JP4273476B2 - リニアアクチュエータ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、駆動源の駆動作用下に、ガイドレールに沿ってスライダを直線状に往復動作させることが可能なリニアアクチュエータに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、例えば、ワークの搬送手段としてリニアアクチュエータが用いられている。この種のリニアアクチュエータは、図14に示されるように、ピストン1に装着された磁石2の吸引作用下に円筒体3に沿ってスライダ4を変位させる磁石式ロッドレスシリンダ5と、前記スライダ4を案内するガイドレール6とを有し、前記磁石式ロッドレスシリンダ5とガイドレール6とがそれぞれ長手方向に沿って略平行に並設されている(特開平7−248006号公報参照)。
【0003】
また、従来技術に係る他のリニアアクチュエータは、図15に示されるように、長手方向に沿って延在する断面コ字状の凹部7が形成された長尺なガイドレール8と、前記凹部7よりも幅狭に形成され該凹部7に沿って変位自在に配設されたスライダ9とを有し、前記ガイドレール8の内壁面には、該ガイドレール8とスライダ9との間に配設された複数のボール9aを転動させる転動溝が形成されている(特開平10−318209号公報参照)。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図14に示される従来技術に係るリニアアクチュエータでは、磁石式ロッドレスシリンダ5とガイドレール6とを略並列に配置しているため、装置全体の幅方向(長手方向と略直交する方向)の寸法が大きくなり、小型化することができないという不具合がある。
【0005】
また、図15に示されるリニアアクチュエータでは、ガイドレール8の内側に形成された凹部7に沿ってスライダ9が変位するように構成されているため、前記スライダ9の幅方向の寸法に対しガイドレール8の幅方向の寸法が大きくなり、装置全体の重量が増大するという不具合がある。
【0006】
さらに、図15に示されるリニアアクチュエータでは、一般的に、ボール9aが循環する循環軌道の直径Aをボール9aの直径の約2.5倍に設定する必要がある。従って、従来技術に係るリニアアクチュエータでは、前記循環軌道の直径Aの2倍の寸法とロッドレスシリンダの円筒体の外径Bとがガイドレール8の幅方向の寸法として必須であるため、前記ガイドレール8の幅方向の寸法を縮小することができないという不具合がある。
【0007】
本発明は、前記の不具合を考慮してなされたものであり、ガイドレールの幅方向の寸法を縮小して小型・軽量化を図ることが可能なリニアアクチュエータを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明は、駆動部と、
前記駆動部の駆動作用下に変位するスライダと、
前記スライダを直線状に案内するガイド手段と、
前記駆動部の一端部と他端部とにそれぞれ連結された一組のエンドブロックと、
を備え、前記ガイド手段は、前記スライダの凹部内に装着され且つ両端部が前記一組のエンドブロックにそれぞれ連結されたガイドレールを有し、該スライダの変位方向と略直交する前記ガイドレールの幅方向の寸法がスライダの幅よりも小さく設定されることを特徴とする。
【0009】
この場合、前記駆動部は、一組のエンドブロック間に連結される円筒体と、供給される圧力流体の作用下に前記円筒体の貫通孔に沿って摺動変位するピストンと、前記ピストンに装着される内側磁石と、前記円筒体に外嵌されるスライドブロックと、前記スライドブロックに装着される外側磁石とを有する磁石式ロッドレスシリンダとによって構成されると好適である。
【0010】
なお、前記駆動部を、所定間隔離間して略平行に配設された第1駆動部と第2駆動部とによって構成してもよい。
【0011】
前記円筒体を、ガイドレールの軸線方向に沿って延在し断面半円状に形成された凹部内に沿って配設することにより、高さ方向の寸法が抑制される。
【0012】
前記スライダには、ガイドブロックに形成された長孔と、スライドブロックに連結されて前記長孔に係合するスタッドとを有し、略水平面において変位方向と略直交する方向に対するスライドブロックの微小変位、および略鉛直上下方向に対するスライドブロックの微小変位をそれぞれ吸収するフローティング機構を設けるとよい。
【0013】
前記一組のエンドブロックには、センサを装着するための長孔が形成されたセンサ取付用レールを連結し、前記センサ取付用レールには、一組のエンドブロックに形成された圧力流体出入ポートに連通し、軸線方向に沿って延在する流体通路を形成するとよい。
【0014】
