）のマグネット
アダプター（１９）への位置決めをするためのもので、
当該管状部（２９）の外径がスタンパ−（１０）のセン
ター孔（２２）及びマグネットアダプター（１９）の位
置決め孔（２５）と略同じ径とされている。従って、上
記管状部（２９）が上記スタンパ−（１０）のセンター
孔（２２）及びマグネットアダプター（Ｉ９）の位置決
め孔（２５）に挿通されることで、これらの位置関係が
決まり、上記スタンパ−（１０）のマグネットアダプタ
ー（１９）への位置が決まる。また、上記管状部（２９
）の下端部近傍の外周面には、前記ナンド（２８）と螺
合するねし部（３１）が形成され、該固定リング（２７
）のマグネットアダプター（１９）への固定が確実なも
のとされている。なお、上記固定リング（２７）には、
軸方向に貫通する貫通孔（２７ａ）が設けられており、
ここに後述のセンタピン（１８）が挿通するようになっ
ている。

一方、スタンパ−押さえ部（３０）は、上記スタンパ−
（１０）をマグネットアダプター（１９）に固定させる
ためのもので、該スタンパ−（１０）のセンター孔（２
２）の開口縁部を押さえるようになっている。また、上
記スタンパ−押さえ部（３０）は、スタンパ−（ｌＯ）
の−主面（１０ａ）に設けられた凹凸パターンにかから
ない程度の大きさに形成されている。

従って、上記スタンパ−（１０）のセンター孔（２２）
及びマグ２ツトアダプター（１９）の位置決め孔（２５
）に挿通され前記凹部（２６）に突出した固定リング（
２７）のねし部（３１）にナラ）　（２８）を螺合する
ことで、固定リング（２７）が第６図に示すようにマグ
ネットアダプター（１９）に固定される。また、これと
同時に固定リング（２７）のスタンパ−押さえ部（３０
）とマグネットアダプター（１９）の載置面（１９ａ）
　とでスタンパ−（１０）のセンター孔（２２）の開口
縁部が挟持されて、該スタンパ−（１０）がマグネット
アダプター（１９）に固定される。

前記マグネットチャック（２０）は、スタンパ−（１０
）の種類に応じてその都度取り替えられるマグネットア
ダプター（１９）を磁気吸着して固定させるもので、該
マグネットアダプター（１９）と同じく強磁性材料から
なる磁性体（３２）と、透磁率の低い材料からなるセパ
レータ（３３）とが同一方向に延在して交互に配列され
ることで平板状となされている。

なお、上記マグネントチャック（２０）とマグネットア
ダプター（１９）とは、それぞれの磁性体（２３）と磁
性体（３２）、またはそれぞれのセパレータ（２４）と
セパレータ（３３）とが各々同し幅で同一方向に延在し
て設けられ、重なり合うようになされている。

また、上記マグネントチャック（２０）には、後述する
センタピン（１８）をガイドする案内スリーブ（３４）
を圧入固定させるための案内スリーブ固定用孔（３５ン
が前記マグネットアダプター（１９）の位置決め孔（２
５）に対応した位置に板厚方向に貫通して形成されてい
る。上記案内スリーブ（３４）は、例えば合成樹脂等に
よって管状に成形されたもので、軸方向に貫通して設け
られる中心孔（３４ａ）に上記センタピン（１８）を挿
通させるようになっている。そして、上記中心孔（３４
ａ）の内周面をガイドとして上記センタピン（１８）を
その内部に摺動させるようになっている。

このようなマグネットチャック（２０）は、当該マグネ
ットチャック（２０）に付設された磁力線発生部（図示
は省略する。）に所定の電流が通電されることによって
強力なｔ磁吸引力を発生するようになっている。従って
、上記磁力線発生部に所定の電流を通電すると、マグネ
ットアダプター（１９）がマグネットチャック（２０）
に磁気吸着されて固定されるとともに、該マグネットア
ダプター（１９）上に固定されるスタンバ−（１０）も
磁気吸着されて当該マグネットアダプター（１９）の載
置面（１９ａ）の平坦面に倣い、高い平面性が実現され
る。

