JP2968406B2 - オートマチックテストハンドラー - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は集積回路（ＩＣ）や半導
体チップ等の電子部品のオ−トマティックテストハンド
リングの装置と方法に関し、特に、集積回路のテストの
生産性と信頼性を高めるように改良したＩＣ搬送、テス
トシ−ケンス及びその分類機能を有すテストハンドラ−
に関する。

【０００２】

【従来の技術】電子産業界では、集積回路や半導体チッ
プ等の電子部品を、より安く又小型化する為の要求が絶
えない。それらの電子デバイスの生産性を高め、ユニッ
トコストを減少させる為の１つの方法は、それら電子部
品を同時に複数個テストすることにより、テストスピ−
ドを上げることである。

【０００３】多数の電子部品をテストトレイにのせて、
多数の対応するテストコンタクタ−（試験用接触子）の
ついたテストヘッドプレイトと位置合わせして接触させ
て試験することは、試験技術の標準になってきた。１個
のデバイスがキャリアモジュ−ルのシ−ト（空席）に備
えられ、それぞれのキャリアモジュ−ルには１また２以
上のデバイスシ−トが備えられている。テストトレイに
は多数のキャリアモジュ−ルが縦横に配置されている。
多数のキャリアモジュ−ルを有したテストトレイは、テ
ストフィクスチャに対し垂直（上部または下部のいずれ
か）に整列するように配置される。テストフィクスチャ
は、テストコンタクタ−（テストピン）を備えており、
テストコンタクタ−は、被試験デバイスのピンと接触し
て試験信号を供給し、そのデバイスからの試験結果信号
を受信する。テストトレイ又はテストフィクスチャ−が
垂直方向に動作すると、それぞれのモジュ−ルは、その
キャリヤ−モジュ−ルに備えられた電子部品とテストコ
ンタクタ−が接触するように、テストコンタクタ−と対
応して位置合わせされる。コンタクタ−には多数のテス
トピンすなわちリ−ドが設けられ、電子部品の試験の為
にその電子部品のリ−ドと電気的接触される。オ−トマ
ティックテストハンドラ−は電子部品試験システム、例
えばＩＣテスタ−、に電気的に接続される。電子部品試
験システムは、被電子部品にテスト信号を供給するテス
ト信号発生器と、試験結果を分析する信号比較器を有し
ている。それらの結果を基に電子部品は試験プロセス上
の次の位置に移動され、適切な次の操作のために分類さ
れる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来技術におけるテス
トハンドリング装備では、多数の不具合が明らかにされ
ている。第１に、そのようなオ−トマチックハンドリン
グ装置でも、個々のＩＣやチップに対し個別に広範囲な
テストハンドリングをする必要がある事である。例え
ば、テストの前に、テストトレイ上の適切な場所に設置
する為に、デバイスの容器から、テストするデバイスを
移す必要がある。又、テストの終了後、テストトレイか
らテスト済のデバイスを取り出し、テスト結果に基づき
分類し、顧客やその他の適当な目的地へ出荷する為に元
の容器に詰め替える必要がある。

【０００５】電子産業界の最近の要求により、様々な新
タイプのＩＣパッケ−ジが発達した。その上、そのよう
な新しいＩＣパッケ−ジ用の容器も発達し、外形も時と
共に変化している。そのような例として、水平面に整列
された、多数のＩＣデバイスを持つカスタマ−トレイが
挙げられ、それは上記したようなテストトレイと類似し
ている。とはいえカスタマ−トレイは規格化されておら
ず、サイズや型、収容量、シ−トとデバイス間の隙間は
メ−カ−によって著しく異なる。カスタマ−トレイ内の
間隔もテストトレイに必要なそれと異なりうる。とりわ
けテストトレイは、テストコンタクタ−とＩＣデバイス
リ−ド間の完全な接触を確実にするために、より正確な
間隔を有することが必要である。カスタマ−トレイ自身
は規格化されていないが、産業界では内部に貯蔵と輸送
の為のカスタマ−トレイを入れる容器を「カセット」又
は「マガジン」と称して、標準的に使用している。

【０００６】したがって、広い範囲のカスタマ−トレイ
の構造と寸法に適合出来るオ−トマティックテストハン
ドラ−が求められている。同時に、ＩＣデバイスの価格
を減少させる為に、テスト生産性を高める要求が募って
いる。その上、ＩＣのサイズや重量、リ−ドの長さが小
さくなる程、正確なテストは難しくなる。この様に、集
積回路産業には上記した問題や不都合を克服出来るテス
トハンドラ−が強く求められている。

