JP2002181886A - 部品ハンドラ、ｉｃ測定システム、ｉｃの分別方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ＩＣの測定に要する時間を短くすることがで
きるハンドラー、ＩＣ測定システム、ＩＣの分別方法を
提供する。 【解決手段】 ハンドラー７は、測定されるＩＣが載置
されるコンタクト部２と、不良品のＩＣを格納する不良
トレー４と、良品のＩＣを格納する良品トレー５と、Ｉ
Ｃを搬送する搬送アーム８と、格納されたＩＣの位置情
報と測定情報とが関連づけて記憶されるメモリ１１と、
制御部１３とを備えている。制御部１３は、メモリ１１
からＩＣの測定情報及び位置情報を読み取り、入力され
た条件に該当するＩＣを特定するとともに、その収納位
置を特定し、搬送アーム８に特定されたＩＣを搬送させ
てコンタクト部２に載置させ、テスター１に再測定を行
わせる。そして、搬送アーム８に再測定されたＩＣを不
良トレー４または良品トレー５に分別搬送させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ハンドラ、ＩＣ測
定システム、ＩＣの分別方法に関し、詳しくは、半導体
メモリのようなＩＣの電気的特性を測定して、ＩＣを良
品と不良品とに分別するハンドラ、ＩＣ測定システム、
ＩＣの分別方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】製造されたＩＣの電気的特性を測定する
ＩＣ測定システムにおいて、ハンドラは、ＩＣを搬送し
たり、分別したりするのに広く用いられている。図４
に、ハンドラを有するＩＣ測定システムの模式平面図を
示す。

【０００３】図４に示すように、ＩＣ測定システムは、
ＩＣの電気的特性を測定するテスター５１と、ハンドラ
５７とを備えている。ハンドラ５７には、ケーブル５６
を介してテスター５１に接続され、測定対象となるＩＣ
を電気的に接触させて各種の測定を行うコンタクト部５
２が設けられている。また、ハンドラ５７には、未だ測
定されていないＩＣが格納された未測定トレー５３と、
測定の結果、良品のＩＣを格納する良品トレー５５と、
不良品のＩＣを格納する不良トレー５４とが設けられて
いる。

【０００４】このようなＩＣ測定システムを用いて、Ｉ
Ｃを良品と不良品に分別するには、まず、ＩＣを運搬す
る搬送アーム５８により、未測定トレー５３からＩＣを
取り出してコンタクト部５２上に搬送し、テスター５１
により、ＩＣの電気的特性を測定する。次に、この測定
情報を、テスター５１からインターフェイスケーブル６
０を介してハンドラ５７に送信する。そして、測定の結
果、ＩＣが良品の場合には、搬送アーム５８により測定
したＩＣを良品トレー５５に格納し、ＩＣが不良品の場
合には、搬送アーム５８により測定したＩＣを不良トレ
ー５４に格納する。これにより、製造されたＩＣを良品
と不良品とに分別することができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
ＩＣ測定システムでは、ＩＣが良品か不良品かというよ
うな分別を行うのみであり、不良トレー５４及び良品ト
レー５５のどの位置に、どのような測定値のＩＣが格納
されているかは不明である。このため、例えば、良品ト
レー５５に格納されたＩＣの中から、ある範囲の測定値
を有するＩＣが必要な場合には、良品トレー５５に格納
された全てのＩＣについて再測定を行って、再度分別を
しなければならない。従って、再測定に要する時間が長
くなってしまうという問題があった。

【０００６】また、一旦、不良品と判断されたものでも
規格等が緩和されて、良品として救済することが可能に
なる場合もあり、この場合にも不良トレー５４に格納さ
れた全てのＩＣについて再測定を行って、再度分別をし
なければならず、再測定に要する時間が長くなってしま
う。このように、全てのＩＣについて再測定が必要なこ
とから、ＩＣの測定に要する時間が長くなってしまうと
いう問題があった。