前記ホルダー（２Ｉ）は、上記したマグネットアダプタ
ー（１９）とマグネットチャック（２０）を保持するた
めのもので、板厚の厚い平板状のホルダー（３６）とこ
れに比べて板厚の薄い平板状のホルダー（３７）とが重
なり合わされることによりなっている。これらホルダー
（３６）　、　（３７）には、上記マグネットチャック
（２０）に設けられた案内スリーブ固定用孔（３５ンと
同様の目的の孔＜３８ン、　（３９）が当該マグネット
チャック（２０）の案内スリーブ固定用孔（３５）に対
応した位置にそれぞれ板厚方向に貫通して形成されてい
る。そして、これら貫通孔（３８）　、　（３９）には
、それぞれ前記案内スリーブ（３４）が圧入固定される
ようになっている。従って、案内スリーブ（３４）は、
マグネットチャック（２０）、上記二つのホルダー（３
６）　、　（３７）をそれぞれ挿通した形、いわゆる三
枚通しの形で圧入固定されている。

上記のように構成されたスタンバ−保持部（１４）には
、ディスク基板をスタンバ−（１０）より剥離した後に
スタンバ−（ｌＯ）上に硬化して残存する紫外線硬化樹
脂等の微細な塵埃や、やはりスタンバ−（１０）上に付
着する空気中に含まれる塵埃等を除去するための洗浄機
構が設けられている。

洗浄機構は、スタンバ−（１０）上に残存した塵埃等を
吹き飛ばす吹出し口（４２）を備えたブロ一部（図示は
省略する。）と、吹き飛ばされた塵埃等を集めて強制的
に吸引する排気口（４０）を備えた防塵カーバー（４１
）とからなっている。

上記ブロ一部は、例えば窒素や酸素等の気体をスタンバ
−（１０）の−主面（１０ａ）に向かって吹き出させる
ようになされたもので、吹出し口（４２）を上記マグネ
ットアダプター（１９）の一方の対角線と略凹一方向に
向けて配設している。なお、吹出し口（４２）より吹き
出す気体の圧力等は適宜調節することができるようにな
っている。

上記防塵カーバー（４Ｉ）は、吹き飛ばされた塵埃等を
寄せ集めるためのもので、上記吹出し口（４２）が向け
られるマグネットアダプター（１９）の二辺を囲むよう
に形成された側壁（４３）と、該マグネットアダプター
（１９）の載置面（１９ａ）を覆う第１のフード（４４
ａ）　と、これと対向して設けられる第２のフード（４
４ｂ）とが一体的に形成されてなっている。

上記側壁（４３）は、上記吹出し口（４２ンが向けられ
るマグネットアダプター（１９）の二辺を取り囲むよう
にＬ字状に屈曲して形成されている。そして、上記側壁
（４３）の一方の端部に第２のフード（４４ｂ）が設け
られている。この第２のフード（４４ｂ）には、上記吹
出し口（４２）と対向する位置に円筒状の排気口（４０
）が下方に延在して設けられている。また、上記排気口
（４０）には、例えば吸引ポンプ　（図示は省略する。

）等が取り付けられ、強制的に塵埃等を引っ張るように
なっている。従って、吹き飛ばされてきた塵埃等はこの
排気口（４０）に導かれて装置外に排出され、スタンバ
−（１０）の−主面（１０ａ）は常にクリーンな状態に
保たれる。

一方、第１のフード（４４ａ）は、前記スタンバ−（１
０）と対向する部分が放物線状に切り欠かれ、上記側壁
（４３）の他端に一体的に設けられることにより、前記
マグネットアダプター（１９）の載置面（１９ａ）を覆
うようになっている。なお、スタンバ−（１０）と対向
する部分を切り欠いているのは、当該スタンバ−（１０
）上に紫外線硬化樹脂を塗布したガラス基板を載置させ
るときに邪魔にならないようにするためである。

上記のように構成された防塵カーバー（４１）は、例え
ば枠体（Ｉ３）に取り付けられた板体（４５）　、　（
４５）の先端部近傍に円柱状の支持体（４６）　、　（
４６）を介して後述する移動テーブル（１５）の基台（
４８）に固定されることで前記スタンバ−保持部（１４
）に設けられている。なお、上記防塵カーバー（４１）
のスタンバ−保持部（１４）への取り付けは、上記の例
に限定されるものではなく種々の手法により取り付ける
ことができる。

