JP3610621B2 - 不揮発性半導体メモリ装置 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、書換え可能な不揮発性半導体メモリ装置に係り、さらに詳しくは、特にウィンドウの小さい不揮発性メモリの記憶保持特性、書換え回数、および収率を実質的に向上させることが可能な不揮発性半導体メモリ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
不揮発性半導体メモリ装置では、選択されたメモリセルを構成する(以下、「の」とする)のデータを読み取るために、差動アンプが用いられている。差動アンプでは、選択されたメモリセルからの電位信号データまたは電流信号データ(以下、総称して、「信号データ」とも称する)を、基準電位または基準電流(以下、総称して、「基準データ」とも称する)と比較し、信号データの0,1判定を行っている。たとえば、信号データが、基準データよりも小さい場合には、信号データを0データと判定し、その逆の場合には、1データと判定する。
【0003】
基準データの作成方法の一例として、メモリセルと同じ回路構成のレファレンスセルを用いることがある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来の不揮発性半導体メモリ装置では、図2(A)に示すように、0データ(読み出し時にオフ)が記憶してあるメモリセルのしきい値電圧Vth0 は、トランジスタの書換え特性の劣化、記憶保持の劣化、製造ばらつきなどにより、時間の経過(グラフの横軸,logt)と共に低下してしまう場合がある。この場合、データ読み出し時のゲート電圧Vr よりも低下し、誤作動を生じるおそれがある。なお、図2(A)中において、Vth1 は、1データ(読み出し時にオン)が記憶してあるメモリセルのしきい値電圧変化を示す。
【0005】
この状態を、メモリセルからの電流について観察すれば、図2(B)に示すようになる。0データが記憶してあるメモリセルから読み出される電流i0 は、時間の経過と共に、増大する。なお、1データが記憶してあるメモリセルから読み出される電流i1 は、この例の場合には、時間の経過によらずほとんど一定である。メモリセルを構成するトランジスタが、フローティングゲートを有するトランジスタである場合に、1データが記憶してあるメモリセルのフローティングゲートには、電子が注入されていない状態であるからである。
【0006】
一方、基準データを作成するためのレファレンスセルとしては、従来では、読み出し時にオンとなる(1データが記憶してある)トランジスタを用い、読み出し時の基準電流irpが、i1 の一定割合、たとえば約1/4程度になるように設定しているため、時間の経過と共に、たとえi1 が変化したとしても、基準電流irpはi1 の一定割合で変化するので、1データ検出時には、誤作動は回避される。一方、0データが記憶してあるメモリセルから読み出される電流i0 が変化し出して、ある時点で、基準電流irpを追い越してしまうと、誤作動するおそれがある。
【0007】
近年では、低電圧化などに伴い、読み出し時の1,0データの差(i1 とi0 との差またはVth1 とVth0 との差)が小さくなってきており(ウィンドウが小さい)、特に、このようなメモリにおいて、記憶保持特性、書換え回数および収率の向上が望まれている。
【0008】
本発明は、このような実状に鑑みてなされ、特にウィンドウの小さい不揮発性メモリの記憶保持特性、書換え回数、および収率を向上させることが可能な不揮発性半導体メモリ装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係る不揮発性半導体メモリ装置は、電荷の蓄積の増減ないしは極性の反転が可能な複数のメモリセルと、前記メモリセルを構成するトランジスタの厚さ方向と略同一の厚さ方向の構造を有し、所定数のメモリセル毎に少なくとも一対設けられるレファレンスセルと、選択された前記メモリセルを駆動する際に、対応するレファレンスセルを駆動し、メモリセルの書き込み時には、一方のレファレンスセルには1データの書き込みを行い、他方のレファレンスセルには0データを書き込む書き込み用駆動手段と、選択されたメモリセルのデータ読み出し時に、対応する一対のレファレンスセルのデータを読み出す読み出し用駆動手段と、読み出し用に選択された一対の前記レファレンスセルのデータ(i1 , i0 )を、下記数式(1)に基づき組合せて、基準データ(ire)または基準データ(ire)のk倍を作成する基準データ生成手段と、前記組み合せ手段で組み合わされた基準データ(ire)または基準データ(ire)のk倍と、前記選択されたメモリセルからの信号データまたは信号データのk倍とを比較することにより、選択されたメモリセルに蓄積されているデータを判定する比較手段とを有し、前記比較手段は、少なくとも差動アンプをその構成要素の一部に有し、前記基準データ生成手段と前記比較手段とが一体となり、前記基準データ生成手段の一部を構成するトランジスタが、前記比較手段を構成する差動アンプの一部のトランジスタを兼ねている。
【0010】
【数4】
ire=(m×i1 +n×i0 )/k … (1)
ただし、m,n,kは正の数であり、m,nは、共にkよりも小さい。
前記所定数のメモリセルと一対のレファレンスセルとは、同一のワード線により接続することにより、これらを同時に駆動することができる。ただし、ほぼ同時に駆動できれば、必ずしも同一のワード線で接続する必要はない。
【0011】
前記メモリセルおよびレファレンスセルは、電荷の蓄積量の増減ないしは極性の反転などによりデータを保持する機能を有するトランジスタであれば、特に限定されることはなく、たとえば電荷の蓄積が可能なフローティングゲートを有するトランジスタ、電荷トラップ機能を持つ絶縁膜を有するトランジスタ、強誘電体膜を有するトランジスタなどで構成することができる。
