KR101494701B1 - 간접적으로 약액을 분무화하는 네블라이저 - Google Patents

간접적으로 약액을 분무화하는 네블라이저 Download PDF

Info

Publication number
KR101494701B1
KR101494701B1 KR20140143457A KR20140143457A KR101494701B1 KR 101494701 B1 KR101494701 B1 KR 101494701B1 KR 20140143457 A KR20140143457 A KR 20140143457A KR 20140143457 A KR20140143457 A KR 20140143457A KR 101494701 B1 KR101494701 B1 KR 101494701B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
chemical liquid
water
mesh
photoresist layer
vibrator
Prior art date
Application number
KR20140143457A
Other languages
English (en)
Inventor
안명천
김은경
송진호
박철우
Original Assignee
(주)메가메디칼
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)메가메디칼 filed Critical (주)메가메디칼
Priority to KR20140143457A priority Critical patent/KR101494701B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101494701B1 publication Critical patent/KR101494701B1/ko

Links

Images

Classifications

    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M11/00—Sprayers or atomisers specially adapted for therapeutic purposes
    • A61M11/005—Sprayers or atomisers specially adapted for therapeutic purposes using ultrasonics
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M15/00—Inhalators
    • A61M15/0085—Inhalators using ultrasonics
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M2210/00—Anatomical parts of the body
    • A61M2210/06—Head
    • A61M2210/0618—Nose
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M2210/00—Anatomical parts of the body
    • A61M2210/06—Head
    • A61M2210/0625—Mouth

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • Anesthesiology (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • Hematology (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Pulmonology (AREA)
  • Bioinformatics & Cheminformatics (AREA)
  • Special Spraying Apparatus (AREA)

Abstract

본 발명은 약액을 분무하는 네블라이저에 관한 것이다. 본 발명의 일예와 관련된 네블라이저는 물을 저장하는 물 저장부; 상기 물의 수면에 접촉하고, 약액을 저장하는 약액 저장부; 상기 약액의 수면에 접촉하고, 복수의 홀을 포함하는 메쉬;상기 물 저장부의 하단에 위치하고, 상기 물을 진동시키는 진동자; 상기 메쉬의 상부에 연결되어 상기 약액을 상기 메쉬의 상부로부터 외부로 배출시키는 배출관; 및 상기 배출관의 측면에 공기를 공급하는 블로워;를 포함하고, 상기 진동자에 의해 진동하는 물은 상기 약액 저장부에 저장된 약액을 진동시키며, 상기 진동하는 약액은 상기 메쉬에 포함된 복수의 홀을 통과하며 분무화되고, 상기 블로워는 상기 분무화된 약액이 상기 배출관을 통하여 상기 외부로 배출되도록 상기 공기를 공급하는 것을 특징으로 하는 네블라이저. 또한, 상기 물의 수위를 측정하는 수위센서; 및 상기 진동자를 제어하는 제어부;를 더 포함하고, 상기 수위센서가 측정한 상기 물의 수위가 기 설정된 수위 이하인 경우, 상기 제어부는 상기 진동이 정지되도록 상기 진동자를 제어할 수 있다.