前記移動テーブル（１５）は、上記スタンパ−保持部（
１４）を所定の場所に移動させるためのもので、レール
（４７）　、　（４７）に沿って案内される基台（４８
）と、該基台（４８）上に支柱（４９）　、　（４９）
　、　（４９）　、　（４９）を介して支持されるスタ
ンパ−保持部取付台（５０）とからなっている。

上記基台（４８）には、脚片（５２）　、　（５１）が
設けられ、所定間隔で略平行に敷かれたレール（４７）
　、　（４７）に摺動自在に係合するようになっている
。

一方、上記スタンパ−保持部取付台（５０）は、前記ス
タンパ−保持部（１４）をその上に載置して固定させる
ためのもので、上記基台（４８）の四隅に立設された円
筒状の支柱（４９）　、　（４９）　、　（４９）　、
　（４９）を介してボルト（５２）　、　（５２）　、
　（５２）　、　（５２）等によって固定されている。

なお、上記スタンパ−保持部取付台（５０）には、後述
のタップアダプター（５６）を望ませる貫通孔（５３）
が当該タップアダプター（５６）に対応した位置に形成
されている。

このように形成された上記移動テーブル（１５）は、前
記スタンパ−保持部（１４）を載置させた状態で上記レ
ール（４７）　、　（４７）に案内されて所定の場所に
移動するようになされている。

また、上記移動テーブル（１５）の基台（４８）上には
、後述するセンタピン（１８）を上下動させるためのエ
アシリンダ（５４）が設けられている。このエアシリン
ダ（５４）のピストンロッド（５５）の先端部には、セ
ンタピン（１８）と該エアシリンダ（５４）とを接続さ
せるためのタップアダプター（５６）が固定されている
。

上記タップアダプター（５６）は、上端に開口した挿通
孔（５７）にセンタピン（１８）の下端部が挿通される
と、これを挿入方向には移動させるが、逆に抜き出す方
向へは移動させないようなロック機構を有している。ロ
ックを解除するには、タップアダプター（５６）を覆っ
て設けられる操作子（５８）の操作子片（５９）を下方
へ押圧することで簡単にロックが解除されるようになっ
ている。

上記センタピン（１日）は、第５図及び第６図に示すよ
うに、前記スタンパ−（１０）の凹凸パターンが紫外線
硬化樹脂の光硬化により転写されたディスク基板（７）
を該スタンパ−（１０）より剥離させるためのもので、
前記エアシリンダ（５４）に接続される円筒状の導入部
（６０）と、ディスク基板（７）を位置決めさせる位置
決め部（６１）とからなっている。

上記導入部（６０）は、前述の固定リング（２７）の貫
通孔（２７ａ）及び案内スリーブ（３４）の中心孔（３
４ａ）にそれぞれ挿通され、これら貫通孔（２７ａ）及
び中心孔（３４ａ）の内周面をガイドとしで摺動するよ
うになされた円筒状のビンである。上記導入部（６０）
の下端部は、前記タップアダプター（５６）の挿通孔（
５７）に挿通されロックされることによって、当８亥タ
ップアダプター（５６）に固定されるようになっている
。従って、センタピン（１８）は、タップアダプター（
５６）を介してエアシリンダ（５４）に接続されている
。

また、上記導入部（６０）の軸心には、下端部から上端
部近傍に亘り断面略円形状のエア孔（６２）が当該上端
部に貫通しない、いわゆる止まり孔とじて形成されてい
る。このエア孔（６２）には、例えば空気や窒素等の気
体を導入させるためのガス導入装置（図示は省略する。

）が接続されるようになっている。また、上記エア孔（
６２）の上端部近傍の位置には、当該エア孔（６２）よ
り前記導入部（６０）の外周面（６０ａ）へ貫通するエ
ア吹出し口（６３）が当該外周面（６０ａ）に適当な間
隔で数個所に形成されている。従って、上記エア孔（６
２）より導入された気体は、上記エア吹出し口（６３）
を通して外部へ吹き出されるようになっている。なお、
上記エア吹出し口（６３）より吹き出される気体は、セ
ンタピン（１８）の動作と連動して吹き出されるように
なっており、該センタピン（１８）が上昇し始めると吹
き出すようになっている。

上記位置決め部（６１）は、ディスク基板（７）をスタ
ンパ−（１０）の所定位置に位置決めさせるためのもの
で、当該ディスク基板（７）のセンター孔（６６）に嵌
合するようになっている。すなわち、上記位置決め部（
６１）は、上記導入部（６０）の上端部より外方へフラ
ンジ状に張り出して形成されたフランジ部（６４）を有
し、このフランジ部（６４）がディスク基板（７）のセ
ンター孔（６６）と嵌合して当該ディスク基板（７）を
位置決めするようになっている。

上記フランジ部（６４）の外周部には、導入部（６０）
の軸心と略平行な環状面をなす基板位置決め部（６４ａ
）が形成されている。上記基板位置決め部（６４ａ）は
、ディスク基板（７）のセンター孔（６６）の径と略同
じ外径状となされ、当該センター孔（６６）に設けられ
た位置決め面（６６ｃ）と係合するようになっている。

従って、上記ディスク基板（７）は、該基板位置決め部
（６４ａ）によりスタンパ−（１０）の所定位置に位置
決めされる。

また、上記フランジ部（６４）の先端部は、上記ディス
ク基板（７）の前記位置決め部（６１）への嵌合を容易
なものとするために斜めに削り落とされて傾斜面となさ
れ、この傾斜面が導入部（６４ｃ）　とされている。

さらに、上記フランジ部（６４）の外周部には、上記デ
ィスク基板（７）のセンター孔（６６）の外周縁部に設
けられた一方のテーパ面（６６ｂ）と係合し、このテー
パ面（６６ｂ）をディスク基板（７）の剥離時に上方に
向けて持ち上げるためのツバ部（６４ｂ）が設けられて
いる。上記ツバ部（６４ｂ）は、上記基板位置決め部（
６４ａ）の下端に連続し先端側に行くに従って次第に厚
みが薄くなるようにフランジ状に張り出されて形成され
ている。このツバ部（６６ｂ）は、ディスク基１（７）
の下側に入り込み、傾斜面が上記ディスク基板（７）の
センター孔（６６）に設けられた一方のテーパ面（６６
ｂ）を下から支持するようになっている。なお、上記ツ
バ部（６６ｂ）の前記スタンパ−（１０）と対向する面
は、当該スタンバ−（ｌＯ）を押さえ付ける面となって
いる。

また、上記フランジ部（６４）の前記固定リング（２７
）のスタンパ−押さえ部（３０）と対向する面には、内
端が導入部（６０）の外周面（６０ａ）で規制された円
環状の凹部（６５）が形成されている。この凹部（６５
）は、上記固定リング（２７）のスタンパ−押さえ部（
３０）に対する逃げ溝となるもので、前記フランジ部（
６４）がスタンパ−（１０）に当接した状態で該スタン
バー押さえ部（３０）をその内部にわずかな隙間を有し
て収容させるようになっている。

ここで、上述のように構成された転写袋Ｗ（１１）を用
いてスタンパ−（ｌＯ）の凹凸パターンをディスク基板
（７）の一方の面に設けた紫外線硬化樹脂層に転写させ
るには、次のようにして行う。

先ず、前工程で一方の面に液状の紫外線硬化樹脂が塗布
されたディスク基板（７）を、該紫外線硬化樹脂が塗布
された面を下向きにしてスタンパ−（１０）上に載置さ
せる。すなわち、紫外線硬化樹脂を介してスタンパ−（
１０）の−主面（１０ａ）と対向するようにディスク基
板（７）をスタンパ−（１０）上に重ね合わせる。

ここで使用されるディスク基板（７）としては、例えば
第７図に示すように、透明なガラス基板あるいは透明な
合成樹脂よりなる円板状の基板で、その中心にセンター
孔（６６）が形成されたものである。なお、上記センタ
ー孔（６６）の開口周縁部には、上下ともに面取りがな
されてテーパ面（６６ａ）　、　（６６ｂ）が形成され
ている。また、これらテーパ面（６６ａ）。

（６６ｂ）に挟まれたセンター孔（６６）の内周面（６
６ｃ）が位置決め面となされている。

上記ディスク基板（７）のスタンパ−（１０）への載置
に際しては、当該ディスク基板（７）のスタンパ−（１
０）と対向する面倒に設けられるテーパ面（６６ｂ）が
センタピン（１８）の導入部（６４ｅ）によって案内さ
れて上記ディスク基板（７）の位置決め面（６６ｃ）と
センタピン（１８）の基板位置決め部（６４Ｃ）とが係
合する。そして、上記ディスク基板（７）のテーパ面（
６６ｂ）が上記センタピン（１８）のツバ部（６４ｂ）
に上から係合する。この結果、上記ディスク基板（７）
は、スタンパ−（１０）の所定位置に精度よく位置決め
される。

次に、ディスク基板（７）がスタンパ−（１０）に保持
されると、移動テーブル（１５）がレール（４７）　、
　（４７）に沿って移動せしめられ、その中途部に配設
される押圧装置（１１）へ案内される。ここで、ローラ
等によって加圧されてディスク基板（７）がスタンパ−
（１０）側へ押圧される。

この結果、ディスク基板（７）とスタンパ−（１０）間
に介在された液状の紫外線硬化樹脂は、これら両者間に
均一に充填せしめられ、当該スタンパ−（ｌＯ）の−主
面（１０ａ）上に形成された微細な凹凸パターンにむら
なく充填される。

そして、上記移動テーブル（１５）は、さらにレール（
４７）　、　（４７）に沿って前方へ移動せしめられ、
紫外線照射装置（１３）へと案内される。ここで紫外線
が上記ディスク基板（７）側より照射され、前記液状の
紫外線硬化樹脂が硬化される。

紫外線硬化樹脂が硬化されると、今度は上記移動テーブ
ル（１５）は、もとの位置、すなわちディスク基板（７
）をスタンパ−（１０）へ載置させた位置へとレール（
４７）　、　（４７）に沿って案内される。ここで、硬
化した紫外線硬化樹脂層（図示は省略する。）とともに
ディスク基板（７）がスタンパ−（１０）より剥離され
る。

ディスク基板（７）のスタンパ−（１０）からの剥離は
、次のようにして行われる。

先ず、エアシリンダ（５４）の駆動によってピストンロ
ノド（５５）が上昇せしめられる。すると、該ピストン
ロノド（５５）の先端に固定されるタップアダプター（
５６）を介してセンタピン（１８）が案内スリーブ（３
４）及び固定リング（２７）に案内されて上昇する。

このとき、上記センタピン（１８）のツバ部（６４ｂ）
の傾斜面上には、ディスク基板（７）の一方のテーパ面
（６６ｂ）が上から係合しているため、該センタピン（
１８）の上昇に伴ってディスク基板（７）が紫外線硬化
樹脂層とともに中心部より持ち上げられる。

そして、上記センタピン（１８）の上昇と連動して該セ
ンタピン（１８）に設けられたエア吹出し口（６３）よ
り、第８図に示すようにクリーンエアーが噴出せしめら
れる。なお、ここで噴出せしめる気体は、上記クリーン
エアー等に限らず窒素ガス等でもよく、特に限定される
ものではない、また、噴出させる気体の圧力は、積極的
に加圧する必要はなく負圧を減じる程度であればよい、
従って、例えば０、２〜０．３　ｋｇ／　ｃｄ程度とす
ればよい。

すると、上記ディスク基板（７）とスタンパ−（１０）
間の負圧が減ぜられ、真空状態が回避される。

この結果、ディスク基１　（７）がスタンパ−（１０）
から無理なく剥がれる。また、このときディスク基板（
７）に塗布された紫外線硬化樹脂がスタンパ−（ｌＯ）
上に残存するようなことはない。さらには、上記エアー
の導入によって無理なくディスク基板（７）を剥離させ
ることができるため、当該ディスク基板（７）を破損さ
せるようなことはない。

次に、ディスク基板（７）を剥離させたスタンパ−（１
０）の−主面（１０ａ）に向かって窒素ガス等を噴出せ
しめ、当該スタンパ−（１０）の−主面（１０ａ）上に
残存する硬化した紫外線硬化樹脂等の微細な塵埃や、や
はりスタンパ−（１０）に付着する空気中に含まれる塵
埃等を吹き飛ばす、そして、これを防塵カーパー（４１
）に設けた排気口（４０）で吸引せしめ、装置外へ排出
させる。

この結果、上記スタンパ−（１０）上には塵埃等がなく
なり、当該スタンパ−（１０）がクリーンな状態とされ
る。従って、スタンパ−（１０）の傷つき等を防止する
ことができ、当該スタンパ−（ｌＯ）の寿命を延ばすこ
とができる。また、このスタンパ−（１０）によって複
製されるディスク基板の歩留りを向上させることも可能
となる。

〔発明の効果］ 以上の説明からも明らかなように、本発明のディスク基
板製造装置においては、紫外線硬化樹脂の光硬化により
スタンパ−の凹凸パターンが転写されたディスク基板を
該スタンパ−より剥離させるセンタピンに気体を吹き出
させる吹出し口を設けているので、これらディスク基板
とスタンパ−間に生ずる負圧を減じることができ、当該
ディスク基板のスタンパ−からの剥離を容易なものとす
ることができる。

従って、剥離時には硬化した紫外線硬化樹脂よりなる塵
埃等がスタンパ−上に残存することがない、また、ディ
スク基板をスタンパ−から無理なく剥離することができ
るため、当該ディスク基板の破損を防止することができ
る。

さらに、本発明のディスク基板製造装置においては、ス
タンパ−保持部に吹出し口と排気口を有した洗浄機構を
設けているので、ディスク基板を剥離した後に、スタン
パ−の表面を洗浄して塵埃等を確実に吹き飛ばすことが
でき、常にスタンパ−をクリーンな状態に維持すること
ができる。

従って、スタンパ−の傷つき等を防止することができ、
当該スタンパ−の寿命を延ばすことができる。また、上
記スタンパ−によって複製されるディスク基板の歩留り
を大幅に向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はディスク基板製造装置の概要を説明するための
平面図である。 第２回ないし第９図は本発明を適用したディスク基板製
造装置をそれぞれ示し、第２図は分解斜視図、第３図は
平面図、第４図は断面図、第５図はスタンパ−を固定す
る前の状態を拡大して示す要部拡大分解断面図、第６図
はスタンパ−を固定した状態を拡大して示す要部拡大断
面図、第７図はディスク基板を位置決めした状態を示す
要部拡大断面図、第８図はディスク基板の剥離時に気体
を噴出せしめた状態を示す要部拡大断面間、第９図はデ
ィスク基板をスタンパ−より剥離した状態を示す要部拡
大断面図である。 第１Ｏ図は従来のディスク基板製造装置にディスク基板
を載置させた状態を一部破断して示す正面図、第１１図
はディスク基板をスタンパ−より剥離させる状態を一部
破断して示す正面図である。 １０　　・ １４　・ １５　・ １８　・ ４０　・ ４１　・ ６２　・ ６３　・ スタンパ− スタンパ−保持部 移動テーブル センタピン 排気口 防塵カーバー ニア孔 エア吹出し口

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）表面に凹凸パターンが形成されたスタンパーと、 該スタンパーを保持するスタンパー保持部と、上記スタ
   ンパーの凹凸パターンが紫外線硬化樹脂の光硬化により
   転写されたディスク基板を該スタンパーより剥離するセ
   ンタピンとを備えてなり、上記センタピンに気体の吹出
   し口が設けられていることを特徴とするディスク基板製
   造装置。
2. （２）表面に凹凸パターンが形成されたスタンパーと、 該スタンパーを保持するスタンパー保持部と、上記スタ
   ンパーの凹凸パターンが紫外線硬化樹脂の光硬化により
   転写されたディスク基板を該スタンパーより剥離するセ
   ンタピンとを備えてなり、上記スタンパー保持部に気体
   の吹出し口と排気口を有してなる洗浄機構が設けられて
   いることを特徴とするディスク基板製造装置。