JP4409687B2 - 電子部品試験装置および電子部品の試験方法 - Google Patents
電子部品試験装置および電子部品の試験方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4409687B2 JP4409687B2 JP34190699A JP34190699A JP4409687B2 JP 4409687 B2 JP4409687 B2 JP 4409687B2 JP 34190699 A JP34190699 A JP 34190699A JP 34190699 A JP34190699 A JP 34190699A JP 4409687 B2 JP4409687 B2 JP 4409687B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test
- electronic component
- electronic components
- category
- electronic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体集積回路素子などの各種電子部品(以下、代表的にICと称する。)をテストするための電子部品試験装置および方法に関し、特に試験終了後に分類された電子部品の数量を管理できる電子部品試験装置および方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体デバイスなどの製造工場においては、最終的に製造されたICチップなどの電子部品を試験する試験装置が必要となる。このような試験装置の一種として、ハンドラ (handler)と称される電子部品試験装置が知られている。
【0003】
この種のハンドラでは、トレイに収納された多数のICをハンドラ内に搬送し、各ICをテストヘッドに電気的に接触させ、電子部品試験装置本体(以下、テスタともいう。)に試験を行わせる。そして、試験を終了すると各ICをテストヘッドから搬出し、試験結果に応じたトレイに載せ替えることで、良品や不良品といったカテゴリへの仕分けが行われる。
【0004】
従来のハンドラには、試験前のICを収納したり試験済のICを収納するためのトレイ(以下、カスタマトレイともいう。)と、電子部品試験装置内を循環搬送されるトレイ(以下、テストトレイともいう。)とが相違するタイプのものがあり、この種のハンドラでは、試験の前後においてカスタマトレイとテストトレイとの間でICの載せ替えが行われており、ICをテストヘッドに接触させてテストを行うテスト工程においては、ICはテストトレイに搭載された状態でテストヘッドに押し付けられる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来のハンドラでは、カスタマトレイに試験前のICを搭載し、このカスタマトレイをハンドラにセットして試験を行うが、投入されるICの数量のみ管理し、各カテゴリに分類されるICの数量は成り行きであるため、試験の結果によっては、ある特定のカテゴリに分類されたICの数量が一定数とならないことが多い。
【0006】
たとえば、2000個のICを出荷したい場合、2000個のICをハンドラに仕掛けても、試験の結果良品と判断されるICが1900個であったり、1800個であったりして、出荷できる良品ICの数量にばらつきが生じる。このように、従来のハンドラは半導体デバイスの生産管理の面で不便であった。
【0007】
本発明は、試験終了後に分類された電子部品の数量を管理できる電子部品試験装置および方法を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決しようとするための手段】
(1)上記目的を達成するために、本発明によれば、試験をすべき複数の電子部品を投入し、前記電子部品の端子をテストヘッドのコンタクト部へ押し付けてテストを行い、前記電子部品をテスト結果に応じたカテゴリに分類する電子部品試験装置であって、目的とする電子部品のカテゴリと数量とを入力して設定する入力設定手段と、前記目的とするカテゴリに分類された電子部品の実際の数量を計測する計測手段と、前記計測手段により計測された電子部品の実際の数量と前記入力設定手段に設定された電子部品の設定数量とを比較する比較演算手段と、前記比較演算手段による比較の結果、電子部品の実際の数量が設定数量に達したときにその旨を出力する出力手段と、を備え、前記出力手段から出力された信号を受けて、前記テストヘッドにおける電子部品のテストを終了し、テスト済みの電子部品をテスト結果に応じたカテゴリに分類し、未テストの電子部品を待機させることを特徴とする電子部品試験装置が提供される。
【0010】