【０００７】特開平０９−１０１３４４号公報には、Ｉ
Ｃの試験（測定）結果等の格納情報を格納情報記憶手段
に記憶させ、この格納情報を分類専用機に送給し、分類
専用機で試験済みＩＣを試験結果に従って分類（分別）
するＩＣ試験システムが開示されている。このＩＣ試験
システムによれば、ハンドラはＩＣの分類をすることな
く、ＩＣの搬送のみを行うこととなり、ＩＣの試験に要
する時間を短縮することができる。

【０００８】しかし、特開平０９−１０１３４４号公報
に開示された発明は、測定したＩＣを所定のトレイに分
別する時間の短縮を目的としたものであり、再測定につ
いては何ら言及されておらず、再測定に要する時間を短
くすることはできない。さらに、試験済みのＩＣを早く
分類するために、分類専用機を用いていることからＩＣ
測定システムの構造が複雑になってしまう。

【０００９】また、特開平０９−３１８７０３号公報に
は、再テストの条件及び回数を記録手段に記憶させ、こ
の条件に基づき再テストを要するＩＣを別のＩＣ供給部
に戻すハンドラが開示されている。このハンドラによれ
ば、再テストするＩＣをテスト部にセットする時間を短
縮することができ、再テストに要する時間を短くするこ
とができる。しかし、特開平０９−３１８７０３号公報
に開示された発明は、測定の段階で再測定が必要とされ
たＩＣのみに適用することができ、前述のように測定後
に再測定が必要となった場合には適用することができな
い。

【００１０】本発明は、ＩＣの測定に要する時間を短く
することができるハンドラ、ＩＣ測定システム、ＩＣの
分別方法を提供することを目的とする。また、本発明
は、再測定が必要なＩＣのみを特定して、再測定を行う
ＩＣの数を減らし、ＩＣの再測定に要する時間を短くす
ることができるハンドラ、ＩＣ測定システム、ＩＣの分
別方法を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明の第１の観点にかかる部品ハンドラは、部
品の特性を測定する測定装置からの測定情報により、部
品を分別するハンドラであって、測定対象の部品が載置
される載置部と、測定された部品が格納される少なくと
も２つの格納部と、部品を搬送する搬送部と、格納され
た部品の位置情報と前記測定情報とを関連づけて記憶す
る情報記憶部と、前記情報記憶部から部品の測定情報及
び位置情報を読み取り、所定の条件に該当する部品の格
納位置を特定し、特定された部品を前記搬送部に搬送さ
せて前記載置部に載置させ、前記測定装置に前記載置部
に載置された部品を再測定させ、前記測定装置からの測
定情報に応じて再測定された部品の格納位置を決定し、
測定された部品を前記搬送部に搬送させ、所定の格納部
の所定の位置に格納させる制御部と、を備えることを特
徴とする。

【００１２】この構成によれば、格納部に収納された部
品は、その位置情報と測定情報とが関連づけられて、情
報記憶部に記録され、測定情報に関する所定の条件が入
力されると、制御部により、情報記憶部から部品の測定
情報及び位置情報が読み取られ、この条件に該当する部
品及び、その収納位置が特定される。そして、この部品
が載置部に搬送され、再測定されると、その測定結果に
応じた格納位置に格納される。このため、測定された部
品のうち、入力された条件に該当する部品のみを再測定
することができ、部品の再測定に要する時間を短くする
ことができる。

【００１３】前記制御部は、例えば、前記特定された部
品を所定の格納部に搬送させた後、該部品を所定の格納
部から搬送させて前記載置部に載置させる。この場合、
一旦、再測定の対象となる部品を所定の格納部に格納
し、この格納部内の部品を再測定するので、部品を効率
的に測定することができる。

【００１４】前記測定情報に関する所定の条件として
は、例えば、不良項目がある。不良と判断されたもので
も実は規格などを緩和して救済することが可能になる場
合があり、このような場合に対象となる部品を再測定す
ることができる。

【００１５】前記部品は、例えば、ＩＣである。この場
合、ＩＣの電気的特性を測定する測定装置と、上記ハン
ドラとを組み合わせてシステム化してもよい。

【００１６】この発明の第２の観点にかかるＩＣ測定シ
ステムは、ＩＣの電気的特性を測定する測定装置と、請
求項１乃至３のいずれか１項に記載のハンドラと、を備
えることを特徴とする。

【００１７】この構成によれば、前述のハンドラの作用
を有するＩＣ測定システムを提供することができる。

【００１８】この発明の第３の観点にかかるＩＣの分別
方法は、ＩＣの電気的特性を測定し、その測定情報によ
り、ＩＣを分別するＩＣの分別方法であって、測定され
たＩＣをその測定情報に応じて所定の格納部に搬送させ
るとともに、格納されたＩＣの位置情報と前記測定情報
とを関連づけて記憶させる測定工程と、所定の条件が入
力されると、該所定の条件に該当するＩＣを前記測定情
報に基づいて特定するとともに、その収納位置を特定
し、該ＩＣを再測定させ、再測定されたＩＣを所定の格
納部に搬送させる再測定工程と、を含む、ことを特徴と
する。

【００１９】この構成によれば、測定されたＩＣは、そ
の位置情報と測定情報とが関連づけられて登録され、所
定の条件が入力されると、ＩＣの測定情報及び位置情報
が読み取られ、この条件に該当するＩＣ及び、その収納
位置が特定される。そして、このＩＣが再測定される
と、その測定結果に応じて、所定の格納部に分別搬送さ
れる。このため、測定されたＩＣのうち、入力された条
件に該当するＩＣのみを再測定することができ、ＩＣの
再測定に要する時間を短くすることができる

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
１〜図３に従って説明する。図１は本実施の形態のＩＣ
測定システムを示す模式平面図である。

【００２１】図１に示すように、ＩＣ測定システムは、
ＩＣの電気的特性を測定する装置としてのテスター１
と、ハンドラ７とを備えている。テスター１とハンドラ
７とはインターフェイスケーブル１０により電気的に接
続されており、テスター１によって測定されたＩＣの測
定値を含む測定情報がインターフェイスケーブル１０を
介してハンドラ７に送信される。

【００２２】ハンドラ７には未測定トレー３が収容され
ている。未測定トレー３には、複数の未測定のＩＣが格
納されている。この未測定のＩＣには、特定のシリアル
番号が割り当てられている。また、ハンドラ７には、測
定されたＩＣを格納する少なくとも２つの格納部を有
し、本実施の形態では、不良トレー４と良品トレー５と
が配置されている。不良トレー４には、測定の結果、不
良品のＩＣが複数格納される。良品トレー５には、測定
の結果、良品のＩＣが複数格納される。この不良トレー
４及び良品トレー５には、各トレーを識別するための識
別番号が付与されている。また、各トレー内には、各ト
レー内の格納場所に対応して割り付けられた番号が付与
されている。

【００２３】ハンドラ７の内部には、満杯不良トレー格
納場所９が設けられている。満杯不良トレー格納場所９
は、不良トレー４内が不良品のＩＣで満杯になった場合
に、満杯となった不良トレー４を格納する場所である。
この満杯不良トレー格納場所９に満杯となった不良トレ
ー４が格納されると、図示しない搬送手段により新たな
不良トレー４がハンドラ７内に搬送される。

【００２４】ハンドラ７には、測定の対象であるＩＣが
載置されるコンタクト部２が設けられており、コンタク
ト部２はケーブル６を介してテスター１に接続されてい
る。このため、測定されるＩＣをコンタクト部２に載置
することにより、ＩＣの種々の電気的特性がテスター１
によって測定される。

【００２５】また、ハンドラ７には、搬送アーム８と操
作パネル１２とメモリ１１とが設けられている。

【００２６】搬送アーム８は、ハンドラ７内でのＩＣの
搬送に用いられ、未測定トレー３と、コンタクト部２
と、不良トレー４または良品トレー５との間のＩＣの搬
送に用いられる。このため、搬送アーム８により、例え
ば未測定トレー３内に格納された未測定のＩＣをコンタ
クト部２に搬送し、コンタクト部２上の測定されたＩＣ
を測定結果に応じて不良トレー４または良品トレー５内
に格納し、測定されたＩＣの分別搬送が行われる。

【００２７】操作パネル１２は、制御部１３と入力部１
４とを備えている。制御部１３は、ハンドラ７、特に搬
送アーム８の動きを制御する機能を有する。例えば、測
定されたＩＣの測定情報がテスター１からインターフェ
イスケーブル１０を介して操作パネル１２に送信される
と、操作パネル１２は、この測定情報に対応して、測定
されたＩＣを不良トレー４内または良品トレー５内の所
定の場所に格納するように、搬送アーム８に指示を送
る。このように、操作パネル１２は、搬送アーム８の動
きを制御している。

【００２８】また、制御部１３は、測定されたＩＣが所
定の場所に格納される毎に、個々のＩＣが格納された位
置を示す位置情報、例えば各ＩＣに割り当てられたシリ
アル番号、各トレーに付与された識別番号、各トレー内
の格納場所に対応して割り付けられた格納番号等を付与
する。そして、制御部１３は、この位置情報をメモリ１
１に伝達する。

【００２９】入力部１４は、作業者がハンドラ７の動き
を制御するための条件を入力可能に構成され、この入力
された条件が制御部１３に伝達される。このような条件
としては、作業者が入力部１４を操作することにより、
所定のＩＣを所定の位置に移動させるような手動操作の
他、作業者が入力部１４にＩＣの測定情報に関する所定
の条件を入力することにより、測定されたＩＣのうち、
入力された条件に該当するＩＣの位置情報をメモリ１１
から読み取り、該当するＩＣをコンタクト部２に搬送さ
せて再測定し、再測定したＩＣを所定の格納部に分別搬
送させる再測定処理も含まれる。

【００３０】メモリ１１には、測定されたＩＣを管理す
るための管理データベースが設けられている。図２に管
理データベースの内容を示す。図２に示すように、管理
データベースには、各ＩＣのシリアル番号、位置情報
（トレーの識別番号、トレー内の格納番号）、及び測定
情報が登録されている。このように、メモリ１１では、
制御部１３により伝達されたＩＣの位置情報と、テスタ
ー１により測定されたＩＣの測定情報とが関連づけて登
録されている。

【００３１】次に、以上のように構成されたＩＣ測定シ
ステムを用いたＩＣの分別方法について説明する。ＩＣ
の分別方法は、未測定のＩＣの電気的特性を測定する測
定工程（方法）と、測定されたＩＣのうち、測定情報に
関する所定の条件に該当するＩＣのみを再測定する再測
定工程（方法）とが含まれている。まず、測定方法につ
いて説明する。なお、以下に説明する各動作は制御部１
３によって制御されており、制御部１３の制御に従って
各動作が実行される。

【００３２】まず、図示しない搬送手段により、ハンド
ラ７内に複数の未測定のＩＣが格納された未測定トレー
３を搬送する。次に、搬送アーム８を移動させて、未測
定トレー３内の未測定のＩＣを一枚搬送させ、コンタク
ト部２上に載置させる。続いて、テスター１により、コ
ンタクト部２に載置されたＩＣの電気的特性を測定す
る。ＩＣの電気的特性が測定されると、この測定結果に
応じて、搬送アーム８が測定されたＩＣを不良トレー４
内または良品トレー５内の所定の場所に分別搬送する。

【００３３】ここで、ＩＣの電気的特性が測定される
と、この測定情報がテスター１からインターフェイスケ
ーブル１０を介して操作パネル１２の制御部１３に送信
される。制御部１３では、この測定結果に応じて、測定
されたＩＣを不良トレー４内または良品トレー５内の所
定の場所に格納するように、搬送アーム８に指示を送る
とともに、メモリ１１の管理データベースに、このＩＣ
のシリアル番号、格納させるトレーの識別番号、格納番
号と、このＩＣの測定情報とを関連づけて登録させる。
これにより、メモリ１１の管理データベースには、特定
のシリアル番号が割り当てられたＩＣは、特定の識別番
号が付与されたトレー内の特定の番号が付与された位置
に格納されているという位置情報と、特定の測定値を有
するという測定情報とが保持される。