【０００７】

【課題を解決するための手段、および、作用】本発明
は、広範囲のカスタマ−トレイの構造に適合でき、した
がって、一定時間内に大幅に増大した量のＩＣをテスト
する為に使用出来る改良したオ−トマティックテストハ
ンドラ−を構成する。この広範囲な適合能力が実現でき
たのは、部分的には、本発明のオートマチックテストハ
ンドラ−上の独特なロ−ダー部である第１の移動手段、
第１の搬送手段および第２の搬送手段による。そのロ−
ダー部は第１のトレイ（カスタマ−トレイ）から、正確
な寸法を有する第２のトレイ（テストトレイ）に、テス
トする電子部品（ＩＣ）を運ぶ。本発明に使われる第２
のトレイの正確さは、それぞれの電子部品の各リ−ドと
テスト手段のテストヘッドコンタクタ−機構との正確な
接触を確実にする。

【０００８】更に、本発明のオートマチックテストハン
ドラ−は、プリサイサ−によって、第１のトレイから第
２のトレイへの電子部品の正確な移動を可能にする。プ
リサイサ−は、電子部品の意図された第２のトレイの位
置に対し、電子部品を正しい方向に置く。第２の搬送手
段は、第１のトレイからプリサイサ−、そしてプリサイ
サ−から第２のトレイ内の意図した場所への電子部品の
移動の為に使われる。従って、本発明の原理に従い、電
子部品のテストは多数個同時に正確に能率よく進行出来
る。

【０００９】其に加えて、本発明のオートマチックテス
トハンドラ−は、冗長システムの使用によって最高の能
率を達成できる。即ち、冗長システムは、本発明のテス
トシ−ケンスの事実上全ての段階において、第２のトレ
イ上に並べられた一群の電子部品を、次のテスト機能の
為に待機することを可能にする。したがって、本発明の
テストハンドラ−は、待ち時間無く機能でき、電子部品
の処理量を最大にできる。この冗長性は、本発明のテス
トハンドリングの全ての段階に設けられる。例えば第１
のトレイおよび第２のトレイを収容する第１のマガジン
および第２のマガジンを受け取る部分では、同時に２つ
のマガジンを受け取る用意をする。最初のマガジンが空
になると、ハンドラ−は自動的に二番目のマガジンに移
り、そこから第１のトレイを取り出す。同様に、ロ−ダ
ー部は、電子部品が第２のトレイに移されるまで、テス
トする電子部品を有する第１のトレイを待たせる事を可
能にする、バッファ−が設けられている。同様に、ロ−
ダー部は、ピックアンドプレイスによる移送を、プリサ
イサ−へそしてそこから第２のトレイに設置する為に、
２つの第１のトレイを受け取る、２つのトレイロ−ドス
テ−ジで成っている。したがって、ピックアンドプレイ
スは、２つのロ−ダ−ステ−ジの一方の第１のトレイを
空にすると、その空の第１のトレイが取り替えられる間
にすぐに他方の第１のトレイに働き始める事が出来る。
この冗長性が本発明のテストハンドラ−の能率を最大に
する。

【００１０】同様の方法で、２つの第２のトレイを一度
に受け取れる２つのテストヘッドが設けられている。し
たがって、２つの第２のトレイに同時に同じテストをす
ることが出来、また所望により、１つの第２のトレイは
１つのテストヘッドで１まとまりのテストを受け、それ
から次の１まとまりのテストの為に第２のテストヘッド
に移される様にもできる。取り出し（アンロ−ディン
グ）に関しては、２つのアンロ−ダ−がそれぞれ１対の
トレイステ−ジと共に設けられる。更に、それぞれのア
ンロ−ダ−には、テスト結果に基づき第２のトレイ上の
電子部品を分類する為の、アンロ−ダ−ピックアンドプ
レイスが供給される。好ましくは、一方のピックアンド
プレイスは、各第２のトレイから約半分の電子部品を分
類し、他方のピックアンドプレイスで残りの約半分の電
子部品を分類する。それによって本発明による生産性を
最大にする。ロ−ダ−の場合と同様に、アンロ−ダ−
は、分類した電子部品を満たした第３のトレイと空の第
３のトレイとの迅速な交換を可能にする為に、空の第３
のトレイを収容するバッファ−を設けている。

