JP4564832B2 - 矩形基板の分割装置 - Google Patents

Description

本発明は、矩形状に形成された種々の基板を個々のデバイス等に分割する装置に関するものである。

ＩＣ、ＬＳＩ等の集積回路が複数形成され、樹脂によってパッケージングされたＣＳＰ（Chip Size Package）等の矩形基板は、ダイシング装置等の分割装置によって個々のデバイスに分割され、デバイスケースに収容された状態で、電子機器の組立工程に搬送される。そして、組立工程において、個々のデバイスは、各種電子機器に実装される。

一般に、デバイスケースへのデバイスの収容には専用のデバイス収容装置が用いられる。デバイス収容装置は分割装置に隣接して設置され、分割装置によって個片化された個々のデバイスをデバイス収容装置において直ちにデバイスケースに収容できるようにしている（例えば特許文献１参照）。

一般に、分割対象の矩形基板は、リング状のフレームＦの開口部を塞ぐように貼着されたテープＴの粘着面に貼着され、テープＴを介してフレームＦと一体となった状態で保持されてダイシングされ、そのままの状態でデバイス収容装置に搬送され、個々のデバイスがデバイスケースに収容される（例えば特許文献１参照）。また、リング状のフレームを使用せず、矩形基板と同一形状の保護テープのみを矩形基板の裏面に貼着した状態で個々のデバイスに分割する手法も提案されている（例えば特許文献２参照）。

特開２０００−２３２０８０号公報 特開２０００−２０８４４５号公報

しかしながら、ダイシング装置のほかにデバイス収容装置を設置すると、ほぼ２倍の設置スペースが必要となり、省スペース化を図ることができず、コストが高くなるという問題がある。また、テープを介してフレームと一体となった状態の矩形基板をダイシングすると、ダイシング装置では、ダイシングされる矩形基板より大きなフレームを保持しなければならず、フレームの大きさによりダイシング装置が大型にならざるを得ない。そして、矩形基板がテープを介してフレームと一体となったままの状態でデバイス収容装置に搬送されると、デバイス収容装置においてもフレームを保持しなければならず、デバイス収容装置も大型となり、更には、使用済みのフレームを収容するための領域も確保しなければならず、これも装置の大型化の要因となる。

一方、特許文献２に開示された発明のように、フレームを使用せずに、保護テープを矩形基板の裏面に貼着した状態でダイシングを行う方法もあるが、その場合は、保護テープに貼着されたままの個片化されたデバイスをピックアップしなければならないため、デバイスを確実に剥離させることが困難であるという問題がある。特許文献２に示されているように、ピックアップ前に保護テープの粘着力を低下させておいたとしても、デバイスを確実にピックアップできるとはいいがたい。また、粘着力を低下させるための特別な手段が必要であり、そのための時間も要するため、生産性も低下する。更には、デバイスのピックアップ後に残った保護テープを廃棄するための特別な手段も必要となる。

そこで、本発明が解決しようとする課題は、より小さなスペースで矩形基板を分割し、分割により個片化されて形成されたデバイスをデバイスケースに収容できるようにすると共に、矩形基板の裏面に貼着された保護テープからデバイスを確実かつ効率良くピックアップできるようにすることである。

上記課題を解決するために、本発明は、裏面に保護テープが貼着され複数のデバイスが格子状の分離予定ラインによって区画されて形成された矩形基板を分離予定ラインに沿って分離させて個々のデバイスに分割してデバイスをデバイスケースに収容する矩形基板の分割装置に関し、矩形基板を切削して個々のデバイスに分割する切削担当領域と、裏面に貼着された保護テープを剥離するテープ剥離担当領域と、個々のデバイスをデバイスケースに収容するデバイス収容担当領域とから構成される。切削担当領域は、複数の矩形基板を収容したカセットが載置されるカセットテーブルと、カセットから矩形基板を搬出する搬出手段と、搬出された矩形基板を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された矩形基板を分離予定ラインに沿って切削して個々のデバイスに分割する切削手段と、切削済みの矩形基板を洗浄する洗浄手段とから構成される。テープ剥離担当領域は、切削及び洗浄された矩形基板が仮置きされる仮置きテーブルと、矩形基板を構成する個々のデバイスがピックアップされる際にデバイスが載置されるピックアップテーブルと、矩形基板の裏面に貼着された保護テープを剥離しながら仮置きテーブルからピックアップテーブルにデバイスを移載する機能を有するデバイス移載手段とから構成されるテープ剥離担当領域とから構成される。デバイス収容担当領域は、ピックアップテーブルに移載されたデバイスをピックアップしてデバイスケースに収容するピックアップ手段と、空のデバイスケースを格納する空デバイスケース格納部と、空デバイスケース格納部から空のデバイスケースを取り出しデバイスケースをピックアップ手段によってデバイスを収容できる位置であるデバイス収容位置に位置付けるデバイスケース位置付け手段と、デバイスが収容されたデバイスケースを格納する収容済みデバイスケース格納部とを少なくとも備える。テープ剥離担当領域において、ピックアップテーブルは、第一のテーブルと第二のテーブルとから構成され、第二のテーブルは仮置きテーブルと所定の間隔をおいて配設され、第一のテーブルは仮置きテーブルと第二のテーブルとの間を移動可能に配設され、デバイス移載手段は、仮置きテーブルに載置された矩形基板の不要端部を保護テープと共に把持する把持部と、仮置きテーブルに載置された矩形基板を押圧する押圧ローラと、矩形基板を押圧ローラと仮置きテーブルとの間に押し込み第一のテーブルが仮置きテーブルに接近した位置にある状態で第一のテーブル側に移動させるプッシャと、把持部を少なくとも仮置きテーブルの下方に降下させて矩形基板の裏面から保護テープを剥離する把持部駆動部とから構成され、ピックアップテーブルの上方には、第一のテーブルが第二のテーブルに接近した位置にあり、第一のテーブルにデバイスが載置されている際に、第一のテーブルに載置されているデバイスを第二のテーブルに移動させるデバイス移動手段が配設され、ピックアップ手段は、第二のテーブルに移動したデバイスをピックアップする。

ここで、第一のテーブルと第二のテーブルとは接触していてもよいし、デバイスを移動させることができる程度に離れていても良い。またこの場合、把持部駆動部は、第一のテーブルから離れる方向に移動可能な基部と、基部に軸支されて回動可能な回動部と、回動部の回動をガイドするガイド部材と、回動部に固定され把持部を昇降させる昇降駆動部とから構成されることが望ましい。

仮置きテーブルの下方には、把持部駆動部が矩形基板から剥離した保護テープを収容する保護テープ収容部が配設されていることが望ましい。この場合、第二のテーブルをはさんで第一のテーブルの逆側には、切削済みの矩形基板を構成する端材を収容する端材収容部が配設され、デバイス移動手段は、第一のテーブルに載置されているデバイスを第二のテーブルに向けて押し出して移動させるデバイス押し出し部と、第二のテーブルに残存している端材を押し出して第二のテーブルから該端材収容部に落下させる端材押し出し部とを備えることが望ましい。

上記デバイス収容担当領域において、ピックアップ手段は、ピックアップ対象のデバイスが良品か不良品かを判別する判別部を含み、デバイスケースは、良品のデバイスを収容する良品デバイスケースと、不良品のデバイスを収容する不良品デバイスケースとから構成され、収容済みデバイスケース格納部は、良品デバイスケースを格納する良品デバイスケース格納部と、不良品デバイスケースを格納する不良品デバイスケース格納部とから構成され、上記デバイスケース位置付け手段は、空デバイスケース格納部から空デバイスケースを取り出し空デバイスケースを良品デバイスケースとして良品のデバイスが収容される位置である良品デバイス収容位置に位置付ける良品デバイスケース位置付け手段と、空デバイスケース格納部から空デバイスケースを取り出し空デバイスケースを不良品デバイスケースとして不良品のデバイスが収容される位置である不良品デバイス収容位置に位置付ける不良品デバイスケース位置付け手段とから構成されることが望ましい。