【００３４】そして、未測定トレー３内の次の未測定の
ＩＣを一枚搬送させて同様の操作を、未測定トレー３内
の全ての未測定のＩＣが不良トレー４内または良品トレ
ー５内に分別搬送されるまで行う。これにより、全ての
未測定のＩＣが測定され、測定されたＩＣが分別搬送さ
れる。

【００３５】次に、再測定方法について説明する。な
お、本実施の形態では、例えば規格が緩和されたことに
より、不良トレー４内に格納されたＩＣの中に良品のＩ
Ｃが混在する場合について、良品となる所定の条件を満
たすＩＣを所定のトレー（再測定トレー）に搬送し、確
認のため再測定トレー内のＩＣの電気的特性を測定及び
分別搬送する場合を例に説明する。図３は再測定方法を
示したフローチャートである。

【００３６】まず、作業者は、操作パネル１２の入力部
１４にＩＣの測定情報に関する所定の条件を入力する
（ステップＳ１）。所定の条件が入力されると、制御部
１３がメモリ１１の管理データベースから、この条件に
該当するＩＣを特定する（ステップＳ２）。次に、制御
部１３は、特定されたＩＣの位置情報を読み取り（ステ
ップＳ３）、搬送アーム８に、特定されたＩＣを再測定
トレー内に格納するように指示を送る。搬送アーム８
は、制御部１３の指示通りに特定されたＩＣを再測定ト
レー内に搬送する（ステップＳ４）。

【００３７】次に、前述の測定方法に従って、再測定ト
レー内のＩＣを測定及び分別搬送する。まず、搬送アー
ム８を移動させて、再測定トレー内のＩＣを一枚搬送さ
せ、コンタクト部２上に載置させる。続いて、テスター
１により、コンタクト部２に載置されたＩＣの電気的特
性を測定する（ステップＳ５）。ＩＣの電気的特性が測
定されると、この測定結果に応じて、搬送アーム８が測
定されたＩＣを不良トレー４内または良品トレー５内の
所定の場所に分別搬送する（ステップＳ６）。ここで、
前述の測定方法と同様に、メモリ１１の管理データベー
スに、再測定されたＩＣのシリアル番号、格納させるト
レーの識別番号、格納番号と、このＩＣの再測定された
測定情報とが関連づけて登録される。

【００３８】次に、再測定トレー内にＩＣが残っている
かを判別する（ステップＳ７）。再測定トレー内にＩＣ
が残っていると判別した場合（ステップＳ７：ＹＥＳ）
には、ステップＳ５に戻り、次のＩＣの電気的特性を測
定し、測定結果に応じた分別搬送を行う。再測定トレー
内にＩＣが残っていないと判別した場合（ステップＳ
７：ＮＯ）には、この再測定を終了する。

【００３９】このように、本実施の形態の再測定方法に
よれば、メモリ１１の管理データベースに測定されたＩ
Ｃの測定情報と位置情報とが登録されているので、規格
が緩和されたことにより救済することが可能となるＩＣ
を特定して、この特定されたＩＣのみを再測定すること
ができ、不良トレー４内の全てのＩＣを再測定する必要
がなくなる。このため、ＩＣの再測定に要する時間を短
くすることができる。具体的には、不良トレー４内に４
００個のＩＣが格納され、規格の緩和により１００個を
救済することが可能な場合、１個のＩＣの測定に５秒か
かるとすると、ＩＣの再測定に要する時間を２０００秒
から５００秒に短縮することができる。

【００４０】なお、本発明は上記実施の形態に限定され
るものではなく、例えば、再測定方法は、再測定の際に
管理データベースに登録されたＩＣの測定情報及び位置
情報を活用できるものであればよく、良品トレー５に格
納されたＩＣからある範囲の測定値を有するＩＣのみを
再測定する場合であってもよい。

【００４１】再測定方法において、所定の条件に該当す
るＩＣを再測定トレー内に格納せず、直接コンタクト部
２上に載置し、該ＩＣを再測定してもよい。

【００４２】再測定方法において、再測定トレー内に格
納されたＩＣを再測定せず、メモリ１１の管理データベ
ースのデータ判断により、規格が緩和されたことにより
救済することが可能となるＩＣを分別してもよい。

【００４３】不良トレー４にメモリカードを搭載し、メ
モリカードに個々のＩＣのデータを登録してもよい。こ
の場合、他のハンドラ７を用いて、規格が緩和されたこ
とにより救済することが可能となるＩＣを特定すること
ができる。

【００４４】メモリ１１の管理データベースを、例え
ば、フロッピー（登録商標）ディスク等の記憶媒体に記
憶してもよい。この場合、他のハンドラ７にも、管理デ
ータベースを用いることができる。

【００４５】ハンドラ７に搬送アーム８を複数台配置し
てもよい。この場合、ＩＣの搬送を効率的に行うことが
できる。例えば、搬送アーム８をハンドラ７内に２台配
置し、一台を未測定トレー３とコンタクト部２との間の
搬送用とし、もう一台をコンタクト部２と良品トレー５
または不良トレー４との間の搬送用に用いることができ
る。

【００４６】インターフェイスケーブル１０を双方向通
信可能に構成してもよい。この場合、テスターから転送
されるデータ量を拡大することができる。また、ハンド
ラ７によりテスター１を制御することができる。

【００４７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ＩＣの測定に要する時間を短くすることができる。ま
た、本発明によれば、再測定が必要なＩＣのみを特定し
て、再測定を行うＩＣの数を減らし、ＩＣの再測定に要
する時間を短くすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施の形態のＩＣ測定システムを示す模式平
面図である。

【図２】本実施の形態の管理データベースの内容を示す
図である。

【図３】本実施の形態の再測定方法を示したフローチャ
ートである。

【図４】従来のＩＣ測定システムを示す模式平面図であ
る。

【符号の説明】 １ テスター ２ コンタクト部 ３ 未測定トレー ４ 不良トレー ５ 良品トレー ６ ケーブル ７ ハンドラ ８ 搬送アーム ９ 満杯不良トレー格納場所 １０ インターフェイスケーブル １１ メモリ １２ 操作パネル １３ 制御部 １４ 入力部

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】部品の特性を測定する測定装置からの測定
   情報により、部品を分別するハンドラであって、 測定対象の部品が載置される載置部と、 測定された部品が格納される少なくとも２つの格納部
   と、 部品を搬送する搬送部と、 格納された部品の位置情報と前記測定情報とを関連づけ
   て記憶する情報記憶部と、 前記情報記憶部から部品の測定情報及び位置情報を読み
   取り、所定の条件に該当する部品の格納位置を特定し、
   特定された部品を前記搬送部に搬送させて前記載置部に
   載置させ、前記測定装置に前記載置部に載置された部品
   を再測定させ、前記測定装置からの測定情報に応じて再
   測定された部品の格納位置を決定し、測定された部品を
   前記搬送部に搬送させ、所定の格納部の所定の位置に格
   納させる制御部と、を備えることを特徴とする部品ハン
   ドラ。
2. 【請求項２】前記制御部は、前記特定された部品を所定
   の格納部に搬送させた後、該部品を所定の格納部から搬
   送させて前記載置部に載置させる、ことを特徴とする請
   求項１に記載の部品ハンドラ。
3. 【請求項３】前記所定の条件は、部品の不良項目であ
   る、ことを特徴とする請求項１または２に記載の部品ハ
   ンドラ。
4. 【請求項４】部品としてのＩＣの電気的特性を測定する
   測定装置と、 請求項１乃至３のいずれか１項に記載のハンドラと、を
   備えることを特徴とするＩＣ測定システム。
5. 【請求項５】ＩＣの電気的特性を測定し、その測定情報
   により、ＩＣを分別するＩＣの分別方法であって、 測定されたＩＣをその測定情報に応じて所定の格納部に
   搬送させるとともに、格納されたＩＣの位置情報と前記
   測定情報とを関連づけて記憶させる測定工程と、 所定の条件が入力されると、該所定の条件に該当するＩ
   Ｃを前記測定情報に基づいて特定するとともに、その収
   納位置を特定し、該ＩＣを再測定させ、再測定されたＩ
   Ｃを所定の格納部に搬送させる再測定工程と、を含む、
   ことを特徴とするＩＣの分別方法。