JP3538835B2 - ブレード交換装置 - Google Patents
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- 238000007906 compression Methods 0.000 description 18
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 17
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B27B—SAWS FOR WOOD OR SIMILAR MATERIAL; COMPONENTS OR ACCESSORIES THEREFOR
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- B27B5/29—Details; Component parts; Accessories
- B27B5/30—Details; Component parts; Accessories for mounting or securing saw blades or saw spindles
- B27B5/32—Devices for securing circular saw blades to the saw spindle
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
- B25B13/00—Spanners; Wrenches
- B25B13/48—Spanners; Wrenches for special purposes
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェーハを
碁盤目状に切断するダイシング装置のブレードを交換す
るためのブレード交換装置及びブレード交換方法に関す
る。
碁盤目状に切断するダイシング装置のブレードを交換す
るためのブレード交換装置及びブレード交換方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】ダイシング装置は、ブレードを高速で回
転させ、多数のチップが形成された半導体ウェーハをチ
ップに沿って碁盤目状に切断する装置である。ブレード
は、スピンドルにナットを介して固定され、ブレードを
交換する場合には、専用のブレード交換装置が使用され
る。
転させ、多数のチップが形成された半導体ウェーハをチ
ップに沿って碁盤目状に切断する装置である。ブレード
は、スピンドルにナットを介して固定され、ブレードを
交換する場合には、専用のブレード交換装置が使用され
る。
【０００３】従来のブレード交換装置は、筒状に形成さ
れたスパナと棒状のトルクレンチとから構成されてお
り、作業者は、スパナをナットに係合させた後、スパナ
の孔からトルクレンチを挿入し、トルクレンチの先端部
をスピンドルの先端面に形成された角孔に係合させる。
この状態で、作業者はトルクレンチを片手で回り止め
し、そして、もう一方の片手でスパナを緩める方向に回
す。これにより、ナットがスピンドルから外され、そし
て、スパナをスピンドルから取り外した後、古いブレー
ドをスピンドルから外して新しいブレードをスピンドル
に装着する。この後、ナットをスパナを介してスピンド
ルに取り付け、スピンドルをトルクレンチで締める方向
に回し、ナットをスピンドルに締結する。以上でブレー
ド交換装置を使用したブレード交換作業が終了する。
れたスパナと棒状のトルクレンチとから構成されてお
り、作業者は、スパナをナットに係合させた後、スパナ
の孔からトルクレンチを挿入し、トルクレンチの先端部
をスピンドルの先端面に形成された角孔に係合させる。
この状態で、作業者はトルクレンチを片手で回り止め
し、そして、もう一方の片手でスパナを緩める方向に回
す。これにより、ナットがスピンドルから外され、そし
て、スパナをスピンドルから取り外した後、古いブレー
ドをスピンドルから外して新しいブレードをスピンドル
に装着する。この後、ナットをスパナを介してスピンド
ルに取り付け、スピンドルをトルクレンチで締める方向
に回し、ナットをスピンドルに締結する。以上でブレー
ド交換装置を使用したブレード交換作業が終了する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来のブレード交換装置は、ナットをスピンドルから外し
てスパナをスピンドルから取り外した時に、ナットがス
パナから落下する場合があるという欠点があった。
来のブレード交換装置は、ナットをスピンドルから外し
てスパナをスピンドルから取り外した時に、ナットがス
パナから落下する場合があるという欠点があった。
【０００５】また、前記ブレード交換装置は、作業者の
両手を使って操作するものなので、ブレードが狭所に設
けられている場合には、その狭所に両手を挿入すること
が困難なため、ブレード交換に手間がかかるという欠点
もあった。
両手を使って操作するものなので、ブレードが狭所に設
けられている場合には、その狭所に両手を挿入すること
が困難なため、ブレード交換に手間がかかるという欠点
もあった。
【０００６】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、交換装置本体からナットが落下するのを防止す
ることができ、片手で交換作業を行うことができるブレ
ード交換装置及びブレード交換方法を提供することを目
的とする。
もので、交換装置本体からナットが落下するのを防止す
ることができ、片手で交換作業を行うことができるブレ
ード交換装置及びブレード交換方法を提供することを目
的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】 本発明は、前記目的を