Description

간접적으로 약액을 분무화하는 네블라이저{Apparatus nebulizing medicinal fluid indirectly}
본 발명은 약액을 분무하는 네블라이저에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 네블라이저가 분무하는 약액을 진동시킬 때 물을 이용하여 진동을 간접적으로 전달함으로써 약액의 낭비를 막는 구조를 갖는 네블라이저에 관한 것이다.
네블라이저(nebulizer)는 호흡기 질환에 사용되는 약액을 분무화 하여 환자가 분무화된 약액을 들여 마실 수 있도록 하는 장치이다.
즉, 초음파에너지를 이용하여 물리적으로 세립자화하는 울트라소닉형 방식 또는 가는 노즐에서 불어내는 제트기류에 의해 빨아올린 약액을 고속으로 내뿜어서 물체에 부딪혀서 깨뜨리는 방식을 이용하여 약액을 분무화한다.
환자는 분무화된 약액을 마우스피스나 헬멧을 이용해 코나 입으로 흡입하고, 분무화된 약액은 기관지 말초까지 도달되어 질환을 치료할 수 있다.
대한민국 등록특허 제10-0485836호에 개시된 종래의 네블라이저는 대용량 부분에 저장된 약액을 소용량 부분으로 공급하고, 소용량 부분에 공급된 약액을 혼 진동자로 진동시키고 메시 부재를 통하여 분무화 시킨다.
이러한 종래의 네블라이저는 약액을 진동자에 의해 직접 진동시켜 분무화하므로 진동과정에서 약액이 낭비될 수 있다.
또한, 종래의 네블라이저 구조에서는 소용량 부분에 약액을 공급할 때 네블라이저 자체를 기울여야 하므로 소용량 부분에 저장되는 약액을 조절할 수 없다는 문제가 있다.
따라서 약액을 간접적으로 진동시켜 분무화하고 기구를 기울이지 않고 약액을 공급할 수 있는 네블라이저의 개발이 요구되고 있는 실정이다.
대한민국 등록특허 제10-0485836호
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 약액을 간접적으로 진동시켜 약액이 낭비되지 않는 네블라이저를 사용자에게 제공하는데 그 목적이 있다.
구체적으로, 물을 매개체로 하여 진동자의 진동을 약액에 전달함으로써 약액이 낭비되지 않는 네블라이저를 사용자에게 제공하는 데 그 목적이 있다.
또한, 수위센서를 이용하여 물 저장부에 기 설정된 양 이하일 때 진동자의 동작을 정지시켜 진동자를 손상으로부터 보호하는 데 그 목적이 있다.
또한, 약액 공급부를 이용하여 약액을 공급하여 약액 저장부에 저장되는 약액을 일정하게 하는 데 그 목적이 있다.
또한, 블로워가 공급하는 공기의 양을 조절하여 약액이 멀리 도달되도록 하는 데 그 목적이 있다.
또한, 설계한 크기의 홀을 갖는 메쉬를 포함하여 분무화되는 약액 입자의 크기를 최적화하는데 그 목적이 있다.
한편, 본 발명에서 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상술한 과제를 실현하기 위한 본 발명의 일예와 관련된 네블라이저는 물을 저장하는 물 저장부; 상기 물의 수면에 접촉하고, 약액을 저장하는 약액 저장부; 상기 약액의 수면에 접촉하고, 복수의 홀을 포함하는 메쉬;상기 물 저장부의 하단에 위치하고, 상기 물을 진동시키는 진동자; 상기 메쉬의 상부에 연결되어 상기 약액을 상기 메쉬의 상부로부터 외부로 배출시키는 배출관; 및 상기 배출관의 측면에 공기를 공급하는 블로워;를 포함하고, 상기 진동자에 의해 진동하는 물은 상기 약액 저장부에 저장된 약액을 진동시키며, 상기 진동하는 약액은 상기 메쉬에 포함된 복수의 홀을 통과하며 분무화되고, 상기 블로워는 상기 분무화된 약액이 상기 배출관을 통하여 상기 외부로 배출되도록 상기 공기를 공급하는 것을 특징으로 하는 네블라이저. 또한, 상기 물의 수위를 측정하는 수위센서; 및 상기 진동자를 제어하는 제어부;를 더 포함하고, 상기 수위센서가 측정한 상기 물의 수위가 기 설정된 수위 이하인 경우, 상기 제어부는 상기 진동이 정지되도록 상기 진동자를 제어할 수 있다.
또한, 상기 약액 저장부에 상기 약액을 공급하는 약액 공급부; 및 상기 약액 공급부를 제어하는 제어부;를 더 포함하고, 상기 제어부는 상기 약액 저장부에 기 설정된 양의 약액이 저장되도록 상기 약액 공급부에 의해 공급되는 약액의 양을 제어할 수 있다.
또한, 상기 약액 공급부, 상기 배출관 및 상기 메쉬는 일체로 형성되고, 상기 일체로 형성된 상기 약액 공급부, 상기 배출관 및 상기 메쉬는 탈착이 가능할 수 있다.
또한, 상기 블로워가 공급하는 공기의 양을 제어하는 제어부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 네블라이저.
또한, 상기 메쉬는, 구리 플레이트 상면에 포토레지스트(Photoresist)층을 형성시키는 제 1 단계, 기 설정된 패턴이 형성된 포토마스크를 상기 포토레지스트층 위에 정렬하는 제 2 단계, 상기 정렬된 포토마스크에 자외선을 조사하여 상기 자외선이 상기 패턴에 따라 상기 포토레지스트층에 조사되도록 하는 제 3 단계, 상기 구리 플레이트를 현상액에 담궈 상기 포토레지스트층 중 상기 자외선이 조사된 영역을 제거하는 제 4 단계, 상기 구리플레이트 상면 및 상기 포토레지스트층 상면을 구리로 도금하는 제 5 단계, 상기 포토레지스트층을 제거하는 용액을 사용하여 상기 포토레지스트층 및 상기 포토레지스트층 상면에 도금된 구리를 제거하는 제 6 단계, 상기 포토레지스트층이 제거된 구리 플레이트 상면을 백금으로 도금하는 제 7 단계 및 상기 백금으로 도금된 구리 플레이트를 구리 에칭용액에 담궈 상기 구리 플레이트의 구리를 제거하는 제 8 단계에 의해 제조될 수 있다.