切削領域担当領域には、カセットから搬出された矩形基板の姿勢を矯正する姿勢矯正手段と、姿勢矯正手段によって姿勢が矯正された矩形基板を保持してチャックテーブルに載置する第一の搬送手段と、チャックテーブルに保持された切削済みの矩形基板を洗浄手段に搬送する第二の搬送手段と、洗浄済みの矩形基板を仮置きテーブルに搬送する第三の搬送手段とを備えることが望ましい。また、切削担当領域においては、カセットテーブルには２以上のカセットが載置可能であり、いずれかのカセットに収容された矩形基板が搬出手段により搬出可能となる位置にカセットテーブルを選択的に位置付けるカセット位置付け手段が配設されることが望ましい。

切削担当領域においては、カセットテーブル、搬出手段及び洗浄手段は第一の直線上に配設され、切削手段は第一の直線に直交する第二の直線上に配設され、チャックテーブルは第二の直線上を移動可能に構成され、テープ剥離担当領域においては、仮起きテーブルは、洗浄手段に対して第二の直線に平行な直線上に配設され、仮置きテーブルとピックアップテーブルは第一の直線に平行な直線上に配設され、デバイス収容担当領域においては、空デバイスケース格納部と収容済みデバイスケース格納部は、第一の直線に平行な直線状に配設され、デバイスケース位置付け手段は、空デバイスケース格納部の直下と収容済みデバイスケース格納部の直下とにそれぞれ配設されることが望ましい。

本発明によれば、切削担当領域においては、裏面に保護テープが貼着された矩形基板が切削されて個々のデバイスに分割された後に洗浄され、テープ剥離担当領域においては、デバイスを保護テープから確実、容易かつ効率良く剥離すると共にピックアップテーブルに移載することができ、ピックアップテーブルに移載されたデバイスは、デバイス収容担当領域においてデバイスケースに収容することができる。したがって、１つの装置で切削からデバイスの収容までを行うことができる。特に、保護テープの剥離とデバイスのピックアップテーブルへの移載とを同時に行うことができるため、生産性が極めて高く、また、リング状のフレームを用いる必要もないため、装置の小型化による省スペース化を図ることができる。

また、ピックアップテーブルが第一のテーブルと第二のテーブルとから構成され、第一のテーブルが仮置きテーブルと第二のテーブルとの間を移動可能に配設され、デバイス移載手段が、仮置きテーブルに載置された矩形基板の不要端部を保護テープと共に把持する把持部と、仮置きテーブルに載置された矩形基板を押圧する押圧ローラと、矩形基板を押圧ローラと仮置きテーブルとの間に押し込み第一のテーブルが仮置きテーブルに接近した位置にある状態で第一のテーブル側に移動させるプッシャと、把持部を少なくとも仮置きテーブルの下方に降下させて矩形基板の裏面から保護テープを剥離する把持部駆動部とから構成され、ピックアップテーブルの上方に、第一のテーブルが第二のテーブルに接近した位置にあり第一のテーブルにデバイスが載置されている際に第一のテーブルに載置されているデバイスを第二のテーブルに移動させるデバイス移動手段が配設され、ピックアップ手段が第二のテーブルに移動したデバイスをピックアップする構成とすると、仮置きテーブルに載置されたデバイスは、デバイス移載手段によって保護テープが剥離されながら第一のテーブルに移載され、第一のテーブルに移載されたデバイスは、デバイス移動手段によって第二のテーブルに移動し、第二のテーブルに移動したデバイスがピックアップ手段によってピックアップされてデバイスケースに収容される。第一のテーブルは、仮置きテーブルに近づいたり第二のテーブルに近づいたりすることができるため、第二のテーブルに近づいている間には第一のテーブルと仮置きテーブルとの間に把持部を入り込ませるための十分な隙間を形成することができ、把持部によって矩形基板を構成する不要端部とその裏面に貼着された保護テープを確実に保持することができ、更にその場合はデバイス移動手段による第一のテーブルから第二のテーブルへのデバイスの移動を確実に行うことができる。一方、第一のテーブルが仮置きテーブルに近づいている間には、仮置きテーブルから第一のテーブルへのデバイスの移載を確実に行うことができ、仮置きテーブルと第一のテーブルとを接近させることで、移載時におけるデバイスの破損を防止することができる。

把持部駆動部が、第一のテーブルから離れる方向に移動可能な基部と、基部に軸支されて回動可能な回動部と、回動部の回動をガイドするガイド部材と、回動部に固定され把持部を昇降させる昇降駆動部とから構成されるようにした場合は、把持部が保護テープの端部を把持した状態で基部がデバイスの移動方向と逆の方向に移動すると、ガイド部材にガイドされて回動部が回動し、その状態で基部が第一のテーブルから離れる方向に移動することができる。したがって、基部の移動及び回動部の回動により保護テープを容易に剥離させることができる。

仮置きテーブルの下方に、把持部駆動部が矩形基板から剥離した保護テープを収容する保護テープ収容部が配設されていると、デバイス移載手段によって剥離した保護テープが自動的に保護テープ収容部に収容されるため、保護テープを廃棄するための特別の構造を要しない。したがって、その分だけ省スペース化を図ることができる。また、把持部駆動部が、第一のテーブルから離れる方向に移動可能な基部と、基部に軸支されて回動可能な回動部と、回動部の回動をガイドするガイド部材と、回動部に固定され把持部を昇降させる昇降駆動部とから構成される場合は、保護テープを完全に剥離した後に把持部による保護テープの把持を解除すると、保護テープが自然に落下して保護テープ収容部に収容することができる。

第二のテーブルをはさんで第一のテーブルの逆側に、切削済みの矩形基板を構成する端材を収容する端材収容部が配設され、デバイス移動手段が、第一のテーブルに載置されているデバイスを第二のテーブルに向けて押し出して移動させるデバイス押し出し部と、第二のテーブルに残存している端材を押し出して第二のテーブルから端材収容部に落下させる端材押し出し部とを備えている場合は、デバイス移動手段は、第一のテーブルに載置されているデバイスを第二のテーブルに移動させると同時に、端材を端材収容部に収容させることができるため、効率的であり、端材を端材収容部に収容するための専用の仕組みを必要としないため、省スペース化を図ることができる。

デバイス収容担当領域において、ピックアップ手段が、ピックアップ対象のデバイスが良品か不良品かを判別する判別部を含み、デバイスケースが、良品のデバイスを収容する良品デバイスケースと、不良品のデバイスを収容する不良品デバイスケースとから構成され、収容済みデバイスケース格納部が、良品デバイスケースを格納する良品デバイスケース格納部と不良品デバイスケースを格納する不良品デバイスケース格納部とから構成され、デバイスケース位置付け手段が、空デバイスケース格納部から空デバイスケースを取り出し空デバイスケースを良品デバイスケースとして良品のデバイスが収容される位置である良品デバイス収容位置に位置付ける良品デバイスケース位置付け手段と、空デバイスケース格納部から空デバイスケースを取り出し空デバイスケースを不良品デバイスケースとして不良品のデバイスが収容される位置である不良品デバイス収容位置に位置付ける不良品デバイスケース位置付け手段とから構成されるようにすると、判別部は、ピックアップ時にデバイスが良品か不良品かを判別できるため、生産性を低下させることがない。また、判別部における判別結果に基づいて良品のデバイスと不良品のデバイスとを分けて別々のデバイスケースに収容することができるため、後の工程において良品か不良品かを判別する必要がなくなる。

切削領域担当領域に、カセットから搬出された矩形基板の姿勢を矯正する姿勢矯正手段と、姿勢矯正手段によって姿勢が矯正された矩形基板を保持してチャックテーブルに載置する第一の搬送手段と、チャックテーブルに保持された切削済みの矩形基板を洗浄手段に搬送する第二の搬送手段と、洗浄済みの矩形基板を仮置きテーブルに搬送する第三の搬送手段とを備えた場合は、カセット内における矩形基板の収容位置や収容向きにばらつきがあっても、姿勢矯正手段によって矩形基板の位置、方向が一定となり、その状態でチャックテーブルに搬送されて切削されるため、切削を円滑かつ正確に行うことができる。また、切削後は切削済みの矩形基板を洗浄手段に搬送し、洗浄後は洗浄済みの矩形基板を仮置きテーブルに搬送することができるため、矩形基板をテープ剥離担当領域に円滑に搬送することができる。

切削担当領域において、カセットテーブルに２以上のカセットが載置可能であり、いずれかのカセットに収容された矩形基板が搬出手段により搬出可能となる位置にカセットテーブルを選択的に位置付けるカセット位置付け手段が配設されている場合は、複数のカセットをカセットテーブルに載置しておくと、それぞれのカセットに収容された矩形基板を次々と搬出して切削することができるため、効率的であり、また、複数のカセットをまとめてカセットテーブルに載置しておくことができるため、作業が簡略化される。

切削担当領域において、カセットテーブル、搬出手段及び洗浄手段が第一の直線上に配設され、切削手段が第一の直線に直交する第二の直線上に配設され、チャックテーブルが第二の直線上を移動可能に構成され、テープ剥離担当領域において、仮起きテーブルが洗浄手段に対して第二の直線に平行な直線上に配設され、仮置きテーブルとピックアップテーブルが第一の直線に平行な直線上に配設され、デバイス収容担当領域において、空デバイスケース格納部と収容済みデバイスケース格納部が、第一の直線に平行な直線状に配設され、デバイスケース位置付け手段が、空デバイスケース格納部の直下と収容済みデバイスケース格納部の直下とにそれぞれ配設されると、切削担当領域、テープ剥離担当領域、デバイス収容担当領域のいずれにおいても、矩形基板の動きに無駄がなく、また、各担当領域間の移動においても無駄がないため、装置の小型化による省スペース化を図ることができると共に、効率的である。

図１に示す分割装置１においては、例えば図２に示す矩形基板５に格子状に形成された分離予定ライン５０を切削して分離させることができる。図２に示した矩形基板５は、分離予定ライン５０によって区画されてデバイスが形成されており、デバイスは、図示の例では第１デバイス列Ｄ１から第８デバイス列Ｄ８により構成されており、各デバイス列は３つのデバイスと両端の２つの端材５１により構成されている。また、第１デバイス列Ｄ１及び第８デバイス列Ｄ８よりも外周側には不要端部５２が形成されている。端材５１及び不要端部５２は、最終的には廃棄されるものである。矩形基板５の裏面には、デバイス保護用の保護テープＴが貼着されている。図１に示した分割装置１を用いて分離予定ライン５０を分離させることにより、矩形基板５を個々のデバイスに分割することができる。また、分割装置１では、個々のデバイスを、後述するデバイスケースに収容することもできる。矩形基板５としては、例えばＣＳＰ、ガラス基板等がある。

分割装置１は、図１に示すように、裏面に保護テープＴが貼着された矩形基板５を縦横に切削して個々のデバイスに分割する切削担当領域２と、矩形基板５から保護テープＴを剥離するテープ剥離担当領域３と、個々のデバイスをデバイスケースに収容するデバイス収容担当領域４とから構成される。

切削担当領域２には、複数の矩形基板を収容したカセットが載置されるカセットテーブル２０と、カセット２０から矩形基板を搬出する搬出手段２１と、回転ベース２２ａの上面に固定され搬出された矩形基板を保持すると共に回転可能なチャックテーブル２２と、チャックテーブル２２に保持された矩形基板を分離予定ライン５０に沿って切削して個々のデバイスに分割する切削手段２３と、切削済みの矩形基板を洗浄する洗浄手段２４とを少なくとも備えており、切削担当領域２では、矩形基板の切削によるダイシング及び切削後の矩形基板の洗浄が行われる。

搬出手段２１はＹ軸方向に移動可能であり、矩形基板５の端部を挟持する挟持部２１０を有している。また、カセットテーブル２０は後述するカセット位置付け手段２００と共にＺ軸方向に昇降可能となっており、２以上のカセットを載置可能であり、図示の例では複数のカセットＣ１、Ｃ２を載置可能となっている。これに対応して、カセットテーブル２０の下方には、いずれかのカセットに収容された矩形基板が搬出手段２１により搬出可能となる位置、具体的には、搬出手段２１の移動経路の＋Ｙ方向の延長線上にカセットテーブル２０を選択的に位置付けるカセット位置付け手段２００が配設され、カセットテーブル２０はＸ軸方向にも移動可能となっている。これにより、それぞれのカセットに格納された矩形基板を次々と効率良く搬出することができる。

図３に示すように、チャックテーブル２２の上方であってカセットテーブル２０と搬出手段２１との間には、Ｙ軸方向に長尺で断面がＬ字型の２つの開閉部材２５０が対向して構成される姿勢矯正手段２５が配設されている。２つの開閉部材２５０は、底部２５０ａと側部２５０ｂとから構成され、互いが近づく方向または離れる方向に移動し、近づいた状態において閉状態を形成し、離れた状態において第一の開状態と第二の開状態を形成する。カセットＣ１またはカセットＣ２から矩形基板を搬出する際には姿勢矯正手段２５が第一の開状態となっており、搬出された矩形基板は２つの底部２５０ａの上に載置される。すなわち、第一の開状態は、矩形基板を搬出できる程度に開いており、かつ、矩形基板が下方に落下しない程度に開いた状態である。一方、第二の開状態とは、矩形基板が２つの開閉部材の間を垂直方向に移動できるほどに開いた状態である。２つの開閉部材２５０が近づいて閉状態となることにより、矩形基板の姿勢が矯正され、一定の位置に位置合わせされ、一定の方向を向くようになる。

カセットテーブル２０が所定の高さに位置付けられると、搬出手段２１が＋Ｙ方向に移動し、挟持部２１０によってカセットＣ１またはカセットＣ２に収容された矩形基板を把持する。そして、開閉部材２５０が第一の開状態となった状態で、搬出手段２１がーＹ方向に移動すると、矩形基板５が裏面に貼着された保護テープＴと共に開閉部材２５０の底部２５０ａの上をスライドし、矩形基板５がチャックテーブル２２の真上の位置まで移動すると、搬出手段２１の移動を停止させると共に挟持部２１０による挟持状態を解除し、矩形基板５を２つの底部２５０ａの上に載置する。そして、開閉部材２５０が近づいて閉状態となり、矩形基板５の姿勢が矯正される。

チャックテーブル２２の真上には、第一の搬送手段２６が配設されている。第一の搬送手段２６には、吸引源に連通した複数の吸着パッド２６０ａが下部に固定された保持部２６０を備えており、矩形基板５が底部２５０ａの上に載置されると、保持部２６０が下降して矩形基板５の表面が吸着パッド２６０ａによって吸着される。そして、２つの開閉部材２５０を第一の開状態とした後に、矩形基板５を吸着した状態で保持部２６０が上昇して矩形基板５が持ち上げると共に、次に２つの開閉部材２５０を第二の開状態として保持部２６０を下降させて矩形基板５をチャックテーブル２２に載置し、吸着パッド２６０ａによる吸着を解除すると、矩形基板５の裏面に貼着された保護テープＴがチャックテーブル２２に吸引保持され、矩形基板５もチャックテーブル２２によって保持される。

チャックテーブル２２は回転可能であると共にＸ軸方向に移動可能となっており、チャックテーブル２２の移動経路の上方には、矩形基板に形成された分離予定ライン５０（図２参照）を検出するアライメント手段２７が配設されている。チャックテーブル２２において矩形基板５が保持されると、チャックテーブル２２が＋Ｘ方向に移動して矩形基板５がアライメント手段２７の直下に位置付けられる。アライメント手段２７には撮像部２７０を備えており、アライメント手段２７においては、撮像部２７０がＹ軸方向に移動しながら取得した画像と予め記憶された画像とのパターンマッチング等によって分離予定ライン５０を検出する。

図１に示したように、アライメント手段２７よりも＋Ｘ方向側には、高速回転する切削ブレード２３０を備えＹ軸方向及びＺ軸方向に移動可能な切削手段２３が配設されている。切削手段２３は撮像部２７０と一体に形成されており、また、撮像部２７０の＋Ｘ方向の延長線上に切削ブレード２３０が位置しており、アライメント手段２７によって分離予定ラインが検出された時に、その分離予定ラインと切削ブレード２３０とのＹ軸方向の位置合わせが自動的になされる。