また、本発明によれば、試験をすべき複数の電子部品の端子をテストヘッドのコンタクト部へ押し付けてテストを行い、前記電子部品をテスト結果に応じたカテゴリに分類する電子部品の試験方法であって、目的とする電子部品のカテゴリと数量とを設定する工程と、前記目的とするカテゴリに分類された電子部品の実際の数量を計測する工程と、前記工程にて計測された電子部品の実際の数量と前記工程にて設定された電子部品の設定数量とを比較する工程と、前記工程にて比較された結果、電子部品の実際の数量が設定数量に達したときにその旨の信号を出力する工程と、前記工程から出力された信号を受けて、前記テストヘッドにおける電子部品のテストを終了し、テスト済みの電子部品をテスト結果に応じたカテゴリに分類し、未テストの電子部品を待機させる工程と、を含む電子部品の試験方法が提供される。
【0012】
本発明の電子部品試験装置および電子部品の試験方法では、予め目的とするカテゴリと目的とする数量を設定し、電子部品のテストを開始する。複数の電子部品のテスト中に、先に設定されたカテゴリに分類された電子部品の数量をカウントし、この実際の数量が先に設定された数量に達したらテストを終了する。
【0013】
これにより、出荷される電子部品の数量を一定に維持することができ、半導体デバイスの製造管理が容易となる。
【0014】
(2)上記発明において、目的とする電子部品のカテゴリと数量は特に限定されず、一または複数のカテゴリと当該各カテゴリの電子部品の数量とを入力して設定することができる。たとえば、出荷対象が「良品・高速の電子部品を1000個」というように一のカテゴリと数量を設定することも、あるいは「良品・高速の電子部品を1000個と、良品・中速の電子部品を1000個」というように二つのカテゴリとそれぞれの数量を設定することもできる。
【0015】
(3)上記発明において、目的とするカテゴリに分類された電子部品の実際の数量はテスト工程以降であればどこで計測しても良い。たとえば、テスト工程そのもの、すなわちテストヘッドに電気的に接続されたテスタにて計測しても良い。
【0016】
(4)上記発明において、目的とするカテゴリに分類された電子部品の実際の数量は、専用の計測機にて計測することも、あるいはテスタなどの外部装置を用いて計測することも本発明の範囲内である。
【0017】
また、上記発明において、目的とする電子部品のカテゴリと数量についても、専用の入力装置にて入力設定することも、あるいはテスタなどの外部装置を用いて入力設定することも本発明の範囲内である。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は本発明の電子部品試験装置の実施形態を示すブロック図であり、電子部品試験装置の構成に加え、被試験ICの取り廻し方法を理解するための図であって、実際には上下方向に並んで配置されている部材を平面的に示した部分もある。
【0019】
本実施形態の電子部品試験装置1は、被試験ICに高温または低温の温度ストレスを与えた状態、または温度ストレスを与えない常温でICが適切に動作するかどうかを試験(検査、テスト)し、当該試験結果に応じてICを分類する装置であって、同図に示すように、被試験ICを順次テストヘッド5に設けられたICソケットに搬送し、試験を終了した被試験ICをテスト結果に従って分類して所定のトレイに格納する動作を実行するハンドラ3と、試験用信号を送出し応答信号に基づいて被試験ICをテストするテスタ7と、ICソケットを有しハンドラ3とテスタ7とのインターフェースとしてのテストヘッド5とから構成されている。なお、テスタ7とテストヘッド5とはケーブルなどの信号線を介して電気的に接続され、またハンドラ3とテスタ7もケーブルなどの信号線を介して電気的に接続されている。
【0020】
こうした温度ストレスを与えた状態での動作テストは、試験対象となる被試験ICが多数搭載されたトレイ(以下、カスタマトレイKSTともいう。)からハンドラ3内を搬送されるテストトレイTSTに被試験ICを載せ替えて実施される。何れのトレイKST,TSTもその構造は特に限定されないため、その詳細な図示は省略し、同図に模式的に示すこととする。
【0021】
本実施形態のハンドラ3は、同図に示すように、これから試験を行なう被試験ICを格納し、また試験済のICを分類して格納するIC格納部200と、IC格納部200から送られる被試験ICをチャンバ部100に送り込むローダ部300と、テストヘッド5を含むチャンバ部100と、チャンバ部100で試験が行なわれた試験済のICを分類して取り出すアンローダ部400とから構成されている。
【0022】
IC格納部200には、試験前の被試験ICを格納する試験前ICストッカと、試験の結果に応じて分類された被試験ICを格納する試験済ICストッカとが設けられており、本例では、試験前ストッカに2個のストッカSTK−Bを設け、またその隣にアンローダ部400へ送られる空ストッカSTK−Eを2個設けるとともに、試験済ICストッカに8個のストッカSTK−1,STK−2,…,STK−8を設けて試験結果に応じて最大8つの分類に仕分けして格納できるように構成されている。
【0023】
