JPH0574899A - Ｉｃオートハンドラー - Google Patents
ＩｃオートハンドラーInfo
- Publication number
- JPH0574899A JPH0574899A JP3238119A JP23811991A JPH0574899A JP H0574899 A JPH0574899 A JP H0574899A JP 3238119 A JP3238119 A JP 3238119A JP 23811991 A JP23811991 A JP 23811991A JP H0574899 A JPH0574899 A JP H0574899A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ics
- image data
- lens
- visual inspection
- ccd camera
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】半導体の電気的特性を測定、分類するＩＣオー
トハンドラーとＣＣＤカメラ７、ＣＣＤカメラ用レンズ
８で構成され、さらにＣＣＤカメラ７及びＣＣＤカメラ
用レンズ８は移動機構を有する。ＩＣオートハンドラー
は、ＩＣ４の画像データーをレンズ８、ＣＣＤカメラ７
より取り込みＩＣ４の外観検査を実施し、ＩＣ４の外観
検査良否を決定する。さらにＩＣオートハンドラは、こ
の良否判定別にＩＣ４をソートレール５に搬送され、収
容マガジン６に収容される。 【効果】ＩＣ検査工程において、作業コストを削減し、
ＩＣが完成するまでのリードタイムを低減できる。ま
た、ＩＣの良品、不良品混入等による作業ミスも阻止す
ることが実現できる。
トハンドラーとＣＣＤカメラ７、ＣＣＤカメラ用レンズ
８で構成され、さらにＣＣＤカメラ７及びＣＣＤカメラ
用レンズ８は移動機構を有する。ＩＣオートハンドラー
は、ＩＣ４の画像データーをレンズ８、ＣＣＤカメラ７
より取り込みＩＣ４の外観検査を実施し、ＩＣ４の外観
検査良否を決定する。さらにＩＣオートハンドラは、こ
の良否判定別にＩＣ４をソートレール５に搬送され、収
容マガジン６に収容される。 【効果】ＩＣ検査工程において、作業コストを削減し、
ＩＣが完成するまでのリードタイムを低減できる。ま
た、ＩＣの良品、不良品混入等による作業ミスも阻止す
ることが実現できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＩＣテストシステムに係
わる、ＩＣの電気的特性を測定、分類するためのＩＣオ
ートハンドラーに関する。
わる、ＩＣの電気的特性を測定、分類するためのＩＣオ
ートハンドラーに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来ＩＣの外観検査は、ＩＣの電気的特
性を測定、分類する工程の前後、別工程においてＩＣ外
観検査専用機、もしくは人間の眼によりＩＣの外観検査
を実施していた。
性を測定、分類する工程の前後、別工程においてＩＣ外
観検査専用機、もしくは人間の眼によりＩＣの外観検査
を実施していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、別工程におい
てＩＣ外観検査専用機でＩＣの外観検査を行うと、作業
コストがかかり、ＩＣが完成するまでのリードタイムも
増え、またＩＣの良品、不良品混入等による作業ミスも
発生する結果となってしまう。
てＩＣ外観検査専用機でＩＣの外観検査を行うと、作業
コストがかかり、ＩＣが完成するまでのリードタイムも
増え、またＩＣの良品、不良品混入等による作業ミスも
発生する結果となってしまう。
【０００４】そこで本発明は、ＩＣオートハンドラーに
ＩＣの外観検査機構を取り付け、ＩＣの電気的特性を測
定し、ただちにＩＣの外観検査を行い、その後分類する
ため作業コストも削減され、ＩＣが完成するまでのリー
ドタイムも低減できる。また、ＩＣの良品、不良品混入
等による作業ミスも阻止することができる。
ＩＣの外観検査機構を取り付け、ＩＣの電気的特性を測
定し、ただちにＩＣの外観検査を行い、その後分類する
ため作業コストも削減され、ＩＣが完成するまでのリー
ドタイムも低減できる。また、ＩＣの良品、不良品混入
等による作業ミスも阻止することができる。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のＩＣオートハン
ドラーは、ＩＣの電気的特性を測定するテスターとハン
ドリング装置を含むテストシステムにおいて、上記テス
ターのテストヘッドと、ＩＣの間で電気的特性を測定、
分類するために用いられるＩＣオートハンドラーにおい
て、ＩＣの外観検査機構を取り付けたことを特徴とす
る。
ドラーは、ＩＣの電気的特性を測定するテスターとハン
ドリング装置を含むテストシステムにおいて、上記テス
ターのテストヘッドと、ＩＣの間で電気的特性を測定、
分類するために用いられるＩＣオートハンドラーにおい
て、ＩＣの外観検査機構を取り付けたことを特徴とす
る。
【０００６】
【実施例】以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。
明する。
【０００７】図１は本発明のＩＣオートハンドラーの概
略図である。
略図である。
【０００８】図１において、ＩＣ４が収容されている供
給マガジン１より、ＩＣ４はＩＣオートハンドラー本体
のチャンバーレール２に収容される。
給マガジン１より、ＩＣ４はＩＣオートハンドラー本体
のチャンバーレール２に収容される。