【００１１】最後に、ロ−ダ−やアンロ−ダ−の多くの
作業は、トランスファ−ア−ムにより達成され、そのト
ランファ−ア−ム自身も２組のア−ムにより構成され
る。したがって、能率を最大にするため、トランスファ
−ア−ムは満載又は空の第１のトレイおよび第３のトレ
イ、或いは部分的に空の第１のトレイおよび第３のトレ
イのどの様な組合せも運ぶ事が出来る。従って、本発明
のテストハンドラ−は、第１のトレイから第２のトレイ
へ電子部品を正確で精密に移動させ、且つ生産性を最大
にする為の冗長システムを提供する。本発明によるオ−
トマチックテストハンドラ−は、電子部品を受け入れる
為のロ−ド部と、第１のトレイと第２のトレイ間の電子
部品を動かす為のピックアンドプレイス機構と、電子部
品をテストする為のテスト部分と、テストした電子部品
をカテゴリ−毎に分納するアンロ−ド部とにより構成さ
れている。

【００１２】

【実施例】図１および図２は概括的に、本発明のオ−ト
マティックテストハンドラ−２０の主な構成部分を示し
ている。図３の概念図は、本発明のテストハンドラ−２
０による全体のテスト方法と順序を表す。ハンドラ−と
テスト方法についての更に詳細については、図４〜図６
に関連して詳説する。この説明の全体を通して、「左」
や「右」は図４、すなわちテストハンドラ−２０の前方
から見た状態を言う。本ハンドラ−と方法は、ここに特
定の図面に関して説明されているが、本発明の原理はこ
れらの特定の構成やプロセス限らず、幾分異なるテスト
シ−ケンスを用いた異なる構成のハンドラ−にも同様に
適応することができる。

【００１３】ハンドラ−の概要 まず図１および図２に関して、本発明のテストハンドラ
−２０の主な構成部分は次の様に説明される。ハンドラ
−２０は下部キャビネット２２と中間部２４、上部２６
とで構成される。下部キャビネット２２は部分的にしか
図１には表されていないが、図２の背面図に完全に表さ
れている。下部にキャビネット２２を構成するのは、電
力供給部、電気コネクションとそのケ−ブルである。こ
れら電気コネクションとそのケ−ブルは、主にテストハ
ンドラ−２０の中部２４と上部２６におけるテスト機能
とそのシ−ケンスを統制する。

【００１４】主に図１に関して、中間部２４の前の左側
には、マガジン入力エリア２８が示されており、それ
は、ハンドラ−の中間部２４の前の右側と中央部にまた
がるマガジン出力エリア３０と直接隣接している。これ
らマガジン入力と出力エリアは、ハンドラ−２０でテス
トするＩＣ３６を配列したカスタマ−トレイ３４を、積
み重ねたマガジンを受け取る為の多数のステ−ション３
１で構成される。そのようなカスタマ−トレイマガジン
３２とカスタマ−トレイ３４は図１（Ｂ）の展開図に示
されており、後に詳説する。説明と図示を簡易にする
為、図１（Ａ）はマガジン入力エリア２８に置かれたカ
スタマ−トレイマガジン３２を一つしか表示していない
が、様々なステ−ションのマガジン入力エリア２８と出
力エリア３０が、類似したマガジン３２を受け入れるの
に適合して用いられる。

【００１５】マガジン出力エリア３０のそれぞれのステ
−ション３１には、適当な時にそれぞれのマガジン３２
内にあるカスタマ−トレイ３４を持ち上げる為の、カス
タマ−トレイエレベ−タ３８が供給されている。マガジ
ン入力エリア２８はエレベ−タ−３８を１つしか有して
いない。マガジン入力エリア２８に受け取られた２つの
マガジン３２には、テストするＩＣ３６を搭載したカス
タマ−トレイ３４を有している。マガジン出力エリア３
０のステ−ション３１にそれぞれ置いてあるマガジン３
２は、テストが終了しその結果により分類されたＩＣ３
６を有したカスタマ−トレイ３４を受け取る。図１
（Ａ）の例では、出力エリア３０のステ−ション３１が
全部で１０個表示してある。ステ−ションのこの個数に
より、例えば、８つの違ったカテゴリ−のＩＣを分類収
納すると共に、再テスト用のステ−ション１つと、空の
カスタマ−トレイ用のステ−ション１つとを残すように
構成できる。とはいえ、本発明の原理に従い、広範囲の
カスタマ−トレイ入力と出力の構成が可能である。