達成するために、スピンドルにナットを介して締結され
たブレードを、スピンドルからナットを取り外すことに
よりスピンドルから取り外し、又はスピンドルに装着さ
れたブレードをナットを介してスピンドルに締結するブ
レード交換装置において、前記ナットに係合される筒状
の交換装置本体と、前記交換装置本体の内部に設けられ
るとともに前記ナットに形成された嵌合部に嵌合され、
該ナットを保持するチャック部と、前記交換装置本体の
内部に設けられるとともに前記チャック部を前記交換装
置本体の内部に位置するように付勢するばねと、前記チ
ャック部の孔から挿入されてスピンドルの先端面に形成
された孔に係合されるレンチとを備え、前記交換装置本
体は、前記ブレード周辺に設けられた固定部材に、アー
ム部材を介して交換可能位置及び該交換可能位置から退
避した退避位置との範囲で揺動自在に取り付けられると
ともに、付勢部材によって前記ナットに押し付けられる
ように付勢され、前記チャック部を前記ばねの付勢力に
抗して前記交換装置本体から突出させて前記ナットの嵌
合部に嵌合させ、前記交換装置本体と前記ナットとを、
前記スピンドルの軸を中心とする円周上に設けられた凸
部と凹部とによって係合させることにより、交換装置本
体に対してナットを回り止めし、前記交換装置本体及び
前記レンチによってナット又はスピンドルのうち一方を
回り止めするとともに他方を回転させることにより、ス
ピンドルからナットを取り外し、又はナットをスピンド
ルに締結することを特徴としている。
達成するために、スピンドルにナットを介して締結され
たブレードを、スピンドルからナットを取り外すことに
よりスピンドルから取り外し、又はスピンドルに装着さ
れたブレードをナットを介してスピンドルに締結するブ
レード交換装置において、前記ナットに係合される筒状
の交換装置本体と、前記交換装置本体の内部に設けられ
るとともに前記ナットに形成された嵌合部に嵌合され、
該ナットを保持するチャック部と、前記交換装置本体の
内部に設けられるとともに前記チャック部を前記交換装
置本体の内部に位置するように付勢するばねと、前記チ
ャック部の孔から挿入されてスピンドルの先端面に形成
された孔に係合されるレンチとを備え、前記交換装置本
体は、前記ブレード周辺に設けられた固定部材に、アー
ム部材を介して交換可能位置及び該交換可能位置から退
避した退避位置との範囲で揺動自在に取り付けられると
ともに、付勢部材によって前記ナットに押し付けられる
ように付勢され、前記チャック部を前記ばねの付勢力に
抗して前記交換装置本体から突出させて前記ナットの嵌
合部に嵌合させ、前記交換装置本体と前記ナットとを、
前記スピンドルの軸を中心とする円周上に設けられた凸
部と凹部とによって係合させることにより、交換装置本
体に対してナットを回り止めし、前記交換装置本体及び
前記レンチによってナット又はスピンドルのうち一方を
回り止めするとともに他方を回転させることにより、ス
ピンドルからナットを取り外し、又はナットをスピンド
ルに締結することを特徴としている。
【０００８】本発明によれば、まず、スピンドルに締結
されたナットに交換装置本体を係合させるとともに、チ
ャック部をナットに形成された嵌合部に嵌合させてナッ
トを保持する。次に、チャック部の孔からレンチを挿入
し、レンチの先端部をスピンドルの先端面に形成された
角孔に係合する。この状態で、交換装置本体又はレンチ
の一方を回り止めし、他方をナットが緩む方向に回す。
これにより、ナットがスピンドルから外される。そし
て、交換装置本体をスピンドルから取り外した時、ナッ
トはチャック部で保持されているので、交換装置本体か
ら落下しない。したがって、本発明のブレード交換装置
は、交換装置本体からナットが落下するのを防止でき
る。
されたナットに交換装置本体を係合させるとともに、チ
ャック部をナットに形成された嵌合部に嵌合させてナッ
トを保持する。次に、チャック部の孔からレンチを挿入
し、レンチの先端部をスピンドルの先端面に形成された
角孔に係合する。この状態で、交換装置本体又はレンチ
の一方を回り止めし、他方をナットが緩む方向に回す。
これにより、ナットがスピンドルから外される。そし
て、交換装置本体をスピンドルから取り外した時、ナッ
トはチャック部で保持されているので、交換装置本体か
ら落下しない。したがって、本発明のブレード交換装置
は、交換装置本体からナットが落下するのを防止でき
る。
【０００９】また、本発明によれば、交換装置本体に設
けられたチャック部を、ナットに形成された嵌合部に嵌
合させることにより、ナットを交換装置本体から脱落す
ることなく保持する。次に、交換装置本体を介してナッ
トをスピンドルに押し付けるとともに、チャック部の孔
からレンチを挿入し、レンチの先端部をスピンドルの先
端面に形成された角孔に係合する。次いで、交換装置本
体及びレンチによって、ナット又はスピンドルのうち一
方を回り止めするとともに他方を回転させることによ
り、ナットをスピンドルに締結する。このようなナット
締結時においても、ナットは、チャック部によって交換
装置本体から脱落することなく保持されているので、ナ
ットを簡単に締結することができる。
けられたチャック部を、ナットに形成された嵌合部に嵌
合させることにより、ナットを交換装置本体から脱落す
ることなく保持する。次に、交換装置本体を介してナッ
トをスピンドルに押し付けるとともに、チャック部の孔
からレンチを挿入し、レンチの先端部をスピンドルの先
端面に形成された角孔に係合する。次いで、交換装置本
体及びレンチによって、ナット又はスピンドルのうち一
方を回り止めするとともに他方を回転させることによ
り、ナットをスピンドルに締結する。このようなナット
締結時においても、ナットは、チャック部によって交換
装置本体から脱落することなく保持されているので、ナ