【０００９】このチャンバーレール２により、ＩＣ４は
測定部３に適した並びとされ、必要に応じた個数が収容
される。
測定部３に適した並びとされ、必要に応じた個数が収容
される。
【００１０】さらにＩＣ４の電気的特性の測定条件に合
わせた温度に設定される。
わせた温度に設定される。
【００１１】チャンバーレール２に収容されたＩＣ４は
設定温度、待機時間の確認をおこない測定部３に搬送さ
れ、テスター等によりＩＣ４の電気的特性を測定する。
設定温度、待機時間の確認をおこない測定部３に搬送さ
れ、テスター等によりＩＣ４の電気的特性を測定する。
【００１２】この電気的特性の測定結果により、テスタ
ーはＩＣオートハンドラーにＩＣ４の分類データーを転
送する。
ーはＩＣオートハンドラーにＩＣ４の分類データーを転
送する。
【００１３】ＩＣオートハンドラーは、この分類データ
ー別にＩＣ４の外観検査をおこなう。ＩＣオートハンド
ラーはＩＣの外観検査項目別にレンズ８、ＣＣＤカメラ
７を適正位置に移動させる。
ー別にＩＣ４の外観検査をおこなう。ＩＣオートハンド
ラーはＩＣの外観検査項目別にレンズ８、ＣＣＤカメラ
７を適正位置に移動させる。
【００１４】移動動作終了を確認後、ＩＣオートハンド
ラーは画像データーをレンズ８、ＣＣＤカメラ７より取
り込み、予め取り込んである良品画像データーと比較を
おこなう。
ラーは画像データーをレンズ８、ＣＣＤカメラ７より取
り込み、予め取り込んである良品画像データーと比較を
おこなう。
【００１５】この比較値が設定値以下の場合、つぎの外
観検査項目をおこなうため再びレンズ８、ＣＣＤカメラ
７を適正位置に移動させる。
観検査項目をおこなうため再びレンズ８、ＣＣＤカメラ
７を適正位置に移動させる。
【００１６】移動動作終了を確認後、ＩＣオートハンド
ラーは画像データーをレンズ８、ＣＣＤカメラ７より取
り込み、予め取り込んである良品画像データーと比較を
おこない、比較値が設定値以上になるまでＩＣオートハ
ンドラーは以上の作業を繰り返す。
ラーは画像データーをレンズ８、ＣＣＤカメラ７より取
り込み、予め取り込んである良品画像データーと比較を
おこない、比較値が設定値以上になるまでＩＣオートハ
ンドラーは以上の作業を繰り返す。
【００１７】全ての外観検査項目において、予め取り込
んである良品画像データーとの比較値が設定値以下の場
合、ＩＣオートハンドラーはＩＣ４を外観検査良品 と
判断する。
んである良品画像データーとの比較値が設定値以下の場
合、ＩＣオートハンドラーはＩＣ４を外観検査良品 と
判断する。
【００１８】測定部３において外観検査されたＩＣ４
は、ＩＣオートハンドラの良品ソートレール５に搬送さ
れ、電気的特性及び、外観検査別に分類され、収容マガ
ジン６に収容される。
は、ＩＣオートハンドラの良品ソートレール５に搬送さ
れ、電気的特性及び、外観検査別に分類され、収容マガ
ジン６に収容される。
【００１９】
【発明の効果】以上に述べたように本発明によれば、半
導体の電気的特性を測定するテスターとハンドリング装
置を含むテストシステムで、上記テスターのテストヘッ
ドと被測定体の間で電気的特性を測定、分類するために
用いられるＩＣオートハンドラーにおいて、ＩＣの外観
検査をおこなうＩＣ外観検査機構を設けることにより、
ＩＣが完成するまでのリードタイム、作業コストの低減
と、ＩＣの不良品混入等の作業ミスを阻止できるため、
ＩＣのコストを下げ、品質の高いＩＣの生産を実現でき
る。
導体の電気的特性を測定するテスターとハンドリング装
置を含むテストシステムで、上記テスターのテストヘッ
ドと被測定体の間で電気的特性を測定、分類するために
用いられるＩＣオートハンドラーにおいて、ＩＣの外観
検査をおこなうＩＣ外観検査機構を設けることにより、
ＩＣが完成するまでのリードタイム、作業コストの低減
と、ＩＣの不良品混入等の作業ミスを阻止できるため、
ＩＣのコストを下げ、品質の高いＩＣの生産を実現でき
る。
【図１】本発明のＩＣオートハンドラーの一実施例を示
す主要構成図。
す主要構成図。
１ 供給マガジン ２ チャンバーレール ３ 測定部 ４ ＩＣ ５ ソートレール ６ 収容マガジン ７ ＣＣＤカメラ ８ レンズ
Claims (1)
- 【請求項１】 ＩＣの電気的特性を測定するテスターと
ハンドリング装置を含むテストシステムで、上記テスタ
ーのテストヘッドとＩＣの間で電気的特性を測定するた
めに用いられるＩＣオートハンドラーにおいて、ＩＣの
外観検査機構を取り付けたことを特徴とするＩＣオート
ハンドラー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3238119A JPH0574899A (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | Ｉｃオートハンドラー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3238119A JPH0574899A (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | Ｉｃオートハンドラー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0574899A true JPH0574899A (ja) | 1993-03-26 |
Family
ID=17025465