본 발명은 약액을 간접적으로 진동시켜 약액이 낭비되지 않는 네블라이저를 사용자에게 제공할 수 있다.
구체적으로, 물을 매개체로 하여 진동자의 진동을 약액에 전달함으로써 약액이 낭비되지 않는 네블라이저를 사용자에게 제공할 수 있다.
또한, 수위센서를 이용하여 물 저장부에 기 설정된 양 이하일 때 진동자의 동작을 정지시켜 진동자를 손상으로부터 보호할 수 있다.
또한, 약액 공급부를 이용하여 약액을 공급하여 약액 저장부에 저장되는 약액을 일정하게 할 수 있다.
또한, 블로워가 공급하는 공기의 양을 조절하여 약액이 멀리 도달되도록 할 수 있다.
또한, 설계한 크기의 홀을 갖는 메쉬를 포함하여 분무화되는 약액 입자의 크기를 최적화할 수 있다.
한편, 본 발명에서 얻을 수 있는 효과는 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 일 실시례를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석 되어서는 아니 된다.
도 1a는 본 발명의 일 실시례에 따른 네블라이저의 단면도이다.
도 1b는 본 발명의 일 실시례에 따른 배출관, 약액 공급부 및 메쉬가 분리된 네블라이저의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시례에 따른 메쉬를 통해 약액이 분무화되는 것을 나타내는 그림이다.
도 3a는 본 발명에 사용될 수 있는 양각 포토마스크를 나타내는 그림이다.
도 3b는 본 발명에 사용될 수 있는 음각 포토마스크를 나타내는 그림이다.
도 4은 본 발명의 일 실시례에 따른 네블라이저용 메쉬를 제조하는 방법을 나타낸 순서도이다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 일 실시례에 따른 구리 플레이트의 평면도 및 단면도이다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 일 실시례에 따른 구리 플레이트 상면에 포토레지스트층이 형성된 것을 나타내는 평면도 및 단면도이다.
도 7a 및 도 7b는 본 발명의 일 실시례에 따라 포지형 포토레지스트 및 음각 포토마스크가 사용된 경우 복수의 원형 홀 영역이 현상액에 의해 제거된 것을 나타내는 평면도 및 단면도이다.
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 일 실시례에 따른 구리플레이트 상면 및 포토레지스트층 상면에 구리가 도금된 것을 나타내는 평면도 및 단면도이다.
도 9a 및 도 9b는 본 발명의 일 실시례에 따른 포토레지스트가 제거된 후 구리플레이트의 상태를 나타낸 평면도 및 단면도이다.
도 10a 및 도 10b는 본 발명의 일 실시례에 따른 백금으로 도금된 구리 플레이트를 나타내는 평면도 및 단면도이다.
도 11a 및 도 11b는 본 발명의 일 실시례에 따라 백금이 도금된 구리플레이트에서 구리를 제거한 것을 나타낸 평면도 및 단면도이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일실시례에 대해서 설명한다. 또한, 이하에 설명하는 일실시례는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 내용을 부당하게 한정하지 않으며, 본 실시 형태에서 설명되는 구성 전체가 본 발명의 해결 수단으로서 필수적이라고는 할 수 없다.
도 1a는 본 발명의 일 실시례에 따른 네블라이저의 단면도이다. 또한, 도 1b는 본 발명의 일 실시례에 따른 배출관, 약액 공급부 및 메쉬가 분리된 네블라이저의 단면도이다.
다만, 도 1a 및 도 1b에 도시된 구성요소들이 필수적인 것은 아니어서, 그보다 많은 구성요소들을 갖거나 그보다 적은 구성요소들을 갖는 네블라이저가 구현될 수도 있다.
도 1a 및 도 1b를 참조하면 네블라이저는 물 저장부(100), 약액 저장부(200), 메쉬(300), 진동자(400), 배출관(500), 블로워(600), 수위센서(700), 약액 공급부(800) 및 제어부(900) 등을 포함할 수 있다.
먼저, 물 저장부(100)는 진동자(400)에 의해 발생된 진동을 약액 저장부(200)에 저장된 약액에 전달하는 매개체이다.
즉, 본 발명의 네블라이저는 약액에 직접 진동을 가하지 않고 물 저장부(100)에 저장된 물을 진동시키고 진동하는 물이 약액에 진동을 전달함으로써 약액을 간접적으로 진동시키는 것이다.
다음으로, 약액 저장부(200)는 물 저장부(100)에 저장된 물의 수면에 접촉하고, 분무화되는 약액을 저장하는 구성이다.
약액 저장부(200)는 진동자(400)로부터 직접 진동을 전달받지 않고 진동자(400)에 의해 진동하는 물로부터 진동을 전달받기 위해 물의 수면에 접촉하도록 위치한다.
다음으로, 메쉬(300)는 약액 저장부(200)에 저장되어 진동하는 약액을 분무화하는 구성으로서 약액의 수면에 접촉하도록 위치하고, 복수의 홀을 포함한다.
도 2는 본 발명의 일 실시례에 따른 메쉬를 통해 약액이 분무화되는 것을 나타내는 그림이다.