【００１６】図１および図４に示すハンドラ−２０の中
央部２４において、トレイハンドラ−４２を２組を有す
るトランスファ−ア−ム４０が、マガジン出力エリア３
０に表されている。このトランスファ−ア−ム４０は上
下にも左右にも移動できる、ハンドラ−２０におけるカ
スタマ−トレイ移動の仕事の大部分を実行するように、
テストハンドラ−２０の様々なセクションと相互作用す
る。このトランスファ−ア−ム４０の動作は極めて知能
的であり、ハンドラ−２０の中間部２４の右側に表され
ているディスプレイモニタ−４４や制御モジュ−ル等の
手段からの、適切ソフトウェアコマンドにより制御され
る。

【００１７】ハンドラ−２０の上部２６は、主にカスタ
マ−トレイ３４からテストトレイ４８へのＩＣの移動、
そしてその繰り返し動作が行われる上部サ−フェス４６
で成り立つ。上部サ−フェス４６の左側は、ロ−ダ−部
５０が表されている。ロ−ダ−部５０はロ−ドキャッチ
ャ−５２とカスタマ−トレイバッファ−５４、２つのロ
−ドステ−ジ５６ａと５６ｂで構成される。ロ−ダ−部
５０のすぐ右には、テストを受けた後分類したＩＣ３６
を扱うアンロ−ダ−６０が設けられている。アンロ−ダ
−６０は、右と左に位置する各一対のアンロ−ドステ−
ジ６２ａ，６２ｂ，６４ａ，６４ｂを有する。上部サ−
フェス４６の右端には、空のカスタマ−トレイ用のバッ
ファ−６６がある。このバッファ−６６の目的と機能の
詳細は後述する。

【００１８】又、図１において、ソ−クチャンバ−６８
はハンドラ−２０の中間部２４の左後方に位置し、上部
サ−フェス４６の上を少し突出している。ソ−クチャン
バ−６８は上部サ−フェス４６からテストトレイ４８を
受け取る。テストトレイ４８はテストするＩＣ３６をプ
リサイサ−７０から受け取る。プリサイサ−７０はロ−
ダ−部５０に位置するロ−ドステ−ジ５６ａ、ｂから次
々にＩＣを受け取る。ＩＣ３６は、ハンドラ−２０の上
部サ−フェス４６上を行き来するロ−ドピックアンドプ
レイス７２によって、ロ−ドステ−ジ５６ａ、ｂからプ
リサイサ−７０、そしてテストトレイ４８に移される。
ロ−ドピックアンドプレイス７２のすぐ右には、左アン
ロ−ドピックアンドプレイス７４と、右アンロ−ドピッ
クアンドプレイス７６を有する、１組のアンロ−ドピッ
クアンドプレイス機構がある。アンロ−ドピックアンド
プレイス機構７４、７６は、テスト結果によりＩＣ３６
を分類し、下部のマガジン出力エリア３０に備えた適当
なカテゴリ−のマガジン３２へ移送する為に、アンロ−
ドステ−ジ６２、６４上のカスタマ−トレイにＩＣを移
動する。テストしたＩＣ３６を含むテストトレイ４８
は、ハンドラ−２０の後部右側に位置するアンソ−クチ
ャンバ−７８からアンロ−ドピックアンドプレイス機構
７４、７６に到着する。

【００１９】主に図２の背面図において、ソ−クチャン
バ−６８（今度は図２の右側に位置する）は、ハンドラ
−２０の上部サ−フェス４６からテストトレイ４８を受
取り、エレベ−タ−メカニズム８０により、少しずつハ
ンドラ−２０の中央部２４の下部サ−フェス８２へその
テストトレイ４８を降下させる。チャンバ−６８の目的
は、ＩＣ３６を適当な温度に設定し、テストすることで
ある。それぞれのテストトレイ４８は、そこからＩＣデ
バイス３６が任意のテストを受けるための２つのテスト
チャンバ−８４ａ、８４ｂに移動する。テストトレイ４
８は、その後アンソ−クチャンバ−７８（図２の左に位
置する）に入る。そこでＩＣは、次第に周囲の温度に戻
されると共に、その間にハンドラ−２０の上部サ−フェ
ス４６まで上昇する。アンソ−クチャンバ−７８を出る
と、それぞれのテストトレイ４８は、ロ−ドピックアン
ドプレイス機構７２の隣に表されている、２つのアンロ
−ドピックアンドプレイス機構７４、７６によってＩＣ
の分類が行われる。