上述したカスタマトレイKSTは、IC格納部200の上部に設けられたトレイ移送アーム(図示を省略する。)によってローダ部300の窓部306に下側から運ばれる。そして、このローダ部300において、カスタマトレイKSTに積み込まれた被試験ICをX−Y搬送装置(図示を省略する。)によって一旦プリサイサ(preciser)305に移送し、ここで被試験ICの相互の位置を修正したのち、さらにこのプリサイサ305に移送された被試験ICを再びX−Y搬送装置を用いて、ローダ部300に停止しているテストトレイTSTに積み替える。
【0024】
上述したテストトレイTSTは、ローダ部300で被試験ICが積み込まれたのちチャンバ部100に送り込まれ、当該テストトレイTSTに搭載された状態で各被試験ICがテストされる。
【0025】
チャンバ部100は、テストトレイTSTに積み込まれた被試験ICに目的とする高温又は低温の熱ストレスを与える恒温槽101と、この恒温槽101で熱ストレスが与えられた状態にある被試験ICをテストヘッドのコンタクトピンに接触させるテストチャンバ102と、テストチャンバ102で試験された被試験ICから、与えられた熱ストレスを除去する除熱槽103とで構成されている。
【0026】
同図に概念的に示すように、恒温槽101には、垂直搬送装置が設けられており、テストチャンバ102が空くまでの間、複数枚のテストトレイTSTがこの垂直搬送装置に支持されながら待機する。主として、この待機中において、被試験ICに高温又は低温の熱ストレスが印加される。
【0027】
テストチャンバ102には、その中央にテストヘッド5が配置され、テストヘッド5の上にテストトレイTSTが運ばれて、被試験ICの入出力端子をテストヘッド5のコンタクトピンに電気的に接触させることによりテストが行われる。一方、試験が終了したテストトレイTSTは、除熱槽103で除熱され、ICの温度を室温に戻したのち、アンローダ部400に排出される。
【0028】
なお、除熱槽103から排出されたテストトレイTSTは、アンローダ部400およびローダ部300を介して恒温槽101へ返送される。
【0029】
アンローダ部400にも、ローダ部300に設けられたX−Y搬送装置と同一構造のX−Y搬送装置が設けられ、このX−Y搬送装置によって、アンローダ部400に運び出されたテストトレイTSTから試験済のICがカスタマトレイKSTに積み替えられる。
【0030】
アンローダ部400には、当該アンローダ部400へ運ばれたカスタマトレイKSTが下側から臨むように配置される一対の窓部406,406が二対開設されている。また、図示は省略するが、それぞれの窓部406の下側には、カスタマトレイKSTを昇降させるための昇降テーブルが設けられており、ここでは試験済の被試験ICが積み替えられて満杯になったカスタマトレイKSTを載せて下降し、この満杯トレイを既述したトレイ移送アームに受け渡す。
【0031】
ちなみに、本実施形態のハンドラ3では、仕分け可能なカテゴリーの最大が8種類であるものの、アンローダ部400の窓部406には最大4枚のカスタマトレイKSTしか配置することができなので、これを補うために、アンローダ部400のテストトレイTSTと窓部406との間にバッファ部405を設け、このバッファ部405に希にしか発生しないカテゴリの被試験ICを一時的に預かるようにしている。
【0032】
特に本実施形態の電子部品試験装置では、試験済みICストッカSTK−1〜STK−8として搬出される、あるカテゴリのICの数量が所望の数量となる機能を有している。すなわち、目的とするICのカテゴリ(たとえば良品・高速や良品・中速など)と数量(たとえば1000個など)とを入力して設定する入力設定手段11と、この目的とするカテゴリ(たとえば良品・高速)に分類されたICの実際の数量を計測する計測手段13と、この計測手段13により計測されたICの実際の数量と入力設定手段11に設定されたICの設定数量とを比較する比較演算手段15と、この比較演算手段15による比較の結果、ICの実際の数量が設定数量に達したときにその旨の信号をハンドラ3の制御装置9へ出力する出力手段17とを備えている。
【0033】
目的とするICのカテゴリと数量とを入力して設定する入力設定手段11は、専用機として設けることも、あるいはハンドラ3の制御装置9またはテスタ本体7に内蔵することもできる。この入力設定手段11は、少なくとも一つのカテゴリと数量とを入力および設定できればよいが、複数のカテゴリと各カテゴリの数量とを設定できるように、たとえば、良品・高速のICを1000個と良品・中速のICを800個というように構成することが望ましい。また、入力設定手段11への入力操作は、手入力であっても、管理装置等からの自動入力であっても良い。この入力設定手段11に入力されたカテゴリと数量との設定値は比較演算手段15へ送出され、ここで一時的に記憶される。
【0034】