【0012】
なお、本発明において、「上記(1)式で求められた基準データと、選択されたメモリセルからの信号データとを比較する」とは、結果的にそのように比較すれば良く、m×i1 +n×i0 を、仮の基準データとし、その仮の基準データと、選択されたメモリセルからの信号データをk倍したものとを比較することも、本発明での比較である。
【0013】
上記のように、本発明は、前記比較手段は、少なくとも差動アンプをその構成要素の一部に有し、前記基準データ生成手段と前記比較手段とが一体となり、前記基準データ生成手段の一部を構成するトランジスタが、前記比較手段を構成する差動アンプの一部のトランジスタを兼ねている構成である。
上記の構成とするために、本発明では、前記一対のレファレンスセルの出力線が合流して接続される合流配線の信号電流を電圧に変換する第1の電流−電圧変換トランジスタと、前記第1の電流−電圧変換トランジスタの出力線が接続され、前記差動アンプの一部のトランジスタを構成する差動アンプ用第1トランジスタと、前記メモリセルの出力線の信号電流を電圧に変換する第2の電流−電圧変換トランジスタと、前記第2の電流−電圧変換トランジスタの出力線が接続され、前記差動アンプの一部のトランジスタを構成する差動アンプ用第2トランジスタと、を少なくとも有し、これら第1の電流−電圧変換トランジスタ、第2の電流−電圧変換トランジスタ、差動アンプ用第1トランジスタ、差動アンプ用第2トランジスタにおける各チャネル幅を各チャネル長で除した値相互の関係を、所定の比率としてある。
【0014】
あるいは、上記の構成とするために、前記レファレンスセルの一方の出力線の信号電流をm倍またはm/k倍にするための第1係数倍変換回路と、前記レファレンスセルの他方の出力線の信号電流をn倍またはn/k倍にするための第2係数倍変換回路と、前記第1係数倍変換回路の出力線と第2係数倍変換回路の出力線とを合流する合流配線回路と、合流配線に流れる電流を電圧に変換する第1の電流−電圧変換トランジスタと、前記第1の電流−電圧変換トランジスタの出力線が接続され、前記差動アンプの一部のトランジスタを構成する差動アンプ用第1トランジスタと、前記メモリセルの出力線の信号電流をk倍または1倍にする第3係数倍変換回路と、第3係数倍変換回路の出力線の信号電流を電圧に変換する第2の電流−電圧変換トランジスタと、前記第2の電流−電圧変換トランジスタの出力線が接続され、前記差動アンプの一部のトランジスタを構成する差動アンプ用第2トランジスタと、を少なくとも有し、これら第1係数倍変換回路のトランジスタ、第2係数倍変換回路のトランジスタ、第3係数倍変換回路のトランジスタ、第1の電流−電圧変換トランジスタ、第2の電流−電圧変換トランジスタ、差動アンプ用第1トランジスタ、差動アンプ用第2トランジスタにおける各チャネル幅を各チャネル長で除した値相互の関係を、所定の比率とする。
【0015】
あるいは、上記の構成とするために、前記レファレンスセルの一方の出力線の信号電流をm倍またはm/k倍にするための第1係数倍変換回路と、前記レファレンスセルの他方の出力線の信号電流をn倍またはn/k倍にするための第2係数倍変換回路と、前記第1係数倍変換回路の出力線と第2係数倍変換回路の出力線とを合流する合流配線回路と、合流配線に流れる電流を電圧に変換する第1の電流−電圧変換トランジスタと、前記第1の電流−電圧変換トランジスタの出力線が接続され、前記差動アンプの一部のトランジスタを構成する差動アンプ用第1トランジスタと、前記メモリセルの出力線の信号電流を電圧に変換する第2の電流−電圧変換トランジスタと、前記第2の電流−電圧変換トランジスタの出力線が接続され、前記差動アンプの一部のトランジスタを構成する差動アンプ用第2トランジスタと、を少なくとも有し、これら第1係数倍変換回路のトランジスタ、第2係数倍変換回路のトランジスタ、第1の電流−電圧変換トランジスタ、第2の電流−電圧変換トランジスタ、差動アンプ用第1トランジスタ、差動アンプ用第2トランジスタにおける各チャネル幅を各チャネル長で除した値相互の関係を、所定の比率とする。
【0016】
本発明では、前記第1の電流−電圧変換トランジスタと第2の電流−電圧変換トランジスタとの電圧変換動作を安定させると共に、前記差動アンプの初期状態を設定するためのトランジスタが付加してあることが好ましい。
【0017】
【作用】
本発明に係る不揮発性半導体メモリ装置では、選択された前記メモリセルを駆動する際に、ほぼ同時に対応するレファレンスセルを駆動するので、メモリセルとレファレンスセルとの書換え特性の変化および記憶保持特性の変化を略同一にすることができる。また、本発明では、レファレンスセルとして、一対配置され、一方には1データが記憶され、他方には0データが記憶され、選択されたメモリセルの読み出し時には、基準データとして、1データと0データとを上記(1)式で組み合わせた加重平均値が用いられ、メモリセルからの信号データと基準データが差動アンプをその構成要素の一部に有する比較回路で比較される。ここで、基準データ生成手段と比較手段とが一体となり、基準データ生成手段の一部を構成するトランジスタが、比較手段を構成する差動アンプの一部のトランジスタを兼ねている構成である。このため、この基準データ(たとえば基準電流ire)は、図2(B),(C)に示すように、時間の経過と共に、メモリセルの読み出し時の1,0データの間(i1 とi0 との間、ウィンドウ)を通るように変化する。したがって、書換え特性の劣化あるいは記憶保持特性の劣化などによらず、メモリセルに記憶してあるデータの判定を正確に行うことができる。また、メモリセルを構成するトランジスタに製造ばらつきがあったとしても、レファレンスセルを構成するトランジスタにも同様な製造ばらつきがあると考えられ、また、比較手段の基準となる基準データは、上述した理由により、ウィンドウ間に位置するので、結果としては、データの読み出しの正確性が損なわれることはない。したがって、不揮発性半導体メモリ装置の収率も向上する。
