JP6178574B2 - テープ剥離装置 - Google Patents
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Description
100:分割後矩形基板 D:デバイス L:分割予定ライン
200:分割前矩形基板 201:デバイス形成部
202a:長手方向の外周端材 202b:短手方向の外周端材 202c:中間端材
203:モールド樹脂
T:保護テープ
1:テープ剥離装置
2:カセットステージ
3:搬出手段
30:載置台 31:UV照射ユニット
4:剥離ステージ
40:外周端材送り部
400:スライド部 401:下部支持部 402:上部支持部
403:スライド駆動部 403a:ベルト 403b:モータ 403c:エンコーダ
5:落とし込みテーブル
50:ピストンロッド 51:シリンダ 52:開口 53:突き当て
54:ガイド部材
6:バルク収容手段
60:デバイス落とし部材 60a:傾斜面
61:デバイス収容ボックス 62:撮像手段 63:判断部 64:報知部
7:デバイス移載手段
70:把持部
700:押さえ部材 700a:直立部 700b:水平版
701:ロッド 702:シリンダ
703:回転支持部材 703a:水平部 703b:起立部
71:把持部可動部
710:レール 711:可動部材 711a:回転軸 711b:斜面
712:駆動部 712a:ベルト 712b:モータ 713:バネ
8:デバイス落とし込み手段
80:押さえプレート
81:駆動部 810:ベルト 811:モータ
9:収容ボックス
Claims (4)
- 複数のデバイスが外周端材に囲繞され縦横に形成された分割予定ラインによって区画されて形成された矩形基板の裏面に保護テープが貼着され、あらかじめ切削ブレードによって該分割予定ラインに沿って個々のデバイスに分割されかつ長手方向の外周端材が除去された状態で、該複数のデバイスを該保護テープから剥離してバルク収容するテープ剥離装置であって、
複数のデバイスが表面に貼着された保護テープを複数収容したカセットが載置されるカセットステージと、
該カセットから複数のデバイスが貼着された保護テープを搬出する搬出手段と、
搬出された該保護テープから該複数のデバイスを剥離するために、該複数のデバイスが貼着された該保護テープが載置される剥離ステージと、
該保護テープから剥離された複数のデバイスをバルク収容するバルク収容手段と、
該バルク収容手段の上方に配設され、該バルク収容手段に落とし込まれる該複数のデバイスが載置される落とし込みテーブルと、
該剥離ステージに載置された該複数のデバイスが貼着された該保護テープから該保護テープを剥離しながら該複数のデバイスを該剥離ステージから該落とし込みテーブルに移載するデバイス移載手段と、
該落とし込みテーブルに移載された該複数のデバイスを該落とし込みテーブルから該バルク収容手段に落とし込むデバイス落とし込み手段と、
から構成され、
該落とし込み手段は、該デバイス移載手段により複数のデバイスを該剥離ステージから該落とし込みテーブル上に移載する際に、該複数のデバイスを上方から押さえながら該複数のデバイスの移載に追従して動き、かつ、移載された該複数のデバイスを該落とし込みテーブルから該バルク収容手段に落とし込むこと、を特徴とする
テープ剥離装置。 - 前記落とし込みテーブルは、前記剥離ステージと所定の間隔離隔した離隔位置と該剥離ステージに隣接した隣接位置とに移動可能に構成され、
該バルク収容手段は、該落とし込みテーブルの該離隔位置の下方に配設され、
前記デバイス移載手段は、該剥離ステージに載置された矩形基板の短手方向の外周端材を前記保護テープとともに把持する把持部と、該把持部を該剥離ステージの下方に降下させ該矩形基板の裏面から該保護テープを徐々に剥離する把持部可動部と、から構成され、
該落とし込みテーブルが該隣接位置に位置づけられた状態で、該複数のデバイスが該剥離ステージから該落とし込みテーブルに移載されること、を特徴とする
請求項1に記載のテープ剥離装置。 - 前記矩形基板は、中間端材により複数のデバイスごとに区画されており、
前記剥離ステージの下方には、前記落とし込みテーブルが前記離隔位置に位置づけられた際の前記所定の間隔から落下した矩形基板の該中間端材及び前記保護テープを収容する収容ボックスが配設され、
該中間端材は、該落とし込みテーブルが該離隔位置に位置づけられた状態で、前記デバイス移載手段により該保護テープが該剥離ステージの下方に送られる際に該保護テープから剥離され前記収容ボックスに落下すること、を特徴とする
請求項2に記載のテープ剥離装置。 - 前記落とし込みテーブルには、前記複数のデバイスを落とし込むための開口が設けられ、
前記バルク収容手段は、該開口から下方に向けて傾斜面が形成されたデバイス落とし部材と、該開口から落とし込まれ該デバイス落とし部材の該傾斜面を滑って落下した複数のデバイスを収納するデバイス収容ボックスと、該デバイス落とし部材の該傾斜面全面を撮像する撮像手段と、該撮像手段によって取得した該傾斜面の画像情報により該傾斜面にデバイスが付着しているか否かの判断を行う判断部と、該判断部が該傾斜面にデバイスが付着していると判断した場合に報知を行う報知部と、から構成される
請求項1、2又は3に記載のテープ剥離装置。
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- 2013-01-07 JP JP2013000479A patent/JP6178574B2/ja active Active
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