計測手段13は、上記入力設定手段11にて実際に設定されたカテゴリに分類されるICの数量をカウントし、その数量を順次比較演算手段15へ送出するもので、本例ではテストヘッド5に接続されたテスタ本体7からそのデータが取り込まれる。ただし、本発明の計測手段は、テスタ本体7からデータを取り込むものに限定されず、テストヘッド5を通過してテスト結果が判明したICにつき、該当するカテゴリの数量がカウントできる手段であれば全てが含まれ、たとえばハンドラ3の制御装置9からそのデータを取り込んだり、あるいは専用のカウント機構を設けても良い。
【0035】
比較演算手段15は、入力設定手段11から送出されたカテゴリと数量の設定値を一時的に記憶する一方で、計測手段13から順次送出される実際の数量を取り込み、実際の数量と設定数量との大小を比較し、実際の数量が設定数量に達したら出力手段17を介してハンドラ3の制御装置9へ、テストを終了する旨の指令信号を送出する。これら比較演算手段15および出力手段17は、専用機として設けることも、あるいはハンドラ3の制御装置9またはテスタ本体7に内蔵することもできる。
【0036】
次に作用を説明する。
図2は上記比較演算手段15における制御手順を示すフローチャートであり、まず試験前のICが搭載されたカスタマトレイKSTをIC格納部200の試験前ストッカSTK−Bにセットし、ステップ1において目的とする(出荷数を管理しようとする)カテゴリとその数量N0とを入力設定手段11に入力する。たとえば良品・高速のICを1000個と入力したことにして以下説明する。
【0037】
ハンドラ3が始動してテストが開始されると、試験前ストッカSTK−BにセットされたカスタマトレイKSTは、一枚ずつ窓部306へ送られ、ここで当該カスタマトレイKSTに搭載された複数のICは、プリサイサ305を介して、恒温槽101の手前に位置するテストトレイTSTに移載される。こうしてICが移載されたテストトレイTSTは、恒温槽101からテストチャンバ102に送られ、ここで各ICのテストが実行される。
【0038】
比較演算手段15では、こうしたハンドラ3の始動およびテスト開始信号をステップ2および3にて読み込むと、計測手段13から一定時間間隔で実際のICの数量Nを取り込む。この数量とは、入力設定手段11に入力された、目的とするカテゴリ、本例では良品・高速のICが、テストヘッド5におけるテストで何個発生したかの数量であり、これをテスタ本体7から読み込む。
【0039】
そして、ステップ5にて、実際の数量Nが設定数量N0に達したかどうか、本例では良品・高速のICであると判定された数量が1000個に達したかどうかを比較し、1000個に達するまでテストを継続する。
【0040】
実際の数量Nが1000個に達したら、出力手段17を介してハンドラ3の制御装置9へテストを終了する旨の指令信号を送出し、テストヘッド5におけるテストを終了する(ステップ6)。このとき、ハンドラ3においては、テストヘッド5の前のIC格納部200から恒温槽101まで在席するカスタマトレイKSTおよびテストトレイTSTは停止し、次のロットが開始されるまで待機する。
【0041】
これに対して、テストヘッド5以降のテストを終了したICが搭載されたテストトレイTSTはそのまま継続してアンローダ部400へ搬送され、ここで分類が実行される(ステップ7)。ここで、入力設定手段11で設定されたカテゴリ、本例では良品・高速のICは窓部406にセットされたカスタマトレイKSTに移載されたのち、IC格納部200の試験済みストッカSTK−1〜8の何れかに搬送される。また、これ以外のカテゴリのICは、窓部406にセットされたカスタマトレイKSTに移載されるか、あるいはバッファ部405に移載され、次のロットの開始まで待機する。
【0042】
このように、本例の電子部品試験装置1によれば、目的とする良品・高速のICを目的とする1000個だけ、必ず搬出することができ、半導体デバイスの製造管理上、著しく利便となる。
【0043】
なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
【0044】
たとえば、上述した例では目的とするカテゴリの数量の計測をテストヘッド5にて実施するとともに、目的とする数量に達したら、それ以上テストヘッド5へ試験前のICを搬入しないように構成したが、本発明ではこうした方法にのみ何ら限定されない。すなわち、アンローダ部400の分類時点で目的とする数量が得られたら、そこでハンドラ3の動作を停止し、テストヘッド5からアンローダ部400のテストトレイTST上に残ったICは次のロットの開始まで待機するように制御することも本発明の範囲内である。
【0045】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、予め目的とするカテゴリと目的とする数量を設定しておき、複数の電子部品のテスト中に、先に設定されたカテゴリに分類された電子部品の数量をカウントし、この実際の数量が先に設定された数量に達したらテストを終了するので、出荷される電子部品の数量を一定に維持することができ、半導体デバイスの製造管理が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の電子部品試験装置の実施形態を示すブロック図である。
