KR101146664B1 - 직사각형 기판의 분할장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 보다 적은 공간에서 직사각형 기판을 분할하고, 분할에 의해 나누어진 디바이스를 디바이스 케이스에 수용할 수 있게 하는 동시에, 직사각형 기판의 이면에 점착한 보호테이프로부터 디바이스를 확실하고 효율적으로 픽업할 수 있게 하는데 그 목적이 있다. 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 이면에 보호테이프가 점착하고 복수의 디바이스가 격자모양의 분리예정라인에 따라 구획되어 형성된 직사각형 기판을 분리예정라인에 따라 분리하여 개개의 디바이스로 분할하고, 개개의 디바이스를 디바이스 케이스에 수용하는 직사각형 기판의 분할장치에 있어서, 절삭담당영역에서는 카세트로부터 직사각형 기판을 반출하여, 절삭수단에 의해 절삭한 후에 세정수단에 의해 세정하고, 테이프 박리담당영역에서는 보호테이프를 박리하면서 디바이스를 픽업하고, 디바이스 수용담당영역에서는 픽업한 개개의 디바이스를 디바이스 케이스에 수용한다.

기판 분할장치, 디바이스 케이스

Description

직사각형 기판의 분할장치{RECTANGULAR SUBSTRATE DIVIDING APPARATUS}

도 1은 본 발명에 따른 직사각형 기판의 분할장치의 일례를 나타내는 사시도이다.

도 2는 직사각형 기판의 일례를 나타내는 사시도이다.

도 3은 절삭담당영역의 일부를 나타내는 사시도이다.

도 4는 절삭담당영역의 일부를 나타내는 사시도이다.

도 5는 직사각형 기판을 보유하는 베르누이 패드(bernoulli pad)의 일례를 나타내는 단면도이다.

도 6은 테이프 박리담당영역을 나타내는 사시도이다.

도 7은 테이프 박리담당영역의 내부구조를 나타내는 개략단면도이다.

도 8은 도 7의 내부구조에 있어서 회전운동부가 경사진 상태를 나타내는 개략단면도이다.

도 9는 도 7의 내부구조에 있어서 직사각형 기판의 불필요 단부(端部)를 사이에 끼운 상태를 나타내는 개략단면도이다.

도 10은 도 7의 내부구조에 있어서 불필요 단부를 사이에 끼워 회전운동부가 경사지게 수평 이동한 상태를 나타내는 개략단면도이다.

도 11은 도 7의 내부구조에 있어서 제 1 디바이스 열이 제 1 테이블로 옮겨 진 상태를 나타내는 개략단면도이다.

도 12는 도 7의 내부구조에 있어서 제 1 디바이스 열을 제 2 테이블로 옮기는 과정을 나타내는 개략단면도이다.

도 13은 도 7의 내부구조에 있어서 제 1 디바이스 열이 제 2 테이블로 옮겨진 상태를 나타내는 개략단면도이다.

도 14는 도 7의 내부구조에 있어서 제 2 디바이스 열이 제 1 테이블로 옮겨진 상태를 나타내는 개략단면도이다.

도 15는 디바이스 수용담당영역을 나타내는 사시도이다.

도 16은 디바이스 수용담당영역에 있어서 빈 디바이스 케이스를 꺼내어 양품(良品) 디바이스 케이스로 할 때의 동작의 일례를 나타내는 개략단면도로서, (A)는 초기상태를, (B)는 빈 디바이스 케이스 격납부로부터 빈 디바이스 케이스를 꺼내는 상태를, (C)는 꺼낸 빈 디바이스 케이스를 제 1 케이스 틀에 수용한 상태를 나타낸다.

도 17은 디바이스 수용담당영역에 있어서 빈 디바이스 케이스를 꺼내어 불량품 디바이스 케이스로 할 때의 동작의 일례를 나타내는 개략단면도로서, (A)는 빈 디바이스 케이스 격납부로부터 빈 디바이스 케이스를 꺼내는 상태를, (B)는 꺼낸 빈 디바이스 케이스를 제 2 케이스 틀에 수용한 상태를, (C)는 제 2 케이스 틀에 수용된 빈 디바이스 케이스를 이동시킨 상태를 나타낸다.

도 18은 양품 디바이스 케이스 및 불량품 디바이스 케이스에 디바이스를 수용하는 모습을 나타내는 사시도이다.

도 19는 테이프 박리담당영역의 내부구조에 있어서, 단재(端材)를 단재수용부에 떨어뜨리는 모습을 나타내는 개략단면도이다.

도 20은 디바이스 수용담당영역에 있어서 양품 디바이스 케이스를 양품 디바이스 케이스 격납부에 격납하여 새로운 빈 디바이스 케이스를 꺼내는 동작의 일례를 나타내는 개략단면도로서, (A)는 양품 디바이스 케이스 격납부에 양품 디바이스 케이스를 격납하는 상태를, (B)는 빈 디바이스 케이스 격납부로부터 새롭게 빈 디바이스 케이스를 꺼내는 상태를, (C)는 꺼낸 빈 디바이스 케이스가 제 1 케이스 틀에 수용된 상태를 나타낸다.

도 21은 테이프 박리담당영역의 내부구조에 있어서 제 8 디바이스 열을 제 1 테이블로 옮겨놓는 모습을 나타내는 개략단면도이다.

도 22는 테이프 박리담당영역의 내부구조에 있어서 박리한 보호테이프가 떨어져 보호테이프 수용부에 수용되는 모습을 나타내는 개략단면도이다.

**주요 도면부호의 부호설명**

1: 분할장치 2: 절삭담당영역

20: 카세트 테이블 21: 반출수단

22: 척테이블 23: 절삭수단

24: 세정수단 25: 자세교정수단

26: 제 1 반송수단 27: 얼라이먼트 수단

28: 제 2 반송수단 29: 제 3 반송수단

3: 테이프 박리담당영역 30: 임시보관 테이블

31: 픽업 테이블 32: 디바이스 이재(移載)수단

33: 디바이스 이동수단 34: 단재수용부

35: 보호테이프 수용부 4: 디바이스 수용담당영역

40: 픽업수단 41: 빈 디바이스 케이스 격납부

42: 디바이스 케이스 위치맞춤수단

43: 수용완료된 디바이스 케이스 격납부

5: 직사각형 기판 T: 보호테이프

6: 빈 디바이스 케이스 7: 양품 디바이스 케이스

8: 불량품 디바이스 케이스

본 발명은 직사각형 모양으로 형성된 여러가지 기판을 개개의 디바이스 등으로 분할하는 장치에 관한 것이다.

IC, LSI 등의 집적회로가 복수개 형성되고, 수지에 의해 패키징된 CSP(Chip Size Package) 등의 직사각형 기판은, 다이싱 장치 등의 분할장치에 의해 개개의 디바이스로 분할되고, 디바이스 케이스에 수용된 상태에서 전자기기의 조립공정으로 반송된다. 조립공정에서 개개의 디바이스는 각종 전자기기에 실장된다.

일반적으로 일본특허공개 2000-232080호 공보에 개시된 바와 같이, 디바이스 케이스에 디바이스를 수용할 때는 전용 디바이스 수용장치가 사용된다. 디바이스 수용장치는 분할장치에 인접하여 설치되며, 분할장치에 의해 각각 분할된 개개의 디바이스를 디바이스 수용장치에서 곧 바로 디바이스 케이스로 수용할 수 있도록 하고 있다.

일반적으로 분할대상이 되는 직사각형 기판은, 링 모양 프레임(F)의 개구부를 막도록 점착한 테이프(T)의 점착면에 붙으며, 테이프(T)를 통하여 프레임(F)과 일체가 된 상태에서 보유되어 다이싱되고, 그 상태 그대로 디바이스 수용장치로 반송되어, 개개의 디바이스가 디바이스 케이스에 수용된다(예를 들어, 일본특허공개 2000-232080호 참조). 또한 일본특허공개 2000-208445호 공보에 개시되어 있는 바와 같이, 링 모양 프레임을 사용하지 않고, 직사각형 기판과 동일 형상의 보호테이프만을 직사각형 기판의 이면에 점착한 상태에서 개개의 디바이스로 분할하는 방법도 제안되고 있다.

하지만, 다이싱 장치 외에 디바이스 수용장치를 설치하면, 거의 2배의 설치 공간이 필요하여 공간을 절약할 수 없고, 비용이 올라가는 문제가 있다. 또한, 테이프를 통하여 프레임과 일체가 된 상태의 직사각형 기판을 다이싱하면, 다이싱 장치에서는 다이싱되는 직사각형 기판보다 큰 프레임을 보유해야 하기 때문에, 프레임의 크기에 따라 다이싱 장치가 대형이 되어버린다. 그리고, 직사각형 기판이 테이프를 통하여 프레임과 일체가 된 상태에서 디바이스 수용장치에 반송되면, 디바이스 수용장치에서도 프레임을 보유해야 하기 때문에 디바이스 수용장치도 대형이 되고, 사용후의 프레임을 수용하기 위한 영역도 확보해야 하기 때문에 이도 장치 대형화의 요인이 된다.

한편, 일본특허공개 2000-2084445호에 기재된 발명과 같이, 프레임을 사용하지 않고, 보호테이프를 직사각형 기판의 이면에 점착한 상태에서 다이싱하는 방법도 있는데, 그 경우에는 보호테이프에 점착한 채로 각각 분할된 디바이스를 픽업해야 하기 때문에, 디바이스를 확실히 박리하기 어렵다는 문제가 있다. 일본특허공개 2000-2084445호에 기재되어 있는 바와 같이, 픽업전에 보호테이프의 점착력을 떨어뜨렸다고 해도, 디바이스를 확실하게 픽업하는 것은 어렵다. 또한, 점착력을 떨어뜨리기 위한 특별한 수단이 필요하여 그로 인한 시간도 소요되기 때문에 생산성도 떨어진다. 더욱이, 디바이스의 픽업후에 남은 보호테이프를 폐기하기 위한 특별한 수단도 필요해진다.

그래서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 보다 작은 공간에서 직사각형 기판을 분할하고, 분할에 의해 각각 떨어진 디바이스를 디바이스 케이스에 수용할 수 있도록 하는 동시에, 직사각형 기판의 이면에 점착된 보호테이프로부터 디바이스를 확실하고 효율적으로 픽업할 수 있도록 하는 것이다.

