JP4483918B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
以下、本発明の第1実施形態について図を参照して説明する。本実施形態に係るダイオード内蔵IGBT素子を備えた半導体装置は、例えばインバータ回路に用いられるものである。
本実施形態では、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図3は、本実施形態に係る半導体装置の平面図である。この図に示されるように、本実施形態では、ショットキーコンタクト領域24にオーミックコンタクト領域25が設けられている。このオーミックコンタクト領域25は、ショットキーコンタクト領域24の表層部であって、ダイオード領域2の内側に設けられている。また、ショットキーコンタクト領域24に設けられたオーミックコンタクト領域25は直線状に形成されている。
本実施形態では、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図4は、本実施形態に係る半導体装置の平面図である。この図に示されるように、ダイオード領域2において、ショットキーコンタクト領域24およびP型領域23は、IGBT領域1とダイオード領域2とが繰り返される方向に垂直な方向に形成されたIGBT領域1の素子領域の端まで設けられている。言い換えると、ダイオード領域2のうち、IGBT領域1のコンタクト部22に挟まれた領域にショットキーコンタクト領域24およびP型領域23が設けられていない。
本実施形態では、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図5は、本実施形態に係る半導体装置の平面図である。この図に示されるように、ダイオード領域2において、オーミックコンタクト領域25が設けられたP型領域23は、IGBT領域1とダイオード領域2とが繰り返される方向に垂直な方向に形成されたIGBT領域1の素子領域の端まで設けられている一方、ショットキーコンタクト領域24は、IGBT領域1とダイオード領域2とが繰り返される方向に垂直な方向に形成されたコンタクト部22の端まで設けられている。
本実施形態では、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図6は、本実施形態に係る半導体装置の平面図であり、図7は図6のB−B断面図である。
上記各実施形態では、IGBT領域1の素子構造において、P型ベース領域14にP+型ボディ領域15が設けられているものが示されているが、これは素子構造の一例を示したものであって、他の素子構造になっていても構わない。
Claims (11)
- 第1導電型の層(11)を含む半導体基板にIGBT素子として動作するIGBT領域(1)とダイオード素子として動作するダイオード領域(2)とが交互に繰り返しレイアウトされてなる半導体装置であって、
前記第1導電型の層(11)の表層部に第2導電型の層(14)が形成され、前記第2導電型の層(14)の表層部に第1導電型のエミッタ領域(16)が形成されており、前記第1導電型のエミッタ領域(16)の一部の上および前記第2導電型の層(14)の上にエミッタ電極が形成され、前記エミッタ電極はアノード電極と共通になっており、前記第1導電型の層(11)の裏面に第2導電型のコレクタ層(12)と第1導電型のカソード層(13)とが別々に形成され、前記第2導電型のコレクタ層(12)と前記第1導電型のカソード層(13)との双方に接続されたコレクタ電極が設けられ、前記コレクタ電極はカソード電極と共通になっているダイオード内蔵縦型IGBT素子として構成されており、
前記ダイオード領域(2)は、当該ダイオード領域(2)のうち当該ダイオード領域(2)と前記IGBT領域(1)との境界領域であって、前記第1導電型の層(11)の表層部に、前記アノード電極に接続されていると共に前記第1導電型の層(11)から少数キャリアを引き抜く第2導電型のショットキーコンタクト領域(24)を有していることを特徴とする半導体装置。 - 前記ダイオード領域(2)は、前記ショットキーコンタクト領域(24)を四角形状に囲むと共に、前記ショットキーコンタクト領域(24)を貫通して前記第1導電型の層(11)に達するトレンチ(17)を有していることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記ダイオード領域(2)は、前記ショットキーコンタクト領域(24)よりも前記ダイオード領域(2)の内側に、前記第1導電型の層(11)の表層部にドット状に複数形成された第2導電型のオーミックコンタクト領域(28)を備えていることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記ダイオード領域(2)は、前記ショットキーコンタクト領域(24)よりも前記ダイオード領域(2)の内側に、前記第1導電型の層(11)の表層部に形成された第2導電型の領域(23)と、前記第2導電型の領域(23)の表層部に形成され、前記第2導電型の領域(23)よりも不純物濃度が高い第2導電型のオーミックコンタクト領域(25)とを備えて構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記ダイオード領域(2)は、前記第2導電型の領域(23)を四角形状に囲むと共に、前記第2導電型の領域(23)を貫通して前記第1導電型の層(11)に達するトレンチ(17)を有し、
前記オーミックコンタクト領域(25)は、前記トレンチ(17)に囲まれた前記第2導電型の領域(23)の表層部に形成されていることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置。 - 前記オーミックコンタクト領域(25)は、前記IGBT領域(1)と前記ダイオード領域(2)とが繰り返される方向に垂直な方向に延びる直線状にレイアウトされていることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置。
- 前記オーミックコンタクト領域(25)は、前記ショットキーコンタクト領域(24)の表層部であって、前記ダイオード領域(2)の内側に形成されていることを特徴とする請求項6に記載の半導体装置。
- 前記IGBT領域(1)は、
前記第1導電型の層(11)の表層部に形成された第2導電型の層(14)と、
前記第2導電型の層(14)を四角形状に囲うと共に、前記第2導電型の層(14)を貫通して前記第1導電型の層(11)に達するものであり、前記IGBT領域(1)と前記ダイオード領域(2)とが繰り返される方向に複数並べられたトレンチ(17)と、
前記隣り合う各トレンチ(17)の間に設けられ、前記第2導電型の層(14)を含んだ素子領域と、
前記隣り合う各トレンチ(17)の間に設けられると共に、前記トレンチ(17)の一辺に平行に延設されるコンタクト部(22)とを有しており、
前記ダイオード領域(2)は、前記IGBT領域(1)と前記ダイオード領域(2)とが繰り返される方向に垂直な方向に形成された前記素子領域の端まで設けられた前記ショットキーコンタクト領域(24)および前記第2導電型の領域(23)を有していることを特徴とする請求項6に記載の半導体装置。 - 前記IGBT領域(1)は、
前記第1導電型の層(11)の表層部に形成された第2導電型の層(14)と、
前記第2導電型の層(14)を四角形状に囲うと共に、前記第2導電型の層(14)を貫通して前記第1導電型の層(11)に達するものであり、前記IGBT領域(1)と前記ダイオード領域(2)とが繰り返される方向に複数並べられたトレンチ(17)と、
前記隣り合う各トレンチ(17)の間に設けられ、前記第2導電型の層(14)を含んだ素子領域と、
前記隣り合う各トレンチ(17)の間に設けられると共に、前記トレンチ(17)の一辺に平行に延設されるコンタクト部(22)とを有しており、
前記ダイオード領域(2)は、前記IGBT領域(1)と前記ダイオード領域(2)とが繰り返される方向に垂直な方向に形成された前記コンタクト部(22)の端まで設けられた前記ショットキーコンタクト領域(24)と、前記IGBT領域(1)と前記ダイオード領域(2)とが繰り返される方向に垂直な方向に形成された前記素子領域の端まで設けられた前記第2導電型の領域(23)とを有していることを特徴とする請求項6に記載の半導体装置。 - 前記素子領域は、前記隣り合う各トレンチ(17)の間に前記トレンチ(17)よりも浅い溝部(21)を有していることを特徴とする請求項8または9に記載の半導体装置。
- 前記ショットキーコンタクト領域(24)は、1×10 17 cm −3 以下の濃度であることを特徴とする請求項1ないし10のいずれか1つに記載の半導体装置。
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