【0018】
【実施例】
以下、本発明に係る不揮発性半導体メモリ装置を、図面に示す実施例に基づき、詳細に説明する。
図1は本発明の一実施例に係る不揮発性半導体メモリ装置の概略構成図である。
【0019】
図1に示すように、本実施例の不揮発性半導体メモリ装置は、NOR型のメモリであり、メモリセル2が、マトリックス状に配置してある。各メモリセル2は、本実施例では、フローティングゲートを有するトランジスタで構成される。フローティングゲートを有するトランジスタでは、図4(A)に示すように、半導体基板3の表面領域あるいはウェルに形成されたソース・ドレイン領域4,4間のチャネル6上に、ゲート絶縁膜8を介して、フローティングゲート10、中間絶縁膜12およびコントロールゲート14が積層してある。このトランジスタでは、コントロールゲート14(ワード線)とソース・ドレイン領域4,4(ビット線およびソース)とに印加される電圧を制御することにより、FN効果などを利用して、フローティングゲート10に電子を注入または引き抜きすることにより、トランジスタのしきい値電圧を変化させ、データの記憶消去を行うことができる。
【0020】
半導体基板3として、たとえばP型の単結晶シリコンウェーハが用いられた時は、その表面領域に、N型の単結晶シリコンウェーハが用いられた時には、その表面に形成されたP型ウェルにメモリセル用トランジスタ2が形成される。ソース・ドレイン領域4,4は、たとえばN型の不純物領域であり、フローティングゲート10およびコントロールゲート14の作成後に、イオン注入を行うことにより形成される。ソース・ドレイン領域4,4は、LDD構造を有していてもよい。ゲート絶縁膜8は、たとえば膜厚8nm程度の酸化シリコン膜で構成される。フローティングゲート10は、たとえばポリシリコン層で構成される。なお、図示省略してあるが、フローティングゲート10の側面は、絶縁性サイドウォールで覆われている。中間絶縁膜12は、たとえば酸化シリコン膜、あるいはONO膜(酸化シリコン膜と窒化シリコン膜と酸化シリコン膜との積層膜)などで構成され、その膜厚は、たとえば酸化シリコン膜換算で14nmである。コントロールゲート14は、たとえばポリシリコン膜、あるいはポリサイド膜(ポリシリコン膜とシリサイド膜との積層膜)などで構成される。
【0021】
図1に示すように、本実施例では、各行のメモリセル2毎に、一対のレファレンスセル16a,16bが配置され、同一のワード線18で同時に駆動可能になっている。メモリセル2とレファレンスセル16a,16bとは、厚さ方向の構造が略同一であるトランジスタにより構成される。厚さ方向の構造が同一であるとは、メモリセル2を構成するトランジスタが、図4(A)に示す構造のフローティングゲート10を有するタイプのトランジスタである場合には、レファレンスセル16a,16bを構成するトランジスタも、同様な構造および膜厚を有するという意味であり、トランジスタのチャネル長あるいはチャネル幅などが相違しても良い。
【0022】
ワード線18は、行デコーダ20に接続してある。メモリセル2のトランジスタおよびレファレンスセル16a,16bのトランジスタのドレイン領域は、ビット線22を通して、列デコーダ24に接続してある。
行デコーダ20および列デコーダ24には、書き込み電圧駆動回路26および読み出し電圧駆動回路28が接続してある。これら駆動回路26,28で設定された電圧は、行デコーダ20により選択されたワード線18と、列デコーダ24により選択されたビット線22を通して、特定のメモリセル2およびレファレンスセル16a,16bに印加され、データの書き込みおよび消去がなされる。
【0023】
レファレンスセル16a,16bのビット線22には、列デコーダ24を介して、あるいは直接的に、ビット線22から検出される電流値をそれぞれm倍またはn倍とする変換回路30,32が接続される。変換回路30,32の出力は、プラス回路34に接続され、ここで和算される。なお、プラス回路としては、電流を単純にプラスする場合には、単に配線を接続するのみでよい場合がある。プラス回路34の出力は、変換回路36に接続され、ここで、プラス回路の出力を1/k倍とする。変換回路30,32,36およびプラス回路34で、基準データ生成手段が構成される。
【0024】
変換回路36の出力は、比較手段としての差動アンプ38の一方の第1入力端子38aに接続される。差動アンプ38の他方の第2入力端子38bには、列デコーダ24により選択されたビット線22を通して、読み出し時に選択されたメモリセル2に記憶してあるデータ(本実施例では、電流)が入力する。なお、変換回路36と差動アンプ38と変換回路30,32とは、一体化することができる。
【0025】
メモリセル2およびレファレンスセル16a,16bに記憶してあるデータを消去するには、下記の表1に示すように、ワード線18、ビット線22、ソース、基板に電圧を印加すればよい。
【0026】
【表1】
【0027】
図1に示す行デコーダ20および列デコーダ24により選択される特定のメモリセル2に、1データを書き込むには、書き込み電圧駆動回路26から、特定のメモリセル2のワード線18およびビット線22へ、上記表1に示す電圧を印加する。本実施例では、1データの書き込みとは、フローティングゲートから、電子を排出する状態にすることを意味する。
【0028】