도 2를 참조하면 약액의 수면은 메쉬와 접촉하고, 진동하는 약액은 메쉬에 형성된 복수의 홀을 통과하면서 분무화되는 것을 확인할 수 있다.
약액의 수면이 메쉬(300)와 접촉하지 않는다면 약액이 진동하더라도 분무화될 수 없으며, 약액 저장부(200)에 약액이 과다하게 저장되어 메쉬(300)의 상면이 약액에 의해 잠기는 경우에도 분무화될 수 없다.
따라서 약액 저장부(200)에는 적절한 양의 약액이 저장되어야 하며 이와 관련해서 약액 공급부(800)와 같이 후술한다.
다음으로, 진동자(400)는 물 저장부(100)의 하단에 위치하여 물을 진동시키는 구성이다.
전술한 바와 같이 본 발명의 네블라이저는 진동자(400)에 의해 약액을 직접 진동시키지 않고 물을 진동전달의 매개체로 하여 약액에 진동을 전달한다. 따라서 본 발명에서 진동자(400)는 물을 직접 진동시킨다.
다음으로, 배출관(500)은 메쉬(300)의 상부에 연결되어 분무화된 약액이 외부로 배출되는 통로이다.
배출관(500)은 도 1a 및 도 1b에 도시된 바와 같이 메쉬(300) 및 약액 공급부(800)와 함께 일체로 형성될 수 있다.
일체로 형성된 메쉬(300), 배출관(500) 및 약액 공급부(800)는 도 1b에 도시된 바와 같이 탈착이 가능하다.
다음으로, 블로워(600)는 배출관(500)의 측면에 공기를 공급하는 구성이다.
블로워(600)는 공기를 공급함으로써 분무화된 약액이 배출관(500)을 통과하여 외부로 배출되도록 한다.
블로워(600)가 공급하는 공기의 양은 제어부(900)에 의해 제어될 수 있으며, 공급하는 공기의 양이 많을수록 분무화된 약액은 더 멀리 도달할 수 있다.
다음으로, 수위센서(700)는 물 저장부(100)에 저장된 물의 수위를 측정하는 구성이다.
본 발명에서 물은 진동자(400)로부터 약액에 진동을 전달하는 매개체로서 물 저장부(100)에 물이 저장되어 있지 않다면 진동자(400)가 동작하여도 약액에 진동을 전달할 수 없다. 또한, 물 저장부(100)에 물이 저장되어 있지 않고 진동자(400)만 동작한다면 진동자(400)에 손상이 발생할 수 있다.
따라서 수위센서(700)는 물 저장부(100)에 저장된 물의 수위를 측정하고 제어부(900)는 수위 센서에 의해 측정된 수위가 기 설정된 수위 이하인 경우, 진동자(400)의 동작이 정지되도록 제어할 수 있다.
다음으로, 약액 공급부(800)는 약액 저장부(200)에 약액을 공급하는 구성이다.
약액 저장부(200)에 저장된 약액이 소진되어 약액의 수면이 메쉬(300)에 접촉하지 않는다면 약액이 진동하여도 분무화될 수 없다. 또한, 약액 저장부(200)에 과다한 약액이 저장되어 약액의 수면이 메쉬(300)의 상면이 약액에 잠기는 경우에도 약액은 분무화될 수 없다.
따라서 약액 공급부(800)는 네블라이저의 원활한 작동을 위해 제어부(900)의 제어에 의해 기 설정된 양의 약액이 약액 저장부(200)에 저장되도록 약액 저장부(200)에 약액을 공급할 수 있다.
다음으로, 제어부(900)는 네블라이저의 전반적인 동작을 제어하는 구성이다.
제어부(900)는 전술한 바와 같이 수위 센서가 측정한 물의 수위가 기 설정된 수위 이하인 경우 진동자(400)의 동작을 정지시킬 수 있고, 약액 공급부(800)가 공급하는 약액의 양을 제어할 수 있으며, 블로워(600)가 공급하는 공기의 양을 제어할 수 있다.
한편, 분무화된 약액의 입자 크기는 메쉬에 형성된 홀의 크기와 밀도에 의해 결정되므로 메쉬의 홀의 설계는 매우 중요하다. 또한, 설계한 대로 메쉬가 제조되어야 하는데 종래의 제조방법에 의하면 메쉬의 표면이 매끄럽지 않고 홀의 크기가 일정하게 제조되지 않아 문제가 되었다.
이하에서는 먼저 메쉬를 제조하기 위해 사용되는 구성을 설명하고 제조하는 방법을 설명한다.
먼저, 구리 플레이트는 구리로 만들어진 판으로서, 메쉬를 제조하기 위해 뼈대가 된다.
다음으로, 포토레지스트는 빛에 노출됨으로써 약품에 대한 내성이 변화하는 고분자 재료로서, 자외선 등과 같은 빛에 노출됨으로써 약품에 대하여 불용성이 되는 네거형과 반대로 가용성으로 되는 포지형이 있다.
다음으로, 포토마스크는 리소그래피(Lithography) 공정시 포토레지스트에 패턴을 주기 위해 자외선을 조사할 때 자외선을 차폐하는 패턴이 형성된 마스크이다.
포토마스크를 통해 자외선 등의 빛을 조사하면 포토레지스트가 포토마스크의 패턴대로 감광(Photosensitization)한다.
도 3a는 본 발명에 사용될 수 있는 양각 포토마스크를 나타내는 그림이다.
또한, 도 3b는 본 발명에 사용될 수 있는 음각 포토마스크를 나타내는 그림이다.
도 3a를 참조하면 본 발명에 사용될 수 있는 포토마스크는 기 설정된 직경을 갖는 복수의 원형 홀이 기 설정된 간격으로 배치된 패턴을 가질 수 있다.
도 3a의 포토마스크는 양각 포토마스크로서 석영(Quartz)재질로 제작될 수 있으며, 원형 홀 영역에 자외선이 투과되지 않도록 원형 홀 영역에 크롬이 코팅될 수 있다.
또한, 도 3b의 포토마스크는 음각 포토마스크로서 양각 포토마스크와 같이 석영(Quartz)재질로 제작될 수 있으며, 포토마스크 중 원형 홀을 제외한 영역에 자외선이 투과되지 않도록 원형 홀을 제외한 영역에 크롬이 코팅될 수 있다.
한편, 원형 홀의 직경은 25㎛, 35㎛ 및 45㎛ 중 어느 하나로 할 수 있고, 원형 홀 간의 간격은 110㎛로 할 수 있다.
또한, 후술할 메쉬 제조방법에서 구리 플레이트 상면에 원형 디스크를 형성시키기 위하여, 포지형 포토레지스트가 사용되는 경우 음각 포토마스크가 사용됨이 바람직하고, 네거형 포토레지스트가 사용되는 경우 양각 포토마스크가 사용됨이 바람직하다.
백금(Platinum)은 본 발명의 메쉬 제조방법에서 구리 플레이트 상면에 형성된 원형 디스크 위에 도금되는 물질로서, 본 발명의 제조방법을 실시하여 결과물로 생성되는 메쉬의 자재가 된다.
이하에서는 도면을 참조하여 네블라이저용 메쉬를 제조하는 방법에 대해 설명한다.
도 4는 네블라이저용 메쉬를 제조하는 방법을 나타낸 순서도이다.
먼저, 구리 플레이트 상면에 포토레지스트(Photoresist)층을 형성시킨다(S100).
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 일 실시례에 따른 구리 플레이트의 평면도 및 단면도이다.
도 5a 및 도 5b를 참조하면 포토레지스트층을 형성시키기 전 구리 플레이트는 평면의 판으로서 포토레지스트층이 형성되는 구리 플레이트의 상면이 오염되지 않아야 한다.
포토레지스트를 구리 플레이트 상면에 도포하기 전, 구리 플레이트 상면을 세정하기 위하여 아세톤, 에탄올 등으로 구리 플레이트 상면을 닦고, 스핀 프로세스 컨트롤러(Spin process controller)에 구리 플레이트를 올려놓고 일정시간 돌린 후, 시너(Thinner)를 구리 플레이트 상면에 뿌린 후 다시 스핀 프로세스 컨트롤러(Spin process controller)에 돌려 구리 플레이트 상면의 먼지를 제거하는 공정을 수행할 수 있다.
구리 플레이트 상면의 먼지가 제거된 후, 포토레지스트 용액을 구리 플레이트 상면에 뿌리고, 포토레지스트를 굳히기 위해(포토레지스트층을 형성하기 위해) 일정시간동안 뜨거운 판(Hot Plate) 위에 놓는 공정인 소프트 베이킹(Soft Baking)공정을 수행할 수 있다.
소프트 베이킹은 90°C에서 1분 30초 동안 할 수 있다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 일 실시례에 따른 구리 플레이트 상면에 포토레지스트층이 형성된 것을 나타내는 평면도 및 단면도로서, 포토레지스트층이 형성되면 구리 플레이트는 도 6a 및 도 6b와 같은 모습을 가진다.
다음으로, 기 설정된 패턴이 형성된 포토마스크를 상기 포토레지스트층 위에 정렬한다(S200).
전술한 바와 같이 포토레지스트를 포토마스크에 형성된 패턴대로 감광시키기 위하여, 자외선을 조사하기 전에 포토마스크를 포토레지스트층 위에 정렬시키는 것이다.
다음으로, 상기 정렬된 포토마스크에 자외선을 조사하여 상기 자외선이 상기 패턴에 따라 상기 포토레지스트층에 조사되도록 한다(S300).
포토마스크에 자외선을 조사하면 포토마스크의 크롬이 코팅된 영역으로는 자외선이 투과하지 못하고, 크롬이 코팅되지 않은 영역으로는 자외선이 투과하여 포토레지스트층에 조사된다.
예를 들어, 포지형 포토레지스트를 이용하여 포토레지스트층을 형성하고, 도 3a와 같은 양각 포토마스크를 사용한 경우 원형 홀 영역에 크롬이 코팅되어 있으므로 자외선은 포토마스크 중 원형 홀 영역을 투과하지 못하고 원형 홀 영역을 제외한 영역만을 투과할 수 있다. 따라서 포토마스크의 패턴에 따라 포토레지스트층에는 복수의 원형홀 영역을 제외한 나머지 영역에 자외선이 조사된다.
또한, 포지형 포토레지스트를 이용하고, 도 3b와 같은 음각 포토마스크를 사용한 경우 양각 포토마스크를 사용한 경우와 반대로 복수의 원형홀 영역에 자외선이 조사된다.
다음으로, 상기 구리 플레이트를 현상액에 담궈 상기 포토레지스트층 중 상기 자외선이 조사된 영역을 제거한다(S400).
도 7a 및 도 7b는 본 발명의 일 실시례에 따라 포지형 포토레지스트 및 음각 포토마스크가 사용된 경우 복수의 원형 홀 영역이 현상액에 의해 제거된 것을 나타내는 평면도 및 단면도이다.
도 7a 및 도 7b를 참조하면 자외선이 조사된 영역의 포토레지스트가 현상액에 의해 제거되고, 포토레지스트가 제거된 영역의 구리 플레이트 상면이 노출된다.
다만, 네거형 포토레지스트가 사용된 경우 자외선이 조사된 영역이 현상액에 대하여 불용성이 되므로 자외선이 조사되지 않은 영역이 제거된다.
현상액에 담군 후 150°C에서 1분 30초동안 소프트 베이킹을 하는 과정이 추가될 수 있다..
다음으로, 상기 구리플레이트 상면 및 상기 포토레지스트층 상면을 구리로 도금한다(S500).
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 일 실시례에 따른 구리플레이트 상면 및 포토레지스트층 상면에 구리가 도금된 것을 나타내는 평면도 및 단면도이다.
S400단계를 수행하여 포토레지스트 일부가 제거되면 제거된 영역에는 구리 플레이트의 상면이 노출된다. 이러한 구리플레이트의 노출된 상면 및 현상액에 의해 제거되지 않은 포토레지스트 층의 상면을 구리로 도금한다. 도금되는 구리의 두께는 1㎛로 할 수 있다.
한편, 구리를 도금할 때에는 스퍼터링(Sputtering) 공정을 사용할 수 있다.
스퍼터링 공정은 박막(Film)증착 방법 중 하나로 PVD(Physical Vapor Deposition)의 대표적인 방법으로 주로 금속을 증착하는 방법이다. 스퍼터링은 우선 다른 입자들이 방해하지 않게 하기 위해 진공상태에서 진행된다.