상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 이면에 보호테이프가 점착하고 디바이스를 개개로 분할하는 분리예정라인을 형성한 직사각형 기판을, 분리예정라인에 따라 분리시켜 개개의 디바이스로 분할하여 디바이스를 디바이스 케이스에 수용하는 직사각형 기판의 분할장치에 관한 것으로, 직사각형 기판을 절삭하여 개개의 디바이스로 분할하는 절삭담당영역과, 이면에 점착된 보호테이프를 박리하는 테이 프 박리담당영역과, 개개의 디바이스를 디바이스 케이스에 수용하는 디바이스 수용담당영역으로 구성된다. 절삭담당영역은 복수의 직사각형 기판을 수용한 카세트가 놓이는 카세트 테이블과, 카세트로부터 직사각형 기판을 반출하는 반출수단과, 반출된 직사각형 기판을 보유하는 척테이블과, 척테이블에 보유된 직사각형 기판을 분리예정라인에 따라 절삭하여 개개의 디바이스로 분할하는 절삭수단과, 절삭된 직사각형 기판을 세정하는 세정수단으로 구성된다. 테이프 박리담당영역은 절삭 및 세정된 직사각형 기판이 임시보관되는 임시보관 테이블과, 직사각형 기판을 구성하는 개개의 디바이스가 픽업될 때 디바이스가 놓이는 픽업 테이블과, 직사각형 기판의 이면에 점착된 보호테이프를 박리하면서 임시보관 테이블로부터 픽업 테이블로 디바이스를 옮겨놓는 기능을 가지는 디바이스 이재수단으로 구성된다. 디바이스 수용담당영역은 픽업 테이블로 옮겨진 디바이스를 픽업하여 디바이스 케이스에 수용하는 픽업수단과, 빈 디바이스 케이스를 격납하는 빈 디바이스 케이스 격납부와, 빈 디바이스 케이스 격납부로부터 빈 디바이스 케이스를 꺼내 빈 디바이스 케이스를 픽업수단에 의해 디바이스를 수용할 수 있는 위치인 디바이스 수용위치에 위치시키는 디바이스 케이스 위치맞춤수단과, 디바이스가 수용된 디바이스 케이스를 격납하는 수용완료 디바이스 케이스 격납부를 적어도 구비한다.

상기 테이프 박리담당영역에 있어서, 픽업 테이블은 제 1 테이블과 제 2 테이블로 구성되고, 제 2 테이블은 임시보관 테이블과 소정의 간격을 두고 설치되며, 제 1 테이블은 임시보관 테이블과 제 2 테이블 사이를 이동가능하게 설치되고, 디바이스 이재수단은 임시보관 테이블에 놓인 직사각형 기판의 불필요 단부를 보호테 이프와 함께 파지(把持)하는 파지부와, 임시보관 테이블에 놓인 직사각형 기판을 누르는 압착 롤러와, 직사각형 기판을 상기 압착 롤러와 임시보관 테이블 사이에 밀어 넣고 제 1 테이블이 임시보관 테이블에 접근한 위치에 있는 상태에서 제 1 테이블 측으로 이동시키는 푸셔와, 파지부를 적어도 임시보관 테이블의 아랫쪽으로 하강시켜 직사각형 기판의 이면으로부터 보호테이프를 박리하는 파지부 구동부로 구성되고, 픽업 테이블의 윗쪽에는 제 1 테이블이 제 2 테이블에 근접한 위치에 있고 제 1 테이블에 디바이스가 놓여 있을 때, 제 1 테이블에 놓여 있는 디바이스를 제 2 테이블로 이동시키는 디바이스 이동수단이 설치되며, 픽업수단은 제 2 테이블로 이동한 디바이스를 픽업하도록 하는 것이 바람직하다. 여기서, 제 1 테이블과 제 2 테이블은 접촉하여 있어도 좋고, 디바이스를 이동시킬 수 있을 정도로 떨어져 있어도 좋다. 또한, 이 경우, 파지부 구동부는 제 1 테이블로부터 멀어지는 방향으로 이동가능한 기부와, 기부에 축지지되어 회전운동 가능한 회전운동부와, 회전운동부의 회전운동을 가이드하는 가이드 부재와, 회전운동부에 고정되어 파지부를 승강시키는 승강구동부로 구성되는 것이 바람직하다.

임시보관 테이블의 아랫쪽에는, 파지부 구동부가 직사각형 기판으로부터 박리한 보호테이프를 수용하는 보호테이프 수용부가 설치되어 있는 것이 바람직하다. 이 경우, 제 2 테이블을 사이에 두고 제 1 테이블의 반대측에는 절삭된 직사각형 기판을 구성하는 단재를 수용하는 단재수용부가 설치되며, 디바이스 이동수단은 제 1 테이블에 놓여 있는 디바이스를 제 2 테이블을 향하여 밀어내 이동시키는 디바이스 압출부와, 제 2 테이블에 남아있는 단재를 밀어내 제 2 테이블로부터 상기 단재 수용부로 떨어뜨리는 단재압출부를 구비하는 것이 바람직하다.

상기 디바이스 수용담당영역에 있어서, 픽업수단은 픽업 대상인 디바이스가 불량품인지 여부를 판별하는 판별부를 포함하고, 디바이스 케이스는 문제가 없는 디바이스를 수용하는 양품 디바이스 케이스와, 불량 디바이스를 수용하는 불량품 디바이스 케이스로 구성되며, 수용완료된 디바이스 케이스 격납부는 양품 디바이스 케이스를 격납하는 양품 디바이스 케이스 격납부와, 불량품 디바이스 케이스를 격납하는 불량품 디바이스 케이스 격납부로 구성되고, 상기 디바이스 케이스 위치맞춤수단은, 빈 디바이스 케이스 격납부로부터 빈 디바이스 케이스를 꺼내 빈 디바이스 케이스를 양품 디바이스 케이스로서 양품의 디바이스가 수용되는 위치인 양품 디바이스 수용위치에 위치시키는 양품 디바이스 케이스 위치맞춤수단과, 빈 디바이스 케이스 격납부로부터 빈 디바이스 케이스를 꺼내 빈 디바이스 케이스를 불량품 디바이스 케이스로서 불량품 디바이스가 수용되는 위치인 불량품 디바이스 수용위치에 위치시키는 불량품 디바이스 케이스 위치맞춤수단으로 구성되는 것이 바람직하다.

절삭담당영역에는 카세트로부터 반출된 직사각형 기판의 자세를 교정하는 자세교정수단과, 자세교정수단에 의해 자세가 교정된 직사각형 기판을 보유하여 척테이블에 놓는 제 1 반송수단과, 척테이블에 보유된 절삭된 직사각형 기판을 세정수단으로 반송하는 제 2 반송수단과, 세정이 끝난 직사각형 기판을 임시보관 테이블로 반송하는 제 3 반송수단을 구비하는 것이 바람직하다. 또한, 절삭담당영역에 있어서 카세트 테이블에는 2개 이상의 카세트가 놓일 수 있으며, 어느 한 카세트에 수용된 직사각형 기판이 반출수단에 의해 반출가능한 위치에 카세트 테이블을 선택적으로 위치시키는 카세트 위치맞춤수단이 설치되는 것이 바람직하다.

절삭담당영역에 있어서, 카세트 테이블, 반출수단 및 세정수단은 제 1 직선상에 설치되고, 절삭수단은 제 1 직선에 직교하는 제 2 직선상에 설치되며, 척테이블은 제 2 직선상을 이동가능하게 구성되고, 테이프 박리담당영역에 있어서, 임시보관 테이블은 세정수단에 대하여 제 2 직선에 평행한 직선상에 설치되고, 임시보관 테이블과 픽업 테이블은 제 1 직선에 평행한 직선상에 설치되며, 디바이스 수용담당영역에 있어서, 빈 디바이스 케이스 격납부와 수용완료된 디바이스 케이스 격납부는 제 1 직선에 평행한 직선상에 설치되고, 디바이스 케이스 위치맞춤수단은 빈 디바이스 케이스 격납부의 바로 아래와 수용완료된 디바이스 케이스 격납부의 바로 아래에 각각 설치되는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 절삭담당영역에서는 이면에 보호테이프가 점착된 직사각형 기판이 절삭되어 개개의 디바이스로 분할된 후에 세정되고, 테이프 박리담당영역에서는 디바이스를 보호테이프로부터 확실하고 쉽고 효율적으로 박리하는 동시에 픽업 테이블로 옮겨 놓을 수 있으며, 픽업 테이블에 옮겨진 디바이스는 디바이스 수용담당영역에서 디바이스 케이스로 수용할 수 있다. 따라서, 절삭에서부터 디바이스 수용까지가 하나의 장치로 가능하다. 특히, 보호테이프의 박리와 디바이스를 픽업 테이블로 옮기는 것이 동시에 가능하기 때문에 생산성이 매우 높고, 또한 링 모양의 프레임을 사용할 필요도 없기 때문에, 장치의 소형화에 따른 공간절약을 도모할 수 있다.

또한, 픽업 테이블이 제 1 테이블과 제 2 테이블로 구성되고, 제 1 테이블이 임시보관 테이블과 제 2 테이블 사이를 이동가능하게 설치되며, 디바이스 이재수단이 임시보관 테이블에 놓인 직사각형 기판의 불필요 단부를 보호테이프와 함께 파지하는 파지부와, 임시보관 테이블에 놓인 직사각형 기판을 누르는 압착 롤러와, 직사각형 기판을 압착 롤러와 임시보관 테이블 사이에 밀어 넣어 제 1 테이블이 임시보관 테이블에 접근한 위치에 있는 상태에서 제 1 테이블 측으로 이동시키는 푸셔와, 파지부를 적어도 임시보관 테이블의 아랫쪽으로 하강시켜 직사각형 기판의 이면으로부터 보호테이프를 박리하는 파지부 구동부로 구성되고, 픽업 테이블의 윗쪽에 제 1 테이블이 제 2 테이블에 접근한 위치에 있고 제 1 테이블에 디바이스가 놓여 있을 때 제 1 테이블에 놓여 있는 디바이스를 제 2 테이블로 이동시키는 디바이스 이동수단이 설치되고, 픽업수단이 제 2 테이블로 이동한 디바이스를 픽업하는 구성으로 하면, 임시보관 테이블에 놓인 디바이스는 디바이스 이재수단에 의해 보호테이프가 박리되면서 제 1 테이블로 옮겨지고, 제 1 테이블로 옮겨진 디바이스는 디바이스 이동수단에 의해 제 2 테이블로 이동하며, 제 2 테이블로 이동한 디바이스가 픽업수단에 의해 픽업되어 디바이스 케이스에 수용된다. 제 1 테이블은 임시보관 테이블에 가까워지거나 제 2 테이블에 가까워질 수 있기 때문에, 제 2 테이블에 근접해 있는 동안에는 제 1 테이블과 임시보관 테이블 사이에 파지부를 넣기 위한 충분한 간격을 형성할 수 있어, 파지부에 의해 직사각형 기판을 구성하는 불필요 단부와 그 이면에 점착한 보호테이프를 확실하게 보유할 수 있고, 또한 그 경우에는 디바이스 이동수단에 의해 제 1 테이블로부터 제 2 테이블로의 디바이스의 이 동이 확실하게 이루어진다. 한편, 제 1 테이블이 임시보관 테이프에 가까워져 있는 동안에는, 임시보관 테이블로부터 제 1 테이블로 디바이스를 확실하게 옮길 수 있어, 임시보관 테이블과 제 1 테이블을 접근시킴으로써 디바이스가 옮겨갈 때 파손되는 것을 방지할 수 있다.

파지부 구동부가 제 1 테이블로부터 멀어지는 방향으로 이동가능한 기부와, 기부에 축지지되어 회전운동 가능한 회전운동부와, 회전운동부의 회전운동을 가이드하는 가이드 부재와, 회전운동부에 고정되어 파지부를 승강시키는 승강구동부로 구성되도록 한 경우에는, 파지부가 보호테이프의 단부를 파지한 상태에서 기부가 디바이스의 이동방향과 반대방향으로 이동하면, 가이드 부재에 가이드되어 회전운동부가 회전운동하고, 그 상태에서 기부가 제 1 테이블로부터 멀어지는 방향으로 이동할 수 있다. 따라서, 기부의 이동 및 회전운동부의 회전운동에 의해 보호테이프를 쉽게 박리할 수 있다.

임시보관 테이블의 아랫쪽에 파지부 구동부가 직사각형 기판으로부터 박리한 보호테이프를 수용하는 보호테이프 수용부가 설치되어 있으면, 디바이스 이재수단에 의해 박리한 보호테이프가 자동으로 보호테이프 수용부에 수용되기 때문에, 보호테이프를 파기하기 위한 특별한 구조가 필요없다. 따라서, 그만큼 공간을 절약할 수 있다. 또한, 파지부 구동부가 제 1 테이블로부터 멀어지는 방향으로 이동가능한 기부와, 기부에 축지지되어 회전운동 가능한 회전운동부와, 회전운동부의 회전운동을 가이드하는 가이드 부재와, 회전운동부에 고정되어 파지부를 승강시키는 승강구동부로 구성되는 경우에는, 보호테이프를 완전히 박리한 후에 파지부에 의한 보호 테이프의 파지를 해제하면, 보호테이프가 자연적으로 떨어져 보호테이프 수용부에 수용할 수 있다.

제 2 테이블을 사이에 두고 제 1 테이블의 반대쪽에 절삭된 직사각형 기판을 구성하는 단재를 수용하는 단재수용부가 설치되며, 디바이스 이동수단이 제 1 테이블에 놓여 있는 디바이스를 제 2 테이블을 향하여 밀어내 이동시키는 디바이스 압출부와, 제 2 디바이스에 남아있는 단재를 밀어내 제 2 테이블로부터 단재수용부로 낙하시키는 단부압출부를 구비하는 경우에는, 디바이스 이동수단은 제 1 테이블에 놓여 있는 디바이스를 제 2 테이블로 이동시키는 동시에, 단재를 단재수용부로 수용시킬 수 있기 때문에 효율적이며, 단재를 단재수용부에 수용하기 위한 전용 기구가 필요없기 때문에 공간절약을 도모할 수 있다.

디바이스 수용담당영역에 있어서, 픽업수단이 픽업 대상인 디바이스가 불량품인지 여부를 판별하는 판별부를 포함하고, 디바이스 케이스가 양품의 디바이스를 수용하는 양품 디바이스 케이스와, 불량 디바이스를 수용하는 불량품 디바이스 케이스로 구성되며, 수용완료된 디바이스 케이스 격납부는 양품 디바이스 케이스를 격납하는 양품 디바이스 케이스 격납부와, 불량품 디바이스 케이스를 격납하는 불량품 디바이스 케이스 격납부로 구성되고, 디바이스 케이스 위치맞춤수단이 빈 디바이스 케이스 격납부로부터 빈 디바이스 케이스를 꺼내 빈 디바이스 케이스를 양품 디바이스 케이스로서 양품의 디바이스가 수용되는 위치인 양품 디바이스 수용위치에 위치시키는 양품 디바이스 케이스 위치맞춤수단과, 빈 디바이스 케이스 격납부로부터 빈 디바이스 케이스를 꺼내 빈 디바이스 케이스를 불량품 디바이스 케이 스로서 불량품의 디바이스가 수용되는 위치인 불량품 디바이스 수용위치에 위치시키는 불량품 디바이스 케이스 위치맞춤수단으로 구성하면, 판별부는 픽업시에 디바이스가 양품인지 불량품인지를 판별할 수 있기 때문에, 생산성을 떨어뜨리지 않는다. 또한, 판별부에서의 판별결과에 따라 양품 디바이스와 불량품 디바이스를 나누어 각각의 디바이스 케이스에 수용할 수 있기 때문에, 다음 공정에서 불량품 여부를 판별할 필요가 없어진다.

절삭담당영역에 카세트로부터 반출된 직사각형 기판의 자세를 교정하는 자세교정수단과, 자세교정수단에 의해 자세가 교정된 직사각형 기판을 보유하여 척테이블에 놓는 제 1 반송수단과, 척테이블에 보유된 절삭된 직사각형 기판을 세정수단으로 반송하는 제 2 반송수단과, 세정이 끝난 직사각형 기판을 임시보관 테이블로 반송하는 제 3 반송수단을 구비하는 경우에는, 카세트 내의 직사각형 기판의 수용위치나 수용방향이 일정하지 않아도, 자세교정수단에 의해 직사각형 기판의 위치, 방향이 일정해져, 그 상태에서 척테이블에 반송되어 절삭되기 때문에, 원활하면서 정확하게 절삭할 수 있다. 또한, 절삭후에는 절삭된 직사각형 기판을 세정수단으로 반송하고, 세정후에는 세정이 끝난 직사각형 기판을 임시보관 테이블로 반송할 수 있기 때문에, 직사각형 기판을 테이프 박리담당 영역으로 원활하게 반송할 수 있다.

절삭담당영역에 있어서 카세트 테이블에는 2개 이상의 카세트가 놓일 수 있으며, 어느 한 카세트에 수용된 직사각형 기판이 반출수단에 의해 반출가능한 위치로 카세트 테이블을 선택적으로 위치시키는 카세트 위치맞춤수단이 설치되어 있는 경우, 여러 개의 카세트를 카세트 테이블에 놓아 두면, 각각의 카세트에 수용된 직사각형 기판을 계속하여 반출하여 절삭할 수 있기 때문에 효율적이며, 또한 복수의 카세트를 모아 카세트 테이블에 놓아 둘 수 있기 때문에 작업이 간단해진다.

절삭담당영역에 있어서, 카세트 테이블, 반출수단 및 세정수단은 제 1 직선상에 설치되고, 절삭수단은 제 1 직선에 직교하는 제 2 직선상에 설치되며, 척테이블은 제 2 직선상을 이동가능하게 구성되고, 테이프 박리담당영역에 있어서, 임시보관 테이블이 세정수단에 대하여 제 2 직선에 평행한 직선상에 설치되고, 임시보관 테이블과 픽업 테이블이 제 1 직선에 평행한 직선상에 설치되며, 디바이스 수용담당영역에 있어서, 빈 디바이스 케이스 격납부와 수용완료된 디바이스 케이스 격납부가 제 1 직선에 평행한 직선상에 설치되고, 디바이스 케이스 위치맞춤수단이 빈 디바이스 케이스 격납부의 바로 아래와 수용완료된 디바이스 케이스 격납부의 바로 아래에 각각 설치되면, 절삭담당영역, 테이프 박리담당영역, 디바이스 수용담당영역 중 어느 곳에서도 직사각형 기판의 불필요한 이동이 없게 되며, 또한 각 담당영역 사이의 이동에 있어서도 불필요한 이동이 없어지기 때문에, 장치의 소형화에 따른 공간절약을 도모할 수 있는 동시에 효율적이다.

도 1에 나타내는 분할장치(1)에서는 예를 들어, 도 2에 나타내는 직사각형 기판(5)에 세로방향과 가로방향으로 형성된 분리예정라인(50)을 절삭하여 분리할 수 있다. 도 2에 나타낸 직사각형 기판(5)은 분리예정라인(50)에 따라 구획되어 디바이스가 형성되어 있다. 디바이스는 도시한 예에서는 제 1 디바이스 열(D1)에서 제 8 디바이스 열(D8)로 구성되어 있으며, 각 디바이스 열은 3개의 디바이스와 양 단의 2개의 단재(51)에 의해 구성되어 있다. 직사각형 기판(5)의 제 1 디바이스 열(D1) 및 제 8 디바이스 열(D8)보다 바깥쪽에는 불필요 단부(52)가 형성되어 있다. 단재(51) 및 불필요 단부(52)는 최종적으로는 폐기된다. 직사각형 기판(5)의 이면에는 디바이스 보호용 보호테이프(T)가 점착되어 있다. 도 1에 나타내는 분할장치(1)를 사용하여 분리예정라인(50)을 분리함으로써, 직사각형 기판(5)을 개개의 디바이스로 분할할 수 있다. 분할장치(1)에서는 개개의 디바이스를 후술하는 디바이스 케이스에 수용할 수도 있다. 직사각형 기판(5)으로서는 예를 들어, CSP, 글라스 기판 등이 있다.

분할장치(1)는 도 1에 나타내는 바와 같이, 이면에 보호테이프(T)가 점착된 직사각형 기판(5)을 가로세로로 절삭하여 개개의 디바이스로 분할하는 절삭담당영역(2)과, 직사각형 기판(5)으로부터 보호테이프(T)를 박리하는 테이프 박리담당영역(3)과, 개개의 디바이스를 디바이스 케이스에 수용하는 디바이스 수용담당영역(4)으로 구성된다.

절삭담당영역(2)에는 복수의 직사각형 기판(5)을 수용한 카세트가 놓이는 카세트 테이블(20)과, 카세트 테이블(20)로부터 직사각형 기판(5)을 반출하는 반출수단(21)과, 회전 베이스(22a)의 윗면에 고정되며 반출된 직사각형 기판(5)을 보유하는 동시에 회전가능한 척테이블(22)과 척테이블(22)에 보유된 직사각형 기판(5)을 분리예정라인(50)을 따라 절삭하여 개개의 디바이스로 분할하는 절삭수단(23)과, 절삭이 끝난 직사각형 기판(5)을 세정하는 세정수단(24)을 적어도 구비한다. 절삭담당영역(2)에서는 직사각형 기판(5)의 절삭에 의한 다이싱 및 절삭후의 직사각형 기판(5)의 세정이 이루어진다.

반출수단(21)은 Y축 방향으로 이동가능하며 직사각형 기판(5)의 단부를 사이에 끼우는 협지부(210)를 가지고 있다. 카세트 테이블(20)은 후술하는 카세트 위치맞춤수단(200)과 함께 Z축 방향으로 승강가능하게 되어 있으며, 복수의 카세트를 놓을 수 있고, 도시한 예에서는 2개의 카세트(C1,C2)를 놓을 수 있게 되어 있다. 이것에 대응하여 카세트 테이블(20)의 아랫쪽에는 어느 한 카세트에 수용된 직사각형 기판이 반출수단(21)에 의해 반출가능한 위치, 구체적으로는 반출수단(21)의 이동경로의 +Y 방향의 연장선상에 카세트 테이블(20)을 선택적으로 위치시키는 카세트 위치맞춤수단(200)이 설치되며, 카세트 테이블(20)은 X축 방향으로도 이동가능하게 되어 있다. 이에 의해, 각각의 카세트(C1,C2)에 격납된 직사각형 기판(5)을 계속해서 효율적으로 다음 공정인 반출수단(21)측으로 반출할 수 있다.

도 3에 나타내는 바와 같이, 척테이블(22)의 윗쪽으로서 카세트 테이블(20)과 반출수단(21) 사이에는, Y축 방향으로 길고 단면이 L자형인 2개의 개폐부재(250)가 마주보고 배치되는 자세교정수단(25)이 설치되어 있다. 2개의 개폐부재(250)는 수평면을 가지는 바닥부(250a)와 수직면을 가지는 측부(250b)로 구성되며, 서로가 가까워지는 방향 또는 멀어지는 방향으로 평행이동하고, 가까워진 상태에서 닫힘상태를 형성하고, 떨어진 상태에서 제 1 열림상태와 그보다 넓은 제 2 열림상태를 형성한다. 카세트(C1) 또는 카세트(C2)로부터 직사각형 기판(5)을 반출할 때에는, 자세교정수단(25)이 제 1 열림상태로 되어 있어, 반출된 직사각형 기판(5)은 2개의 바닥부(250a) 위에 놓인다. 즉, 제 1 열림상태는 직사각형 기판(5)을 반출할 수 있는 정도로 열려있고, 직사각형 기판이 아랫쪽으로 떨어지지 않을 정도로 열린 상태이다. 한편, 제 2 열림상태란, 직사각형 기판(5)이 2개의 개폐부재(250) 사이를 수직방향으로 이동할 수 있을 만큼 열린 상태이다. 2개의 개폐부재(250)가 근접하여 닫힘상태가 됨으로써, 직사각형 기판(5)이 측부(250b)와 맞닿아 자세가 교정되고, 일정한 위치에 위치맞춤되어 일정방향을 향하게 된다.

카세트 테이블(20)이 소정의 높이에 위치되면, 반출수단(21)이 +Y방향으로 이동하고, 협지부(210)에 의해 카세트(C1) 또는 카세트(C2)에 수용된 직사각형 기판을 파지한다. 개폐부재(250)가 제 1 열림상태로 된 상태에서, 반출수단(21)이 -Y방향으로 이동하면, 직사각형 기판(5)이 이면에 점착된 보호테이프(T)와 함께 개폐부재(250)의 바닥부(250a) 위를 슬라이드한다. 직사각형 기판(5)이 척테이블(22)의 바로 위의 위치까지 이동하면, 반출수단(21)의 이동을 정지시키는 동시에 협지부(210)에 의한 직사각형 기판(5)의 협지상태를 해제하여, 직사각형 기판(5)을 2개의 바닥부(250a) 위에 놓는다. 그리고, 개폐부재(250)가 근접하여 닫힘상태가 되어 직사각형 기판(5)의 자세가 교정된다.

척테이블(22)의 바로 위에는 제 1 반송수단(26)이 설치되어 있다. 제 1 반송수단(26)에는 도시하지 않은 흡인원에 연결된 복수의 흡착패드(260a)가 하부에 고정된 보유부(260)를 구비하고 있으며, 직사각형 기판(5)이 바닥부(250a) 위에 놓이면, 보유부(260)가 하강하여 직사각형 기판(5)의 표면이 흡착패드(260a)에 의해 흡착된다. 그리고, 2개의 개폐부재(250)를 제 1 열림상태로 한 후에, 직사각형 기판(5)을 흡착한 상태에서 보유부(260)가 상승하여 직사각형 기판(5)을 들어올리는 동 시에, 이어서 2개의 개폐부재(250)를 제 2 열림상태로 하여 보유부(260)를 하강시켜 직사각형 기판(5)을 척테이블(22) 위에 놓고, 흡착패드(260a)에 의한 흡착을 해제하면, 직사각형 기판(5)의 이면에 점착한 보호테이프(T)가 척테이블(22)에 흡인보유되어, 직사각형 기판(5)도 척테이블(22)에 의해 보유된다.

척테이블(22)은 회전가능한 동시에 X축 방향으로 이동가능하게 되어 있으며, 척테이블(22)의 이동경로 윗쪽에는 직사각형 기판(5)에 형성된 분리예정라인(50)(도 2 참조)을 검출하는 얼라이먼트 수단(27)이 형성되어 있다. 척테이블(22)에 있어서 직사각형 기판(5)이 보유되면, 척테이블(22)이 +X방향으로 이동하여 직사각형 기판(5)이 얼라이먼트 수단(27)의 바로 아래에 위치된다. 얼라이먼트 수단(27)은 촬상부(270)를 구비하고 있어, 촬상부(270)가 Y축 방향으로 이동하면서 취득한 화상과 미리 기억된 화상의 패턴 매칭 등에 의해 분리예정라인(50)을 검출한다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 얼라이먼트 수단(27)보다 +X방향측에는 고속회전하는 절삭 블레이드(230)를 구비하고 Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동가능한 절삭수단(23)이 형성되어 있다. 절삭수단(23)은 촬상부(270)와 일체로 형성되어 있으며, 또한 촬상부(270)의 +X방향의 연장선 위에 절삭 블레이드(230)가 위치하고 있어, 얼라이먼트 수단(27)에 의해 분리예정라인이 검출되었을 때, 그 분리예정라인(50)과 절삭 블레이드(230)의 Y축 방향의 위치맞춤이 자동적으로 이루어진다.

이렇게 하여 절삭하려고 하는 분리예정라인(50)과 절삭 블레이드(230)의 Y축 방향의 위치맞춤이 이루어진다. 이어서, 척테이블(22)에 보유된 직사각형 기판(5)이 +X방향으로 이동하는 동시에, 절삭 블레이드(230)가 고속회전하면서 절삭수단 (23)이 하강하여, 고속회전하는 절삭 블레이드(230)가 검출된 분리예정라인(50)을 절삭하여 해당 분리예정라인(50)이 절삭되어 분리된다. 척테이블(22)이 X축 방향으로 왕복이동하는 동시에, 절삭수단(23)을 인접하는 분리예정라인(50)의 한폭씩 Y축 방향으로 분할이송하면서 차례로 분리예정라인(50)을 절삭해 가면, 같은 방향의 분리예정라인(50)이 모두 절삭되어 분리된다. 또한, 척테이블(22)을 90°회전시켜 직사각형 기판(5)을 90°회전시킨 후에 상기와 마찬가지로 절삭하면, 모든 분리예정라인(50)이 분리되어 직사각형 기판(5)이 개개의 디바이스로 분할된다. 직사각형 기판(5)이 디바이스로 분리된 후에는, 척테이블(22)이 도 1 및 도 3에 나타내는 원래 위치(이하, '착탈위치'라고 함)로 돌아간다.

도 4에서 확대하여 나타내는 바와 같이, 세정수단(24)의 윗쪽에는 절삭후의 직사각형 기판을 세정수단(24)으로 반송하는 제 2 반송수단(28)이 형성되어 있다. 제 2 반송수단(28)은 Y축 방향으로 이동가능한 암부(280)와, 암부(280)의 선단부에 승강가능하게 설치된 흡착판(281)으로 구성되어 있다. 도 1 및 도 3에 나타낸 척테이블(22)에 보유되고 개개의 디바이스로 분할된 직사각형 기판(5)이 착탈위치로 되돌아가면, 직사각형 기판(5)의 흡인이 해제되는 동시에, 제 2 반송수단(28)을 구성하는 흡착판(281)이 하강하여 직사각형 기판(5)을 흡착한다. 이 상태에서 암부(280)가 -Y방향으로 이동함으로써, 직사각형 기판(5)이 세정수단(24)의 바로 위로 이동한다. 이 때, 개폐부재(250)는 제 2 열림상태로 되어 있어, 흡착판(281)의 승강을 허용한다.

세정수단(24)에는 회전 베이스(240a)의 윗면에 고정되고 피세정물을 보유하 여 회전가능한 스피너 테이블(240)과, 세정수를 분출하는 세정수 노즐 및 에어를 분출하는 에어노즐(모두 도시하지 않음)을 구비하고 있다. 절삭된 직사각형 기판(5)이 세정수단(24)의 바로 위까지 이동하면, 흡착판(281)이 하강하여 직사각형 기판(5)을 스피너 테이블(240)로 옮기고, 흡착을 해제하여 직사각형 기판(5)을 스피너 테이블(240)로 옮겨놓는다. 그리고, 회전하는 스피너 테이블(240)에 보유된 직사각형 기판(5)에 세정수 노즐로부터 세정수가 분출되어 절삭 부스러기가 제거된다. 직사각형 기판(5)은 세정이 이루어져 세정이 종료한 후에 에어노즐로부터 에어가 분출되어 세정수가 제거되고 건조된다.

절삭담당영역(2)에 있어서, 세정수단(24)의 근방(도 4의 예에서는 -Y방향측)에는 X축 방향으로 이동가능한 암부(290)와, 암부(290)의 선단부에 승강가능하게 형성된 흡착판(291)으로 이루어지는 제 3 반송수단(29)이 설치되어 있다. 직사각형 기판(5)의 세정후에는 제 3 반송수단(29)을 구성하는 흡착판(291)이 직사각형 기판(5)의 바로 위에 위치되며, 흡착판(291)이 하강하여 직사각형 기판(5)의 표면측을 흡착한다. 직사각형 기판(5)을 흡착한 상태에서 흡착판(291)이 상승하고, 암부(290)가 X방향으로 이동함으로써, 직사각형 기판(5)이 세정수단(24)으로부터 반출되어, 절삭담당영역(2)으로부터 테이프 박리담당영역(3)으로 이동해간다.

도 4에 나타낸 제 2 반송수단(28)을 구성하는 흡착판(281) 및 제 3 반송수단(29)을 구성하는 흡착판(291)으로는, 도 5에 나타내는 베르누이 패드(282)를 사용할 수 있다. 이 베르누이 패드(282)는 에어를 원추형으로 분출함으로써 발생하는 부압에 의해 직사각형 기판(5)을 보유할 수 있다.

베르누이 패드(282)는 내부에 에어 유통로(282a)가 형성된 본체부(282b)와, 에어 유통로(282a)에 연결되는 노즐부(282c)가 형성된 접촉보유부재(282d)를 구비하고 있다. 외부로부터 에어 유통로(282a)로 공급된 에어는 노즐부(282c)를 통하여 접촉보유부재(282d)의 선단부 측면으로부터 분출된다. 접촉보유부재(282d)는 예를 들어, 고무패드 등의 탄성부재를 사용하고 있다.

이와 같은 구조에 의해 에어가 분출한 상태에서 직사각형 기판(5)이 접근하면, 부압발생부(282e)에 발생한 부압에 의해 직사각형 기판(5)이 끌어당겨져 보유된다. 이 때, 접촉보유부재(282d)가 직사각형 기판(5)에 접촉하기 때문에, 절삭이 끝난 홈이 형성되어 있는 직사각형 기판(5)이어도, 접촉보유부재(282d)에 안정적으로 보유할 수 있다.

도 6에서 확대하여 나타내는 바와 같이, 테이프 박리담당영역(3)에는 절삭담당영역(2)에서 절삭 및 세정된 직사각형 기판(5)이 임시로 놓이는 임시보관 테이블(30)과, 디바이스가 놓여 픽업되는 픽업 테이블(31)과, 직사각형 기판(5)의 이면에 점착한 보호테이프(T)를 박리하면서 임시보관 테이블(30)로부터 픽업 테이블(31)로 디바이스를 옮기는 디바이스 이재수단(32)을 구비하고 있다.

임시보관 테이블(30)의 윗쪽에는 보호테이프(T)가 점착한 절삭된 직사각형 기판(5)을 +Y방향으로 이동시키는 푸셔(320)가 형성되어 있다. 암 모양의 푸셔(320)는 선단을 X축 방향으로 연장시키고, Y축 방향으로 왕복이동할 수 있도록 구성되며, 직사각형 기판(5)을 푸셔(320)의 측면(320a)에 의해 누를 수 있다. 푸셔(320)보다 +Y방향측에는 압착 롤러(321)가 설치되며, 압착 롤러(321)는 그 축을 X 축 방향을 향하도록 설치하고 있다. 압착 롤러(321)는 임시보관 테이블(30)에 놓인 직사각형 기판(5)을 윗쪽으로부터 눌러 임시보관 테이블(30)과의 사이에 끼울 수 있다.

도시한 예에서 픽업 테이블(31)은 테이블면이 같은 높이 또는 거의 같은 높이에 위치하는 제 1 테이블(310)과 제 2 테이블(311)로 구성되어 있다. 제 1 테이블(310)은 임시보관 테이블(30)과 제 2 테이블(311) 사이의 영역을 Y축 방향으로 이동가능하게 설치되며, 임시보관 테이블(30)에 근접하거나 제 2 테이블(311)에 근접할 수 있다. 또한, 제 2 테이블(311)은 임시보관 테이블(30)의 사이에서 소정 간격을 두고 설치되어 있다. 픽업 테이블(31)의 윗쪽에는 제 1 테이블(310)에 놓여 있는 디바이스를 제 2 테이블(311)로 이동시키는 디바이스 이동수단(33)이 설치되어 있다. 제 2 테이블(311)보다 +Y방향측의 아랫쪽에는, 다이싱된 직사각형 기판의 외주에 있는 단재를 수용하는 단재수용부(34)가 설치되어 있다. 또한, 임시보관 테이블(30)의 아랫쪽에는 폐기할 보호테이프를 수용하는 보호테이프 수용부(35)가 설치되어 있다.

디바이스 이동수단(33)은 Y축 방향으로 수평이동하는 수평이동부(330)와, 수평이동부(330)에 의해 Z축 방향으로 승강가능하게 지지된 로드모양의 승강부(331)와, 승강부(331)의 선단에 고정되어 제 1 테이블(310)의 위 또는 제 2 테이블(311)의 아래에서 디바이스나 단재를 슬라이딩 운동시켜 +Y방향으로 밀어내는 압출부(332)를 구비하고 있다. 압출부(332)는 제 1 테이블(310)에 놓여 있는 디바이스를 +Y방향으로 밀어내 제 2 테이블(311)로 이동시키는 디바이스 압출부(332a)와, 제 2 테이블(311)에 남아있는 단재를 단재수용부(34)로 폐기하는 단재압출부(332b)를 가지고 있다. 도시한 예에서 압출부(332)는 승강부(331)의 하단부로부터 -X방향측으로 수평으로 돌출되며, 중심부가 개구된 사각틀 형상으로 형성되어 있다. 압출부(332)는 -Y방향측의 일변이 디바이스 압출부(332a)를 형성하고, 디바이스 압출부(332a)와 마주보는 +Y방향측의 일변이 단재압출부(332b)를 형성하고 있다.

도 7에 나타내는 바와 같이, 임시보관 테이블(30)과 제 1 테이블(310) 사이에는 직사각형 기판(5)의 불필요 단부를 파지할 수 있는 파지부(322)가 설치되어 있고, 파지부(322)는 임시보관 테이블(30)의 아랫쪽에 배치된 파지부 구동부(323)에 의해 임시보관 테이블(30)의 아랫쪽으로 하강가능하게 되어 있다. 또한, 제 1 테이블(310)은 제 2 테이블(311)의 하부에 고정된 구동부(311a)에 의해 Y축 방향으로 이동가능하게 되어 있다.

도 7의 예에서의 파지부 구동부(323)는 Y축 방향으로 설치된 볼 나사(323a)와, 볼 나사(323a)를 회전운동시키는 모터(323b)와, 내부의 너트가 볼 나사(323a)에 나사결합하여 볼 나사(323a)의 회전운동에 따라 Y축 방향으로 이동하는 기부(323c)와, 기부(323c)에 축지지되어 회전운동 가능한 회전운동부(323d)와, 회전운동부(323d)의 회전운동을 가이드하는 가이드 부재(323e)와, 회전운동부(323d)에 고정되어 파지부(322)를 승강시키는 승강구동부(323f)로 구성된다. 승강구동부(323f)는 예를 들어, 에어피스톤을 사용할 수 있다.

파지부(322)는, 임시보관 테이블(30)과 제 1 테이블(310) 사이에 생긴 공간으로 상승하며, 회전운동부(323d)의 단면(323g)과의 사이에서 임시보관 테이블(30) 에 놓인 직사각형 기판의 단부를 보호테이프(T)와 함께 협지할 수 있다. 회전운동부(323d)의 바깥측면(323h)과 기부(323c)의 경사면(323i)의 사이에는 압축 스프링(324)이 끼워져 있으며, 보통의 상태에서는 회전운동부(323d)가 기립하도록 힘을 받고 있다. 또한, 기부(323c)의 바깥측면에는 롤러 지지부(323j)가 고정되며, 롤러 지지부(323j)는 테이프 탈락용 롤러(323k)를 축지지하고 있다.

회전운동부(323d)에는 X축 방향으로 연장되는 가이드핀(323m)을 구비하고 있으며, 이 가이드 핀(323m)은 가이드 부재(323e)에 의해 지지되고, 가이드 부재(323e) 위를 슬라이딩 운동 가능하게 되어 있다. 가이드 부재(323e)는 경사면과 수평면을 가지고 있으며, 모터(323b)의 구동에 의해 볼나사(323a)가 회전운동함으로써 회전운동부(323d)가 가이드 부재(323e)의 윗 가장자리를 따라 이동할 수 있다. 기부(323c)가 -Y방향으로 이동하면, 맨 처음에는 가이드핀(323m)이 가이드 부재(323e)의 경사면을 따라 상승하면서 슬라이딩 운동하기 때문에, 이에 따라 회전운동부(323d)가 서서히 반시계방향으로 회전운동하여 기울어지게 된다. 그리고, 가이드 핀(323m)이 가이드 부재(323e)의 수평면 위를 슬라이딩 운동하게 되면, 도 8에 나타내는 바와 같이, 회전운동부(323d)는 경사진 상태를 유지하면서 -Y방향으로 수평이동하게 된다.

도 6에 나타내는 바와 같이, 임시보관 테이블(30)에 절삭된 직사각형 기판(5)이 놓이면, 푸셔(320)가 +Y방향으로 이동함으로써 직사각형 기판(5)이 +Y방향으로 이동하고, 도 9에 나타내는 바와 같이 직사각형 기판(5)이 압착 롤러(321)와 임시보관 테이블(30) 사이로 들어간다. 또한 직사각형 기판(5)이 푸셔(320)에 의해 동일 방향으로 눌리면, 도 9에 나타내는 바와 같이 직사각형 기판(5) 바깥둘레의 불필요 단부(52)가 보호테이프(T)와 함께 파지부(322)와 회전운동부(323d) 단면(323g)의 사이로 눌려들어가, 승강구동부(323f)의 구동에 의해 불필요 단부(52)가 보호테이프(T)와 함께 협지된다.

이어서, 도 9에 나타내는 바와 같이 불필요 단부(52)가 보호테이프(T)와 함께 파지부(322)와 회전운동부(323d)의 단면(323g)에 의해 협지된 상태에서, 모터(323b)의 구동에 의해 기부(323c)를 -Y방향으로 이동시킨다. 그러면, 가이드핀(323m)이 가이드 부재(323e)의 경사면을 슬라이딩 운동하면서 회전운동부(323d)가 서서히 반시계방향으로 회전운동하여 기울어지게 되고, 불필요 단부(52)에 인접한 제 1 디바이스 열(D1)은 압착 롤러(321)에 의해 눌려 있기 때문에, 불필요 단부(52)만이 보호테이프(T)와 함께 아랫쪽으로 당겨진다. 이 때, 푸셔(320)에 의해 직사각형 기판(5)을 +Y방향으로 밀어내는 동시에 보호테이프(T)로부터 당겨짐으로써 모든 디바이스가 임시보관 테이블(30) 위를 +Y방향으로 이동한다.

그리고, 불필요 단부(52)가 임시보관 테이블(30)보다 아랫쪽으로 내려가고, 불필요 단부(52)에 인접하였던 제 1 디바이스 열(D1)이 임시보관 테이블(30)의 단부 부근까지 이동하면, 도 10에서 이점쇄선으로 나타내는 바와 같이, 제 1 테이블(310)이 임시보관 테이블(30)에 가까워지고, 보호테이프(T)의 두께보다 약간 큰 간격을 남기고 제 1 테이블(310)이 임시보관 테이블(30)에 접근한다. 이 상태에서 다시 기부(323c)가 -Y방향으로 이동하면, 보호테이프(T)는 아랫쪽으로 당겨지는데, 불필요 단부(52)에 인접하였던 제 1 디바이스 열(D1)은 도 11에 나타내는 바와 같 이, 아랫쪽으로 당겨지지 않고 제 1 테이블(310)로 옮겨져 간다. 이렇게 하여 제 1 디바이스 열(D1)만이 제 1 테이블(310)로 옮겨진다.

제 1 디바이스 열(D1)이 제 1 테이블(310)로 옮겨지면, 도 12에 나타내는 바와 같이, 제 1 테이블(310)이 +Y방향으로 이동하여 제 2 테이블(311)로 근접한다. 이어서, 디바이스 이동수단(33)을 구성하는 압출부(332)가 하강하고, 압출부(332)가 제 1 테이블(310) 위를 +Y방향으로 슬라이드함으로써, 압출부(332)를 구성하는 압출부(332a)가 제 1 디바이스 열(D1)을 -Y방향으로 밀어 넣어, 도 13에 나타내는 바와 같이 제 1 디바이스 열(D1)을 제 1 테이블(310)로부터 제 2 테이블(311)로 옮긴다. 이와 같이 파지부(322)와 압착 롤러(321)와 푸셔(320)와 파지부 구동부(323)가 협동하여, 디바이스 열을 픽업 테이블(31)로 옮기는 디바이스 이재수단(32)을 구성한다.

제 1 디바이스 열(D1)이 제 2 테이블(311)로 옮겨지면, 후술하는 바와 같이 제 2 테이블(311)로 옮겨진 제 1 디바이스 열(D1)을 구성하는 디바이스는 각각 픽업되어 디바이스 케이스로 수용된다. 하지만, 디바이스가 픽업된 후에도, 도 2에 나타낸 단재(51)는 그대로 제 2 테이블(311)에 남는다. 이어서, 도 14에 나타내는 바와 같이, 제 1 테이블(310)이 -Y방향으로 이동하여 임시보관 테이블(30)에 근접한다. 그 후, 푸셔(320)에 의해, 제 1 디바이스 열(D1)이 떨어져나간 절삭후의 직사각형 기판(5)이 다시 +Y방향으로 눌려 슬라이드하는 동시에, 기부(323c)가 다시 -Y방향으로 이동함으로써 제 2 디바이스 열(D2)이 제 1 테이블(310)로 옮겨진다. 그 후에는 도 12 및 도 13에 나타낸 것과 같이, 제 2 테이블(311)로 옮겨진다. 이 때, 단재(51)는 압출부(332)의 단재압출부(332b)에 의해 단재수용부(34)에 수용된다.

도 15에 확대하여 나타내는 바와 같이, 디바이스 수용담당영역(4)에는 픽업 테이블로 옮겨진 디바이스를 픽업하여 디바이스 케이스에 수용하는 픽업수단(40)과, 빈 디바이스 케이스(6)를 격납하는 빈 디바이스 케이스 격납부(41)와, 빈 디바이스 케이스 격납부(41)로부터 빈 디바이스 케이스(6)를 꺼내 픽업수단(40)에 의해 픽업된 디바이스를 수용할 수 있는 위치인 디바이스 수용위치에 위치시키는 디바이스 케이스 위치맞춤수단(42)과, 디바이스가 수용된 디바이스 케이스를 격납하는 수용완료된 디바이스 케이스 격납부(43)를 적어도 구비하고 있다. 도시한 예에서 수용완료된 디바이스 케이스 격납부(43)는 양품의 디바이스가 수용된 양품 디바이스 케이스(7)를 격납하는 양품 디바이스 케이스 격납부(430)와, 불량품 디바이스가 수용된 불량품 디바이스 케이스(8)를 격납하는 불량품 디바이스 케이스 격납부(431)로 구성된다. 빈 디바이스 케이스 격납부(41), 양품 디바이스 케이스 격납부(430), 불량품 디바이스 케이스 격납부(431)는 각각 디바이스 케이스를 수직방향으로 겹쳐 복수개 격납할 수 있다.

픽업수단(40)은 지지부(401)의 아랫면측에서 지지부(402)가 X축 방향으로 이동가능하게 설치되며, 지지부(402)는 흡착부(403)를 승강가능하게 지지되어 있다. 또한, 지지부(401)의 아랫면측에는 디바이스를 촬상하여 불량품 여부를 판별하는 판별부(404)를 구비하고 있다.

빈 디바이스 케이스 격납부(41), 양품 디바이스 케이스 격납부(430), 불량품 디바이스 케이스 격납부(431) 각각의 바로 아래에는, 제 1 승강판(420), 제 2 승강판(421), 제 3 승강판(422)이 각각 Y축 방향으로 나란히 형성되어 있다. 제 1 승강판(420), 제 2 승강판(421), 제 3 승강판(422)에는 디바이스 케이스를 놓을 수 있다. 또한, 제 1 승강판(420), 제 2 승강판(421), 제 3 승강판(422)의 윗쪽에는 Y축 방향으로 평행 이동가능한 제 1 케이스 틀(423), 제 2 케이스 틀(424)이, Y축 방향으로 나란히 형성되어 있다. 각각 사각형상인 제 1 케이스 틀(423)과 제 2 케이스 틀(424)은 그 높이를 달리 하고 있다. 즉, 제 1 케이스 틀(423)이 높이가 낮은 역 L자형의 지지 암(423a)에 의해 지지되고, 제 2 케이스 틀(424)이 높이가 높은 역 L자형의 지지 암(424a)에 의해 지지되어, 제 1 케이스 틀(423)보다 제 2 케이스 틀(424)이 높은 위치에 배치되어 있다. 제 1 케이스 틀(423) 및 제 2 케이스 틀(424)은 각각 Y축 방향으로 이동가능하며, Y축의 동일 직선상에 배치되어 있지만, 제 2 케이스 틀(424)이 제 1 케이스 틀(423)보다 -X방향측에 배치되고, 제 1 케이스 틀(423)과 제 2 케이스 틀(424)이 교차할 때는, 제 1 케이스 틀(423)이 제 2 케이스 틀(424)의 내측으로 들어가, 서로가 접촉하지 않는다. 제 1 승강판(420)과 제 2 승강판(421)과 제 3 승강판(422)과 제 1 케이스 틀(423)과 제 2 케이스 틀(424)이 유기적으로 동작함으로써, 디바이스 케이스가 디바이스 수용위치에 위치되며, 디바이스 케이스 위치맞춤수단(42)을 구성한다.

빈 디바이스 케이스 격납부(41)에 격납됩 복수의 빈 디바이스 케이스(6) 중, 가장 아래에 격납된 것은 제 1 돌출편(410)에 의해 지지되어 낙하하지 않도록 되어 있으며, 이에 의해 그 윗쪽의 디바이스 케이스도 지지되어 있다. 제 1 돌출편(410) 은 빈 디바이스 케이스 격납부(41)의 측벽으로부터 출몰가능하게 되어 있으며, 몰입시에는 빈 디바이스 케이스(6)의 지지상태가 해제된다. 양품 디바이스 케이스 격납부(430) 및 불량품 디바이스 케이스 격납부(431)에도 마찬가지의 기능을 가지는 제 2 돌출편(430a), 제 3 돌출편(431a)이 각각 설치되어 있다.

도 14에 나타낸 바와 같이, 픽업 테이블(31)을 구성하는 제 2 테이블(311)에 제 1 디바이스 열(D1)이 놓인 후에는, 빈 디바이스 케이스 격납부(41)의 가장 아랫부분에 격납된 빈 디바이스 케이스를 꺼내, 디바이스를 수용할 수 있는 위치(디바이스 수용위치)로 이동시킨다. 아래에서는, 빈 디바이스 케이스 격납부(41)로부터 2개의 디바이스 케이스를 꺼내, 그 중 하나를 양품 디바이스 케이스로 하고, 또 하나를 불량품 디바이스 케이스로 하는 경우에 대하여 설명한다.

맨 처음에 도 16의 (A)에 나타내는 바와 같이, 빈 디바이스 케이스 격납부(41)의 바로 아래로서 제 1 승강판(420)의 바로 위에 제 1 케이스 틀(423)을 위치시킨다. 그리고, 제 1 케이스 틀(423)의 내부를 통하여 제 1 승강판(420)을 상승시켜, 도 16의 (B)에 나타내는 바와 같이 제 1 승강판(420)을 가장 아랫부분의 빈 디바이스 케이스(6a)의 아랫면에 밀착시켜 지지하고, 제 1 돌출편(410)에 의한 지지상태를 해제하여, 그 상태에서 제 1 승강판(420)을 하강시키면, 가장 아랫부분의 빈 디바이스 케이스(6a)도 같이 하강하여 추출할 수 있다. 그리고 제 1 돌출편(410)을 돌출시켜 가장 아랫부분의 빈 디바이스 케이스(6a)의 바로 위의 빈 디바이스 케이스(6b)를 지지하게 하는 동시에, 다시 제 1 승강판(420)을 하강시키면, 도 16의 (C)에 나타내는 바와 같이 추출한 빈 디바이스 케이스(6a)는 제 1 케이스 틀 (423)에 수용된다. 이렇게 하여 제 1 케이스 틀(423)에 수용된 빈 디바이스 케이스(6a)가 양품 디바이스 케이스가 된다.

빈 디바이스 케이스(6a)가 수용된 제 1 케이스 틀(423)을 Y축 방향으로 이동시킴으로써, 빈 디바이스 케이스(6a)를 양품 디바이스 수용위치에 위치시킬 수 있다. 예를 들어, 도 17의 (A)에 나타내는 바와 같이, 제 1 케이스 틀(423)을 -Y방향으로 이동시켜, 양품 디바이스 케이스 격납부(430)의 바로 아래에 위치시키고, 이 위치에서 양품 디바이스 케이스(6a)로 디바이스를 수용하는 경우에는, 이 위치가 양품 디바이스 수용위치가 된다. 이와 같이 제 1 승강판(420) 및 제 1 케이스 틀(423)이 빈 디바이스 케이스 격납부(41)로부터 빈 디바이스 케이스를 꺼내어 빈 디바이스 케이스를 양품 디바이스 케이스로서 양품의 디바이스가 수용되는 위치인 양품 디바이스 수용위치에 위치시키는 양품 디바이스 케이스 위치맞춤수단으로서 기능한다. 한편, 양품 디바이스 수용위치는 픽업수단(40)을 구성하는 흡착부(403)가 이동가능한 위치이며, 또한 후술하는 불량품 디바이스 수용위치와 겹치지 않는 위치이면, 도시한 예의 위치로 한정되지 않는다.

또한, 빈 디바이스 케이스 격납부(41)로부터 다른 빈 디바이스 케이스(6b)를 꺼내어 불량품 디바이스 케이스로 한다. 불량품 디바이스 케이스는 제 1 케이스 틀(424)에 수용한다. 도 17의 (A)에 나타내는 바와 같이, 빈 디바이스 케이스(6a)를 양품 디바이스 수용위치에 위치시킨채, 제 2 케이스 틀(424)을 +Y방향으로 이동시켜 빈 디바이스 케이스 격납부(41)의 바로 아래에 위치시킨 후에, 제 1 승강판(420)을 상승시켜 빈 디바이스 케이스(6b)를 지지한다. 그리고, 제 1 돌출편(410) 을 몰입시켜 가장 아랫부분의 빈 디바이스 케이스(6b)를 꺼내고, 제 1 승강판(420)이 빈 디바이스 케이스(6b)를 지지한 상태에서 제 1 승강판(420)을 하강시키면, 도 17의 (B)에 나타내는 바와 같이, 빈 디바이스 케이스(6b)가 제 2 케이스 틀(424)에 수용된다. 이렇게 하여 제 2 케이스 틀(424)에 수용된 빈 디바이스 케이스(6b)가 불량품 디바이스 케이스가 된다. 이어서, 제 2 케이스 틀(424)이 -Y방향으로 이동함으로써, 도 17의 (C)에 나타내는 바와 같이, 불량품 디바이스 케이스(6b)를 양품 디바이스 케이스(6a)와 겹치지 않는 위치로 이동시킬 수 있다. 이 상태에서는 양품 디바이스를 양품 디바이스 케이스(6a)에 수용할 수 있다. 이와 같이 제 1 승강판(420) 및 제 2 케이스 틀(424)이 빈 디바이스 케이스 격납부(41)로부터 빈 디바이스 케이스를 꺼내어 빈 디바이스 케이스를 불량품 디바이스 케이스로서 불량품 디바이스가 수용되는 위치인 불량품 디바이스 수용위치에 위치시키는 불량품 디바이스 케이스 위치맞춤수단으로서 기능한다. 한편, 불량품 디바이스 수용위치는 픽업수단(40)을 구성하는 흡착부(403)가 이동가능한 위치이면 좋다. 본 예에서 디바이스 수용위치는 양품 디바이스 수용위치의 바로 위이다.

이와 같이 하여 양품 디바이스 수용위치에 양품 디바이스 케이스(6a)가 위치되면, 도 18에 나타내는 바와 같이, 픽업수단(40)을 구성하는 지지부(402)가 +X방향으로 이동하고, 다시 흡착부(403)가 하강하여 제 1 디바이스 열(D1)을 구성하는 디바이스를 하나씩 흡착한다. 이 때, 흡착전에 판별부(404)에 의해 디바이스를 촬상하여 불량품 여부를 판단한다. 이 타이밍에서 불량품 여부를 판별하면, 생산성을 떨어뜨리지 않는다. 한편, 제 1 디바이스 열(D1)의 양단에는 2개의 단재(51)(도 2 참조)가 있으며, 이들 단재(51)는 픽업되지 않는다.

픽업 대상인 디바이스가 양품이라고 판단된 경우에는, 흡착부(403)가 디바이스를 흡착한 상태에서 지지부(402)를 -X방향으로 이동시켜, 흡착한 디바이스를 양품 디바이스 케이스(6a)의 소정의 빈 영역의 바로 위에 위치시키고, 흡착판(403)을 하강시키는 동시에 흡착을 해제하여 그 빈 영역에 양품 디바이스를 수용한다. 한편, 픽업 대상인 디바이스가 불량품이라고 판단된 경우에는, 제 2 케이스 틀(424)이 +Y방향으로 이동하여 불량품 디바이스 케이스(6b)가 불량품 디바이스 수용위치에 위치되는 동시에 지지부(402)가 -X방향으로 이동하여, 흡착부(403)를 불량품 디바이스 케이스(6b)의 소정의 빈 영역의 바로 위에 위치시키고, 흡착부(403)를 하강시키는 동시에 흡착을 해제하여 그 빈 영역에 불량품 디바이스를 수용한다. 양품 디바이스 케이스(6a), 불량품 디바이스 케이스(6b)는 빈 영역으로의 디바이스의 수용상황에 따라 적절히 Y축 방향으로 이동시킨다. 이와 같이 하여 제 1 디바이스 열(D1)을 구성하는 개개의 디바이스가 양품 디바이스 케이스(6a) 또는 불량품 디바이스 케이스(6b)의 어느 한 쪽에 차례로 수용되어 간다. 한편, 픽업수단(40)이 Y축 방향으로 이동할 수 있는 구성으로 하여도 좋다.

한편, 제 2 테이블(311)에 놓인 단재(51)는 제 2 테이블(311)보다 +Y방향측에 있는 단재수용부(34)에 폐기된다. 그 방법을 도 19에 나타낸다. 도 14에 나타내는 바와 같이, 제 1 디바이스 열(D1)이 제 2 테이블(311)로 옮겨지면, 그 다음의 제 2 디바이스 열(D2)로부터 보호테이프(T)가 박리되어 제 1 테이블(310)에 놓인 상태가 된다. 그리고, 제 1 디바이스 열(D1)을 구성하는 모든 디바이스가 픽업되어 양품 디바이스 케이스(6a) 또는 불량품 디바이스 케이스(6b)에 수용되면, 이어서 제 1 테이블(310)에 놓인 제 2 디바이스 열(D2)을 제 2 테이블(311)로 옮기는 작업을 한다. 이 작업은 도 12 및 도 13에 나타낸 것과 마찬가지로, 제 1 테이블(310)을 제 2 테이블(311)에 접근시키고 나서, 압출부(332)를 +Y방향으로 이동시켜 디바이스 압출부(332a)가 제 2 디바이스 열(D2)을 눌러넣음으로써 이루어진다. 이 때, 도 19에 나타내는 바와 같이, 압출부(332)를 구성하는 단재압출부(332b)가 제 1 디바이스 열(D1)을 구성하고 있던 단재(51)를 +Y방향으로 눌러넣기 때문에, 제 2 디바이스 열(D2)을 제 1 테이블(310)로부터 제 2 테이블(311)로 옮겨놓는 작업과 동시에, 제 1 디바이스 열(D1)을 구성하고 있던 단재(51)를 단재압출부(332b)에 의해 +Y방향으로 밀어내고, 아랫쪽으로 떨어뜨려 단재수용부(34)에 수용할 수 있다. 따라서, 매우 효율적이며, 또한 단재(51)를 단재수용부(34)에 수용시키기 위한 전용 기구를 마련할 필요도 없다.

이와 같이 하여 새롭게 픽업하려고 하는 디바이스로 구성되는 디바이스 열을 제 1 테이블(310)로부터 제 2 테이블(311)로 옮겨놓는 동시에, 픽업이 끝난 디바이스 열을 구성하고 있던 단재의 폐기를 동시에 하면서, 도 18에 나타낸 바와 같이 픽업수단(40)에 의해 차례로 디바이스를 픽업하여 디바이스 케이스에 수용해 간다. 양품 디바이스 케이스(6a)의 모든 영역에 양품의 디바이스가 수용된 경우에는 도 20의 (A)에 나타내는 바와 같이, 불량품 디바이스 케이스(6b)를 양품 디바이스 케이스(6a)와 겹치지 않는 위치로 이동시킨 후에, 제 2 승강판(421)이 상승하고, 제 2 돌출편(430a)을 몰입시켜 양품 디바이스 케이스(6a)를 양품 디바이스 케이스 격 납부(430)에 격납한다. 이어서, 도 20의 (B)에 나타내는 바와 같이 제 2 승강판(421)이 하강하여 원래의 위치로 돌아가는 동시에, 제 1 케이스 틀(423)을 빈 디바이스 케이스 격납부(41)의 바로 아래로 이동시킨 후에, 제 1 승강판(420)을 상승시켜 빈 디바이스 케이스 격납부(41)로부터 새롭게 빈 디바이스 케이스(6c)를 꺼낸다. 제 1 승강판(420)을 하강시키면, 꺼낸 빈 디바이스 케이스(6c)가 제1 케이스 틀(423)에 수용된다. 이후의 동작은 도 16 및 도 17과 마찬가지이다. 불량품 디바이스 케이스(6b)의 모든 영역 슬롯에 불량품 디바이스가 수용된 경우에도, 그 불량품 디바이스 케이스(6b)를 불량품 디바이스 케이스 격납부(431)에 격납하는 동시에, 빈 디바이스 케이스 격납부(41)로부터 새롭게 다른 빈 디바이스 케이스를 꺼내어 제 2 케이스 틀(424)에 수용한다.

도 21에 나타내는 바와 같이, 마지막 디바이스 열인 제 8 디바이스 열(D8)이 보호테이프(T)로부터 박리되면, 제 8 디바이스 열(D8)이 제 1 테이블(310)로 옮겨진다. 그리고 다시 기부(323c)가 -Y방향으로 이동하면, 보호테이프(T) 중 파지부(322)에 의해 끼워져 있는 부분 이외에 대해서는, 제 8 디바이스 열(D8)에 인접하는 불필요 단부(52)와 함께 아랫쪽으로 떨어진다. 도 22에 나타내는 바와 같이, 파지부(322)를 상승시켜 협지상태를 해제하면, 보호테이프(T)가 양단의 불필요 단부(52)와 함께 아랫쪽으로 낙하한다. 필요하다면 테이프 탈락용 롤러(323k)를 반시계방향으로 회전시킴으로써, 보호테이프(T) 및 그 양단에 붙은 불필요 단부(52)를 확실하게 떨어뜨릴 수 있다. 디바이스 이재수단(32)의 아랫쪽에는 보호테이프 수용부(35)가 설치되어 있기 때문에, 떨어진 보호테이프(T)는 보호테이프 수용부(35)에 수용된다.

이상 설명한 바와 같이, 분할장치(1)에서는 절삭담당영역(2)에서 이면에 보호테이프(T)가 점착한 직사각형 기판(5)이 절삭되어 개개의 디바이스로 분할된 후에 세정하고, 테이프 박리담당영역(3)에서는 디바이스를 보호테이프(T)로부터 확실하고, 쉽고 효율적으로 박리하는 동시에, 픽업 테이블로 옮길 수 있으며, 픽업 테이블(31)로 옮겨진 디바이스는 디바이스 수용담당영역(4)에서 디바이스 케이스에 수용할 수 있다. 따라서 하나의 장치로 절삭에서 디바이스 수용까지 할 수 있다. 보호테이프(T)의 박리와 디바이스의 픽업 테이블(31)로의 이동이 동시에 가능하기 때문에, 생산성이 매우 높고, 링모양의 프레임도 필요없기 때문에 장치의 소형화에 따른 공간절약을 도모할 수 있다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 절삭담당영역(2)에서는 카세트 테이블(20), 반출수단(21) 및 세정수단(24)이 제 1 직선(10)상에 설치되며, 절삭수단(23)이 제 1 직선(10)에 직교하는 제 2 직선(11) 위에 배치되고, 척테이블(22)이 제 2 직선(11) 위를 이동가능하도록 구성되어 있다. 즉, 카세트 테이블(20), 반출수단(21) 및 세정수단(24)은 Y축 방향의 연장선 상에 배치되며, 절삭수단(23), 척테이블(22)은 X축 방향의 연장선 위에 배치되어 있다.

테이프 박리담당영역(3)에서는 임시보관 테이블(30)이 세정수단(24)에 대하여 제 2 직선(11)에 평행한 직선상에 배치되고, 임시보관 테이블(30)과 픽업 테이블(31)이 제 1 직선(10)에 평행한 직선상에 배치되어 있다. 즉, 임시보관 테이블(30)은 세정수단(24)의 X축 방향의 연장선상에 배치되며, 픽업 테이블(31)은 임시 보관 테이블(30)의 Y축 방향의 연장선상에 배치되어 있다. 픽업 테이블(31)의 제 1 테이블(310) 및 제 2 테이블(311)도 임시보관 테이블(30)의 Y축의 연장선상에 배치되어 있다.

디바이스 수용담당영역(4)에서는 빈 디바이스 케이스 격납부(41)와 수용완료된 디바이스 케이스 격납부(43)가 제 1 직선에 평행한 직선상에 배치되며, 디바이스 케이스 위치맞춤수단(42)이 빈 디바이스 케이스 격납부(41)의 바로 아래와 수용완료된 디바이스 케이스 격납부(43)의 바로 아래에 각각 형성되어 있다. 즉, 빈 디바이스 케이스 격납부(41)와 수용완료된 디바이스 케이스 격납부(43)는 Y축 방향의 연장선위에 형성되며, 디바이스 케이스 위치맞춤수단(42)은 빈 디바이스 케이스 격납부(41) 및 수용완료된 디바이스 케이스 격납부(43)의 Z축 방향의 연장선 위에 형성되어 있다. 또한, 절삭담당영역(2), 테이프 박리담당영역, 디바이스 수용담당영역(4)이 X축 방향으로 작업의 공정 순서대로 설치되어 있다.

상기와 같은 위치관계에 의해 절삭담당영역(2), 테이프 박리담당영역, 디바이스 수용담당영역(4)의 어느 곳에서도, 직사각형 기판(5)의 불필요한 움직임이 없게 되며, 각 담당영역 사이의 이동에 있어서도 불필요한 이동이 없어지기 때문에, 장치의 소형화에 따른 공간절약을 도모할 수 있는 동시에 효율적이다.

한편, 이상의 설명에서는 픽업 테이블(31)은 제 1 테이블(310)과 제 2 테이블(311)로 구성된다고 하였지만, 픽업 테이블(31)을 구성하는 테이블은 하나여도 좋다. 테이블이 한 개인 경우, 그 하나의 테이블이 임시보관 테이블(30)에 근접하거나 떨어지게 하면 된다. 또한, 그 하나의 테이블은 반드시 이동가능할 필요는 없 다. 마찬가지로 픽업 테이블(31)이 제 1 테이블(310)과 제 2 테이블(311)로 구성되는 경우에도, 제 1 테이블(310)은 반드시 이동가능할 필요는 없다. 해당 한 개의 테이블 또는 제 1 테이블이 고정되는 경우에는, 모든 테이블이 임시보관 테이블(30)과의 사이에 파지부(322)를 진입시키기 위한 간격이 형성되지 않으면 안된다. 단, 그 경우에는 디바이스가 옮겨질 때, 압력이 걸려 디바이스가 파손될 우려가 있기 때문에, 테이블은 이동할 수 있게 구성하는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 보다 적은 공간에서 직사각형 기판을 분할하고, 분할에 의해 나누어진 디바이스를 디바이스 케이스에 수용할 수 있는 동시에, 직사각형 기판의 이면에 점착한 보호테이프로부터 디바이스를 확실하고 효율적으로 픽업할 수 있다.

Claims (9)

1. 이면에 보호테이프가 점착하고 디바이스를 개개로 분할하는 분리예정라인을 형성한 직사각형 기판을 상기 분리예정라인에 따라 분리하여 개개의 디바이스로 분할하고, 상기 개개의 디바이스를 디바이스 케이스에 수용하는 직사각형 기판의 분할장치로서,

   복수의 상기 직사각형 기판을 수용한 카세트가 놓이는 카세트 테이블과, 상기 카세트로부터 상기 직사각형 기판을 반출하는 반출수단과, 반출된 상기 직사각형 기판을 보유하는 척테이블과, 상기 척테이블에 보유된 상기 직사각형 기판을 상기 분리예정라인에 따라 절삭하여 개개의 디바이스로 분할하는 절삭수단과, 절삭된 상기 직사각형 기판을 세정하는 세정수단으로 구성되는 절삭담당영역과,

   절삭 및 세정된 상기 직사각형 기판이 임시보관되는 임시보관 테이블과, 상기 직사각형 기판을 구성하는 개개의 디바이스가 픽업될 때 상기 디바이스가 놓이는 픽업 테이블과, 상기 직사각형 기판의 이면에 점착한 상기 보호테이프를 박리하면서 상기 임시보관 테이블로부터 상기 픽업 테이블로 디바이스를 옮겨놓는 기능을 가지는 디바이스 이재수단으로 구성되는 테이프 박리담당영역과,

   상기 픽업 테이블에 옮겨진 디바이스를 픽업하여 디바이스 케이스에 수용하는 픽업수단과, 빈 디바이스 케이스를 격납하는 빈 디바이스 케이스 격납부와, 상기 빈 디바이스 케이스 격납부로부터 빈 디바이스 케이스를 꺼내 상기 빈 디바이스 케이스를 상기 픽업수단에 의해 디바이스를 수용할 수 있는 위치인 디바이스 수용위치에 위치시키는 디바이스 케이스 위치맞춤수단과, 디바이스가 수용된 디바이스 케이스를 격납하는 수용완료 디바이스 케이스 격납부를 적어도 포함하는 디바이스 수용담당영역을 적어도 구비하며,

   상기 테이프 박리담당영역에 있어서,

   상기 픽업 테이블은 제 1 테이블과 제 2 테이블로 구성되고, 상기 제 2 테이블은 상기 임시보관 테이블과 소정의 간격을 두고 설치되며, 상기 제 1 테이블은 상기 임시보관 테이블과 상기 제 2 테이블 사이를 이동가능하게 설치되고,

   상기 디바이스 이재수단은 상기 임시보관 테이블에 놓인 상기 직사각형 기판의 불필요 단부를 상기 보호테이프와 함께 파지하는 파지부와, 상기 임시보관 테이블에 놓인 상기 직사각형 기판을 누르는 압착 롤러와, 상기 직사각형 기판을 상기 압착 롤러와 상기 임시보관 테이블 사이에 밀어 넣어 상기 제 1 테이블이 상기 임시보관 테이블에 접근한 위치에 있는 상태에서 상기 제 1 테이블 측으로 이동시키는 푸셔와, 상기 파지부를 적어도 상기 임시보관 테이블의 아랫쪽으로 하강시켜 상기 직사각형 기판의 이면으로부터 상기 보호테이프를 박리하는 파지부 구동부로 구성되며,

   상기 픽업 테이블의 윗쪽에는 상기 제 1 테이블이 상기 제 2 테이블에 근접한 위치에 있으며, 상기 제 1 테이블에 디바이스가 놓여 있을 때, 상기 제 1 테이블에 놓여 있는 디바이스를 상기 제 2 테이블로 이동시키는 디바이스 이동수단이 설치되고,

   상기 픽업수단은 상기 제 2 테이블로 이동한 디바이스를 픽업하는 직사각형 기판의 분할장치.
2. 삭제
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 파지부 구동부는 상기 제 1 테이블로부터 멀어지는 방향으로 이동가능한 기부와, 상기 기부에 축지지되어 회전운동 가능한 회전운동부와, 상기 회전운동부의 회전운동을 가이드하는 가이드 부재와, 상기 회전운동부에 고정되어 상기 파지부를 승강시키는 승강구동부로 구성되는 직사각형 기판의 분할장치.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 임시보관 테이블의 아랫쪽에는 상기 파지부 구동부가 상기 직사각형 기판으로부터 박리한 상기 보호테이프를 수용하는 상기 보호테이프 수용부가 설치되어 있는 직사각형 기판의 분할장치.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 제 2 테이블을 사이에 두고 상기 제 1 테이블의 반대측에는 절삭된 상기 직사각형 기판을 구성하는 단재를 수용하는 단재수용부가 설치되고,

   상기 디바이스 이동수단은 상기 제 1 테이블에 놓여 있는 디바이스를 상기 제 2 테이블을 향하여 밀어내 이동시키는 디바이스 압출부와, 상기 제 2 테이블에 남아있는 단재를 밀어내 상기 제 2 테이블로부터 상기 단재수용부로 떨어뜨리는 단재압출부를 구비하는 직사각형 기판의 분할장치.
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 디바이스 수용담당영역에 있어서, 상기 픽업수단은 픽업 대상인 디바이스가 불량품인지 여부를 판별하는 판별부를 포함하고,

   상기 디바이스 케이스는 양품의 디바이스를 수용하는 양품 디바이스 케이스와, 불량품 디바이스를 수용하는 불량품 디바이스 케이스로 구성되며,

   상기 수용완료된 디바이스 케이스 격납부는 상기 양품 디바이스 케이스를 격납하는 양품 디바이스 케이스 격납부와, 상기 불량품 디바이스 케이스를 격납하는 불량품 디바이스 케이스 격납부로 구성되고,

   상기 디바이스 케이스 위치맞춤수단은, 상기 빈 디바이스 케이스 격납부로부터 빈 디바이스 케이스를 꺼내 상기 빈 디바이스 케이스를 양품 디바이스 케이스로서 양품 디바이스가 수용되는 위치인 양품 디바이스 수용위치에 위치시키는 양품 디바이스 케이스 위치맞춤수단과, 상기 빈 디바이스 케이스 격납부로부터 빈 디바이스 케이스를 꺼내 상기 빈 디바이스 케이스를 불량품 디바이스 케이스로서 불량품 디바이스가 수용되는 위치인 불량품 디바이스 수용위치에 위치시키는 불량품 디바이스 케이스 위치맞춤수단으로 구성되는 직사각형 기판의 분할장치.
7. 제 1 항에 있어서,

   상기 절삭담당영역에는,

   상기 카세트로부터 반출된 상기 직사각형 기판의 자세를 교정하는 자세교정수단과,

   상기 자세교정수단에 의해 자세가 교정된 상기 직사각형 기판을 보유하여 상기 척테이블에 놓는 제 1 반송수단과,

   상기 척테이블에 보유된 절삭된 상기 직사각형 기판을 상기 세정수단으로 반송하는 제 2 반송수단과,

   세정이 끝난 상기 직사각형 기판을 상기 임시보관 테이블로 반송하는 제 3 반송수단을 구비한 직사각형 기판의 분할장치.
8. 제 1 항에 있어서,

   상기 절삭담당영역에 있어서,

   상기 카세트 테이블에는 2개 이상의 카세트가 놓일 수 있으며, 어느 한 카세트에 수용된 직사각형 기판이 상기 반출수단에 의해 반출가능한 위치로 상기 카세트 테이블을 선택적으로 위치시키는 카세트 위치맞춤수단이 설치되는 직사각형 기판의 분할장치.
9. 제 1 항에 있어서,

   상기 절삭담당영역에 있어서,

   상기 카세트 테이블, 상기 반출수단 및 상기 세정수단은 제 1 직선상에 설치되고, 상기 절삭수단은 상기 제 1 직선에 직교하는 상기 제 2 직선상에 설치되며, 상기 척테이블은 상기 제 2 직선상을 이동가능하게 구성되고,

   상기 테이프 박리담당영역에 있어서,

   상기 임시보관 테이블은 상기 세정수단에 대하여 상기 제 2 직선에 평행한 직선상에 설치되고, 상기 임시보관 테이블과 상기 픽업 테이블은 상기 제 1 직선에 평행한 직선상에 설치되며,

   상기 디바이스 수용담당영역에 있어서,

   상기 빈 디바이스 케이스 격납부와 상기 수용완료된 디바이스 케이스 격납부는 상기 제 1 직선에 평행한 직선상에 설치되고, 상기 디바이스 케이스 위치맞춤수단은 상기 빈 디바이스 케이스 격납부의 바로 아래와 상기 수용완료 디바이스 케이스 격납부의 바로 아래에 각각 설치되는 직사각형 기판의 분할장치.

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