本実施例では、特定のメモリセル2への1データの書き込みが行われると同時に、その特定のメモリセル2と同じワード線18で接続してある一対のレファレンスセル16a,16bも同時に駆動され、一方のレファレンスセル16aには、1データが書き込まれ、他方のレファレンスセル16bには、0データが書き込まれる。0データの書き込み時の電圧状態も、上記表1に示される。
【0029】
図1に示す行デコーダ20および列デコーダ24により選択される特定のメモリセル2に、0データを書き込むには、書き込み電圧駆動回路26から、特定のメモリセル2のワード線18およびビット線22へ、上記表1に示す電圧を印加する。本実施例では、0データの書き込みとは、フローティングゲートへ、電子を注入する状態にすることを意味する。
【0030】
本実施例では、特定のメモリセル2への0データの書き込みが行われると同時に、その特定のメモリセル2と同じワード線18で接続してある一対のレファレンスセル16a,16bも同時に駆動され、一方のレファレンスセル16aには、1データが書き込まれ、他方のレファレンスセル16bには、0データが書き込まれる。
【0031】
図1に示す行デコーダ20および列デコーダ24により選択される特定のメモリセル2からのデータの読み出し時には、読み出し電圧駆動回路28から、特定のメモリセル2のワード線18およびビット線22へ、上記表1に示す電圧を印加する。
【0032】
本実施例では、特定のメモリセル2からのデータの読み出しと同時に、その特定のメモリセル2と同じワード線18で接続してある一対のレファレンスセル16a,16bからも同時にデータを読み出す。選択されたメモリセル2から読み出されたデータ電流は、ビット線22、列デコーダ24を通して、差動アンプ38の第2入力端子へ入力する。一方のレファレンスセル16aから読み出されたデータ電流i1 は、変換回路30、プラス回路34、変換回路36を通して、差動アンプ38の第1入力端子38aへ入力する。また、他方のレファレンスセル16bから読み出されたデータ電流i0 は、変換回路32、プラス回路34、変換回路36を通して、差動アンプ38の第1入力端子38aへ入力する。すなわち、差動アンプ38の第1入力端子へ入力する基準電流ireは、下記の数式(1)で表わすことができる。
【0033】
【数5】
ire=(m×i1 +n×i0 )/k … (1)
ただし、m,n,kは正の数であり、m,nは、共にkよりも小さい。
たとえば、m=1,n=2,k=4である場合に、基準電流ireの時間経過に対する変化は、図2(B)の曲線ireで表わすことができる。また、m=1,n=1,k=2である場合に、基準電流ireの時間経過に対する変化は、図2(C)の曲線ireで表わすことができる。すなわち、データ0が記憶してあるメモリセル2から読み出されるデータ電流i0 の変化に合わせて、基準電流ireも変化し、ウィンドウの中間に位置しようとする。その結果、図1に示す差動アンプ38では、第1入力端子38aへ入力される基準電流ireに基づき、第2入力端子38bへ入力される選択されたメモリセルの読み出し電流の0,1判定を正確に行うことができる。第2入力端子38bへ入力される選択されたメモリセルの読み出し電流が、基準電流ireよりも大きい場合には、メモリセル2には、1データが記憶してあると判定でき、逆の場合には、0データと判定することができる。
【0034】
この差動アンプ38による判定は、図2(B),(C)に示すように、時間の経過と共に、メモリセルの記憶特性あるいは書換え特性が劣化したとしても、従来に比較して、一桁以上の長期間にわたり、正確性を保ち続けることができる。また、メモリセル2に製造ばらつきがあったとしても、レファレンスセル16a,16bにも同様な製造ばらつきがあると考えられ、また、差動アンプ38の基準となる基準データは、上述した理由により、ウィンドウ間に位置するので、結果としては、データの読み出しの正確性が損なわれることはない。
【0035】
なお、本発明は、上述した実施例に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変することができる。
たとえば、前記実施例では、0データでは、フローティングゲートに電子を注入し、1データでは、フローティングゲートから電子を放出する場合について説明したが、本発明は、これに限定されず、その逆でもよい。
【0036】
さらに、図1に示す前記実施例では、レファレンスセル16a,16bのビット線22に、メモリセル2の列デコーダ24を接続したが、図5に示すように構成することもできる。図5に示す実施例では、レファレンスセル16a,16bのビット線22に、列デコーダとは別個の読み出し電圧/書き込み電圧切り換え回路50を接続し、ビット線22からの検出信号は、この回路50を通して、変換回路30,32へ向かうように構成してある。なお、この切り換え回路50は、書き込み電圧駆動回路26と読み出し電圧駆動回路28とに接続してあり、これら駆動回路26,28からの駆動電圧が、切り換え回路50により切り換えられて、ビット線22に印加されるようになっている。
【0037】
また、図1に示す実施例では、1/k倍とする変換回路36をプラス回路34の出力側に配置したが、これに限定されず、図6に示すように、k倍とする変換回路52を列デコーダ24と差動アンプ38との間に接続するように構成することもできる。この実施例の場合には、選択されたメモリセルの信号データをk倍とすることで、差動アンプ38においては、k倍された信号データと、プラス回路34の出力(m×i1 +n×i0 )とを比較する。したがって、結果的には、図1に示す実施例と同様に、選択されたメモリセル2の信号データを、基準データire=(m×i1 +n×i0 )/kに対して比較することとなる。
【0038】
また、図1に示す実施例では、書き込み電圧駆動回路26および読み出し電圧駆動回路28は、メモリセル2とレファレンスセル16a,16bとで共用したが、それぞれについて別途配置することも可能である。
