JP5080177B2 - レジスト塗布装置 - Google Patents
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Description
また、付着した状況によりレジスト微粒子のイオン化が不均一となり、安定して薄いレジスト膜が得られない問題があった。
この構成により、吐出ノズルから塗布されるミスト状のレジストと電極針との距離がほぼ均等になるため、ミスト状のレジストがほぼ同じ電位に帯電する。したがって、ミスト状のレジストが圧電体ウエハにほぼ均一に塗布される。
圧電体ウエハに使用されるミスト状のレジストを均一に圧電体ウエハに塗布する際には、この範囲に電圧及び距離を設定すると、圧電体ウエハに形成された角部又は貫通孔にもレジスト層を形成しやすい。
比抵抗、すなわち単位体積当たりの抵抗が1*10−5Ωcm以下であると、ミスト状のレジストを均一に帯電させやすい。
この構成によると、吐出ノズルから塗布されるミスト状のレジストと電極針との距離をより均等にすることができるため、ミスト状のレジストをほぼ同じ電位に帯電させることができる。
ミスト状のレジストは圧電体ウエハに塗布されると基準電位になり、それまでクーロン力で互いに反発していたミスト状のレジストが互いに引っ付きレジスト膜を形成することができる。
以下に、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。
図1は、水晶ウエハ基板10に対してレジスト微粒子R1を塗布してレジスト膜を形成するレジスト塗布装置100の構成例を示す概略断面図である。レジスト塗布装置100は、塗布チャンバ70、レジスト微粒子生成チャンバ80およびレジストタンク90を備えている。
図2(a)は、本実施形態に用いる円形の水晶ウエハ基板10の構成を示す斜視図である。円形の水晶ウエハ基板10は、たとえば厚さ0.8mmの人工単結晶水晶からなり、円形の水晶ウエハ基板10の直径は3インチ又は4インチである。さらに、円形の水晶ウエハ基板10は軸方向が特定できるように、水晶ウエハ基板10の周縁部10eの一部には、水晶の結晶方向を特定するオリエンテーションフラット10cが形成されている。
図3(a)は、図1の塗布チャンバ70内の拡大図であり、図3(b)は、図3(a)の平面図である。吐出ノズル71から吐出されたレジスト微粒子R1は、水晶ウエハ基板10を均一な厚さで満遍なく塗布するために、Y方向駆動手段75およびX方向駆動手段77が矢印AR1方向および矢印AR2方向に移動可能である。これにより水晶ウエハ基板10が移動する。Y方向駆動手段75およびX方向駆動手段77は、リニアモータで構成されたり、ステッピングモータとボールネジとから構成されたりする。水晶ウエハ基板10の移動速度は、レジスト微粒子R1の膜厚と、吐出ノズル71からのレジスト微粒子R1の供給量によって適宜設定する。
図4Aおよび図4Bは、吐出ノズル71、電極針72および水晶ウエハ基板10の関係を示した概念図である。吐出ノズル71は直線状の吐出ノズル71aと末広がりに開口が大きくなる吐出ノズル71bとが適用できる。また、電極針72は軸上に伸びる一本の電極針72aと軸上に伸びる針の先端部から複数に放射状に分岐する電極針72bもしくは72cが適用できる。
また、レジスト膜の形成される対象物は凹凸を有する水晶ウエハ基板10としたが、平板状であっても他の材料であっても適用できる。また上記実施形態では水晶ウエハで説明しているが、水晶以外にもタンタル酸リチウム,ニオブ酸リチウム等の圧電材料を利用することができる。
15 … 水晶ウエハ基板(15c … オリエンテーションフラット,15e … 周縁部)
18 … 電極膜
20 … 音叉型水晶振動片
70 … 塗布チャンバ
71,71a,71b … 吐出ノズル
72,72b,72c … 電極針
73 … チャック
75 … Y方向駆動手段
77 … X方向駆動手段
79 … 直流電源部
80 … レジスト微粒子生成チャンバ
81 … 排出口
82 … スプレーノズル
84,85 … バルブ
90 … レジストタンク
92 … 液体供給ポンプ
94 … 戻しポンプ
100 … レジスト塗布装置
AR1,AR2 … 矢印
L1,L2 … 長さ
R1 … レジスト微粒子
R2 … レジスト剤
Claims (5)
- 圧電体ウエハにレジストを塗布するレジスト塗布装置において、
一定径又は末広がりの所定断面を有し、ミスト状のレジストを塗布する吐出ノズルと、
前記吐出ノズルの前記所定断面の中央部分に配置され、吐出方向に延びた軸を有する電極針と、
前記電極針に電圧を印加する電圧印加部と、を備え、
前記電圧印加部は、前記電圧を高く設定して前記吐出ノズルの前記所定断面よりも拡散径を縮小し、又は前記電圧を低く設定して前記吐出ノズルの前記所定断面よりも拡散径を拡大することを特徴とするレジスト塗布装置。 - 前記電極針の先端部と前記圧電体ウエハとの距離が10mmから100mmまでに設定され、
前記電圧印加部が前記針電極と前記圧電体とに50kVから150kVの電圧を印加することを特徴とする請求項1に記載のレジスト塗布装置。 - 前記電極針は、比抵抗が1*10−5Ωcm以下の材料を含むことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のレジスト塗布装置。
- 前記電極針は、前記軸から放射状に伸びる突起を有することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載のレジスト塗布装置。
- 前記圧電体ウエハを基準電位点に接続するとともにこの圧電体ウエハを吐出ノズルに交差するように支持する基板保持部を備えることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載のレジスト塗布装置。
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