ットを簡単に締結することができる。
【００１０】また、本発明のブレード交換装置は、スピ
ンドルの軸を中心とする円周上に設けられた凸部と凹部
とによって、交換装置本体とナットとを係合させるよう
構成している。これにより、交換装置本体をナットに押
し当てた時、凸部と凹部とが係合しない場合でも、交換
装置本体又はナットをレンチで所定量回動させるだけ
で、凸部と凹部とを係合させることができる。
ンドルの軸を中心とする円周上に設けられた凸部と凹部
とによって、交換装置本体とナットとを係合させるよう
構成している。これにより、交換装置本体をナットに押
し当てた時、凸部と凹部とが係合しない場合でも、交換
装置本体又はナットをレンチで所定量回動させるだけ
で、凸部と凹部とを係合させることができる。
【００１１】更に、本発明のブレード交換装置は、ブレ
ード周辺の固定部材に、アーム部材を介して交換装置本
体が揺動自在に取り付けられるとともに、付勢部材の付
勢力によって交換装置本体がナットをスピンドルに押し
付ける方向に付勢されている。
ード周辺の固定部材に、アーム部材を介して交換装置本
体が揺動自在に取り付けられるとともに、付勢部材の付
勢力によって交換装置本体がナットをスピンドルに押し
付ける方向に付勢されている。
【００１２】かかるブレード交換装置によれば、まず、
交換装置本体をブレードカバー部材に取り付けるととも
に、交換装置本体を付勢部材の付勢力でナットに押し付
ける。次に、チャック部を操作してチャック部でナット
を保持する。次いで、レンチをチャック部の孔に挿入
し、レンチの先端部をスピンドルの角孔に係合させる。
そして、レンチでスピンドルを所定量回動させることに
より、凸部と凹部とを係合させてナットを交換装置本体
に係合させる。この後、レンチによってスピンドルをナ
ットが緩む方向に回転させる。これにより、ナットがス
ピンドルから取り外される。
交換装置本体をブレードカバー部材に取り付けるととも
に、交換装置本体を付勢部材の付勢力でナットに押し付
ける。次に、チャック部を操作してチャック部でナット
を保持する。次いで、レンチをチャック部の孔に挿入
し、レンチの先端部をスピンドルの角孔に係合させる。
そして、レンチでスピンドルを所定量回動させることに
より、凸部と凹部とを係合させてナットを交換装置本体
に係合させる。この後、レンチによってスピンドルをナ
ットが緩む方向に回転させる。これにより、ナットがス
ピンドルから取り外される。
【００１３】次に、交換装置本体をアームを介して揺動
させて、交換装置本体をブレードから退避させる。この
時、ナットはチャック部に保持されているので、交換装
置本体から落下しない。次いで、スピンドルから古いブ
レードを外し、新しいブレードをスピンドルに装着す
る。そして、交換装置本体をアームを介して揺動させ
て、交換装置本体をスピンドルの対向位置に位置させ、
チャック部に保持されているナットを付勢部材の付勢力
でスピンドルに押し付ける。この後、レンチによってス
ピンドルをナットが締まる方向に回転させる。これによ
り、ナットがスピンドルに締結されていき、新しいブレ
ードがスピンドルに固定される。
させて、交換装置本体をブレードから退避させる。この
時、ナットはチャック部に保持されているので、交換装
置本体から落下しない。次いで、スピンドルから古いブ
レードを外し、新しいブレードをスピンドルに装着す
る。そして、交換装置本体をアームを介して揺動させ
て、交換装置本体をスピンドルの対向位置に位置させ、
チャック部に保持されているナットを付勢部材の付勢力
でスピンドルに押し付ける。この後、レンチによってス
ピンドルをナットが締まる方向に回転させる。これによ
り、ナットがスピンドルに締結されていき、新しいブレ
ードがスピンドルに固定される。
【００１４】次いで、チャック部を操作してチャック部
によるナットの保持を解除する。そして、交換装置本体
をブレードカバー部材から取り外す。これにより、ブレ
ード交換作業が終了する。この交換作業は、片手で実施
することができる。
によるナットの保持を解除する。そして、交換装置本体
をブレードカバー部材から取り外す。これにより、ブレ
ード交換作業が終了する。この交換作業は、片手で実施
することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るブレード交換装置及びブレード交換方法の好ましい実
施の形態について説明する。
るブレード交換装置及びブレード交換方法の好ましい実
施の形態について説明する。
【００１６】図１に示すブレード交換装置１０は、ダイ
シング装置１２のスピンドル１４にナット１６を介して
固定されたブレード１８を交換する装置である。ダイシ
ング装置１２のブレード１８は、図２の如くスピンドル
１４に嵌入されたフランジ２０の軸部２２に挿入され、
フランジ２０の雄ねじ２４に締結されたナット１６によ
ってフランジ２０に固定されている。したがって、ナッ
ト１６を雄ねじ２４から取り外すことによって、ブレー
ド１８を交換することができる。なお、フランジ２０
は、スピンドル１４の先端部に締結されたナット２６に
よってスピンドル１４に固定され、スピンドル１４と一
体化されている。また、図１上で符号２８は、ブレード
１８を覆うフランジカバー（ブレード周辺に設けられた
固定部材）であり、符号３０、３２はブレード１８に切
削水、冷却水を供給するノズルである。このように構成
されたダイシング装置１２は、スピンドル１４でブレー
ド１８を高速回転させて、不図示の半導体ウェーハをチ
ップに沿って碁盤目状に切断する。
シング装置１２のスピンドル１４にナット１６を介して
固定されたブレード１８を交換する装置である。ダイシ
ング装置１２のブレード１８は、図２の如くスピンドル
１４に嵌入されたフランジ２０の軸部２２に挿入され、
フランジ２０の雄ねじ２４に締結されたナット１６によ