また、メモリセル2とレファレンスセル16a,16bとは、必ずしも同一のワード線18で、同時に駆動する必要はなく、別々のワード線と、別々の駆動回路を用いて、ほぼ同時に駆動するように構成することもできる。
【0039】
また、これら駆動回路の配置位置は、図1に示す実施例に限定されず、レファレンスセル16a,16bとメモリセル2との間、あるいはその他の位置に配置することも可能である。
また、メモリセル2およびレファレンスセル16a,16bの回路構成は、図1に示す例に限定されず、図3(A)に示すように、ソース線40が各列毎に分割されたタイプ、あるいは図3(B)に示すように、セルトランジスタ2,16a,16bのドレインまたはソースが、選択トランジスタ42を介してソース線40に接続してあるタイプであっても良い。なお、メモリセル2と、レファレンスセル16a,16bとの回路構成は、同一であることが好ましい。
【0040】
図3(B)に示すソース線分割タイプで、フローティングゲート型のトランジスタで構成されるメモリセルを用いた場合には、データの消去、書き込みおよび読み出し時には、下記の表2に示す電圧状態となるように制御される。
【0041】
【表2】
【0042】
また、各セルトランジスタ2,16a,16bは、電荷を蓄積・消去可能なトランジスタで構成されれば、特に限定されず、図4(B)に示すように、MONOS型のセルトランジスタであっても良い。図4(B)に示す例では、半導体基板3の表面に、ONO膜44が積層してあり、その上に、ゲート電極46が積層してある。ソース・ドレイン領域4は、前記実施例と同様である。ONO膜44は、SiO2 /SiN/SiO2 の三層構造の膜であり、たとえば以下の方法により成膜される。
【0043】
まず、半導体基板3の表面を熱酸化し、2nm以下程度の酸化膜を成膜し、その熱酸化膜上に、約9nm以下程度の窒化シリコン膜をCVD法などで成膜し、その表面を熱酸化して、約4nm以下程度の酸化膜を形成する。このような工程により、三層構造のONO膜を形成することができる。このONO膜は、低リーク電流で膜厚制御性に優れている。また、ONO膜中の窒化シリコン膜内および窒化シリコン膜とシリコン酸化膜との界面に、電子をトラップすることが可能であり、メモリセルとして機能する。また、同様にメモリ機能を有する膜として、ON膜(SiO2 /SiN)、N膜(SiN単独)も知られている。
【0044】
ゲート電極46は、たとえばポリシリコン膜、あるいはポリサイド膜などで構成され、ワード線18として機能する。
図4(C)に示す例では、半導体基板の表面に、膜厚約10nm程度のゲート絶縁膜8を介して、フローティングゲート10、膜厚300nm程度のPZT,PT(PbTiO3 ),PLZT,Y1 (SrBi2 Ta2 O9 )などの強誘電体薄膜48およびコントロールゲート14が積層してある。図4(A)に示す例と同一部材には、同一符号を付し、その説明は省略する。この例では、強誘電体薄膜48を利用して、メモリセルを構成している。 なお、前述したように、メモリセルとレファレンスセルとは、厚さ方向に略同一構造であることが望ましい。
【0045】
図3(B)に示すように、選択トランジスタ42を付加したMONOS型メモリセルの場合には、データの消去、書き込みおよび読み出し時には、下記の表3に示す電圧状態となるように制御される。
【0046】
【表3】
【0047】
次に、図1,図5,図6またはその他の例に係る変換回路30,32,36(または52)とプラス回路34と差動アンプ38とを含むセンスアンプ回りの具体的回路構成について説明する。
図7に示す実施例では、トランジスタQ2 ,Q3 ,QRA,QDAが、正帰還のある差動アンプ回路を構成し、トランジスタQ1 がその差動アンプ回路のスイッチである。また、トランジスタQR1およびそのトランジスタQR1と読み出し電圧/書き込み電圧切り換え回路50とを結ぶ配線が、前記数式(1)に基づく基準電流ireの数倍を電圧に変換し、トランジスタQRAのゲートへ入力する回路である。また、トランジスタQD1は、メモリセル2からの信号電流iD を電圧に変換し、トランジスタQDAのゲートへ入力にするための回路である。なお、信号電流iD は、メモリセル2に記憶してあるデータが0データの場合にはi0 に近い値であり、1データの場合には、i1 に近い値である。
【0048】
図7中、トランジスタQ1 ,Q2 ,Q3 は、Nチャネル型トランジスタ(またはPチャネル型トランジスタ)であり、トランジスタQRA,QDA,QR1,QD1は、前記トランジスタとは逆のPチャネル型トランジスタ(またはNチャネル型トランジスタ)である。
【0049】
この実施例では、読み出しモードに設定されると、読み出し電圧が電源電圧VDDから供給され、レファレンスセル16a,16bには、電源電圧VDDからトランジスタQR1による電圧降下ΔVR と読み出し電圧/書き込み電圧切換回路50での電圧降下ΔVSWとを引いた電圧(VDD−ΔVR −ΔVSW)が印加され、メモリセル2には、電源電圧VDDからトランジスタQD1による電圧降下ΔVD と読み出し電圧/書き込み電圧切換回路50での電圧降下ΔVSWとを引いた電圧(VDD−ΔVD −ΔVSW)が印加される。そして、トランジスタQR1には、レファレンスセル16a,16bのそれぞれに記憶してあるデータに基づく電流i0 ,i1 の合計が合流して流れ込む。
【0050】
基準電流ireを、(i0 +i1 )/2と設定する場合には、トランジスタQRA,QDA,QR1,QD1の関係を、下記の表4(A)のケースIIに示すような関係に設定する。
【0051】
【表4】
【0052】
なお、トランジスタQ2 とトランジスタQ3 とは、同一寸法であったが、表4の(B)に示すように、トランジスタQR1とQRA、トランジスタQD1とQDAが同一寸法比(W/L比)の場合でも、トランジスタQ2 のW/L比をトランジスタQ3 のそれの二倍とすることで、実質的な1/k回路を構成することもできる。この時も、1/k回路は、差動アンプと一体化してしまっている。なお、一体化とは、それぞれが共通したトランジスタを有していることと本発明では定義する。
【0053】
また、上記表4(A)中のケースI の設計を、トランジスタQRA,QDA,QR1,QD1に対して行うことで、基準電流ireの二倍である(i0 +i1 )を、信号電流の二倍と比較することができる。図7中に示してある電流値は、ケース1の場合に相当する。
【0054】
ケースIIの場合には、差動アンプを構成する複数のトランジスタのうちのトランジスタQRAとQR1との組合せで、1/k回路が構成され、ケースI の場合には、差動アンプを構成する複数のトランジスタのうちのトランジスタQDAとQD1との組合せで、×k回路が構成される。すなわち、1/k回路またはk回路は、差動アンプと一体化している。
【0055】
差動アンプ回路では、読み出しモード時に、トランジスタQ1 のゲートG1 へVssからVDDへと変化するランプ電圧入力を印加して活性化され、読み出し信号電流iD と基準電流ire、または読み出し信号電流iD の二倍と基準電流ireの二倍とを比較し、選択されたメモリセル2に記憶してある読み出し信号の”1”,”0”判定を行う。
図7に示す回路での電圧変換を安定化させると共に、差動アンプ回路の初期状態を設定して安定動作させるために、図8に示すような回路構成とすることもできる。図8に示す実施例では、図7に示す回路に、トランジスタQ4 ,QR0,QD0を、図8に示す接続関係で付加することにより、電圧変換を安定化させる と共に、差動アンプ回路の初期状態を設定して安定動作させることができる。 トランジスタQ1 ,Q2 ,Q3 は、Nチャネル型トランジスタ(またはPチャネル型トランジスタ)であり、トランジスタQRA,QDA,QR1,QD1,Q4 ,QR0,QD0は、前記トランジスタとは逆のPチャネル型トランジスタ(またはNチャネル型トランジスタ)である。トランジスタQR0,QD0のゲート(*)には、センス時には、オフ信号が入力される。また、トランジスタQ4 のゲート(**)には、センス時には、オフ信号が入力される。ただし、このオフ信号は、トランジスタQR0,QD0のオフ信号の後である。
【0056】
図9は、本発明のさらにその他の実施例に係るセンスアンプ回りの回路図である。図9に示す実施例では、トランジスタQ2 ,Q3 ,QRA,QDAが、正帰還のある差動アンプ回路を構成し、トランジスタQ1 がその差動アンプ回路のスイッチである。読み出し電圧/書き込み電圧変換回路50と差動アンプ回路のトランジスタQRAとの間に接続される図9に示すトランジスタQR1,QR1m ,QR2, QR2n ,QRTと、列デコーダ24と差動アンプ回路のトランジスタQDAとの間に接続される図9に示すトランジスタQD1,QD2,QRTとは、以下の表5に示す関係で設計される。
【0057】
【表5】
【0058】
ただし、トランジスタQ2 とトランジスタQ3 とは、同一寸法である。また、トランジスタQ1 ,Q2 ,Q3 ,QD1,QD2,QR1,QR1m ,QR2, QR2n は、Pチャネル型トランジスタ(またはNチャネル型トランジスタ)であり、トランジスタQRA,QDA,QRT,QDTは、前記トランジスタとは逆のNチャネル型トランジスタ(またはPチャネル型トランジスタ)である。
【0059】
表5に示す関係(ケースB,ケースC)となるように、各トランジスタが設計されれば、前記(1)式に示すように、基準電流ireは、(m×i1 +n×i0 )/kとなり、その基準電流ireと、選択されたメモリセル2の信号電流iD とが結果的に比較され、表5ケースAの関係となるように各トランジスタが設計されれば、基準電流ireは(m×i1 +n×i0 )となり、その基準電流ireと、選択されたメモリセル2の信号電流のk倍(kiD )とが比較され、メモリセル2に記憶してあるデータの”1”,”0”判定がなされる。
【0060】
なお、表5中、ケースAの場合とは、図6に示す実施例の具体的回路構成を示し、ケースCの場合とは、図1または図5に示す実施例の具体的回路構成を示す。ケースBの場合には、図1または図5に示す×m回路、×n回路と×1/k回路とが一体化された例を示す。
【0061】
本発明に係るセンスアンプ回りの具体的回路構成は、図7〜9に示す例に限定されず、本発明の範囲内で種々に改変することができる。
たとえば図10に示すように構成することができる。
図10に示す実施例は、図9に示す例の変形例であり、差動アンプのスイッチであるトランジスタQ1 を、VSS側に配置し、図9に示すトランジスタQD2,QDTを廃止し、トランジスタQRT1 ,QRT2 を追加してある。トランジスタQ1 ,Q2 ,Q3 ,QRT1 ,QRT2 は、Nチャネル型トランジスタ(またはPチャネル型トランジスタ)であり、トランジスタQRA,QDA,QRT,QD1,QR1,QR1m ,QR2, QR2n は、前記トランジスタとは逆のPチャネル型トランジスタ(またはNチャネル型トランジスタ)である。
【0062】
本実施例では、前記表5において、トランジスタQD2を、図10に示すトランジスタQDAに置き換え、QDTのW/L比とQDAのW/L比の欄をなくすことで、図9に示す実施例と同様な設計が可能である。なお、トランジスタQRT1 ,QRT 2 は、同一寸法であり、トランジスタQ2 ,Q3 も同一寸法である。さらにその他の実施例として、図9、10に示す実施例の回路の符号60、70で示す位置に、図8に示す実施例のトランジスタQ4 とQR0,QDOとをそれぞれ付加することにより、電圧変換を安定化させると共に、差動アンプの初期状態を設定して安定動作させることができる。