스퍼터링은 RF power나 DC power에 의해 형성된 플라즈마(plasma) 내의 높은 에너지를 갖고 있는 가스 이온이 타겟표면과 충돌하여 증착하고자 하는 타겟 입자들이 튀어나와 기판에 증착되는 공정이다. 일반적으로 음극(-) 표면에 증착시킬 타겟 물질을 장착하고, 증착물질의 특성에 영향을 주지 않는 Ar과 같은 불활성 기체를 이용하여 양극에 놓여진 기판 위에 튀어나온 타겟 물질이 증착되는 것을 말한다.
스퍼터링 공정의 단계는 다음과 같다.
1. 진공상태의 챔버 내에 자유전자(e)와 캐리어가스인 Ar기체가 존재한다. 자유전자 (e)와 Ar이 플라즈마를 발생시킨다.
2. 타겟에는 (-), 증착을 할 기판에는 (+)전압이 걸리게 되면, (-)성질을 가진 자유전자(e)들이 (+)극인 기판 쪽으로 이동하면서 Ar충돌을 하게 된다.
3. 자유전자가 (+)극인 기판 쪽으로 이동을 하면서 이온화가 될 정도의 충분한 에너지를 받지 못하면 플라즈마를 발생시키게 되고, 충분하게 가속이 되어 이온화를 할 충분한 에너지를 받게 되면 Ar이 이온화가 되어 Ar+가 되고, 전자 하나를 또 내놓게 된다.
4. 전자는 계속 이동하므로 기체인 Ar과 충돌이 계속 일어나고, Ar+로 이온화 되면 (-)전압이 걸린 타겟쪽으로 끌려 가게 된다.
5. Ar+가 타겟쪽으로 가속되면서 Ar+가 타겟을 때리고, 타겟물질을 분리시킨다.
Ar+는 타겟과 충돌 후 타겟에서 전자를 얻어 중성이 된다.
6. 튀어나온 금속 원자는 기판 쪽으로 가서 달라붙고, 금속이 기판에 증착 된다.
다음으로, 상기 포토레지스트층을 제거하는 용액을 사용하여 상기 포토레지스트층 및 상기 포토레지스트층 상면에 도금된 구리를 제거한다(S600).
도 9a 및 도 9b는 본 발명의 일 실시례에 따른 포토레지스트가 제거된 후 구리플레이트의 상태를 나타낸 평면도 및 단면도이다.
포토레지스트층을 제거하는 용액으로 아세톤을 사용할 수 있으며, 포토레지스트층을 제거하면 포토레지스트층이 제거되면서 포토레지스트층 상면에 도금된 구리 또한 제거된다.
그 결과, 도 9a 및 도 9b와 같이 포토레지스트층이 모두 제거되고 구리만이 남게 된다.
다음으로, 상기 포토레지스트층이 제거된 구리 플레이트 상면을 백금으로 도금한다(S700).
백금을 도금할 때에는 전기도금 방식을 사용할 수 있다.
도 10a 및 도 10b는 본 발명의 일 실시례에 따른 백금으로 도금된 구리 플레이트를 나타내는 평면도 및 단면도이다.
구리 플레이트 상면을 백금으로 도금하면 도 9a 및 도 9b와 같이 구리 플레이트 상면 중 돌출된 원형 디스크의 중심에는 작은 구멍이 생긴다.
다음으로, 상기 백금으로 도금된 구리 플레이트를 구리 에칭용액에 담궈 상기 구리 플레이트의 구리를 제거한다(S800).
도 11a 및 도 11b는 본 발명의 일 실시례에 따라 백금이 도금된 구리플레이트에서 구리를 제거한 것을 나타낸 평면도 및 단면도이다.
구리플레이트에 백금을 도금한 후 구리 플레이트만을 제거하기 위해 구리 에칭용액에 담그면 구리 플레이트는 제거되고 도 10a 및 도 10b와 같이 도금된 백금만이 남게된다.
이렇게 남은 백금이 네블라이저에 사용되는 메쉬(Mesh)가 되는 것이며, 백금을 도금할 때 형성된 작은 구멍이 홀이 된다.
한편, 본 발명은 또한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체에 컴퓨터가 읽을 수 있는 코드로서 구현하는 것이 가능하다. 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 컴퓨터 시스템에 의해 읽혀질 수 있는 데이터가 저장되는 모든 종류의 기록장치를 포함한다. 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체의 예로는 ROM, RAM, CD-ROM, 자기 테이프, 플로피 디스크, 광데이터 저장장치 등이 있으며, 또한 케리어 웨이브(예를 들어 인터넷을 통한 전송)의 형태로 구현되는 것도 포함한다. 또한, 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 네트워크로 연결된 컴퓨터 시스템에 분산되어, 분산방식으로 컴퓨터가 읽을 수 있는 코드가 저장되고 실행될 수 있다. 그리고, 본 발명을 구현하기 위한 기능적인(functional) 프로그램, 코드 및 코드 세그먼트들은 본 발명이 속하는 기술분야의 프로그래머들에 의해 용이하게 추론될 수 있다.
상기와 같이 설명된 네블라이저는 상기 설명된 실시예들의 구성과 방법이 한정되게 적용될 수 있는 것이 아니라, 상기 실시예들은 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다.
전술한 구성을 적용한 본 발명은 간접적으로 물을 매개체로 하여 진동자의 진동을 약액에 전달함으로써 약액이 낭비되지 않는 네블라이저를 사용자에게 제공할 수 있다. 또한, 또한, 수위센서를 이용하여 물 저장부에 기 설정된 양 이하일 때 진동자의 동작을 정지시켜 진동자를 손상으로부터 보호할 수 있다..
100 : 물 저장부
200 : 약액 저장부
300 : 메쉬
400 : 진동자
500 : 배출관
600 : 블로워
700 : 수위센서
800 : 약액 공급부
900 : 제어부