ってフランジ２０に固定されている。したがって、ナッ
ト１６を雄ねじ２４から取り外すことによって、ブレー
ド１８を交換することができる。なお、フランジ２０
は、スピンドル１４の先端部に締結されたナット２６に
よってスピンドル１４に固定され、スピンドル１４と一
体化されている。また、図１上で符号２８は、ブレード
１８を覆うフランジカバー（ブレード周辺に設けられた
固定部材）であり、符号３０、３２はブレード１８に切
削水、冷却水を供給するノズルである。このように構成
されたダイシング装置１２は、スピンドル１４でブレー
ド１８を高速回転させて、不図示の半導体ウェーハをチ
ップに沿って碁盤目状に切断する。
【００１７】ブレード交換装置１０は、交換装置本体３
４とトルクレンチ（レンチ）３６とから構成されてい
る。交換装置本体３４は、図３の如く筒状体３８、及び
チャック部４０等から構成され、筒状体３８の孔４２に
チャック部４０が圧縮ばね４４、カラー４５、及びスト
ッパブロック４６を介して挿入配置されている。
４とトルクレンチ（レンチ）３６とから構成されてい
る。交換装置本体３４は、図３の如く筒状体３８、及び
チャック部４０等から構成され、筒状体３８の孔４２に
チャック部４０が圧縮ばね４４、カラー４５、及びスト
ッパブロック４６を介して挿入配置されている。
【００１８】チャック部４０は、筒状本体４８の一端部
に二つ割り状の一対のつまみ５０、５０が所定の隙間Ｓ
をもって形成され、他端部に一対の爪５２、５２が対向
するように突出形成されている。これらの爪５２、５２
は、図１のナット１６をスピンドル１４から取り外す際
に、図２の如くナット１６のボス１７の外周面に形成さ
れた溝（嵌合部）５４に嵌合される。また、爪５２、５
２は、図３の如くつまみ５０、５０の延長線上に形成さ
れており、つまみ５０、５０を互いに近づく方向につま
む操作によって、互いに開く方向に動かされる。これに
より、爪５２、５２が図２のナット１６の溝５４から退
避され、ナット１６との嵌合が解除される。
に二つ割り状の一対のつまみ５０、５０が所定の隙間Ｓ
をもって形成され、他端部に一対の爪５２、５２が対向
するように突出形成されている。これらの爪５２、５２
は、図１のナット１６をスピンドル１４から取り外す際
に、図２の如くナット１６のボス１７の外周面に形成さ
れた溝（嵌合部）５４に嵌合される。また、爪５２、５
２は、図３の如くつまみ５０、５０の延長線上に形成さ
れており、つまみ５０、５０を互いに近づく方向につま
む操作によって、互いに開く方向に動かされる。これに
より、爪５２、５２が図２のナット１６の溝５４から退
避され、ナット１６との嵌合が解除される。
【００１９】図３のつまみ５０、５０は、隙間Ｓに配置
された圧縮ばね５６、５６によって互いに離れる方向に
付勢されている。また、圧縮ばね５６、５６の付勢力
は、つまみ５０、５０から筒状本体４８を介して爪５
２、５２に伝達され、これによって爪５２、５２は互い
に接近する方向、即ち、ナット１６の溝５４（図２参
照）に嵌合する方向に付勢されている。なお、チャック
部４０の筒状本体４８には、図３の如くスリット５８と
肉抜き部６０とが形成され、つまみ５０、５０のつまみ
操作及び圧縮ばね５６、５６の付勢力で爪５２、５２が
容易に動くようにばね力が与えられている。
された圧縮ばね５６、５６によって互いに離れる方向に
付勢されている。また、圧縮ばね５６、５６の付勢力
は、つまみ５０、５０から筒状本体４８を介して爪５
２、５２に伝達され、これによって爪５２、５２は互い
に接近する方向、即ち、ナット１６の溝５４（図２参
照）に嵌合する方向に付勢されている。なお、チャック
部４０の筒状本体４８には、図３の如くスリット５８と
肉抜き部６０とが形成され、つまみ５０、５０のつまみ
操作及び圧縮ばね５６、５６の付勢力で爪５２、５２が
容易に動くようにばね力が与えられている。
【００２０】圧縮ばね４４は、図２の如く筒状体３８と
筒状本体４８との間の隙間に配置される。また、圧縮ば
ね４４は、筒状体３８の内周面に形成された段部５８と
筒状本体４８に外装されたカラー４５とに挟まれて配置
されている。この圧縮ばね４４によってチャック部４０
が、図２上右方向に付勢されている。
筒状本体４８との間の隙間に配置される。また、圧縮ば
ね４４は、筒状体３８の内周面に形成された段部５８と
筒状本体４８に外装されたカラー４５とに挟まれて配置
されている。この圧縮ばね４４によってチャック部４０
が、図２上右方向に付勢されている。
【００２１】ストッパブロック４６は、ねじ６０によっ
てチャック部４０に締結されており、その外周面には図
３の如く凸条部６２と一対の溝６４、６４とが形成され
ている。凸条部６２は、筒状体３８の内周面に形成され
た図２の溝６６に係合される。これにより、チャック部
４０は、圧縮ばね４４によって図２上右方向に付勢され
るが、ストッパブロック４６の凸条部６２が筒状体３８
の溝６６に係合されているので、筒状体３８からの抜け
が防止されている。また、チャック部４０を、圧縮ばね
４４の付勢力に抗して図２上左方向に押し込むと、爪５
２、５２が筒状体３８の左端面３８Ａから突出されると
ともに、つまみ５０、５０の側面５１、５１が筒状体３
８の右端面３８Ｂに当接することにより、その押し込み
量が規制される。なお、ストッパブロック４６の図３に
示した溝６４、６４には、チャック部４０の爪５２、５
２のアーム部５３、５３が嵌合される。また、ストッパ
ブロック４６の中央部には、図１のトルクレンチ３６が
挿入される孔６８（図３参照）が開口され、孔６８の周
部には、トルクレンチ３６を孔６８にガイドするテーパ
面７０が形成されている。
てチャック部４０に締結されており、その外周面には図
３の如く凸条部６２と一対の溝６４、６４とが形成され
ている。凸条部６２は、筒状体３８の内周面に形成され