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3238119A Pending JPH0574899A (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | Ｉｃオートハンドラー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0574899A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6990421B2 (en) | 2002-10-02 | 2006-01-24 | Seiko Epson Corporation | Method of displaying measurement result in inspection process and system thereof, and computer program |
| US7123979B2 (en) | 2002-10-23 | 2006-10-17 | Seiko Epson Corporation | Method of intercorporate information-sharing, system, and computer program |
| CN103190758A (zh) * | 2013-04-26 | 2013-07-10 | 王道林 | 防打翻多功能组合式墨砚盒 |
-
1991
- 1991-09-18 JP JP3238119A patent/JPH0574899A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6990421B2 (en) | 2002-10-02 | 2006-01-24 | Seiko Epson Corporation | Method of displaying measurement result in inspection process and system thereof, and computer program |
| USRE43405E1 (en) | 2002-10-02 | 2012-05-22 | Seiko Epson Corporation | Method of displaying measurement result in inspection process and system thereof, and computer program |
| US7123979B2 (en) | 2002-10-23 | 2006-10-17 | Seiko Epson Corporation | Method of intercorporate information-sharing, system, and computer program |
| CN103190758A (zh) * | 2013-04-26 | 2013-07-10 | 王道林 | 防打翻多功能组合式墨砚盒 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW452915B (en) | Method of sorting and investigating automatic semiconductor wafer with extended optical inspection and apparatus for implementing the same | |
| US4696047A (en) | Apparatus for automatically inspecting electrical connecting pins | |
| KR20060022350A (ko) | 반도체 패키지의 테스트 핸들러 및 그 검사 방법 | |
| JPH0574899A (ja) | Ｉｃオートハンドラー | |
| KR0162001B1 (ko) | 오토핸들러 및 그것을 사용하는 디바이스의 측정방법 | |
| JPH0574900A (ja) | Ｉｃオートハンドラー | |
| CN209061648U (zh) | 一种全自动验证测试芯片设备 | |
| JPH09178807A (ja) | Ｉｃ検査用オートハンドラ | |
| JP4409687B2 (ja) | 電子部品試験装置および電子部品の試験方法 | |
| JPS59663A (ja) | 波形テスト方法 | |
| JPH1164445A (ja) | 外観検査機能付きｉｃハンドラ | |
| KR100835999B1 (ko) | Ｉｃ 소팅 핸들러 및 그 제어방법 | |
| JP3150414B2 (ja) | 半導体装置の再検査方法及び半導体装置の検査装置 | |
| KR200368650Y1 (ko) | 반도체 패키지의 테스트 핸들러 | |
| JP3040233B2 (ja) | 半導体装置の検査方法 | |
| JPS61237444A (ja) | Ｉｃ製品検査用ハンドラ装置 | |
| JPH04177107A (ja) | 成形品の外観検査装置 | |
| JPH04268459A (ja) | 線輪部品電気特性検査装置 | |
| JPH02140946A (ja) | プローバー | |
| JPS6399541A (ja) | 半導体ウエハプロ−バ装置 | |
| JPS6364335A (ja) | Ｉｃ製品検査用ハンドラ装置 | |
| JPH0794559A (ja) | プローバ | |
| JPH03147346A (ja) | 半導体発光素子用チップの自動検査器 | |
| JPH0514951U (ja) | 半導体テスト装置 | |
| JPH0697257A (ja) | 半導体装置の電気的特性検査装置 |