また、前記一組のエンドブロックに、それぞれ、スライダの変位終端位置における衝撃を吸収する緩衝機構を設けるとよい。この緩衝機構は、ピストンが変位する際、円筒体の外部に排気されるエアーの流量を規制することにより緩衝機能を営むエアークッション機構によって構成すると好適である。
【0015】
さらに、前記スライダには、円筒体の外周面に摺接する孔部と、ガイドレールに形成された転動溝に摺接する突起部とがそれぞれ形成された潤滑部材を設け、前記潤滑部材を、潤滑油が含浸された多孔質の材料によって形成することにより、ガイドレールに沿って変位するスライダの摺動抵抗が低減される。
【0016】
本発明によれば、スライダの凹部内に装着され且つ両端部が前記一組のエンドブロックにそれぞれ連結されたガイドレールを設けることにより、軸線と略直交するガイドレールの幅方向の寸法が縮小され、装置全体が小型・軽量化される。
【0017】
【発明の実施の形態】
本発明に係るリニアアクチュエータについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【0018】
図1において、参照数字10は、本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエータを示す。
【0019】
このリニアアクチュエータ10は、実質的に磁石式ロッドレスシリンダからなる駆動部12と、前記駆動部12の駆動作用下に直線状に往復動作するスライダ14と、前記スライダ14を直線状に案内するガイドレール16と、前記ガイドレール16の両端部にそれぞれ連結される一組のエンドブロック18a、18bと、前記一組のエンドブロック18a、18bにそれぞれ固定され、ガイドレール16と略平行に配置されたセンサ取付用レール20とを含む。
【0020】
駆動部12は、図6に示されるように、内部にシリンダ室として機能する貫通孔22が形成され、その両端部にそれぞれ装着されるエンドキャップ24を介して一組のエンドブロック18a、18bに支持される円筒体26と、磁性材料によって形成され、前記円筒体26内の貫通孔22に沿って摺動自在に設けられたピストン28と、前記円筒体26の外周面を囲繞するとともに、前記ピストン28と一体的に該円筒体26の軸線方向に沿って変位するスライドブロック30とを有する。なお、前記エンドキャップ24には、通路を流通する流体の流量を絞るオリフィス32が形成されている。
【0021】
各エンドブロック18a(18b)は、図2に示されるように、円筒体26の軸線と略平行に形成された第1圧力流体出入ポート34aと、該円筒体26の軸線と略直交する方向に沿って形成された第2圧力流体出入ポート34bとを有する。
【0022】
図6に示されるように、前記ピストン28の軸線方向に沿った両端部側には、ウェアリング36およびスクレーパ38がそれぞれ装着されている。さらに、ピストン28の外周面には、鉄等の磁性体によって形成された8枚の環状板40a〜40hからなる第1ヨークが外嵌され、隣接する環状板40a〜40hの間には、リング状の内側磁石42a〜42gがそれぞれ介装されている。
【0023】
また、スライドブロック30の内周面には、鉄等の磁性体からなり複数枚に分割された環状板44a〜44hによって構成される第2ヨークが内嵌され、隣接する前記環状板44a〜44hの間には、リング状の外側磁石46a〜46gがそれぞれ介装されている。この場合、前記ピストン28に装着された内側磁石42a〜42gとスライドブロック30に装着された外側磁石46a〜46gとは、それぞれ円筒体26を間にして相互に対峙するように配設され、しかも相互に吸引し合うようにその磁極が設定されている。
【0024】
本実施の形態では、第1ヨークを介してピストン28に装着された内側磁石42a〜42gと、第2ヨークを介してスライドブロック30に装着された外側磁石46a〜46gとによって構成しているが、これに限定されるものではなく、図8に示されるように、外側磁石46a〜46gを設けることがなく磁性体によって一体的に形成された第2ヨーク48のみをスライドブロック30に連結するようにしてもよい。
【0025】
この場合、部品点数を削減することによりコストダウンを図ることができるとともに、第2ヨーク48とスライドブロック30とを一体的に形成することにより、スライドブロック30の外形寸法を抑制することができる利点がある。なお、図8において、参照数字50は、第2ヨーク48の軸線方向に沿って所定間隔離間して形成された複数の環状凹部を示している。
【0026】
また、図7に示されるように、内側磁石42a〜42gを設けることがなく、磁性材料によってピストン52を第1ヨークと一体的に形成してもよい。この場合、部品点数を削減してコストダウンを図ることができる。その際、ピストン52には、軸線方向に沿って所定間隔離間する複数の環状凹部54を形成するとよい。