こうして、切削しようとする分離予定ラインと切削ブレード２３０とのＹ軸方向の位置合わせが行われると、次に、チャックテーブル２２に保持された矩形基板５が＋Ｘ方向に移動すると共に、切削ブレード２３０が高速回転しながら切削手段２３が下降し、高速回転する切削ブレード２３０が検出された分離予定ラインに切り込み、当該分離予定ラインが切削されて分離される。また、チャックテーブル２２がＸ軸方向に往復移動すると共に切削手段２３を隣り合う分離予定ラインの幅ずつＹ軸方向に割り出し送りしながら順次分離予定ラインを切削していくと、同方向の分離予定ラインがすべて切削されて分離される。更に、チャックテーブル２２を９０度回転させて矩形基板５を９０度回転させた後に上記と同様の切削を行うと、すべての分離予定ラインが分離されて個々のデバイスに分割される。こうして矩形基板５がデバイスに分離された後は、チャックテーブル２２が図１及び図３に示した元の位置（以下、「着脱位置」という）に戻る。

図４において拡大して示すように、洗浄手段２４の上方には、切削後の矩形基板を洗浄手段２４に搬送する第二の搬送手段２８が配設されている。第二の搬送手段２８は、Ｙ軸方向に移動可能なアーム部２８０とアーム部２８０の先端部に昇降可能に取り付けられた吸着板２８１とから構成されている。図１及び図３に示したチャックテーブル２２に保持され個々のデバイスに分割済みの矩形基板５が着脱位置に戻ると、矩形基板５の吸引が解除されると共に、第二の搬送手段２８を構成する吸着板２８１が下降して矩形基板５を吸着し、その状態でアーム部２８０が−Ｙ方向に移動することにより、矩形基板５が洗浄手段２４の直上に移動する。この際、開閉部材２５０は第二の開状態となっており、吸着板２８１の昇降を許容する。

洗浄手段２４には、回転ベース２４０ａの上面に固定され被洗浄物を保持して回転可能なスピンナーテーブル２４０と、洗浄水を噴出する洗浄水ノズル及びエアーを噴出するエアーノズル（共に図示せず）とを備えている。切削済みの矩形基板５が洗浄手段２４の直上まで移動すると、吸着板２８１が下降し矩形基板５をスピンナーテーブル２４０に載置し、吸着を解除して矩形基板５をスピンナーテーブル２４０に載置する。そして、回転するスピンナーテーブル２４０に保持された矩形基板５に洗浄水ノズルから洗浄水が噴出されて切削屑が除去され、洗浄が行われて洗浄が終了した後に、エアーノズルからエアーが噴出されて洗浄水が除去され乾燥される。

切削担当領域２において、洗浄手段２４の近傍（図４の例では−Ｙ方向側）には、Ｘ軸方向に移動可能なアーム部２９０とアーム部２９０の先端部に昇降可能に取り付けられた吸着板２９１とからなる第三の搬送手段２９が配設されている。矩形基板５の洗浄後は、第三の搬送手段２９を構成する吸着板２９１が矩形基板５の直上に位置付けられ、吸着板２９１が下降して矩形基板５の表面側を吸着する。そして、矩形基板５を吸着した状態で吸着板２９１が上昇し、アーム部２９０がＸ方向に移動することにより、矩形基板５が洗浄手段２４から搬出され、切削担当領域２からテープ剥離担当領域３へと移動していく。

図４に示した第二の搬送手段２８を構成する吸着板２８１及び第三の搬送手段２９を構成する吸着板２９１としては、図５に示すベルヌーイパッド２８２を用いることができる。このベルヌーイパッド２８２は、エアーを円錐状に噴出することにより生じる負圧によって矩形基板５を保持することができるものである。

ベルヌーイパッド２８２は、内部にエアー流通路２８２ａが形成された本体部２８２ｂと、エアー流通路２８２ａに連通するノズル部２８２ｃが形成された接触保持部材２８２ｄとを備えている。外部からエアー流通路２８２ａに供給されたエアーは、ノズル部２８２ｃを通って接触保持部材２８２ｄの先端部側面から噴出される。接触保持部材２８２ｄは、例えばゴムパッド等の弾性部材により構成される。

こうしてエアーが噴出した状態で矩形基板５が接近すると、負圧発生部２８２ｅに生じた負圧によって矩形基板５が引き寄せられて保持される。このとき、接触保持部材２８２ｄが矩形基板５に接触するため、切削済みで溝が形成されている矩形基板であっても、安定的に保持することができる。

図６において拡大して示すように、テープ剥離担当領域３には、切削担当領域２において切削及び洗浄された矩形基板５が仮置きされる仮置きテーブル３０と、デバイスが載置されてピックアップされるテーブルであるピックアップテーブル３１と、矩形基板５の裏面に貼着された保護テープＴを剥離しながら仮置きテーブル３０からピックアップテーブル３１にデバイスを移載するデバイス移載手段３２とを備えている。

仮置きテーブル３０の上方には、保護テープＴが貼着された切削済みの矩形基板５を＋Ｙ方向に移動させるプッシャ３２０が配設されている。また、プッシャ３２０よりも＋Ｙ方向側には、仮置きテーブル３０に載置された矩形基板５を上方から押圧して仮置きテーブル３０との間で挟み込む押圧ローラ３２１が配設されている。

図示の例では、ピックアップテーブル３１は、第一のテーブル３１０と第二のテーブル３１１とから構成されている。第一のテーブル３１０は、仮置きテーブル３０と第二のテーブル３１１との間の領域をＹ軸方向に移動可能に配設され、仮置きテーブル３０に近づいたり第二のテーブル３１１に近づいたりすることができる。また、第二のテーブル３１１は仮置きテーブル３０の間で所定の間隔をおいて配設されている。ピックアップテーブル３１の上方には、第一のテーブル３１０に載置されているデバイスを第二のテーブル３１１に移動させるデバイス移動手段３３が配設されている。また、第二のテーブル３１１よりも＋Ｙ方向側の下方には、ダイシングされた矩形基板の外周にある端材を収容する端材収容部３４が配設されている。更に、仮置きテーブル３０の下方には、廃棄する保護テープを収容する保護テープ収容部３５が配設されている。

デバイス移動手段３３は、Ｙ軸方向に水平移動する水平移動部３３０と、水平移動部３３０によってＺ軸方向に昇降可能に支持された昇降部３３１と、昇降部３３１の先端に固定され第一のテーブル３１０の上または第二のテーブル３１１の上においてデバイスや端材を摺動させて＋Ｙ方向に押し出す押し出し部３３２とから構成されており、押し出し部３３２は、第一のテーブル３１０に載置されているデバイスを＋Ｙ方向に押し出して第二のテーブル３１１に移動させるデバイス押し出し部３３２ａと、第二のテーブル３１１に残存している端材を端材収容部３４に廃棄する端材押し出し部３３２ｂとを有している。図示の例では、押し出し部３３２は、中心部が開口した四角形状に形成されており、−Ｙ方向側の一辺がデバイス押し出し部３３２ａ、デバイス押し出し部３３２ａに対向する一辺が端材押し出し部３３２ｂを構成している。

図７に示すように、仮置きテーブル３０と第一のテーブル３１０との間には、矩形基板５の不要端部を把持できる把持部３２２が配設されており、把持部３２２は仮置きテーブル３０の下方に配設された把持部駆動部３２３によって仮置きテーブル３０の下方に下降可能となっている。また、第一のテーブル３１０は、第二のテーブル３１１の下部に固定された駆動部３１１ａによってＹ軸方向に移動可能となっている。

図７の例における把持部駆動部３２３は、Ｙ軸方向に配設されたボールネジ３２３ａと、ボールネジ３２３ａを回動させるモータ３２３ｂと、内部のナットがボールネジ３２３ａに螺合してボールネジ３２３ａの回動に伴ってＹ軸方向に移動する基部３２３ｃと、基部３２３ｃに軸支されて回動可能な回動部３２３ｄと、回動部３２３ｄの回動をガイドするガイド部材３２３ｅと、回動部３２３ｄに固定され把持部３２２を昇降させる昇降駆動部３２３ｆとから構成される。昇降駆動部３２３ｆは、例えばエアピストンにより構成される。

把持部３２２は、仮置きテーブル３０と第一のテーブル３１０との間にできた空間に上昇し、回動部３２３ｄの端面３２３ｇとの間で仮置きテーブル３０に載置された矩形基板の端部を保護テープＴと共に挟持することができる。回動部３２３ｄの外側面３２３ｈと基部３２３ｃの斜面３２３ｉとの間には圧縮ばね３２４が介在しており、通常の状態では回動部３２３ｄが起立するように付勢されている。また、基部３２３ｃの外側面にはローラ支持部３２３ｊが固定され、ローラ支持部３２３ｊはテープ脱落用ローラ３２３ｋを軸支している。

回動部３２３ｄにはＸ軸方向に延びるガイドピン３２３ｍを備えており、このガイドピン３２３ｍは、ガイド部材３２３ｅによって支持され、ガイド部材３２３ｅの上を摺動可能となっている。ガイド部材３２３ｅは、斜面と水平面とを有しており、モータ３２３ｂの駆動によりボールネジ３２３ａが回動することにより基部３２３ｃがーＹ方向に移動すると、最初はガイドピン３２３ｍがガイド部材３２３ｅの斜面に沿って上昇しながら摺動するため、これに伴い回動部３２３ｄが徐々に反時計回りに回動して傾いていく。そして、ガイドピン３２３ｍがガイド部材３２３ｅの水平面の上を摺動するようになると、図８に示すように、回動部３２３ｄは、傾いた状態を維持しながら−Ｙ方向に水平移動するようになる。

図６に示したように仮置きテーブル３０に切削済みの矩形基板５が載置されると、プッシャ３２０が＋Ｙ方向に移動することにより矩形基板５が＋Ｙ方向に移動し、図９に示すように、矩形基板５が押圧ローラ３２１と仮置きテーブル３０との間に入り込む。そして更に矩形基板５がプッシャ３２０によって同方向に押されると、図９に示すように、矩形基板５の外周の不要端部５２が保護テープＴと共に把持部３２２と回動部３２３ｄの端面３２３ｇとの間に押し込まれ、昇降駆動部３２３ｆの駆動によって不要端部５２が保護テープＴと共に挟持される。

次に、図９に示したように不要端部５２が保護テープＴと共に把持部３２２と回動部３２３ｄの端面３２３ｇによって挟持された状態で、モータ３２３ｂの駆動により基部３２３ｃをーＹ方向に移動させていく。そうすると、ガイドピン３２３ｍがガイド部材３２３ｅの斜面を摺動しながら回動部３２３ｄが徐々に反時計回りに回動して傾斜していき、不要端部５２に隣接する第１デバイス列Ｄ１は押圧ローラ３２１によって押し付けられているため、不要端部５２のみが保護テープＴと共に下方に引っ張られる。このとき、プッシャ３２０によって矩形基板５を＋Ｙ方向に押し出すと共に保護テープＴが引っ張られることにより、すべてのデバイスが仮置きテーブル３０上を＋Ｙ方向に移動する。

そして、不要端部５２が仮置きテーブル３０より下方に下がり、不要端部５２に隣接していた第１デバイス列Ｄ１が仮置きテーブル３０の端部付近まで移動すると、図１０において二点鎖線で示すように、第一のテーブル３１０が仮置きテーブル３０に近づき、保護テープＴの厚さより若干大きい隙間を残して第一のテーブル３１０が仮置きテーブル３０に接近する。その状態で更に基部３２３ｃがーＹ方向に移動すると、保護テープＴは下方に引っ張られて行くが、不要端部５２に隣接していた第１デバイス列Ｄ１は、図１１に示すように、下方に引っ張られずに第一のテーブル３１０に移載されていく。こうして第１デバイス列Ｄ１のみが第一のテーブル３１０に移載される。

第１デバイス列Ｄ１が第一のテーブル３１０に移載されると、図１２に示すように、第一のテーブル３１０が＋Ｙ方向に移動して第二のテーブル３１１に近づき、次に、デバイス移動手段３３を構成する押し出し部３３２が下降し、押し出し部３３２が第一のテーブル３１０上を＋Ｙ方向にスライドすることにより、押し出し部３３２を構成するデバイス移動部押し出し部３３２ａが第１デバイス列Ｄ１を＋Ｙ方向に押し込み、図１３に示すように、第１デバイス列Ｄ１を第一のテーブル３１０から第二のテーブル３１１に移載する。このように、把持部３２２と押圧ローラ３２１とプッシャ３２０と把持部駆動部３２３とが協働して、デバイス列をピックアップテーブル３１に移載するデバイス移載手段３２を構成する。

第１デバイス列Ｄ１が第二のテーブル３１１に移載されると、後述するように、第二のテーブル３１１に移載された第１デバイス列Ｄ１を構成するデバイスは、個々にピックアップされ、デバイスケースに収容されていく。しかし、デバイスがピックアップされた後も、図２に示した端材５１は、そのまま第二のテーブル３１１に残される。次に、図１４に示すように、第一のテーブル３１０が−Ｙ方向に移動して仮置きテーブル３０に近づく。そしてその後、プッシャ３２０によって第１デバイス列Ｄ１が離脱した切削後の矩形基板５が更に＋Ｙ方向に押されてスライドすると共に、基部３２３ｃが更に−Ｙ方向に移動することにより、第２デバイス列Ｄ２が第一のテーブル３１０に載置される。そしてその後は、図１２及び図１３に示したのと同様に、第二のテーブル３１１に移載される。この際に、端材５１は押し出し部３３２の端材押し出し部３３２ｂによって端材収容部３４に収容される。

図１５に拡大して示すように、デバイス収容担当領域４には、ピックアップテーブルに移載されたデバイスをピックアップしてデバイスケースに収容するピックアップ手段４０と、空デバイスケース６を格納する空デバイスケース格納部４１と、空デバイスケース格納部４１から空デバイスケース６を取り出しピックアップ手段４０によってピックアップされたデバイスを収容できる位置であるデバイス収容位置に位置付けるデバイスケース位置付け手段４２と、デバイスが収容されたデバイスケースを格納する収容済みデバイスケース格納部４３とを少なくとも備えている。図示の例では、収容済みデバイスケース格納部４３は、良品のデバイスが収容された良品デバイスケース７を格納する良品デバイスケース格納部４３０と、不良品のデバイスケースが収容された不良品デバイスケース８を格納する不良品デバイスケース格納部４３１とから構成される。空デバイスケース格納部４１、良品デバイスケース格納部４３０、不良品デバイスケース格納部４３１は、それぞれデバイスケースを垂直方向に重ねて複数格納することができる。

ピックアップ手段４０は、支持部４０１の下面側において支持部４０２がＸ軸方向に移動可能に配設され、支持部４０２は吸着部４０３を昇降可能に支持している。また、支持部４０１の下面側には、デバイスを撮像して良品か不良品かを判別する判別部４０４を備えている。

空デバイスケース格納部４１、良品デバイスケース格納部４３０、不良品デバイスケース格納部４３１のそれぞれの直下には、第一の昇降板４２０、第二の昇降板４２１、第二の昇降板４２２がそれぞれ配設されている。第一の昇降板４２０、第二の昇降板４２１、第三の昇降板４２２にはデバイスケースを載置することができる。また、第一の昇降板４２０、第二の昇降板４２１、第三の昇降板４２２の上方にはＹ軸方向に平行移動可能な第一のケース枠４２３、第二のケース枠４２４が配設されている。第一のケース枠４２３と第二のケース枠４２４とはその高さを異にしており、それぞれがＹ軸方向に移動可能であり、移動した際に互いが接触することはない。第一の昇降板４２０と第二の昇降板４２１と第三の昇降板４２２と第一のケース枠４２３と第二のケース枠４２４とが有機的に動作することにより、デバイスケースがデバイス収容位置に位置付けられ、デバイスケース位置付け手段４２を構成する。

空デバイスケース格納部４１に格納された複数の空デバイスケース６のうち、最も下に格納されたものは、第一の突出片４１０によって支持されて落下しないようになっており、これによってその上方のデバイスケースも支持されている。第一の突出片４１０は出没自在となっており、没入時には空デバイスケース６の支持状態が解除される。良品デバイスケース格納部４３０及び不良品デバイスケース格納部４３１にも、同様の機能を有する第二の突出片４３０ａ、第三の突出片４３１ａがそれぞれ配設されている。

図１４に示したように、ピックアップテーブル３１を構成する第二のテーブル３１１に第１デバイス列Ｄ１が載置された後は、空デバイスケース格納部４１の最下部に格納された空デバイスケースを取り出し、デバイスを収容できる位置（デバイス収容位置）に移動させる。以下では、空デバイスケース格納部４１から２つのデバイスケースを取り出し、そのうちの１つを良品デバイスケースとし、もう１つを不良品デバイスケースとする場合について説明する。

最初に、図１６（Ａ）に示すように、空デバイスケース格納部４１の直下であって第一の昇降板４２０の直上に第一のケース枠４２３を位置付ける。そして、第一のケース枠４２３の内部を通って第一の昇降板４２０を上昇させ、図１６（Ｂ）に示すように、第一の昇降板４２０を最下部の空デバイスケース６ａの下面に密着させて支持し、第一の突出片４１０による支持状態を解除させ、その状態で第一の昇降板４２０を下降させると、最下部の空デバイスケース６ａもいっしょに下降して取り出すことができる。そして、第一の突出片４１０を突出させて最下部の空デバイスケース６ａの直上の空デバイスケース６ｂを支持させると共に、更に第一の昇降板４１０を下降させると、図１６（Ｃ）に示すように、取り出した空デバイスケース６ａは、第一のケース枠４２３に収容される。こうして第一のケース枠４２３に収容された空デバイスケース６ａが良品デバイスケースとなる。

空デバイスケース６ａが収容された第一のケース枠４２３をＹ軸方向に移動させることにより、空デバイスケース６ａを良品デバイス収容位置に位置付けることができる。例えば図１７（Ａ）に示すように、第一のケース枠４２３をーＹ方向に移動させて、良品デバイスケース格納部４３０の直下に位置付け、この位置で良品デバイスケース６ａへのデバイスの収容を行う場合は、この位置が良品デバイス収容位置となる。このように、第一の昇降板４２０及び第一のケース枠４２３が、空デバイスケース格納部４１から空デバイスケースを取り出し空デバイスケースを良品デバイスケースとして良品のデバイスが収容される位置である良品デバイス収容位置に位置付ける良品デバイスケース位置付け手段として機能する。なお、良品デバイス収容位置は、ピックアップ手段４０を構成する吸着部４０３が移動可能な位置であり、かつ、後述する不良品デバイス収容位置と重ならない位置であれば、図示の例の位置には限られない。

また、空デバイスケース格納部４１から別の空デバイスケース６ｂを取り出して不良品デバイスケースとする。不良品デバイスケースは第二のケース枠４２４に収容する。図１７（Ａ）に示すように、空デバイスケース６ａを良品デバイス収容位置に位置させたまま、第二のケース枠４２４を＋Ｙ方向に移動させて空デバイスケース格納部４１の直下に位置付けた後に、第一の昇降板４２０を上昇させて空デバイスケース６ｂを支持する。そして、第一の突出片４１０を没入させて最下部の空デバイスケース６ｂを取り出し、第一の昇降板４２０が空デバイスケース６ｂを支持した状態で第一の昇降板４２０を下降させると、図１７（Ｂ）に示すように、空デバイスケース６ｂが第二のケース枠４２４に収容される。こうして第二のケース枠４２４に収容された空デバイスケース６ｂが不良品デバイスケースとなる。次に、第二のケース枠４２４が−Ｙ方向に移動することにより、図１７（Ｃ）に示すように、不良品デバイスケース６ｂを、良品デバイスケース６ａと重ならない位置に移動させることができる。この状態では、良品のデバイスを良品デバイスケース６ａに収容することができる。このように、第一の昇降板４２０及び第二のケース枠４２４が、空デバイスケース格納部４１から空デバイスケースを取り出し空デバイスケースを不良品デバイスケースとして不良品のデバイスが収容される位置である不良品デバイス収容位置に位置付ける不良品デバイスケース位置付け手段として機能する。なお、不良品デバイス収容位置は、ピックアップ手段４０を構成する吸着部４０３が移動可能な位置であればよい。本例におけるデバイス収容位置は、良品デバイス収容位置の直上である。

このようにして良品デバイス収容位置に良品デバイスケース６ａが位置すると、図１８に示すように、ピックアップ手段４０を構成する支持部４０２が＋Ｘ方向に移動し、更に吸着部４０３が下降して第１デバイス列Ｄ１を構成するデバイスを１つずつ吸着する。このとき、吸着の前に、判別部４０４によってデバイスを撮像し、良品か不良品かを判断する。このタイミングで良品か不良品かを判別すると、生産性を低下させることがない。なお、第１デバイス列Ｄ１の両端には２つの端材５１（図２参照）があり、これらの端材５１はピックアップされない。

ピックアップ対象のデバイスが良品であると判断した場合は、吸着部４０３がデバイスを吸着した状態で支持部４０２を−Ｘ方向に移動させ、吸着したデバイスを良品デバイスケース６ａの所定の空き領域の直上に位置付け、吸着部４０３を下降させると共に吸着を解除してその空き領域に良品のデバイスを収容する。一方、ピックアップ対象のデバイスが不良品であると判断した場合は、第二のケース枠４２４が＋Ｙ方向に移動して不良品デバイスケース６ｂが不良品デバイス収容位置に位置付けられると共に支持部４０２が−Ｘ方向に移動し、吸着部４０３を不良品デバイスケース６ｂの所定の空き領域の直上に位置付け、吸着部４０３を下降させると共に吸着を解除してその空き領域に不良品のデバイスを収容する。良品デバイスケース６ａ、不良品デバイスケース６ｂは、空き領域へのデバイスの収容状況に応じて適宜Ｙ軸方向に移動させる。このようにして、第１デバイス列Ｄ１を構成する個々のデバイスが、良品デバイスケース６ａまたは不良品デバイスケース６ｂのいずれかに順次収容されていく。なお、ピックアップ手段４０がＹ軸方向に移動できる構成としてもよい。

一方、第二のテーブル３１１に載置されたままの端材５１は、第二のテーブル３１１よりも＋Ｙ方向側にある端材収容部３４に廃棄される。その仕組みを図１９に示す。図１４に示したように、第１デバイス列Ｄ１が第二のテーブル３１１に移載されると、その次の第２デバイス列Ｄ２から保護テープＴが剥離されて第一のテーブル３１０に載置された状態となる。そして、第１デバイス列Ｄ１を構成するすべてのデバイスがピックアップされて良品デバイスケース６ａまたは不良品デバイスケース６ｂに収容されると、次に、第一のテーブル３１０に載置された第２デバイス列Ｄ２を第二のテーブル３１１に移載する作業を行う。この作業は、図１２及び図１３に示したのと同様に、第一のテーブル３１０を第二のテーブル３１１に接近させてから、押し出し部３３２を＋Ｙ方向に移動させてデバイス押し出し部３３２ａが第２デバイス列Ｄ２を押し込むことにより行われるが、このとき、図１９に示すように、押し出し部３３２を構成する端材押し出し部３３２ｂが第１デバイス列Ｄ１を構成していた端材５１を＋Ｙ方向に押し込むため、第２デバイス列Ｄ２を第一のテーブル３１０から第二のテーブル３１１に移載する作業と同時に、第１デバイス列Ｄ１を構成していた端材５１を端材押し出し部３３２ｂよって＋Ｙ方向に押し出し、下方に落下させて端材収容部３４に収容することができる。したがって、極めて効率的であり、また、端材５１を端材収容部３４に収容させるための専用の仕組みを設ける必要もない。

このようにして、新たにピックアップしようとするデバイスで構成されるデバイス列を第一のテーブル３１０から第二のテーブル３１１に移載すると共に、ピックアップの終わったデバイス列を構成していた端材の廃棄を同時に行いながら、図１８に示したように、ピックアップ手段４０によって順次デバイスをピックアップしてデバイスケースに収容していく。そして、良品デバイスケース６ａのすべての領域に良品のデバイスが収容された場合は、図２０（Ａ）に示すように、不良品デバイスケース６ｂが良品デバイスケース６ａに重ならない位置に移動させた後に、第二の昇降板４２１が上昇し、第二の突出片４３０ａを没入させて良品デバイスケース６ａを良品デバイスケース格納部４３０に格納する。次に、図２０（Ｂ）に示すように、第二の昇降板４２１が下降して元の位置に戻ると共に、第１のケース枠４２３を空デバイスケース格納部４１の直下に移動させた後に、第一の昇降板４２０を上昇させて空デバイスケース格納部４１から新たに空デバイスケース６ｃを取り出す。そして、第一の昇降板４２０を下降させると、取り出した空デバイスケース６ｃが第１のケース枠４２３に収容される。以降の動作は図１６及び図１７と同様である。不良品デバイスケース６ｂのすべての領域スロットに不良品のデバイスが収容された場合も、その不良品デバイスケース６ｂを不良品デバイスケース格納部４３１に格納すると共に、空デバイスケース格納部４１から新たに別の空デバイスケースを取り出して第二のケース枠４２４に収容する。

図２１に示すように、最後のデバイス列である第８デバイス列Ｄ８が保護テープＴから剥離されると、第８デバイス列Ｄ８が第一のテーブル３１０に移載される。そして更に基部３２３ｃが−Ｙ方向に移動すると、保護テープＴのうち、把持部３２２によって挟持されている部分以外については、第８デバイス列Ｄ８に隣接する不要端部５２と共に下方に落下する。そして、図２２に示すように、把持部３２２を上昇させて挟持状態を解除すると、保護テープＴが両端の不要端部５２と共に下方に落下する。必要であれば、テープ脱落用ローラ３２３ｋを反時計回りに回転させることにより、保護テープＴ及びその両端に貼着された不要端部５２を確実に落下させることができる。そして、デバイス移載手段３２の下方には保護テープ収容部３５が配設されているため、落下した保護テープＴは、保護テープ収容部３５に収容される。

以上説明したように、分割装置１では、切削担当領域２において、裏面に保護テープＴが貼着された矩形基板５が切削されて個々のデバイスに分割された後に洗浄され、テープ剥離担当領域３においては、デバイスを保護テープＴから確実、容易かつ効率良く剥離すると共にピックアップテーブルに移載することができ、ピックアップテーブル３１に移載されたデバイスは、デバイス収容担当領域４においてデバイスケースに収容することができる。したがって、１つの装置で切削からデバイスの収容までを行うことができる。また、保護テープＴの剥離とデバイスのピックアップテーブル３１への移載とを同時に行うことができるため、生産性が極めて高く、また、リング状のフレームを用いる必要もないため、装置の小型化による省スペース化を図ることができる。

図１に示すように、切削担当領域２においては、カセットテーブル２０、搬出手段２１及び洗浄手段２４が第一の直線１０上に配設され、切削手段２３が第一の直線１０に直交する第二の直線１１上に配設され、チャックテーブル２２が第二の直線１１上を移動可能に構成されている。すなわち、カセットテーブル２０、搬出手段２１及び洗浄手段２４は、Ｙ軸方向の延長線上に配設され、切削手段２３チャックテーブル２２はＸ軸方向の延長線上に配設されている。

また、テープ剥離担当領域３においては、仮起きテーブル３０が洗浄手段２４に対して第二の直線１１に平行な直線上に配設され、仮置きテーブル３０とピックアップテーブル１１が第一の直線１０に平行な直線上に配設されている。すなわち、仮置きテーブル３０は洗浄手段２４のＸ軸方向の延長線上に配設され、ピックアップテーブル３１は、仮置きテーブル３０のＹ軸方向の延長線上に配設されている。

更に、デバイス収容担当領域４においては、空デバイスケース格納部４１と収容済みデバイスケース格納部４３が第一の直線に平行な直線上に配設され、デバイスケース位置付け手段４２が空デバイスケース格納部４１の直下と収容済みデバイスケース格納部４３の直下とにそれぞれ配設されている。すなわち、空デバイスケース格納部４１と収容済みデバイスケース格納部４３はＹ軸方向の延長線上に配設され、デバイスケース位置付け手段４２は空デバイスケース格納部４１及び収容済みデバイスケース格納部４３のＺ軸方向の延長線上に配設されている。

上記のような位置関係により、切削担当領域２、テープ剥離担当領域３、デバイス収容担当領域４のいずれにおいても、矩形基板５の動きに無駄がなく、また、各担当領域間の移動においても無駄がないため、装置の小型化による省スペース化を図ることができると共に、効率的である。

なお、以上の説明においては、ピックアップテーブル３１は第一のテーブル３１０と第二のテーブル３１１とから構成されることとしたが、ピックアップテーブル３１を構成するテーブルは１つでもよい。テーブルが１つの場合は、その１つのテーブルが仮置きテーブル３０に近づいたり離れたりするようにすればよい。また、その１つのテーブルは、必ずしも移動可能である必要はない。同様に、ピックアップテーブル３０が第一のテーブル３１０と第二のテーブル３１１とから構成される場合でも、第一のテーブル３１０は必ずしも移動可能である必要はない。当該１つのテーブルまたは第一のテーブルが固定される場合には、いずれのテーブルも、仮置きテーブル３０との間に把持部３２２を進入させるための隙間が形成されなければならない。但し、その場合にはデバイスが移載される際に圧力がかかりデバイスが破損するおそれがあるため、テーブルは移動できるように構成することが望ましい。

本発明に係る矩形基板の分割装置の一例を示す斜視図である。 矩形基板の一例を示す斜視図である。 切削担当領域の一部を示す斜視図である。 切削担当領域の一部を示す斜視図である。 ベルヌーイパッドの一例を示す断面図である。 テープ剥離担当領域を示す斜視図である。 テープ剥離担当領域の内部構造を示す略示的断面図である。 同内部構造において回動部が傾斜した状態を示す略示的断面図である。 同内部構造において矩形基板の不要端部を挟持した状態を示す略示的断面図である。 同内部構造において不要端部を挟持して回動部が傾斜して水平移動した状態を示す略示的断面図である。 同内部構造において第１デバイス列が第１のテーブルに移載された状態を示す略示的断面図である。 同内部構造において第１デバイス列を第二のテーブルに移動させる過程を示す略示的断面図である。 同内部構造において第１デバイス列が第二のテーブルに移動した状態を示す略示的断面図である。 同内部構造において第２デバイス列が第１のテーブルに移載された状態を示す略示的断面図である。 デバイス収容担当領域を示す斜視図である。 デバイス収容担当領域において空デバイスケースを取り出して良品デバイスケースとする際の動作の一例を示す略示的断面図であり、（Ａ）は初期状態を示し、（Ｂ）は空デバイスケース格納部から空デバイスケースを取り出す状態を示し、（Ｃ）は取り出した空デバイスケースを第一のケース枠に収容した状態を示す。 デバイス収容担当領域において空デバイスケースを取り出して不良品デバイスケースとする際の動作の一例を示す略示的断面図であり、（Ａ）は空デバイスケース格納部から空デバイスケースを取り出す状態を示し、（Ｂ）は取り出した空デバイスケースを第二のケース枠に収容した状態を示し、（Ｃ）は第二のケース枠に収容された空デバイスケースを移動させた状態を示す。 良品デバイスケース及び不良品デバイスケースにデバイスを収容する様子を示す斜視図である。 テープ剥離担当領域の内部構造において端材を端材収容部に落下させる様子を示す略示的断面図である。 デバイス収容担当領域において良品デバイスケースを良品デバイスケース格納部に格納して新たな空デバイスケースを取り出す動作の一例を示す略示的断面図であり、（Ａ）は良品デバイスケース格納部に良品デバイスケースを格納する状態を示し、（Ｂ）は空デバイスケース格納部から新たに空デバイスケースを取り出す状態を示し、（Ｃ）は取り出した空デバイスケースが第一のケース枠に収容された状態を示す。 テープ剥離担当領域の内部構造において第８デバイス列を第１のテーブルに移載する様子を示す略示的断面図である。 テープ剥離担当領域の内部構造において剥離した保護テープが落下して保護テープ収容部に収容される様子を示す略示的断面図である。

符号の説明

１：分割装置
２：切削担当領域
Ｃ１、Ｃ２：カセット
２０：カセットテーブル
２００：カセット位置付け手段
２１：搬出手段
２１０：挟持部
２２：チャックテーブル ２２ａ：回転ベース
２３：切削手段
２３０：切削ブレード
２４：洗浄手段
２４０：スピンナーテーブル ２４０ａ：回転ベース
２５：姿勢矯正手段
２５０：開閉部材
２５０ａ：底部 ２５０ｂ：側部
２６：第１の搬送手段
２６０：保持部
２６０ａ：吸着パッド
２７：アライメント手段
２７０：撮像部
２８：第二の搬送手段
２８０：アーム部 ２８１：吸着板
２９：第三の搬送手段
２９０：アーム部 ２９１：吸着板
３：テープ剥離担当領域
３０：仮置きテーブル
３１：ピックアップテーブル
３１０：第１のテーブル ３１１：第二のテーブル
３２：デバイス移載手段
３２０：プッシャ ３２１：押圧ローラ ３２２：把持部
３２３：把持部駆動部
３２３ａ：ボールネジ ３２３ｂ：モータ ３２３ｃ：基部
３２３ｄ：回動部 ３２３ｅ：ガイド部材 ３２３ｆ：昇降駆動部
３２３ｇ：端面 ３２３ｈ：外側面 ３２３ｉ：斜面
３２３ｊ：ローラ支持部 ３２３ｋ：テープ脱落用ローラ
３２３ｍ：ガイドピン
３２４：圧縮バネ
３３：デバイス移動手段
３３０：水平移動部 ３３１：昇降部
３３２：押し出し部
３３２ａ：デバイス押し出し部 ３３２ｂ：端材押し出し部
３４：端材収容部
３５；保護テープ収容部
４：デバイス収容担当領域
４０：ピックアップ手段
４０１：基部 ４０２：支持部 ４０３：吸着部 ４０４：判別部
４１：空デバイスケース格納部
４１０：第一の突出片
４２：デバイスケース位置付け手段
４２０：第一の昇降板 ４２１：第二の昇降板 ４２２：第三の昇降板
４２３：第一のケース枠 ４２４：第二のケース枠
４３：収容済みデバイスケース格納部
４３０：良品デバイスケース格納部
４３０ａ：第二の突出片
４３１：不良品デバイスケース格納部
４３１ａ：第三の突出片
５：矩形基板
５０：分離予定ライン ５１：端材 ５２：不要端部
Ｄ１〜Ｄ８：デバイス列
Ｔ：保護テープ
６：空デバイスケース
７：良品デバイスケース
８：不良品デバイスケース

Claims (8)

1. 裏面に保護テープが貼着され複数のデバイスが格子状の分離予定ラインによって区画されて形成された矩形基板を該分離予定ラインに沿って分離させて個々のデバイスに分割し、該個々のデバイスをデバイスケースに収容する矩形基板の分割装置であって、
   複数の矩形基板を収容したカセットが載置されるカセットテーブルと、該カセットから矩形基板を搬出する搬出手段と、搬出された矩形基板を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された矩形基板を該分離予定ラインに沿って切削して個々のデバイスに分割する切削手段と、切削済みの矩形基板を洗浄する洗浄手段とから構成される切削担当領域と、
   切削及び洗浄された矩形基板が仮置きされる仮置きテーブルと、該矩形基板を構成する個々のデバイスがピックアップされる際に該デバイスが載置されるピックアップテーブルと、該矩形基板の裏面に貼着された保護テープを剥離しながら該仮置きテーブルから該ピックアップテーブルにデバイスを移載する機能を有するデバイス移載手段とから構成されるテープ剥離担当領域と、
   該ピックアップテーブルに移載されたデバイスをピックアップしてデバイスケースに収容するピックアップ手段と、空のデバイスケースを格納する空デバイスケース格納部と、
   該空デバイスケース格納部から空のデバイスケースを取り出し該デバイスケースを該ピックアップ手段によってデバイスを収容できる位置であるデバイス収容位置に位置付けるデバイスケース位置付け手段と、デバイスが収容されたデバイスケースを格納する収容済みデバイスケース格納部とを少なくとも含むデバイス収容担当領域とを少なくとも備え、
   該テープ剥離担当領域において、
   該ピックアップテーブルは、第一のテーブルと第二のテーブルとから構成され、該第二のテーブルは該仮置きテーブルと所定の間隔をおいて配設され、該第一のテーブルは該仮置きテーブルと該第二のテーブルとの間を移動可能に配設され、
   該デバイス移載手段は、該仮置きテーブルに載置された矩形基板の不要端部を該保護テープと共に把持する把持部と、該仮置きテーブルに載置された矩形基板を押圧する押圧ローラと、該矩形基板を該押圧ローラと該仮置きテーブルとの間に押し込み該第一のテーブルが該仮置きテーブルに接近した位置にある状態で該第一のテーブル側に移動させるプッシャと、該把持部を少なくとも該仮置きテーブルの下方に降下させて該矩形基板の裏面から該保護テープを剥離する把持部駆動部とから構成され、
   該ピックアップテーブルの上方には、該第一のテーブルが該第二のテーブルに接近した位置にあり、該第一のテーブルにデバイスが載置されている際に、該第一のテーブルに載置されているデバイスを該第二のテーブルに移動させるデバイス移動手段が配設され、
   該ピックアップ手段は、該第二のテーブルに移動したデバイスをピックアップする、矩形基板の分割装置。
2. 前記把持部駆動部は、前記第一のテーブルから離れる方向に移動可能な基部と、該基部に軸支されて回動可能な回動部と、該回動部の回動をガイドするガイド部材と、該回動部に固定され前記把持部を昇降させる昇降駆動部とから構成される請求項１に記載の矩形基板の分割装置。
3. 前記仮置きテーブルの下方には、前記把持部駆動部が前記矩形基板から剥離した保護テープを収容する保護テープ収容部が配設されている請求項２に記載の矩形基板の分割装置。
4. 前記第二のテーブルをはさんで前記第一のテーブルの逆側には、切削済みの矩形基板を構成する端材を収容する端材収容部が配設され、前記デバイス移動手段は、該第一のテーブルに載置されているデバイスを該第二のテーブルに向けて押し出して移動させるデバイス押し出し部と、該第二のテーブルに残存している端材を押し出して該第二のテーブルから該端材収容部に落下させる端材押し出し部とを備えた請求項２または３に記載の矩形基板の分割装置。
5. 前記デバイス収容担当領域において、
   前記ピックアップ手段は、ピックアップ対象のデバイスが良品か不良品かを判別する判別部を含み、
   前記デバイスケースは、良品のデバイスを収容する良品デバイスケースと、不良品のデバイスを収容する不良品デバイスケースとから構成され、
   前記収容済みデバイスケース格納部は、該良品デバイスケースを格納する良品デバイスケース格納部と、該不良品デバイスケースを格納する不良品デバイスケース格納部とから構成され、
   前記デバイスケース位置付け手段は、前記空デバイスケース格納部から空デバイスケースを取り出し該空デバイスケースを良品デバイスケースとして良品のデバイスが収容される位置である良品デバイス収容位置に位置付ける良品デバイスケース位置付け手段と、前記空デバイスケース格納部から空デバイスケースを取り出し該空デバイスケースを不良品デバイスケースとして不良品のデバイスが収容される位置である不良品デバイス収容位置に位置付ける不良品デバイスケース位置付け手段とから構成される請求項１乃至４のいずれかに記載の矩形基板の分割装置。
6. 前記切削領域担当領域には、
   前記カセットから搬出された矩形基板の姿勢を矯正する姿勢矯正手段と、該姿勢矯正手段によって姿勢が矯正された矩形基板を保持して前記チャックテーブルに載置する第一の搬送手段と、
   該チャックテーブルに保持された切削済みの矩形基板を前記洗浄手段に搬送する第二の搬送手段と、
   洗浄済みの矩形基板を前記仮置きテーブルに搬送する第三の搬送手段と
   を備えた請求項１乃至５のいずれかに記載の矩形基板の分割装置。
7. 前記切削担当領域において、
   前記カセットテーブルには２以上のカセットが載置可能であり、いずれかのカセットに収容された矩形基板が前記搬出手段により搬出可能となる位置に該カセットテーブルを選択的に位置付けるカセット位置付け手段が配設される請求項１乃至６のいずれかに記載の矩形基板の分割装置。
8. 前記切削担当領域において、
   前記カセットテーブル、前記搬出手段及び前記洗浄手段は第一の直線上に配設され、前記切削手段は該第一の直線に直交する第二の直線上に配設され、前記チャックテーブルは該第二の直線上を移動可能に構成され、
   前記テープ剥離担当領域において、
   前記仮起きテーブルは、該洗浄手段に対して該第二の直線に平行な直線上に配設され、該仮置きテーブルと前記ピックアップテーブルは該第一の直線に平行な直線上に配設され、
   前記デバイス収容担当領域において、
   前記空デバイスケース格納部と前記収容済みデバイスケース格納部は、該第一の直線に平行な直線状に配設され、前記デバイスケース位置付け手段は、該空デバイスケース格納部の直下と該収容済みデバイスケース格納部の直下とにそれぞれ配設される、
   請求項１乃至７のいずれかに記載の矩形基板の分割装置。

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