Claims (6)

  1. 물을 저장하는 물 저장부;
    상기 물의 수면에 접촉하고, 약액을 저장하는 약액 저장부;
    상기 약액의 수면에 접촉하고, 복수의 홀을 포함하는 메쉬;
    상기 물 저장부의 하단에 위치하고, 상기 물을 진동시키는 진동자;
    상기 메쉬의 상부에 연결되어 상기 약액을 상기 메쉬의 상부로부터 외부로 배출시키는 배출관; 및
    상기 배출관의 측면에 공기를 공급하는 블로워;를 포함하고,
    상기 진동자에 의해 진동하는 물은 상기 약액 저장부에 저장된 약액을 진동시키며,
    상기 진동하는 약액은 상기 메쉬에 포함된 복수의 홀을 통과하며 분무화되고,
    상기 블로워는 상기 분무화된 약액이 상기 배출관을 통하여 상기 외부로 배출되도록 상기 공기를 공급하며,
    상기 약액 저장부에 상기 약액을 공급하는 약액 공급부; 및
    상기 약액 공급부를 제어하는 제어부;를 더 포함하고,
    상기 제어부는 상기 약액 저장부에 기 설정된 양의 약액이 저장되도록 상기 약액 공급부에 의해 공급되는 약액의 양을 제어하는 것을 특징으로 하는 네블라이저.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 물의 수위를 측정하는 수위센서; 및
    상기 진동자를 제어하는 제어부;를 더 포함하고,
    상기 수위센서가 측정한 상기 물의 수위가 기 설정된 수위 이하인 경우, 상기 제어부는 상기 진동이 정지되도록 상기 진동자를 제어하는 것을 특징으로 하는 네블라이저.
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 약액 공급부, 상기 배출관 및 상기 메쉬는 일체로 형성되고,
    상기 일체로 형성된 상기 약액 공급부, 상기 배출관 및 상기 메쉬는 탈착이 가능한 것을 특징으로 하는 네블라이저.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 블로워가 공급하는 공기의 양을 제어하는 제어부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 네블라이저.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 메쉬는,
    구리 플레이트 상면에 포토레지스트(Photoresist)층을 형성시키는 제 1 단계, 기 설정된 패턴이 형성된 포토마스크를 상기 포토레지스트층 위에 정렬하는 제 2 단계, 상기 정렬된 포토마스크에 자외선을 조사하여 상기 자외선이 상기 패턴에 따라 상기 포토레지스트층에 조사되도록 하는 제 3 단계, 상기 구리 플레이트를 현상액에 담궈 상기 포토레지스트층 중 상기 자외선이 조사된 영역을 제거하는 제 4 단계, 상기 구리 플레이트 상면 및 상기 포토레지스트층 상면을 구리로 도금하는 제 5 단계, 상기 포토레지스트층을 제거하는 용액을 사용하여 상기 포토레지스트층 및 상기 포토레지스트층 상면에 도금된 구리를 제거하는 제 6 단계, 상기 포토레지스트층이 제거된 구리 플레이트 상면을 백금으로 도금하는 제 7 단계 및 상기 백금으로 도금된 구리 플레이트를 구리 에칭용액에 담궈 상기 구리 플레이트의 구리를 제거하는 제 8 단계에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 네블라이저.
KR20140143457A 2014-10-22 2014-10-22 간접적으로 약액을 분무화하는 네블라이저 KR101494701B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20140143457A KR101494701B1 (ko) 2014-10-22 2014-10-22 간접적으로 약액을 분무화하는 네블라이저