【0027】
スライダ14は、図3に示されるように、断面逆凹字状を呈し、所定間隔離間して相互に対向する一組の側部56が一体的に形成されたガイドブロック58と、前記ガイドブロック58のストローク方向に沿った両端部にそれぞれ連結されるリターン路形成部材60と、前記リターン路形成部材60に連結されるカバー部材62と、前記カバー部材62に連結される板状のスクレーパ64とを有する。
【0028】
前記カバー部材62の凹部には、多孔質の材料からなり潤滑油が含浸された潤滑部材66が装着され、前記潤滑部材66には、円筒体26の外周面に摺接する略円形状の孔部68と、ガイドレール16の転動溝70(後述する)に摺接する突起部72とがそれぞれ形成されている。前記スクレーパ64、カバー部材62およびリターン路形成部材60にはそれぞれ孔部74が貫通して形成され、前記孔部74には後述するねじ部材76が当接する弾性部材78が装着される。
【0029】
前記潤滑部材66を設けることにより、円筒体26の外周面およびガイドレール16の転動溝70に対して潤滑油が塗布され、スライダ14が変位する際の摺動抵抗を低減して円滑な変位動作を確保することができる。
【0030】
前記ガイドブロック58の平面部には4つのワーク取付用孔部80が形成され、前記ワーク取付用孔部80の間には、円筒体26に沿って変位するスライドブロック30のずれを吸収するフローティング機構82が設けられる。
【0031】
このフローティング機構82は、ガイドブロック58の平面部に形成され該ガイドブロック58のストローク方向に対して略直交する方向の直径が大きく形成された一組の長孔84a、84bと、一端部がスライドブロック30にねじ締結され他端部が前記長孔84a、84bにそれぞれ遊嵌された一組のスタッド86a、86bとを有する。
【0032】
円筒体26に沿って変位するスライドブロック30の直線運動は、該スライドブロック30にねじ締結されたスタッド86a、86bを介してガイドブロック58に伝達され、ピストン28、スライドブロック30およびガイドブロック58が一体的に変位する。換言すると、スライドブロック30の直線運動は長孔84a、84bに対するスタッド86a、86bの係合作用下にガイドブロック58に伝達され、スライドブロック30とガイドブロック58とはそれぞれ連結されていない。
【0033】
従って、無限循環軌道として機能する転動溝70、96(後述する)との完全な平行精度が保持されていない場合にスライドブロック30が円筒体26に沿って変位する際に発生するずれは、前記スライドブロック30に連結されたスタッド86a、86bと長孔84a、84bとの係合作用下に吸収されるため、図示しないワークを円滑に搬送することができる。
【0034】
各エンドブロック18a、18bの角部には、スライダ14のストローク量を調整するねじ部材76が螺入され、前記ねじ部材76のねじ込み量を増減させることによりスライダ14のストローク量が調整される。
【0035】
ガイドレール16は、長尺な柱状体からなり、図5に示されるように、その上面部に長手方向に沿って延在するように形成された断面半円状の凹部88と、相互に対向する側部56に長手方向に沿って延在するように形成された断面円弧状の一組の転動溝70と、長手方向に沿って延在し、後述するサポート部材90が係合するフランジ部92とを有する。前記断面半円状の凹部88内には円筒体26の下部側の約半分が臨むように装着され、前記凹部88と円筒体26との間には所定のクリアランスが形成されている。
【0036】
このように、ガイドレール16に凹部88を設け、前記凹部88に円筒体26が臨むように装着することにより、装置全体の高さ方向の寸法を抑制することができるという利点がある。
【0037】
また、前記ガイドレール16は、ガイドブロック58の相互に対向する一組の側部56によって形成された凹部94内に臨むように設けられているため、ガイドブロック58の一組の側部56間の寸法に対してガイドレール16の幅方向の寸法(軸線と略直交する方向の寸法)を小さく設定することができる。
【0038】
この場合、ガイドブロック58の側部56に形成された転動溝96とガイドレール16に形成された転動溝70との間に複数のボール98が転動自在に形成され、前記転動溝70、96とガイドブロック58の側部56に形成された貫通孔100によって無限循環軌道が構成される。
【0039】
なお、貫通する一組の取付用孔部102(図4参照)に挿入されるボルト104によってガイドレール16を他の部材106に固定してもよいし、あるいは、図10に示されるように、フランジ部92に係合する一組のサポート部材90を介してガイドレール16を他の部材106に固定してもよい。