【図2】図1の電子部品試験装置における制御手順を示すフローチャートである。
【符号の説明】
1…電子部品試験装置
3…ハンドラ
5…テストヘッド
7…テスタ本体
9…ハンドラ制御装置
11…入力設定手段
13…計測手段
15…比較演算手段
17…出力手段
Claims (4)
- 試験をすべき複数の電子部品を投入し、前記電子部品の端子をテストヘッドのコンタクト部へ押し付けてテストを行い、前記電子部品をテスト結果に応じたカテゴリに分類する電子部品試験装置であって、
目的とする電子部品のカテゴリと数量とを入力して設定する入力設定手段と、
前記目的とするカテゴリに分類された電子部品の実際の数量を計測する計測手段と、
前記計測手段により計測された電子部品の実際の数量と前記入力設定手段に設定された電子部品の設定数量とを比較する比較演算手段と、
前記比較演算手段による比較の結果、電子部品の実際の数量が設定数量に達したときにその旨を出力する出力手段と、を備え、
前記出力手段から出力された信号を受けて、前記テストヘッドにおける電子部品のテストを終了し、テスト済みの電子部品をテスト結果に応じたカテゴリに分類し、未テストの電子部品を待機させることを特徴とする電子部品試験装置。 - 前記入力設定手段は、一または複数のカテゴリと当該各カテゴリの電子部品の数量とを入力して設定する請求項1に記載の電子部品試験装置。
- 前記計測手段は、前記テストヘッドに電気的に接続されたテスタに設けられている請求項1又は2に記載の電子部品試験装置。
- 試験をすべき複数の電子部品の端子をテストヘッドのコンタクト部へ押し付けてテストを行い、前記電子部品をテスト結果に応じたカテゴリに分類する電子部品の試験方法であって、
目的とする電子部品のカテゴリと数量とを設定する工程と、
前記目的とするカテゴリに分類された電子部品の実際の数量を計測する工程と、
前記工程にて計測された電子部品の実際の数量と前記工程にて設定された電子部品の設定数量とを比較する工程と、
前記工程にて比較された結果、電子部品の実際の数量が設定数量に達したときにその旨の信号を出力する工程と、
前記工程から出力された信号を受けて、前記テストヘッドにおける電子部品のテストを終了し、テスト済みの電子部品をテスト結果に応じたカテゴリに分類し、未テストの電子部品を待機させる工程と、を含む電子部品の試験方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34190699A JP4409687B2 (ja) | 1999-12-01 | 1999-12-01 | 電子部品試験装置および電子部品の試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34190699A JP4409687B2 (ja) | 1999-12-01 | 1999-12-01 | 電子部品試験装置および電子部品の試験方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001074808A JP2001074808A (ja) | 2001-03-23 |
JP4409687B2 true JP4409687B2 (ja) | 2010-02-03 |
Family
ID=18349671
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34190699A Expired - Fee Related JP4409687B2 (ja) | 1999-12-01 | 1999-12-01 | 電子部品試験装置および電子部品の試験方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4409687B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100950333B1 (ko) | 2008-08-20 | 2010-03-31 | (주)테크윙 | 전자부품 검사 지원 장치 및 테스트가 이루어진 전자부품의분류방법 |
CN110097260B (zh) * | 2019-04-12 | 2023-12-19 | 格力电器(芜湖)有限公司 | 产品检验方法、装置、设备和存储介质 |
-
1999
- 1999-12-01 JP JP34190699A patent/JP4409687B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001074808A (ja) | 2001-03-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3009743B2 (ja) | 半導体デバイス搬送処理装置 | |
US7422914B2 (en) | Fabrication method of semiconductor integrated circuit device | |
KR100699866B1 (ko) | 로트 및 트레이 확인을 통한 반도체 소자의 연속검사 방법 | |
JP4018254B2 (ja) | 電子部品の試験方法 | |
JP5186370B2 (ja) | 電子部品移送方法および電子部品ハンドリング装置 | |
JPH11202023A (ja) | テスト−バーンイン装置、それを用いたインラインシステム及びそのインラインシステムを用いたテスト方法 | |
US20020199142A1 (en) | Semiconductor programming and testing method and apparatus | |
KR20080009186A (ko) | 집적회로 시험장치 | |
JP4570208B2 (ja) | 試験済み電子部品の分類制御方法 | |
JP4409687B2 (ja) | 電子部品試験装置および電子部品の試験方法 | |
US6922050B2 (en) | Method for testing a remnant batch of semiconductor devices | |
WO1996011392A1 (fr) | Automate programmable et son procede de mise en application dans la mesure de dispositifs | |
JP2002207062A (ja) | 電子部品試験装置におけるソケットの電気特性相関取得方法、ハンドラ、ハンドラの制御方法および電子部品試験装置 | |
JPH1082828A (ja) | 半導体デバイス試験装置 | |
KR100835999B1 (ko) | Ic 소팅 핸들러 및 그 제어방법 | |
JP2000258496A (ja) | 半導体装置の検査方法及び装置 | |
JP3865185B2 (ja) | 半導体装置とその試験装置及び試験方法 | |
JP2002181886A (ja) | 部品ハンドラ、ic測定システム、icの分別方法 | |
JPH02136760A (ja) | 半導体素子の選別方法 | |
JPH0574899A (ja) | Icオートハンドラー | |
KR20070048280A (ko) | 반도체 소자의 테스트 방법 및 이를 수행하기 위한 테스트장치 | |
JP2000074987A (ja) | 電子部品試験装置 | |
JP2002156404A (ja) | 半導体測定方法及び半導体測定装置 | |
JP2002214294A (ja) | 半導体装置の検査方法及び検査装置 | |
JPH0697257A (ja) | 半導体装置の電気的特性検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061012 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090105 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090217 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090414 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20090414 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090512 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090707 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090811 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091008 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20091110 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20091112 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121120 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121120 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121120 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131120 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |