JP4455953B2 - レジスト膜の電着機構及びこれを用いた水晶振動子の製造方法 - Google Patents
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Claims (4)
- レジスト液を収容するレジスト容器と、前記レジスト液を霧状に噴霧する吐出ノズルと、前記吐出ノズルの先端に前記レジスト液を帯電させる電極針とを備えた電着機構において、前記レジスト容器に加圧ガスを供給するとともに前記レジスト液を吸引して噴霧するアトマイジングスプレーノズルを設け、前記アトマイジングスプレーノズルから噴霧されたレジスト粒子のうちの重量の大きいレジスト粒子を前記レジスト液に落下させ、前記レジスト粒子のうちの重量の小さいレジスト粒子を前記レジスト容器の上方に設けられて前記吐出ノズルに連通する流出口から排出したことを特徴とするレジスト膜の電着機構。
- レジスト液を収容するレジスト容器と、前記レジスト液を霧状に噴霧する吐出ノズルと、前記吐出ノズルの先端に前記レジスト液を帯電させる電極針とを備えた電着機構において、前記電極針は複数本として前記吐出ノズルの外周に均等間隔で配置されたことを特徴とするレジスト膜の電着機構。
- レジスト液を収容するレジスト容器と、前記レジスト液を霧状に噴霧する吐出ノズルと、前記吐出ノズルの先端に前記レジスト液を帯電させる電極針とを備えた電着機構において、前記レジスト容器に加圧ガスを供給して前記レジスト膜を吸引して噴霧するアトマイジングスプレーノズルを設け、前記アトマイジングスプレーノズルから噴霧された微粒子成分を前記レジスト容器から流出し、前記電極針は複数本として前記吐出ノズルの外周から先端に均等間隔で配置されたことを特徴とするレジスト膜の電着機構。
- 請求項1、2又は3のレジスト膜の電着機構によって、凹凸面を有する水晶ウェハの全面にレジスト膜を形成した後、厚みの小さい振動領域に励振電極を及び厚みの大きい外周部に前記励振電極から延出した引出電極を形成し、個々の水晶片に分割したことを特徴とする水晶振動子の製造方法。
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