【0063】
なお、上述した実施例では、すべてNOR型のメモリについて説明したが、本発明は、これに限定されず、NAND型に対しても適用することが可能である。
【0064】
【発明の効果】
以上説明してきたように、本発明によれば、特にウィンドウの小さい不揮発性メモリ装置において、書換え特性の劣化あるいは記憶保持特性の劣化などによらず、メモリセルに記憶してあるデータの判定を正確に行うことができる。また、メモリセルに製造ばらつきがあったとしても、レファレンスセルにも同様な製造ばらつきがあると考えられ、また、比較手段の基準となる基準データは、ウィンドウ間に位置するので、結果としては、データの読み出しの正確性が損なわれることはない。したがって、不揮発性半導体メモリ装置の収率も向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は本発明の一実施例に係る不揮発性半導体メモリ装置の概略構成図である。
【図2】図2(A)は従来例に係るメモリセルの経時変化を示すグラフ、同図(B)は本発明の一実施例に係るメモリセルの経時変化および基準電流の経時変化を示すグラフ、同図(C)は本発明の他の実施例に係るメモリセルの経時変化および基準電流の経時変化を示すグラフである。
【図3】図3(A)は本発明の他の実施例に係るメモリセルの回路構成図、同図(B)はさらにその他の実施例に係るメモリセルの回路構成図である。
【図4】図4(A)は本発明の一実施例に係るメモリセルの要部断面図、同図(B)は本発明の他の実施例に係るメモリセルの要部断面図、同図(C)はさらにその他の実施例に係るメモリセルの要部断面図である。
【図5】図5は本発明の他の実施例に係る不揮発性半導体メモリ装置の概略構成図である。
【図6】図6は本発明のさらにその他の実施例に係る不揮発性半導体メモリ装置の概略構成図である。
【図7】図7は本発明の具体的な実施例に係る不揮発性半導体メモリ装置のセンスアンプ回りの回路図である。
【図8】図8は本発明の他の実施例に係るセンスアンプ回りの回路図である。
【図9】図9は本発明のさらにその他の実施例に係るセンスアンプ回りの回路図である。
【図10】図10は本発明のさらにまたその他の実施例に係るセンスアンプ回りの回路図である。
【符号の説明】
2… メモリセル
3… 半導体基板
4… ソース・ドレイン領域
6… チャネル
8… ゲート絶縁膜
10… フローティングゲート
12… 中間絶縁膜
14… コントロールゲート
16a,16b… レファレンスセル
18… ワード線
20… 行デコーダ
22… ビット線
24… 列デコーダ
26… 書き込み電圧駆動回路
28… 読み出し電圧駆動回路
30,32,36,52… 変換回路
34… プラス回路
38… 差動アンプ
50… 読み出し電圧/書き込み電圧切り換え回路
Claims (6)
- 電荷の蓄積量の増減ないしは極性の反転が可能なトランジスタを有する複数のメモリセルと、
前記メモリセルを構成するトランジスタの厚さ方向と略同一の厚さ方向の構造を有するトランジスタ有し、所定数のメモリセル毎に少なくとも一対設けられるレファレンスセルと、
選択された前記メモリセルを駆動する際に、対応するレファレンスセルも駆動し、メモリセルの書き込み時には、一方のレファレンスセルには1データの書き込みを行い、他方のレファレンスセルには0データを書き込む書き込み用駆動手段と、
選択されたメモリセルのデータ読み出し時に、対応する一対のレファレンスセルのデータを読み出す読み出し用駆動手段と、
読み出し用に選択された一対の前記レファレンスセルのデータ(i1 , i0 )を、下記数式(1)に基づき組合せて、基準データ(ire)または基準データ(ire)のk倍を作成する基準データ生成手段と、
前記組み合せ手段で組み合わされた基準データ(ire)または基準データ(ire)のk倍と、前記選択されたメモリセルからの信号データまたは信号データのk倍とを比較することにより、選択されたメモリセルに蓄積されているデータを判定する比較手段とを有し、
前記比較手段が、少なくとも差動アンプをその構成要素の一部に有し、前記基準データ生成手段と前記比較手段とが一体となり、前記基準データ生成手段の一部を構成するトランジスタが、前記比較手段を構成する差動アンプの一部のトランジスタを兼ねている構成として、
前記一対のレファレンスセルの出力線が合流して接続される合流配線の信号電流を電圧に変換する第1の電流−電圧変換トランジスタと、
前記第1の電流−電圧変換トランジスタの出力線が接続され、前記差動アンプの一部のトランジスタを構成する差動アンプ用第1トランジスタと、
前記メモリセルの出力線の信号電流を電圧に変換する第2の電流−電圧変換トランジスタと、
前記第2の電流−電圧変換トランジスタの出力線が接続され、前記差動アンプの一部のトランジスタを構成する差動アンプ用第2トランジスタと、を少なくとも有し、
これら第1の電流−電圧変換トランジスタ、第2の電流−電圧変換トランジスタ、差動アンプ用第1トランジスタ、差動アンプ用第2トランジスタにおける各チャネル幅を各チャネル長で除した値相互の関係を、所定の比率としてある
不揮発性半導体メモリ装置。
- 電荷の蓄積量の増減ないしは極性の反転が可能なトランジスタを有する複数のメモリセルと、
前記メモリセルを構成するトランジスタの厚さ方向と略同一の厚さ方向の構造を有するトランジスタ有し、所定数のメモリセル毎に少なくとも一対設けられるレファレンスセルと、
選択された前記メモリセルを駆動する際に、対応するレファレンスセルも駆動し、メモリセルの書き込み時には、一方のレファレンスセルには1データの書き込みを行い、他方のレファレンスセルには0データを書き込む書き込み用駆動手段と、