【００２０】本発明のそれぞれの主な構成部分は以下に
詳述するが、種々の構成部分はまたこの出願人による特
許出願の主題となっており、ここに参照して組み入れ
る。ロ−ダ−、アンロ−ダ−システムについては、１９
９１年１２月４日出願の米国特許出願番号第８０３１５
４号に、ロ−ダ−、アンロ−ダ−ピックアンドプレイス
機構は、１９９１年１２月３日出願の米国特許出願番号
第８０１８７５号に詳述されている。其に加えて、テス
トチャンバ−内のテストヘッドは、１９９１年１２月３
日出願の、米国特許出願番号第８０１０５６号により詳
述されている。

【００２１】テスト方法の全般的説明 本発明の方法の概要を、図３の略図に基づいて説明す
る。説明をたやすく便利にするため、図３で使われる参
照数字は、図１と図２に示される本ハンドラ−２０の同
様の部分と構造上対応する。図３に記してある矢印によ
って本発明の方法の各ステップを順に示している。図３
において、説明の便宜の為、ＩＣデバイス１個しか示し
ていないが、本発明の原理に基づいて、複数のＩＣデバ
イスを便宜に且つ効率良くテスト出来る。テストするＩ
Ｃデバイス３６を搭載したカスタマ−トレイを多数含む
マガジン３２は、最初にマガジン入力エリア２８に設置
される。入力エリア２８内のエレベ−タ−３８は、最上
部のカスタマ−トレイ３４がマガジン３２を越える高さ
に上昇するまで、カスタマ−トレイ３４を押し上げる。
その後ロ−ド部５０のキャッチャ−５２は降下し、テス
トするデバイス３６を有するカスタマ−トレイ３４をと
らえる。そこからキャチャ−５２はカスタマ−トレイ３
４を、バッファ−５４に移動する。バッファ−５４はカ
スタマ−トレイがロ−ドステ−ジ５６ａ、ｂの一方に受
け取られる順番を待っている。図１と図４に示してある
トランスファ−ア−ム４０は、カスタマ−トレイ３４を
バッファ−５４からロ−ドステ−ジ５６ａ、ｂの一方に
移動させる為に用いられる。ロ−ドピックアンドプレイ
ス７２は吸引力によって、テストするＩＣデバイス３６
を吸着し、それをプリサイサ−７０内に配置する。プリ
サイサ−７０はハンドラ−２０、特にテストトレイ４８
に関してデバイス３６を正確に位置合わせする。その後
ロ−ドピックアンドプレイス７２は、プリサイサ−７０
から再びデバイス３６を取上げ、テストトレイ４８上の
正確な位置に置く。ロ−ドピックアンドプレイス７２に
よるテストするデバイスの移動の後で、空のカスタマ−
トレイはロ−ドステ−ジ５６ａ、ｂから移動し、マガジ
ン出力エリア３０の右奥の空マガジンステ−ション３
１、またはアンロ−ドセクションの右端に位置する空カ
スタマ−トレイバッファ−６６に設置される。この動作
と移動はトランスファ−ア−ム４０によって達成され
る。

【００２２】次に、テストトレイ４８は、デバイス３６
が環境条件を受けるチャンバ−６８に移される。その後
テストトレイ４８は、テストヘッドチャンバ−８４ａ、
ｂに移され、電気テストが実行される。そしてテストト
レイ４８はアンソ−クチャンバ−７８中を上昇し、その
後外部に出される。ハンドラ−２０はそこから、テスト
トレイ４８を、右側のアンロ−ダ−６０ｂの位置に移動
させ、そこで右のアンロ−ドピックアンドプレイス７６
がテスト済のＩＣの約１／２を分類できるようにする。
もしそのＩＣデバイス３６が、右のアンロ−ドピックア
ンドプレイス７６によって分類されない場合は（それは
ハンドラ−によって定められる階層構造にもとづくもの
であり、詳細は後述する）、テストトレイ４８は左側の
アンロ−ダ−６０ａの下の位置まで移動され、そこにお
いて残った全てのＩＣデバイスは、アンロ−ドピックア
ンドプレイス７４により分類される。アンロ−ドステ−
ジ６２と６４のそれぞれには、テスト結果と所望のカテ
ゴリ−に従って分類したＩＣを受け取るためにカスタマ
−トレイ３４が用意してある。カスタマ−トレイ３４
が、満杯か又は分類にはもう必要でない場合、トランス
ファ−ア−ム４０はカスタマ−トレイ３４をアンロ−ド
ステ−ジ６２、６４から移し、マガジン出力エリア３０
内のハンドラ−２０のサ−フェス４６の下に位置する、
ソ−トマガジン３２に配置する。その後テストトレイ４
８は、新たなテストするデバイス３６を受け取るため
に、左側のアンロ−ダ−部からロ−ダ−部に搬送され
る。

