JP6059270B2 - 脆性材料基板の搬送装置 - Google Patents
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Description
11 ビーム
12 リニアスライダ
13,14 搬送ヘッド
15 シュータ
30,50 ヘッド部
31 ベースプレート
32 リッドプレート
33 ラバーシート
34 空隙
35 弾性シート
36 開口
37 管継手
38a〜38d アーム
42 ブラケット
43 エアシリンダ
51 ベースプレート
52 リッドプレート
53 ラバーシート
54 空隙
55 管継手
61 プッシャープレート
62 プッシャーピン
63,65 プランジャ
64a,64b コネクションプレート
71a〜71d アーム
72 ブラケット
73 エアシリンダ
74a,74b 光学センサ
75 弾性シート
76 開口
90 基板
91 機能領域
92 線状突起
Claims (3)
- 一方の面に縦方向及び横方向に所定のピッチで形成された機能領域を有し、機能領域が中心に位置するように格子状に形成されたスクライブラインに沿ってブレイクされた脆性材料基板を搬送する搬送装置であって、
前記脆性材料基板の格子状に形成された機能領域を吸着して搬送する第1の搬送ヘッドと、
前記脆性材料基板に形成された機能領域の周囲に形成される端材となる領域を吸着して搬送する第2の搬送ヘッドと、
を具備し、
前記第1の搬送ヘッドと前記第2の搬送ヘッドとが夫々独立して動作するものである脆性材料基板の搬送装置。 - 前記第1の搬送ヘッドは、
ヘッド部と、
前記ヘッド部を上下動自在に保持するスライダ機構を具備し、
前記ヘッド部は、
リッドプレートと、
前記リッドプレートとの間に気密の空洞を形成し、前記リッドプレートとは接しない表面に、前記脆性材料基板の機能領域に対応するように配列されて前記空洞に連通する開口を有するベースプレートと、
前記ベースプレートの前記リッドプレートとは接しない表面に貼り付けられ、ベースプレートの開口に対応する位置に配列された開口を有する弾性シートと、を具備するものである請求項1記載の脆性材料基板の搬送装置。 - 前記第2の搬送ヘッドは、
ヘッド部と、
前記ヘッド部を上下動自在に保持するスライダ機構を具備し、
前記ヘッド部は、
リッドプレートと、
前記リッドプレートとの間に気密の空洞を形成し、前記リッドプレートとは接しない表面外周に、前記空洞に連通する開口を有するベースプレートと、
前記リッドプレートとベースプレートによって形成される空洞内で上下動自在に保持され、周囲に前記脆性材料基板の機能領域のピッチに相当するピッチ間隔で環状にピンが植設されたプッシャープレートと、
前記プッシャープレートに連結され、前記プッシャープレートのピンが前記ベースプレートの開口より突出した状態と収納された状態との間で上下動自在となるように駆動するプランジャと、を具備し、
前記ベースプレートの開口は前記脆性材料基板の機能領域のピッチに相当するピッチで環状に配列されたものであり、
前記第2の搬送ヘッドにより脆性材料基板の周辺を搬送する際には前記プッシャープレートを引き上げてベースプレートから突出しない状態で吸着し、搬送後に前記プッシャープレートを引き下げ、プッシャーピンを突出させて端材を脱落させるものである請求項1記載の脆性材料基板の搬送装置。
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