た図２の溝６６に係合される。これにより、チャック部
４０は、圧縮ばね４４によって図２上右方向に付勢され
るが、ストッパブロック４６の凸条部６２が筒状体３８
の溝６６に係合されているので、筒状体３８からの抜け
が防止されている。また、チャック部４０を、圧縮ばね
４４の付勢力に抗して図２上左方向に押し込むと、爪５
２、５２が筒状体３８の左端面３８Ａから突出されると
ともに、つまみ５０、５０の側面５１、５１が筒状体３
８の右端面３８Ｂに当接することにより、その押し込み
量が規制される。なお、ストッパブロック４６の図３に
示した溝６４、６４には、チャック部４０の爪５２、５
２のアーム部５３、５３が嵌合される。また、ストッパ
ブロック４６の中央部には、図１のトルクレンチ３６が
挿入される孔６８（図３参照）が開口され、孔６８の周
部には、トルクレンチ３６を孔６８にガイドするテーパ
面７０が形成されている。
【００２２】一方、筒状体３８には、アーム（アーム部
材）７２が突出形成され、アーム７２の図２に示す先端
開口部７４には、つまみ７６が形成されたロッド７８が
スリーブベアリング８０を介してスライド及び回動自在
に挿入されている。つまみ７６とスリーブベアリング８
０との間には圧縮ばね（付勢部材）８２が配設されてお
り、この圧縮ばね８２にロッド７８が挿入され、ロッド
７８は圧縮ばね８２の付勢力で図２上右方向に付勢され
ている。また、スリーブベアリング８０に貫通されたロ
ッド７８の先端部７９の周部には、Ｅ型ワッシャ８４が
嵌合されている。このＥ型ワッシャ８４が、スリーブベ
アリング８０の端面８１に当接することにより、スリー
ブベアリング８０からのロッド７８の抜けが防止され
る。
材）７２が突出形成され、アーム７２の図２に示す先端
開口部７４には、つまみ７６が形成されたロッド７８が
スリーブベアリング８０を介してスライド及び回動自在
に挿入されている。つまみ７６とスリーブベアリング８
０との間には圧縮ばね（付勢部材）８２が配設されてお
り、この圧縮ばね８２にロッド７８が挿入され、ロッド
７８は圧縮ばね８２の付勢力で図２上右方向に付勢され
ている。また、スリーブベアリング８０に貫通されたロ
ッド７８の先端部７９の周部には、Ｅ型ワッシャ８４が
嵌合されている。このＥ型ワッシャ８４が、スリーブベ
アリング８０の端面８１に当接することにより、スリー
ブベアリング８０からのロッド７８の抜けが防止され
る。
【００２３】ロッド７８の先端面７８Ａには、雄ねじ８
６がロッド７８と同軸に突設されている。雄ねじ８６
は、図１のフランジカバー２８に形成されたねじ孔８８
に螺入される。これによって、交換装置本体３４がフラ
ンジカバー２８に図２の如く取り付けられるとともに、
筒状体３８が雄ねじ８６の軸芯を中心に、即ち、ロッド
７８の軸芯Ｐを中心にフランジカバー２８に対して揺動
自在に支持される。
６がロッド７８と同軸に突設されている。雄ねじ８６
は、図１のフランジカバー２８に形成されたねじ孔８８
に螺入される。これによって、交換装置本体３４がフラ
ンジカバー２８に図２の如く取り付けられるとともに、
筒状体３８が雄ねじ８６の軸芯を中心に、即ち、ロッド
７８の軸芯Ｐを中心にフランジカバー２８に対して揺動
自在に支持される。
【００２４】筒状体３８の揺動範囲は、チャック部４０
の爪５２、５２がナット１６の溝１７に嵌合する交換可
能位置と、フランジカバー２８の円弧状溝９０に交換装
置本体３４側のピン９２が係合する退避位置との範囲に
設定されている。退避位置において、筒状体３８は、交
換可能位置から１８０°揺動され、ブレード１８の上方
に退避される。この退避位置で筒状体３８を保持するこ
とにより、スピンドル１４からブレード１８を取り外す
ことが可能になる。
の爪５２、５２がナット１６の溝１７に嵌合する交換可
能位置と、フランジカバー２８の円弧状溝９０に交換装
置本体３４側のピン９２が係合する退避位置との範囲に
設定されている。退避位置において、筒状体３８は、交
換可能位置から１８０°揺動され、ブレード１８の上方
に退避される。この退避位置で筒状体３８を保持するこ
とにより、スピンドル１４からブレード１８を取り外す
ことが可能になる。
【００２５】筒状体３８の図３上左端面３８Ａには、２
本のピン（凸部）９４、９４が突設される。これらのピ
ン９４、９４は、図１に示すナット１６の表面に形成さ
れた４本の孔（凹部）９６、９６…のうち２本の孔９
６、９６に係合される。これにより、ナット１６が筒状
体３８に固定される。なお、前記孔９６、９６…は、ナ
ット１６の軸（スピンドル１４の軸）を中心とする円周
上に９０°間隔で形成され、４本の孔９６、９６…のう
ちスピンドル１４を挟んで対向する２本の孔９６、９６
にピン９４、９４が係合される。
本のピン（凸部）９４、９４が突設される。これらのピ
ン９４、９４は、図１に示すナット１６の表面に形成さ
れた４本の孔（凹部）９６、９６…のうち２本の孔９
６、９６に係合される。これにより、ナット１６が筒状
体３８に固定される。なお、前記孔９６、９６…は、ナ
ット１６の軸（スピンドル１４の軸）を中心とする円周
上に９０°間隔で形成され、４本の孔９６、９６…のう
ちスピンドル１４を挟んで対向する２本の孔９６、９６
にピン９４、９４が係合される。
【００２６】次に、前記の如く構成されたブレード交換
装置１０によるブレード交換方法について説明する。
装置１０によるブレード交換方法について説明する。
【００２７】まず、図４に示すように、交換装置本体３
４の雄ねじ８６をフランジカバー２８のねじ孔８８に螺
入し、交換装置本体３４をフランジカバー２８に取り付
ける。そして、チャック部４０の爪５２、５２がナット
１６の溝１７に嵌合する交換可能位置に筒状体３８を位
置決めする。この時、筒状体３８は、圧縮ばね８２の付
勢力がアーム７２を介して伝達されているので、ナット
１６に向けて付勢されている。また、この時、ピン９４