【0040】
センサ取付用レール20の一側面には、軸線方向に沿って略平行な断面円弧状の2条のセンサ取付用長溝108が形成され、その反対側の一側面には断面三角形状の凹部110が軸線方向に沿って形成されている。前記凹部110には取付用金具112を介してガイドブロック58に保持された磁石114が臨み、前記ガイドブロック58と一体的に変位する磁石114の磁界をセンサ取付用長溝108に装着された図示しないセンサによって検知することにより、スライダ14の位置を検出することができる。
【0041】
また、前記センサ取付用レール20の内部には、図4に示されるように、軸線方向に沿って延在する通路116が形成され、前記通路116は、センサ取付用長溝108の下部側に形成された一組の孔部にそれぞれ嵌着される配管用スタッド120を介して、エンドブロック18a、18bに形成された圧力流体出入ポート34bにそれぞれ連通するように設けられている。なお、図2および図4において、参照数字122はシールリングを示している。
【0042】
この場合、前記配管用スタッド120は、センサ取付用レール20をエンドブロック18a、18bに対して取着する機能と、該配管用スタッド120に形成された連通路124を介してエンドブロック18a、18bの第2圧力流体出入ポート34bとセンサ取付用レール20の通路116とを連通させる機能とを併有する。従って、センサ取付用レール20に圧力流体が流通する通路116を形成することにより、配管の取り出し方向の自由度を向上させ、しかも一組のエンドブロック18a、18bに対してそれぞれチューブを接続する必要がなく、いずれか一方のエンドブロック18a(18b)に対してチューブを接続するだけでよいことから、配管の簡素化を図ることができる。
【0043】
なお、センサ取付用レール20に形成された通路116の両端部は、それぞれ鋼球126によって気密に閉塞されている。
【0044】
本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエータ10は基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
【0045】
図示しない圧力流体供給源から供給された圧力流体(例えば、圧縮空気)は、第1圧力流体出入ポート34aを経由してシリンダ室として機能する円筒体26の貫通孔22内に導入される。円筒体26の貫通孔22内に導入された圧力流体の作用下にピストン28が押圧され、環状板40a〜40hからなる第1ヨークを介して複数の内側磁石42a〜42gとピストン28とが円筒体26の貫通孔22に沿って一体的に変位する。その際、第1ヨークを介してピストン28に装着された内側磁石42a〜42gの磁界作用下に外側磁石46a〜46gが吸引され、前記外側磁石46a〜46gを保持するスライドブロック30がピストン28と一体的に変位する。
【0046】
前記スライドブロック30が円筒体26に沿って変位する際、ガイドブロック58の側部56とガイドレール16との間に介装された複数のボール98が無限循環軌道として機能する転動溝70、96に沿って転動することによりガイドブロック58の案内作用が営まれ、該スライドブロック30の直線運動がスタッド86a、86bを介してガイドブロック58に伝達される。この結果、ピストン28、スライドブロック30およびガイドブロック58が一体的に直線状に変位することにより、スライダ14の直線往復運動が保持される。
【0047】
本実施の形態では、ガイドブロック58の相互に対向する一組の側部56によって形成された凹部94内にガイドレール16を臨むように設けているため、図14および図15に示す従来技術と比較してガイドレール16の幅方向の寸法(軸線と略直交する方向の寸法)を小さく設定することができる。従って、本実施の形態では、装置全体の重量を減少させ、軽量化を図ることができる。
【0048】
また、本実施の形態では、ボール98が転動する循環軌道の直径Aの寸法に影響されることがなくガイドレール16の幅方向の寸法を設定することができるため、ガイドレール16の幅方向の寸法をより一層、縮小することができる。なお、本実施の形態では、ガイドレール16の幅方向の寸法は、円筒体26の外径と、ガイドレール16に形成された取付用孔部102の直径の2倍の寸法とによって設定される。
【0049】
さらに、本実施の形態では、前記スライダ14が円筒体26に沿って変位する際、前記円筒体26と転動溝70、96との平行精度のずれがスライドブロック30に連結されたスタッド86a、86bとガイドブロック58に形成された長孔84a、84bとの係合作用下に吸収されるため、ワークを円滑に変位させることができる。
【0050】
すなわち、円筒体26の軸線と転動溝70、96の軸線との平行精度が完全でない場合、前記転動溝70、96の案内作用下に前記円筒体26に沿って変位するスライドブロック30にずれが発生する。この場合、略水平面上におけるスライダ14の変位方向と略直交する幅方向に沿って発生するずれは、長孔84a、84bに対するスタッド86a、86bの係合作用下にスライドブロック30およびスタッド86a、86bが一体的に幅方向に沿って微小距離だけ変位することにより吸収される。
【0051】
また、スライドブロック30の略鉛直方向(上下方向)に沿って発生するずれは、長孔84a、84bに対するスタッド86a、86bの係合作用下にスライドブロック30およびスタッド86a、86bが一体的に微小距離だけ上下動することにより好適に吸収される。
【0052】
従って、円筒体26に沿ってスライドブロック30が直線往復運動する際にずれが生じた場合であっても、ワークを円滑に搬送することができる。この結果、リニアアクチュエータ10を組み付ける際、円筒体26の軸線と転動溝70、96の軸線との完全な平行精度をだす必要がないため、組み付け工程を簡略化して製造コストを低減することができる。
【0053】
さらにまた、本実施の形態では、センサ取付用レール20に配管用の通路116を形成することにより、配管作業の簡便化を図るとともに、配管スペースを有効利用することができる。
【0054】
次に、本発明の他の実施の形態に係るリニアアクチュエータを図11および図12に示す。なお、以下の実施の形態において、上述した本実施の形態と同一の構成要素には同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略する。
【0055】
他の実施の形態に係るリニアアクチュエータ200では、一組のエンドブロック202a、202bの間に実質的に磁石式ロッドレスシリンダからなる第1駆動部204と第2駆動部206とを所定間隔離間して略平行に並設している点に特徴がある。なお、前記第1駆動部204および第2駆動部206は、前記実施の形態の駆動部12と同一に構成されるため、その詳細な説明を省略する。
【0056】
他の実施の形態に係るリニアアクチュエータ200では、第1駆動部204と第2駆動部206とをそれぞれ略平行に並設することにより、スライダ208を変位させる駆動力を約2倍に強化することができるとともに、ローリング方向のモーメントを強化することができるという利点がある。
【0057】
次に、本発明のさらに他の実施の形態に係るリニアアクチュエータ300を図13に示す。
【0058】
さらに他の実施の形態に係るリニアアクチュエータ300では、一組のエンドブロック302a、302bにエアークッション機構304がそれぞれ設けられている点に特徴がある。なお、一組のエンドブロック302a、302bにそれぞれ設けられたエアークッション機構304は、同一構成からなるため、一方のみを詳細に説明にして他方の説明を省略する。
【0059】
このエアークッション機構304は、ピストン306の両端部にそれぞれ略同軸状に連結され該ピストン306と一体的に変位する一組のロッド部材308と、前記ロッド部材308の外周面に形成された環状溝に装着され、円筒体310の貫通孔312の内周面に摺接することによりシール機能を営むシール部材314と、前記エンドブロック302aに形成され、前記貫通孔312内のエアーを外部に排気する排気ポート316と、前記排気ポート316と近接する部位に設けられ、円筒体310内のエアーが外部に排気される際にその排気量を抑制する絞り手段318とを有する。
【0060】
前記絞り手段318は、排気量を規制する絞り孔322と、前記絞り孔322を経由しないエアーの流れを阻止するチェック弁324と、前記絞り孔322の開口面積を調整する調整部材326と、前記調整部材326が内嵌された弁部材328とを有する。前記絞り孔322は連通路330を介して排気ポート316に連通するように設けられている。この場合、調整部材326の一端部によって絞り孔322の開口面積を調整する可変絞りタイプに代替して、図示しない固定絞りタイプのものを用いてもよい。
【0061】
なお、前記エンドブロック302aの孔部内には、排気ポート316を間にして一組のシールリング320a、320bが装着されている。
【0062】
前記エアークッション機構304の動作について説明すると、ピストン306と一体的にロッド部材308が円筒体310の貫通孔312に沿って一方の変位終端位置に向かって移動する際、ロッド部材308の外周面に装着されたシール部材314が排気ポート316の位置、すなわち、図13中の二点鎖線Cの位置を通過する前は、円筒体310の貫通孔312内に残存するエアーが主として前記排気ポート316から外部に排気される。
【0063】
ピストン306がさらに変位してロッド部材308のシール部材314が排気ポート316を通過した以後は、円筒体310の貫通孔312の内周面に摺接するシール部材314によってシールされるため、貫通孔312内に残存するエアーが排気ポート316から直接的に排気されることが阻止される。
【0064】
すなわち、ロッド部材308のシール部材314が排気ポート316を通過した以後、貫通孔312内に残存するエアーは、調整部材326の一端部との離間間隔によって調圧された絞り孔322によって絞られ、連通路330を介して排気ポート316から外部に排気される。
【0065】
従って、シール部材314が排気ポート316を通過した以降、すなわち、シール部材314が二点鎖線Cの位置を通過して変位終端位置に到達するまでは、絞り手段318を経由して外部に排気され、前記絞り手段318を流通するエアーの流量が絞られるため、緩衝作用が営まれる。
【0066】
このように、エアークッション機構304を設けることにより、スライダ14の変位終端位置における衝撃を緩和してその衝撃音を抑制するとともに、スライダ14の往復直線運動を円滑に遂行することができる。また、前記エアークッション機構304では、スライダ14の変位終端位置における運動エネルギの吸収力を増大させることにより、重量物からなるワークを高速で移動させることができる。さらに、緩衝作用を営む際の発塵を抑制することにより、清浄性が要求される使用環境において好適に使用することができるという利点がある。
【0067】
【発明の効果】
本発明によれば、以下の効果が得られる。
【0068】
すなわち、スライダの凹部内に装着され且つ両端部が一組のエンドブロックにそれぞれ連結されたガイドレールを設けることにより、軸線と略直交するガイドレールの幅方向の寸法が縮小され、装置全体を小型化して軽量化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエータの斜視図である。
【図2】図1のリニアアクチュエータからセンサ取付用レールを外した状態を示す分解斜視図である。
【図3】図1のリニアアクチュエータを構成するスライダの分解斜視図である。
【図4】図1のリニアアクチュエータの一部切欠平面図である。
【図5】図4のV−V線に沿った縦断面図である。
【図6】図4のVI−VI線に沿った縦断面図である。
【図7】円筒体の外部に外側磁石のみを設けた駆動部の変形例を示す一部省略縦断面図である。
【図8】円筒体の内部に内側磁石のみを設けた駆動部の変形例を示す一部省略縦断面図である。
【図9】図1のリニアアクチュエータの一部切欠側面図である。
【図10】サポート部材の取付状態を示す縦断面図である。
【図11】本発明の他の実施の形態に係るリニアアクチュエータの平面図である。
【図12】図11のXII−XII線に沿った縦断面図である。
【図13】本発明のさらに他の実施の形態に係るリニアアクチュエータの一部省略横断面図である。
【図14】従来技術に係るリニアアクチュエータの一部切欠平面図である。
【図15】他の従来技術に係るリニアアクチュエータの縦断面図である。
【符号の説明】
10、200、300…リニアアクチュエータ
12、204、206…駆動部 14、208…スライダ
16…ガイドレール
18a、18b、202a、202b、302a、302b…エンドブロック
20…センサ取付用レール 22、312…貫通孔
24…エンドキャップ 26、310…円筒体
28、52、306…ピストン 30…スライドブロック
34a、34b…圧力流体出入ポート
40a〜40h、44a〜44h…環状板
42a〜42g…内側磁石 46a〜46g…外側磁石
58…ガイドブロック 66…潤滑部材
70、96…転動溝 82…フローティング機構
84a、84b…長孔 86a、86b…スタッド
88、94…凹部 98…ボール
100…貫通孔 102…取付用孔部
116…通路 120…配管用スタッド
304…エアークッション機構
Claims (11)
- 駆動部と、
前記駆動部の駆動作用下に変位するスライダと、
前記スライダを直線状に案内するガイド手段と、
前記駆動部の一端部と他端部とにそれぞれ連結された一組のエンドブロックと、
を備え、前記ガイド手段は、前記スライダの凹部内に装着され且つ両端部が前記一組のエンドブロックにそれぞれ連結されたガイドレールを有し、前記駆動部は前記スライダにフローティング機構を介して連結されるスライドブロックを含み、前記スライダと前記ガイドレールとの間に無限循環軌道が設けられ、該スライダの変位方向と略直交する前記ガイドレールの幅方向の寸法がスライダの幅よりも小さく設定されることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 請求項1記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記駆動部は、一組のエンドブロック間に連結される円筒体と、供給される圧力流体の作用下に前記円筒体の貫通孔に沿って摺動変位するピストンと、前記ピストンに装着される内側磁石と、前記円筒体に外嵌されるスライドブロックと、前記スライドブロックに装着される外側磁石とを有する磁石式ロッドレスシリンダとからなることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 請求項2記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記円筒体は、ガイドレールの軸線方向に沿って延在し断面半円状に形成された凹部内に沿って配設されることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 請求項1〜3記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記フローティング機構は、略水平面において変位方向と略直交する方向に対するスライドブロックの微小変位、および略鉛直上下方向に対するスライドブロックの微小変位をそれぞれ吸収することを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 請求項4記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記スライダは相互に対向する一組の側部が形成されたガイドブロックを含み、前記フローティング機構は、前記ガイドブロックに形成された長孔と、スライドブロックに連結されて前記長孔に係合するスタッドとを有することを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 請求項1記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記駆動部は、所定間隔離間して略平行に配設された第1駆動部と第2駆動部とを有し、前記第1駆動部および第2駆動部はそれぞれ磁石式ロッドレスシリンダからなることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 請求項1記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記一組のエンドブロックには、センサを装着するための長孔が形成されたセンサ取付用レールが連結されることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 請求項7記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記センサ取付用レールには、一組のエンドブロックに形成された圧力流体出入ポートに連通し、軸線方向に沿って延在する流体通路が形成されることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 請求項1記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記一組のエンドブロックには、それぞれ、スライダの変位終端位置における衝撃を吸収する緩衝機構が設けられることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 請求項9記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記緩衝機構は、ピストンが変位する際、円筒体の外部に排気されるエアーの流量を規制することにより緩衝機能を営むエアークッション機構からなることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 請求項2記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記スライダには、円筒体の外周面に摺接する孔部と、ガイドレールに形成された転動溝に摺接する突起部とがそれぞれ形成された潤滑部材が設けられ、前記潤滑部材は、潤滑油が含浸された多孔質の材料からなることを特徴とするリニアアクチュエータ。
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