選択されたメモリセルのデータ読み出し時に、対応する一対のレファレンスセルのデータを読み出す読み出し用駆動手段と、
読み出し用に選択された一対の前記レファレンスセルのデータ(i1 , i0 )を、下記数式(1)に基づき組合せて、基準データ(ire)または基準データ(ire)のk倍を作成する基準データ生成手段と、
前記組み合せ手段で組み合わされた基準データ(ire)または基準データ(ire)のk倍と、前記選択されたメモリセルからの信号データまたは信号データのk倍とを比較することにより、選択されたメモリセルに蓄積されているデータを判定する比較手段とを有し、
前記比較手段は、少なくとも差動アンプをその構成要素の一部に有し、前記基準データ生成手段と前記比較手段とが一体となり、前記基準データ生成手段の一部を構成するトランジスタが、前記比較手段を構成する差動アンプの一部のトランジスタを兼ねている構成として、
前記レファレンスセルの一方の出力線の信号電流をm倍またはm/k倍にするための第1係数倍変換回路と、
前記レファレンスセルの他方の出力線の信号電流をn倍またはn/k倍にするための第2係数倍変換回路と、
前記第1係数倍変換回路の出力線と第2係数倍変換回路の出力線とを合流する合流配線回路と、
合流配線に流れる電流を電圧に変換する第1の電流−電圧変換トランジスタと、
前記第1の電流−電圧変換トランジスタの出力線が接続され、前記差動アンプの一部のトランジスタを構成する差動アンプ用第1トランジスタと、
前記メモリセルの出力線の信号電流をk倍または1倍にする第3係数倍変換回路と、
第3係数倍変換回路の出力線の信号電流を電圧に変換する第2の電流−電圧変換トランジスタと、
前記第2の電流−電圧変換トランジスタの出力線が接続され、前記差動アンプの一部のトランジスタを構成する差動アンプ用第2トランジスタと、を少なくとも有し、
これら第1係数倍変換回路のトランジスタ、第2係数倍変換回路のトランジスタ、第3係数倍変換回路のトランジスタ、第1の電流−電圧変換トランジスタ、第2の電流−電圧変換トランジスタ、差動アンプ用第1トランジスタ、差動アンプ用第2トランジスタにおける各チャネル幅を各チャネル長で除した値相互の関係を、所定の比率としてある
不揮発性半導体メモリ装置。
- 電荷の蓄積量の増減ないしは極性の反転が可能なトランジスタを有する複数のメモリセルと、
前記メモリセルを構成するトランジスタの厚さ方向と略同一の厚さ方向の構造を有するトランジスタ有し、所定数のメモリセル毎に少なくとも一対設けられるレファレンスセルと、
選択された前記メモリセルを駆動する際に、対応するレファレンスセルも駆動し、メモリセルの書き込み時には、一方のレファレンスセルには1データの書き込みを行い、他方のレファレンスセルには0データを書き込む書き込み用駆動手段と、
選択されたメモリセルのデータ読み出し時に、対応する一対のレファレンスセルのデータを読み出す読み出し用駆動手段と、
読み出し用に選択された一対の前記レファレンスセルのデータ(i1 , i0 )を、下記数式(1)に基づき組合せて、基準データ(ire)または基準データ(ire)のk倍を作成する基準データ生成手段と、
前記組み合せ手段で組み合わされた基準データ(ire)または基準データ(ire)のk倍と、前記選択されたメモリセルからの信号データまたは信号データのk倍とを比較することにより、選択されたメモリセルに蓄積されているデータを判定する比較手段とを有し、
前記比較手段は、少なくとも差動アンプをその構成要素の一部に有し、前記基準データ生成手段と前記比較手段とが一体となり、前記基準データ生成手段の一部を構成するトランジスタが、前記比較手段を構成する差動アンプの一部のトランジスタを兼ねている構成として、
前記レファレンスセルの一方の出力線の信号電流をm倍またはm/k倍にするための第1係数倍変換回路と、
前記レファレンスセルの他方の出力線の信号電流をn倍またはn/k倍にするための第2係数倍変換回路と、
前記第1係数倍変換回路の出力線と第2係数倍変換回路の出力線とを合流する合流配線回路と、
合流配線に流れる電流を電圧に変換する第1の電流−電圧変換トランジスタと、
前記第1の電流−電圧変換トランジスタの出力線が接続され、前記差動アンプの一部のトランジスタを構成する差動アンプ用第1トランジスタと、
前記メモリセルの出力線の信号電流を電圧に変換する第2の電流−電圧変換トランジスタと、
前記第2の電流−電圧変換トランジスタの出力線が接続され、前記差動アンプの一部のトランジスタを構成する差動アンプ用第2トランジスタと、を少なくとも有し、
これら第1係数倍変換回路のトランジスタ、第2係数倍変換回路のトランジスタ、第1の電流−電圧変換トランジスタ、第2の電流−電圧変換トランジスタ、差動アンプ用第1トランジスタ、差動アンプ用第2トランジスタにおける各チャネル幅を各チャネル長で除した値相互の関係を、所定の比率としてある
不揮発性半導体メモリ装置。
- 前記所定数のメモリセルと一対のレファレンスセルとは、同一のワード線により接続してある請求項1〜3のいずれかに記載の不揮発性半導体メモリ装置。
- 前記メモリセルを構成するトランジスタおよびレファレンスセルを構成するトランジスタは、電荷の蓄積が可能なフローティングゲートを有するトランジスタ、電荷トラップ機能を持つ絶縁膜を有するトランジスタ、強誘電体膜を有するトランジスタのうちのいずれかである請求項1〜4のいずれかに記載の不揮発性半導体メモリ装置。
- 前記第1の電流−電圧変換トランジスタと第2の電流−電圧変換トランジスタとの電圧変換動作を安定させると共に、前記差動アンプの初期状態を設定するためのトランジスタが付加してある請求項1〜5のいずれかに記載の不揮発性半導体メモリ装置。
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