は孔９６に係合されていないので、ナット１６は筒状体
３８に固定されていない。なお、ピン９４の対向位置に
孔９６が予め位置している場合には、ピン９４が孔９６
に直接係合されるので、この時にナット１６が筒状体３
８に固定される。
４の雄ねじ８６をフランジカバー２８のねじ孔８８に螺
入し、交換装置本体３４をフランジカバー２８に取り付
ける。そして、チャック部４０の爪５２、５２がナット
１６の溝１７に嵌合する交換可能位置に筒状体３８を位
置決めする。この時、筒状体３８は、圧縮ばね８２の付
勢力がアーム７２を介して伝達されているので、ナット
１６に向けて付勢されている。また、この時、ピン９４
は孔９６に係合されていないので、ナット１６は筒状体
３８に固定されていない。なお、ピン９４の対向位置に
孔９６が予め位置している場合には、ピン９４が孔９６
に直接係合されるので、この時にナット１６が筒状体３
８に固定される。
【００２８】次に、チャック部４０のつまみ５０、５０
を図４上矢印Ａで示す方向に指でつまみ、この状態でチ
ャック部４０を矢印Ｂで示すようにナット１６に向けて
押し込む。そして、つまみ５０、５０から指を離すと、
つまみ５０、５０が圧縮ばね５６、５６の付勢力で元の
位置に戻る。これにより、チャック部４０の爪５２、５
２が図２の如くナット１６の溝５４に嵌合する。
を図４上矢印Ａで示す方向に指でつまみ、この状態でチ
ャック部４０を矢印Ｂで示すようにナット１６に向けて
押し込む。そして、つまみ５０、５０から指を離すと、
つまみ５０、５０が圧縮ばね５６、５６の付勢力で元の
位置に戻る。これにより、チャック部４０の爪５２、５
２が図２の如くナット１６の溝５４に嵌合する。
【００２９】次に、図５、図６に示すように、トルクレ
ンチ３６をチャック部４０の孔からストッパブロック４
６の孔６８を介して挿入し、トルクレンチ３６の先端角
部３７をスピンドル１４の角孔１５に係合させる。そし
て、トルクレンチ３６でスピンドル１４を図５上矢印Ａ
で示す方向（ナット１６を緩める方向）に所定量回動す
ると、ナット１６がスピンドル１４と共に回動されてい
き、ナット１６の孔９６にピン９４が図７、図８の如く
嵌入する。これによって、ナット１６が筒状体３８に自
動的に固定され、回り止めされる。
ンチ３６をチャック部４０の孔からストッパブロック４
６の孔６８を介して挿入し、トルクレンチ３６の先端角
部３７をスピンドル１４の角孔１５に係合させる。そし
て、トルクレンチ３６でスピンドル１４を図５上矢印Ａ
で示す方向（ナット１６を緩める方向）に所定量回動す
ると、ナット１６がスピンドル１４と共に回動されてい
き、ナット１６の孔９６にピン９４が図７、図８の如く
嵌入する。これによって、ナット１６が筒状体３８に自
動的に固定され、回り止めされる。
【００３０】次いで、トルクレンチ３６によってスピン
ドル１４を、ナット１６が緩む方向（図７上矢印Ａで示
す方向）に回転させる。これにより、ナット１６が緩め
られていき、スピンドル１４から取り外される。
ドル１４を、ナット１６が緩む方向（図７上矢印Ａで示
す方向）に回転させる。これにより、ナット１６が緩め
られていき、スピンドル１４から取り外される。
【００３１】ナット１６がスピンドル１４から完全に取
り外されると、筒状体３８を圧縮ばね８２の付勢力に抗
して図９の如く、スピンドル１４から引き抜く。この
時、ナット１６は、チャック部４０の爪５２、５２によ
って保持されているので、筒状体３８から脱落しない。
この後、筒状体３８をアーム７２を介して１８０°揺動
させてピン９２を溝９０に係合させ、筒状体３８をブレ
ード１８から退避した退避位置に保持させる。
り外されると、筒状体３８を圧縮ばね８２の付勢力に抗
して図９の如く、スピンドル１４から引き抜く。この
時、ナット１６は、チャック部４０の爪５２、５２によ
って保持されているので、筒状体３８から脱落しない。
この後、筒状体３８をアーム７２を介して１８０°揺動
させてピン９２を溝９０に係合させ、筒状体３８をブレ
ード１８から退避した退避位置に保持させる。
【００３２】次に、スピンドル１４から古いブレード１
８を外し、新しいブレードをスピンドル１４に装着す
る。そして、筒状体３８を引っ張ることにより、溝９０
からピン９２を退避させて、溝９０に対するピン９２の
係合を解除する。この後、筒状体３８をアーム７２を介
して反対方向に１８０°揺動させ、筒状体３８をスピン
ドル１４の対向位置（交換可能位置）に位置させる。こ
れにより、チャック部４０の爪５２、５２に保持されて
いるナット１６が、圧縮ばね８２の付勢力で雄ねじ２４
に押し付けられる。この後、トルクレンチ３６を使用し
て、スピンドル１４をナット１６が締まる方向に回転さ
せる。これにより、ナット１６が雄ねじ２４に締結され
ていき、新しいブレードがスピンドル１４に固定され
る。
８を外し、新しいブレードをスピンドル１４に装着す
る。そして、筒状体３８を引っ張ることにより、溝９０
からピン９２を退避させて、溝９０に対するピン９２の
係合を解除する。この後、筒状体３８をアーム７２を介
して反対方向に１８０°揺動させ、筒状体３８をスピン
ドル１４の対向位置（交換可能位置）に位置させる。こ
れにより、チャック部４０の爪５２、５２に保持されて
いるナット１６が、圧縮ばね８２の付勢力で雄ねじ２４
に押し付けられる。この後、トルクレンチ３６を使用し
て、スピンドル１４をナット１６が締まる方向に回転さ
せる。これにより、ナット１６が雄ねじ２４に締結され
ていき、新しいブレードがスピンドル１４に固定され
る。
【００３３】次いで、チャック部４０のつまみ５０、５
０をつまんで爪５２、５２によるナット１６の保持を解
除する。そして、ロッド７８を緩める方向に回して、雄
ねじ８６をねじ孔８８から外し、交換装置本体３４をフ
ランジカバー２８から取り外す。以上で、ブレード交換
作業が終了する。
０をつまんで爪５２、５２によるナット１６の保持を解
除する。そして、ロッド７８を緩める方向に回して、雄
ねじ８６をねじ孔８８から外し、交換装置本体３４をフ
ランジカバー２８から取り外す。以上で、ブレード交換
作業が終了する。
【００３４】このように、本実施の形態のブレード交換
装置１０は、ナット１６を保持するチャック部４０を設
けたので、スピンドル１４から外したナット１６が筒状
体３８から落下するのを防止できる。
装置１０は、ナット１６を保持するチャック部４０を設
けたので、スピンドル１４から外したナット１６が筒状
体３８から落下するのを防止できる。
【００３５】また、ブレード交換装置１０は、ナット１
６の軸を中心とする円周上に設けられたピン９４と孔９
６とによってナット１６を筒状体３８に固定するように
構成した。これにより、筒状体３８がナット１６に押し
当てられた時、ピン９４が孔９６に係合しない場合で
も、筒状体３８が圧縮ばね８２によってナット１６に付
勢されているので、スピンドル１４をトルクレンチ３６
で所定量回動させるだけでナット１６も回動し、よっ
て、ピン９４に孔９６を自動的に係合させることができ
る。
６の軸を中心とする円周上に設けられたピン９４と孔９
６とによってナット１６を筒状体３８に固定するように
構成した。これにより、筒状体３８がナット１６に押し
当てられた時、ピン９４が孔９６に係合しない場合で
も、筒状体３８が圧縮ばね８２によってナット１６に付
勢されているので、スピンドル１４をトルクレンチ３６
で所定量回動させるだけでナット１６も回動し、よっ
て、ピン９４に孔９６を自動的に係合させることができ
る。
【００３６】更に、上述したブレード１８の交換作業
は、作業者の片手だけで行うことができる。したがっ
て、狭所においてもブレード１８の交換作業を容易に実
施できる。
は、作業者の片手だけで行うことができる。したがっ
て、狭所においてもブレード１８の交換作業を容易に実
施できる。
【００３７】なお、交換装置本体３４がアーム７２を有
しておらず筒状体３８のみの構成であれば、以下の手順
でナット１６をスピンドル１４から取り外す。まず、ス
ピンドル１４に締結されたナット１６に筒状体３８を係
合させるとともに、チャック部４０の爪５２、５２でナ
ット１６を保持する。次に、チャック部４０の孔からト
ルクレンチ３６を挿入し、トルクレンチ３６とスピンド
ル１４とを係合する。この状態で、筒状体３８又はトル
クレンチ３６によって、ナット１６又はスピンドル１４
の一方を回り止めし、他方をナット１６が緩む方向に回
す。これにより、ナット１６をスピンドル１４から外す
ことができる。この時、ナット１６はチャック部４０で
保持されているので、筒状体３８から落下するのを防止
できる。
しておらず筒状体３８のみの構成であれば、以下の手順
でナット１６をスピンドル１４から取り外す。まず、ス
ピンドル１４に締結されたナット１６に筒状体３８を係
合させるとともに、チャック部４０の爪５２、５２でナ
ット１６を保持する。次に、チャック部４０の孔からト
ルクレンチ３６を挿入し、トルクレンチ３６とスピンド
ル１４とを係合する。この状態で、筒状体３８又はトル
クレンチ３６によって、ナット１６又はスピンドル１４
の一方を回り止めし、他方をナット１６が緩む方向に回
す。これにより、ナット１６をスピンドル１４から外す
ことができる。この時、ナット１６はチャック部４０で
保持されているので、筒状体３８から落下するのを防止
できる。
【００３８】また、ナット１６を締結する場合には、ま
ず、チャック部４０の爪５２でナット１６を筒状体３８
体から脱落することなく保持する。次に、筒状体３８を
介してナット１６をスピンドル１４に押し付けるととも
に、チャック部４０の孔からトルクレンチ３６を挿入
し、トルクレンチ３６をスピンドル１４に係合する。次
いで、筒状体３８及びトルクレンチ３６によって、ナッ
ト１６又はスピンドル１４のうち一方を回り止めすると
ともに他方を回転させることにより、ナット１６をスピ
ンドル１４に締結する。このようなナット締結時におい
ても、ナット１６は、チャック部４０によって筒状体３
８から脱落することなく保持されているので、ナット１
６を簡単に締結することができる。
ず、チャック部４０の爪５２でナット１６を筒状体３８
体から脱落することなく保持する。次に、筒状体３８を
介してナット１６をスピンドル１４に押し付けるととも
に、チャック部４０の孔からトルクレンチ３６を挿入
し、トルクレンチ３６をスピンドル１４に係合する。次
いで、筒状体３８及びトルクレンチ３６によって、ナッ
ト１６又はスピンドル１４のうち一方を回り止めすると
ともに他方を回転させることにより、ナット１６をスピ
ンドル１４に締結する。このようなナット締結時におい
ても、ナット１６は、チャック部４０によって筒状体３
８から脱落することなく保持されているので、ナット１
６を簡単に締結することができる。
【００３９】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係るブレー
ド交換装置及びブレード交換方法によれば、ナットを保
持するチャック部を設けたので、スピンドルから外した
ナットが交換装置本体から落下するのを防止できる。
ド交換装置及びブレード交換方法によれば、ナットを保
持するチャック部を設けたので、スピンドルから外した
ナットが交換装置本体から落下するのを防止できる。
【００４０】また、本発明によれば、ナットの軸を中心
とする円周上に設けられた凸部と凹部とによってナット
を交換装置本体に固定するように構成したので、交換装
置本体がナットに押し当てられた時、凸部が凹部に係合
しない場合でも、ナットをレンチで所定量回動させるだ
けで、凸部に凹部を係合させることができる。
とする円周上に設けられた凸部と凹部とによってナット
を交換装置本体に固定するように構成したので、交換装
置本体がナットに押し当てられた時、凸部が凹部に係合
しない場合でも、ナットをレンチで所定量回動させるだ
けで、凸部に凹部を係合させることができる。
【００４１】更に、本発明のブレード交換装置によれ
ば、ブレードの交換作業を作業者の片手だけで行うこと
ができる。
ば、ブレードの交換作業を作業者の片手だけで行うこと
ができる。
【図１】本発明のブレード交換装置とダイシング装置と
を示す説明図
を示す説明図
【図２】ブレード交換装置がダイシング装置のスピンド
ルに装着された断面図
ルに装着された断面図
【図３】ブレード交換装置の交換装置本体の組立斜視図
【図４】ブレード交換装置によるブレード交換方法を示
す説明図
す説明図
【図５】ブレード交換装置によるブレード交換方法を示
す説明図
す説明図
【図６】ブレード交換装置によるブレード交換方法を示
す説明図
す説明図
【図７】ブレード交換装置によるブレード交換方法を示
す説明図
す説明図
【図８】ブレード交換装置によるブレード交換方法を示
す説明図
す説明図
【図９】ブレード交換装置によるブレード交換方法を示
す説明図
す説明図
１０…ブレード交換装置、１２…ダイシング装置、１４
…スピンドル、１６…ナット、１８…ブレード、３４…
交換装置本体、３６…トルクレンチ、３８…筒状体、４
０…チャック部、５０…つまみ、５２…爪、５４…溝、
７２…アーム、８２…圧縮ばね、９４…ピン、９６…孔
…スピンドル、１６…ナット、１８…ブレード、３４…
交換装置本体、３６…トルクレンチ、３８…筒状体、４
０…チャック部、５０…つまみ、５２…爪、５４…溝、
７２…アーム、８２…圧縮ばね、９４…ピン、９６…孔
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平７−276227（ＪＰ，Ａ)
実開 昭54−83689（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭62−46563（ＪＰ，Ｕ)
実開 平５−86463（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B23D 61/02
B23Q 3/12
B24B 45/00
B25B 13/00
B27B 5/32
H01L 21/301
Claims (1)
- 【請求項１】 スピンドルにナットを介して締結された
ブレードを、スピンドルからナットを取り外すことによ
りスピンドルから取り外し、又はスピンドルに装着され
たブレードをナットを介してスピンドルに締結するブレ
ード交換装置において、 前記ナットに係合される筒状の交換装置本体と、 前記交換装置本体の内部に設けられるとともに前記ナッ
トに形成された嵌合部に嵌合され、該ナットを保持する
チャック部と、前記交換装置本体の内部に設けられるとともに前記チャ
ック部を前記交換装置本体の内部に位置するように付勢
するばねと、 前記チャック部の孔から挿入されてスピンドルの先端面
に形成された孔に係合されるレンチとを備え、前記交換装置本体は、前記ブレード周辺に設けられた固
定部材に、アーム部材を介して交換可能位置及び該交換
可能位置から退避した退避位置との範囲で揺動自在に取
り付けられるとともに、付勢部材によって前記ナットに
押し付けられるように付勢され、 前記チャック部を前記ばねの付勢力に抗して前記交換装
置本体から突出させて前記ナットの嵌合部に嵌合させ、
前記交換装置本体と前記ナットとを、前記スピンドルの
軸を中心とする円周上に設けられた凸部と凹部とによっ
て係合させることにより、交換装置本体に対してナット
を回り止めし、 前記交換装置本体及び前記レンチによっ
てナット又はスピンドルのうち一方を回り止めするとと
もに他方を回転させることにより、スピンドルからナッ
トを取り外し、又はナットをスピンドルに締結すること
を特徴とするブレード交換装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37059999A JP3538835B2 (ja) | 1999-12-27 | 1999-12-27 | ブレード交換装置 |
| US09/748,242 US6732612B2 (en) | 1999-12-27 | 2000-12-27 | Blade exchanging device and blade exchanging method therefor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37059999A JP3538835B2 (ja) | 1999-12-27 | 1999-12-27 | ブレード交換装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001179619A JP2001179619A (ja) | 2001-07-03 |
| JP3538835B2 true JP3538835B2 (ja) | 2004-06-14 |
Family
ID=18497287
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP37059999A Expired - Fee Related JP3538835B2 (ja) | 1999-12-27 | 1999-12-27 | ブレード交換装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6732612B2 (ja) |
| JP (1) | JP3538835B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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