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20140143457A KR101494701B1 (ko) 2014-10-22 2014-10-22 간접적으로 약액을 분무화하는 네블라이저

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101494701B1 true KR101494701B1 (ko) 2015-02-26

Family

ID=52594262

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR20140143457A KR101494701B1 (ko) 2014-10-22 2014-10-22 간접적으로 약액을 분무화하는 네블라이저

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101494701B1 (ko)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020086624A (ko) * 2000-03-10 2002-11-18 더 유니버시티 오브 노쓰 캐롤라이나 엣 채플 힐 건조 분말 흡입기 장치, 다중-투여형 건조 분말 약물패키지, 제어 시스템 및 관련 방법
KR200308521Y1 (ko) * 2002-12-27 2003-03-28 주식회사 에스텍 예열기능을 갖는 의료용 증기 흡입기
KR20100134732A (ko) * 2008-04-16 2010-12-23 캐논 가부시끼가이샤 토출 헤드 카트리지 및 토출 헤드 카트리지를 설치 가능한 흡입 장치
KR20130028722A (ko) * 2010-04-26 2013-03-19 호비온 인터내셔날 리미티드 간소형 캡슐-기반 흡입기

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020086624A (ko) * 2000-03-10 2002-11-18 더 유니버시티 오브 노쓰 캐롤라이나 엣 채플 힐 건조 분말 흡입기 장치, 다중-투여형 건조 분말 약물패키지, 제어 시스템 및 관련 방법
KR200308521Y1 (ko) * 2002-12-27 2003-03-28 주식회사 에스텍 예열기능을 갖는 의료용 증기 흡입기
KR20100134732A (ko) * 2008-04-16 2010-12-23 캐논 가부시끼가이샤 토출 헤드 카트리지 및 토출 헤드 카트리지를 설치 가능한 흡입 장치
KR20130028722A (ko) * 2010-04-26 2013-03-19 호비온 인터내셔날 리미티드 간소형 캡슐-기반 흡입기

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6235905B2 (ja) 光画成有孔プレートおよびそれを生産する方法
JP2020096900A (ja) ネブライザのための開口板を製造する方法
KR100512822B1 (ko) 현상방법, 기판처리방법 및 기판처리장치
EP2886185A1 (en) Perforated membrane and process for its preparation
CN109416517A (zh) 用于曝光后烘烤的设备
JP6173824B2 (ja) 開口プレートの製造方法
JP2008226991A (ja) プラズマ処理装置
KR101494701B1 (ko) 간접적으로 약액을 분무화하는 네블라이저
JP2007094183A (ja) パターン形成体の製造方法およびパターン形成体製造用装置
JP2009248047A (ja) 被膜形成方法
JP2019192790A (ja) ガス供給管のクリーニング方法および処理システム
US20090258152A1 (en) Coating apparatus and coating method
JP2004290426A (ja) 超音波式吸入器用メッシュ
TW201934676A (zh) 成膜方法
JP2004268080A (ja) レーザ加工装置および加工方法
TW201131157A (en) Nozzle plate containing multiple micro-orifices for cascade impactor and method for manufacturing the same
JP4681662B2 (ja) レジストパターンの形成方法
JP2018163946A (ja) インプリント装置およびインプリント方法
JP5951566B2 (ja) モールド洗浄装置及びモールド洗浄方法
JP4455953B2 (ja) レジスト膜の電着機構及びこれを用いた水晶振動子の製造方法
JP2010040747A (ja) 基板処理装置
JP4681661B2 (ja) レジストパターンの形成方法
WO2024126670A1 (en) Vibrating mesh module with integrated flow chamber
TWM464705U (zh) 阻層之薄膜化處理裝置
JPS60110118A (ja) レジスト塗布方法および装置

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant