JP2844667B2

JP2844667B2 - 転写装置

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Publication number: JP2844667B2
Application number: JP1123679A
Authority: JP
Inventors: 英俊渡辺
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1989-05-17
Filing date: 1989-05-17
Publication date: 1999-01-06
Anticipated expiration: 2014-01-06
Also published as: JPH02301422A

Description

【発明の詳細な説明】本発明の転写装置を以下の項目に従って詳細に説明す
る。

A.産業上の利用分野 B.発明の概要 C.従来技術［第８図乃至第11図］ D.発明が解決しようとする課題［第９図乃至第11図］ E.課題を解決するための手段 F.実施例［第１図乃至第７図］ a.スライドテーブル b.電磁石板 c.上部プレート d.ディスクスタンパ e.上部プレートのスライドテーブルへの固定 f.ディスク基板と転写動作 g.センターピンの変形例［第７図］ G.発明の効果（A.産業上の利用分野）本発明は新規な転写装置に関する。詳しくは、スタン
パに基板を液状の合成樹脂を介して対接させ、上記合成
樹脂を硬化させた後基板を合成樹脂と共にスタンパから
剥離する転写装置において、簡単な構造でもって、スタ
ンパや基板の位置決め精度が向上すると共に、スタンパ
の摩耗やそれに基づく微細金属埃の発生及びスタンパの
変形を防止し、更に、基板を剥離するときのスタンパの
保持台からの浮き上がりを防止した新規な転写装置を提
供しようとするものである。

（B.発明の概要）本発明転写装置は、スタンパの中心孔と該スタンパを
保持する保持台の取付孔とに挿通され、かつ、保持台に
固定されると共に、スタンパの中心孔と略同径の管状部
の上端から外方へ張り出したフランジ部がスタンパの中
心孔の周縁部を保持台に押え付ける固定リングと、固定
リングの管状部の内側に挿通される軸部と該軸部の上端
に設けられた円形状の頭部とから成り、該頭部の周縁部
が外方へフランジ状に張り出し、かつ、該周縁部の上面
が下方へ行くに従って外方へ変位する傾斜面になってい
るセンターピンとを備え、センターピンが下降した状態
で基板の中心孔がセンターピンの頭部に外嵌されて基板
のスタンパに対する位置決めが為され、センターピンが
上動することによりセンターピンの頭部に載置された基
板がスタンパから剥離されるとともに、センターピンが
上動しても固定リングによりスタンパが保持台から浮き
上がらないようにして、簡単な構造でもって、スタンパ
や基板の位置決めや精度を向上させ、スタンパの摩耗や
それに基づく微細粉の発生を防止し、更に、基板を剥離
するときのスタンパの保持台からの浮き上がりを防止す
ることができる。

（C.従来の技術）［第８図乃至第11図］コンパクトオーディオディスク（CD）やレーザーディ
スク（LD、LVD）等の光学ディスクの製造方法には種々
のものが提案されているが、その中に2P法（光重合法）
と称されるものがある。

この2P法というのは、紫外線硬化樹脂を用いて光学デ
ィスクを複製するもので、第８図に示すように、スクリ
ーン印刷の手法を用いてディスク基板ａの片方の面に液
状の紫外線硬化樹脂ｂを供給し（第８図（Ｂ）参照）、
紫外線硬化樹脂ｂがディスクスタンパｃと密着するよう
にディスク基板ａをディスクスタンパｃ上に載置し（第
８図（Ｃ）参照）、加圧ローラｄでディスク基板ａをデ
ィスクスタンパｃに対して押圧する（第８図（Ｄ）参
照）。その結果、ディスク基板ａとディスクスタンパｃ
との間に紫外線硬化樹脂ｂが隙間なく充填される。

そこで、紫外線ランプｅによりディスク基板ａを通し
て紫外線硬化樹脂ｂに紫外光を照射する（第８図（Ｅ）
参照）と、液状だった紫外線硬化樹脂ｂが硬化するの
で、ディスク基板ａをディスクスタンパｃから剥離する
（第８図（Ｆ）参照）。これにより、ディスクスタンパ
ｃの表面に形成された微細な凹凸がディスク基板ａ上に
転写される。

そこで、ディスク基板ａの転写された凹凸面に金属膜
を蒸着した後、保護膜を被覆することにより、ディスク
スタンパｃの凹凸に応じたビットが形成された光学ディ
スクＦを得ることができる（第８図（Ｇ）参照）。

上記したような2P法によるとディスクスタンパｃのパ
ターンが微細であっても紫外線硬化樹脂が液状であるた
めにこの紫外線硬化樹脂がパターンに十分に充填される
ので、信号の転写性が格段に優れている、という利点を
有する。

そして、上記したように信号面を転写するには、加圧
ローラｄによる加圧力を受けて紫外線硬化樹脂層にディ
スクスタンパｃの凹凸が確実に転写されるようにするた
めに、しっかりとした台にディスクスタンパｃを保持す
る必要があり、また、ディスクスタンパｃとディスク基
板ａとが精度良く位置合わせされた状態で重ね合わされ
る必要がある。

ｇはスタンパ保持台であり、ベース台ｈ上に固定され
ている。

スタンパ保持台ｇにはその中心部に挿通孔ｉが形成さ
れている。

そして、ディスクスタンパｃはその中心孔ｊが挿通孔
ｉと一致する状態でスタンパ保持台ｇ上に載置され、か
つ、スタンパ保持台ｇに吸着される。

ｋはセンターピンであり、スタンパ保持台ｇの上記挿
通孔ｉに挿通される軸部ｌと該軸部ｌの上端に設けられ
た頭部ｍとが一体に形成されて成り、頭部ｍは略円板状
を為し、その外周面は中間に位置し軸と略平行な環状面
を為す位置決め面ｎと該位置決め面ｎの下端に連続し外
開きの傾斜面とされた係合面ｏと位置決め面ｎの上端に
連続し上方に行くに従って内側へ傾斜した導入面ｐとか
ら成る。そして、かかるセンターピンｋの軸部ｌがディ
スクスタンパｃの中心孔ｊ及びスタンパ保持台ｇの挿通
孔ｉに挿通され、図示しない移動機構によって下方へ移
動されることによって、頭部ｍの下面でディスクスタン
パｃの中心孔ｊの開口縁部をスタンパ保持台ｇの上面に
押え付けることになる。

ディスク基板ａの中心孔ｑはその開口縁の上下が面取
りされてテーパー面ｒ、ｒ′が形成され、これら２つの
テーパー面ｒとｒ′との間の部分が位置決め面ｓとなっ
ている。

このようなディスク基板ａの一方の面ｔに液状の紫外
線硬化樹脂ｂが供給され、該紫外線硬化樹脂ｂが供給さ
れた側の面ｔを下向きにしてディスクスタンパｃの上に
重ね合わせる。このとき、ディスク基板ａの位置決め面
ｓがセンターピンｋの位置決め面ｎに外嵌されてディス
ク基板ａの位置出しが為される（第10図参照）。尚、デ
ィスクスタンパｃはその中心孔ｊがセンターピンｋの軸
部ｌに外嵌状になっていることによってディスクスタン
パｇとセンターピンｋとの間の位置出しが為されている
ため、これらによって、ディスク基板ａがディスクスタ
ンパｃに対して位置出しされることになる。

そして、加圧ローラｄによる加圧、次いで、紫外線ラ
ンプｅによる紫外光の照射が為されて紫外線硬化樹脂ｂ
が硬化されると、センターピンｋが上昇され、その係合
面ｏが係合しているディスク基板ａのテーパー面ｒ′を
上方へ突き上げるので、ディスク基板ａがその内周より
ディスクスタンパｃから引き剥がされることになる（第
11図参照）。

そして、このディスクスタンパｃより引き剥がされた
ディスク基板ａを図示しない搬送手段で次の工程へ搬送
する。

（D.発明が解決しようとする課題）［第９図乃至第11
図］ところが、上記した従来の転写装置にあっては、セン
ターピンｋの軸部ｌとディスクスタンパｃの中心孔ｊと
の嵌合により、センターピンｋとディスクスタンパｃと
の間の位置出しが為されているため、センターピンｋが
上下動するとその軸部ｌの外周面がディスクスタンパｃ
の中心孔ｊの内周縁と擦れ合い、金属埃が発生するとい
う問題がある。このような金属埃はディスクスタンパｃ
の微細な凹凸内入り込み、精確な転写の妨げとなる。ま
た、ディスクスタンパｃの中心孔ｊの内周縁がセンター
ピンｋの軸部ｌの外周面でこすられるということは、デ
ィスクスタンパｃの中心部が多少上下に動かされること
になり、ディスクスタンパｃの変形を招く惧れがある。

また、ディスク基板ａをディスクスタンパｃから剥離
するときに、ディスクスタンパｃの中心部を押えている
センターピンｋが上方へ移動してディスクスタンパｃを
押えない状態となってしまうことになるため、ディスク
スタンパｃがディスク基板ａの上方への移動につられて
スタンパ保持台ｇから浮き上がってしまうこともある等
の不具合がある。

（E.課題を解決するための手段）本発明転写装置は、上記した課題を解決するために、
スタンパの中心孔と該スタンパを保持する保持台の取付
孔とに挿通され、かつ、保持台に固定されると共に、ス
タンパの中心孔と略同径の管状部の上端から外方へ張り
出したフランジ部がスタンパの中心孔の周縁部を保持台
に押え付ける固定リングと、固定リングの管状部の内側
に挿通される軸部とを該軸部の上端に設けられた円形状
の頭部とから成り、該頭部の周縁部が外方へフランジ状
に張り出し、かつ、該周縁部の上面が下方へ行くに従っ
て外方へ変位する傾斜面になっているセンターピンとを
備え、センターピンが下降した状態で基板の中心孔がセ
ンターピンの頭部に外嵌されて基板のスタンパに対する
位置決めが為され、センターピンが上動することにより
センターピンの頭部に載置された基板がスタンパから剥
離されるとともに、センターピンが上動しても固定リン
グによりスタンパが保持台から浮き上がらないようにし
たものである。

従って、本発明転写装置によれば、センターピンが上
下動しても、センターピンとディスクスタンパとが擦れ
合うことは無く、金属粉の発生やディスクスタンパの摩
耗や変形を防止することができる。また、センターピン
が上動してディスク基板がディスクスタンパから剥離さ
れるとき、センターピンが上方へ移動してもディスクス
タンパの中心部は固定リングによって押えられているた
め、ディスクスタンパが浮き上がってしまうことが無
い。

（F.実施例）［第１図乃至第７図］以下に、本発明転写装置の詳細を図示した実施例に従
って説明する。

（a.スライドテーブル）１はスライドテーブルであり、レール２、２によって
案内されて所定の系路を移動されるようになっている。

３はスライドテーブル１の基台であり、その下面に脚
片４、４が固定されていて、該脚片４、４が上記レール
２、２に各別に摺動自在に係合している。

５は取付台であり、上記基台３の４隅部に立設された
支柱3a、3a、・・・を介して基台３に固定されている。

６は基台３上面の中央部に固定されたエアリシンダで
あり、その上下動するピストンロッド6aの上端にはタッ
プアダプター７が固定されている。タップアダプター７
は既知のものであり、上端に開口した孔7aに棒状の物が
挿入されると、これを挿入方向には移動させ得るが抜き
出す方向への移動を阻止するようになっており、図示し
ない解除部を押圧することによって上記孔7aに挿入した
ものを抜き出すことができるようになっている。上記取
付台５の中央部には孔5aが形成されており、該孔5aを通
してタップアダプター７の孔7aが上方に臨まされてい
る。

（b.電磁石板）８は平板状をした電磁石板であり、支持台９を介して
スライドテーブル１の取付台５上に固定されている。

電磁石板８は互いに同じ方向に延びる強磁性体10、1
0、・・・と磁性率の低い材料から成るセパレータ11、1
1、・・・とが交互に配列一体化された構造を有してお
り、これに付設された図示しない磁力線発生部に通電さ
れることによって強力な電磁吸引力を発生するようにな
っている。

該電磁石板８の中心部には取付孔8aが形成されてお
り、該取付孔8aに合成樹脂製の案内スリーブ12が圧入固
定されており、該案内スリーブ12の下端は上記タップア
ダプター７の孔7aに上方から対向している。

（c.上部プレート） 13は平板状をした上部プレートであり、この上部プレ
ート13も同じ方向に延びる強磁性体14、14、・・・と透
磁率の低い材料から成るセパレータ15、15、・・・とが
交互に配列一体化された構造を有している。

そして、電磁石板８の強磁性体10、10、・・・と上部
プレート13の強磁性体14、14、・・・とは、また、電磁
石板８のセパレータ11、11、・・・と上部プレート13の
セパレータ15、15、・・・とは、同じ幅を有しており、
従って、電磁石板８と上部プレート13とは、それぞれの
強磁性体10、10、・・・と14、14、・・・とが、また、
セパレータ11、11、・・・と15、15、・・・とが、ぴっ
たりと重なり合うように、重ね合わすことができる。

上記上部プレート13の中心部には位置決孔16が形成さ
れており、また、上部プレート13の下面のうち位置決孔
16を囲む位置に凹部17が形成されている。従って、位置
決孔16の下端は該凹部17内に開口している。

（d.ディスクスタンパ） 18はニッケル製のディスクスタンパであり、その上面
18aには信号ピットの形をした図示しない微細な凹凸が
形成されている。そして、下面18bは平面に形成されて
いる。

また、ディスクスタンパ18の中心にはセンター孔19が
形成され、該センター孔19は上記上部プレート13の位置
決孔16と同じ径に形成されている。

20は固定リングであり、外径が上部プレート13の位置
決孔16やディスクスタンパ18のセンター孔19と略同径の
管状をした管状部21と該管状部21の上端から僅かに外方
に張り出したフランジ部22とが一体に形成されて成り、
管状部21の下端部外面にはねじ溝が形成されてねじ部23
とされている。

24は固定リング20のねじ部23に螺合されるナットであ
る。

しかして、ディスクスタンパ18の上部プレート13への
装着は次に示すようにして為される。

まず、ディスクスタンパ18をその下面18bが上部プレ
ート13の上面に接するように重ね合わせ、ディスクスタ
ンパ18のセンター孔19と上部プレート13の位置決孔16と
を一致させる。

それから、固定リング20の管状部21を上方からディス
クスタンパ18のセンター孔19、上部プレート13の位置決
孔16の順に挿通し、上部プレート13の凹部17内に突出し
た固定リング20のねじ部23にナット24を螺着する。これ
によって、ディスクスタンパ18のセンター孔19の開口縁
部が固定リング20のフランジ部22と上部プレート13の上
面とで挾持されることになる。

（e.上部プレートのスライドテーブルへの固定） 25はセンターピンであり、管状をした主部26と該主部
26の上端に固定された円板状の頭部27とから成り、頭部
27の周縁部28は外方へフランジ状に張り出している。ま
た、該周縁部28の下面には内端が主部26の外周面で限定
された管状の凹部28aが形成されている。そして、該凹
部28aはその中に上記固定リング20のフランジ部22が僅
かに余裕を有して嵌り込む大きさになっている。

頭部27の外周面は中間に位置し主部26の軸と平行な環
状面を成す位置決め面27aと該位置決め面27aの下端に連
続し下方へ行くに従って外方へ変位する傾斜面とされた
係合面27bと位置決め面27aの上端に連続し上方に行くに
従って内側へ変位する傾斜面とされた導入面27cとから
成る。

そこで、先ず、以上のようにディスクスタンパ18を保
持した上部プレート13を電磁石板８の上面に載置する。

そして、上記センターピン25の主部26を上方から、固
定リング20、案内スリーブ12の順に挿通して行き、その
下端部をタップアダプター７の孔7a内に挿入する。

そこで、エアシリンダ６を駆動してそのピストンロッ
ド6aを下降させると、これに引張られてセンターピン25
が下降され、その頭部27で固定リング20の上端部及びフ
ランジ部22を覆った状態となる。

そして、電磁石板８に通電すると、上部プレート13が
電磁石板８に磁気吸着されると共に、ディスクスタンパ
18も上部プレート13に磁気吸着され、その平面18bが上
部プレート13の上面の平面に倣い、高い平面性が実現さ
れることとなる。

そして、上部プレート13をスライドテーブル１から外
す場合は、電磁石板８への通電をオフし、タップアダプ
ター７によるセンターピン25の下端部の喰い付きを解除
し、センターピン25を案内スリーブ12及び固定リング20
から引き抜いて、上部プレート13を電磁石板８上から移
動すれば良い。

（f.ディスク基板と転写動作） 29はディスク基板であり、該ディスク基板29は透明な
ガラス板、透明な合成樹脂等により円板状に形成され、
その中心にセンター孔30が形成されている。

ディスク基板29の上記センター孔30はその開口内周面
の上下が面取りされてテーパー面30a、30bが形成され、
これら２つのテーパー面30aと30bとの間の部分がディス
ク基板29の回転軸と平行な位置決め面30cとされてい
る。

そして、このようなディスク基板29の一方の面29a
に、例えば、スクリーン印刷の手法により所望のパター
ンに液状の紫外線硬化樹脂31が供給され、次いで、該デ
ィスク基板29は紫外線硬化樹脂31が供給された面29aを
下向きにして、即ち、上記一方の面29aが紫外線硬化樹
脂31を介してディスクスタンパ18の上面18aと対向する
ようにしてディスクスタンパ18上に重ね合わされる。そ
して、このとき、ディスク基板29はその下側のテーパー
面30bがセンターピン25の導入面27cによって案内される
ことによって、その位置決め面30cがセンターピン25の
位置決め面27aに外嵌され、これによって、ディスク基
板29がディスクスタンパ18に対して精確に位置決めされ
る。また、ディスク基板29の下側のテーパー面30bはセ
ンターピン25の係合面27bに上方から係合した状態とな
る。

そこで、図示しない加圧ローラによって、ディスク基
板29がディスクスタンパ18の方へ向けて押圧され、ディ
スク基板29とディスクスタンパ18との間に介在された液
状の紫外線硬化樹脂31が両者18、29の間に均等に行き亘
ってディスクスタンパ18の上面に形成された微細な凹凸
（図示していない。）に完全に充填される。

それから、図示しない紫外線ランプによりディスク基
板29の他方の面29b側からディスク基板29を通して上記
紫外線硬化樹脂31に紫外光が照射され、これによって、
紫外線硬化樹脂31が硬化せしめられる。

紫外線硬化樹脂31が硬化せしめられると、上記エアシ
リンダ６が駆動されてそのピストンロッド6aが上昇さ
れ、これによってセンターピン25が上昇せしめられる。

センターピン25が上昇されると、その係合面27bによ
ってディスク基板29の下側になっているテーパー面30b
がセンターピン25の係合面27cによって上方へ向けて持
ち上げられるため、ディスク基板29は硬化した紫外線硬
化樹脂層と共にその中心よりディスクスタンパ18から剥
離されることになる。

そして、ディスクスタンパ18から剥離されたディスク
基板29は図示しない搬出手段によって搬出され、ピスト
ンロッド6aが下降してセンターピン25が元の位置に戻さ
れ、次の新たなディスク基板29がディスクスタンパ18上
に重ね合わされる。

このような転写装置にあっては、ディスクスタンパ
（スタンパ）18のセンター孔（中心孔）19は上部プレー
ト（スタンパ保持台）13に対して固定リング20で保持さ
れており、センターピン25は上下動するときに、この固
定リング20に対して摺接し、軟質の材料であるニッケル
から成るディスクスタンパ18には摺接することがないの
で、ディスクスタンパ18のセンター孔19がセンターピン
25によって擦られて金属埃が発生することが無く、ま
た、ディスクスタンパ18が変形を受けるようなことも無
い。

更に、ディスクスタンパ18の中心部は上下動するセン
ターピン25によってではなく固定リング20で押さえられ
ているので、センターピン25を突き上げてディスク基板
29を剥離するときにディスクスタンパ18がディスク基板
29につられて上部プレート13から浮き上がってしまうよ
うなことが無い。

また、上記したように、スタンパ保持台を２重構造と
し（電磁石板８と上部プレート13）た場合には、上部プ
レート13を複数用意しておくことによって、段取り替え
やメンテナンス等の作業性が向上し、かつ、センターピ
ン25により電磁石板８と上部プレート13との間の位置合
わせが精確に為されるので、２重構造にしたことによる
精度の低下を招く惧れがない。特に、この場合、電磁石
板８に合成樹脂製の案内スリーブ12を圧入しておき、こ
れにセンターピン25を嵌挿するようにすることによっっ
て精度を更に向上させることができる。

（g.センターピンの変形例）［第７図］第７図はセンターピンの変形例を示すものである。

センターピン25の頭部27から僅か下方に中心孔32と外
周面との間を連通する通孔33、33を形成する。

そして、ディスク基板29をディスクスタンパ18から剥
離するときは、センターピン25とエアシリンダ６との間
の結合を解き、センターピン25の中心孔32にエアー、例
えば、N₂ガスを圧送する。すると、N₂ガスの送圧により
センターピン25は上記通孔33、33が固定リング20の上端
より上方に位置したところまで上昇せしめられることに
なる（第７図の２点鎖線参照）。

このように、センターピン25の上昇をエアーによって
行なうこともできる。

（G.発明の効果）以上に記載したところから明らかなように、本発明転
写装置は、スタンパに基板を液状の合成樹脂を介して対
接させ、合成樹脂を硬化させた後基板を合成樹脂と共に
スタンパから剥離する転写装置において、スタンパの中
心孔と該スタンパを保持する保持台の取付孔とに挿通さ
れ、かつ、保持台に固定されると共に、スタンパの中心
孔と略同径の管状部の上端から外方へ張り出したフラン
ジ部がスタンパの中心孔の周縁部を保持台に押え付ける
固定リングと、固定リングの管状部の内側に挿通される
軸部とを該軸部の上端に設けられた円形状の頭部とから
成り、該頭部の周縁部が外方へフランジ状に張り出し、
かつ、該周縁部の上面が下方へ行くに従って外方へ変位
する傾斜面になっているセンターピンとを備え、センタ
ーピンが下降した状態で基板の中心孔がセンターピンの
頭部に外嵌されて基板のスタンパに対する位置決めが為
され、センターピンが上動することによりセンターピン
の頭部に載置された基板がスタンパから剥離されるとと
もに、センターピンが上動しても上記固定リングにより
スタンパが上記保持台から浮き上がらないようにしたこ
とを特徴とする。

尚、上記実施例には、本発明を光ディスクの信号面転
写装置に適用したものを示したが、本発明の適用範囲が
このようなものに限定されることを意味するものではな
い。

また、上記実施例では、スタンパの保持を電磁チャッ
ク方式により行ない、かつ、その電磁チャックを２重構
造にしたものを示したが、これも電磁チャック方式や２
重構造のものに限定されるものではない。

その他、上記実施例において示した構造は、何れも、
本発明の具体化に当ってのほんの一例を示したものにす
ぎず、これらによって、本発明の技術的範囲が限定的に
解釈されるものではなく、本発明の趣旨に適合する範囲
において、種々の変更を加えて実施することが可能であ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第７図は本発明転写装置の実施の一例を示す
もので、第１図は分解斜視図、第２図は平面図、第３図
は第２図のIII−III線に沿う断面図、第４図は要部の分
解断面図、第５図は要部の拡大断面図、第６図は作用を
（Ａ）、（Ｂ）に分けて示す要部の拡大断面図、第７図
はセンターピンの変形例を示す要部の拡大断面図、第８
図は転写方法の一例を（Ａ）から（Ｇ）へ順を追って示
す概略斜視図、第９図乃至第11図は従来の転写装置の一
例を示すもので、第９図は概略斜視図、第10図及び第11
図はそれぞれ異なる工程を示す拡大断面図である。符号の説明 13……保持台、16……取付孔、18……スタンパ、19……
（スタンパの）中心孔、20……固定リング、21……環状
部、22……フランジ部、25……センターピン、26……軸
部、27……頭部、27b、27c……傾斜部、28……周縁部、
29……基板、30……（基板の）中心孔、31……合成樹脂

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】スタンパに基板を液状の合成樹脂を介して
対接させ、上記合成樹脂を硬化させた後基板を合成樹脂
と共にスタンパから剥離する転写装置において、上記スタンパの中心孔と該スタンパを保持する保持台の
取付孔とに挿通され、かつ、保持台に固定されると共
に、スタンパの中心孔と略同径の管状部の上端から外方
へ張り出したフランジ部がスタンパの中心孔の周縁部を
保持台に押え付ける固定リングと、上記固定リングの管状部の内側に挿通される軸部と該軸
部の上端に設けられた円形状の頭部とから成り、該頭部
の周縁部が外方へフランジ状に張り出し、かつ、該周縁
部の上面が下方へ行くに従って外方へ変位する傾斜面に
なっているセンターピンとを備え、上記センターピンが下降した状態で基板の中心孔がセン
ターピンの頭部に外嵌されて基板のスタンパに対する位
置決めが為され、センターピンが上動することによりセ
ンターピンの頭部に載置された基板がスタンパから剥離
されるとともに、センターピンが上動しても上記固定リ
ングによりスタンパが上記保持台から浮き上がらないよ
うにしたことを特徴とする転写装置