【００２３】マガジン入力エリアの詳細な説明 マガジン入力エリア２８を、図１（Ａ）、（Ｂ）、およ
び、図４の正面図によって説明する。マガジン入力エリ
アは、図４に示したようなカスタマ−トレイマガジン３
２を２つ受け取れるマガジンシフタ−８６と、図４の点
線で示した様な固定したカスタマ−トレイエレベ−タ−
３８で成っている。上記した様に、マガジン入力エリア
２８の目的は、テストするＩＣを有するカスタマ−トレ
イ３４を含むマガジン３２を受け取る事である。これら
のマガジン３２はオペレ−タ−或いは他の機械的な方法
によって入力エリア２８に積み込まれる。例えば、ロボ
ット又は自動誘導器（ＡＧＶ）により、カスタマ−トレ
イマガジン３２を入力エリア２８に積込み、マガジン出
力エリア３０から移動させる事が出来る。このＡＧＶは
ハンドラ−２０のマガジンステ−ション３１が位置する
中間部２４の開放部分に作用することができる。

【００２４】マガジンシフタ−８６は、左マガジンステ
−ション３３ａと右マガジンステ−ション３３ｂとが、
横に並んで構成されている。図１（Ｂ）は典型的なカス
タマ−トレイマガジン３２を表している。その様なカス
タマ−トレイマガジン３２の外形寸法は、広範囲のハン
ドラ−との互換性の為に規格化されている。とはいえ上
記の様に、マガジン３２に格納してあるカスタマ−トレ
イ３４の寸法と形状は、規格化されておらず、様々な寸
法や配置を取りうる。図１（Ｂ）にある様に、マガジン
３２は４角の箱状の構造をしており、その中に複数のカ
スタマ−トレイ３４が上下に積み重ねられる。各カスタ
マ−トレイ３４は、マガジン３２にそれぞれ水平に挿入
される。カスタマ−トレイ３４には上部表面に多数のシ
−ト３５が配列され、それらシ−トにはそれぞれテスト
するＩＣ３６が含まれている。この様にカスタマ−トレ
イ３４はそれぞれ、本ハンドラ−２０のピックアンドプ
レイス機構でアクセスできるように、上部が開放されて
いる。ロ−ドエレベ−タ−３８は、下部のステッパ−モ
−タ−で作用し、１つずつアクセスできるように、マガ
ジン３２を通ってカスタマ−トレイ３４を押し上げる。

【００２５】マガジン３２は一般にオ−プンフレイム構
造をしており、その中に待機してあるカスタマ−トレイ
３４の数が開放側から確認できるようになっている。特
に重要な事は、以下に詳述するように、マガジンの下部
サ−フェスは又、中に待機するカスタマ−トレイ３４を
上に上げる為のエレベ−タ−３８を受け取る為に、大き
な４角形のオ−プンスペ−ス３７が供給されていること
である。マガジンシフタ−８６はロッド８８上を横に動
くように入力エリア２８に備えつけてある。エレベ−タ
−３８はロ−ド部５０のキャッチャ−５２の左の位置の
下に固定されている。エレベタ−３８は、ステッパ−モ
−タ−３９で駆動され、これにより、カスタマ−トレイ
を、カスタマ−トレイマガジン３２から、ロ−ドキャッ
チャ−５２に受け取られる位置へ、垂直方向に１つずつ
持ち上げる。ロ−ドキャッチャ−５２は、最上部のカス
タマ−トレイ３４をつかみ取り、ハンドラ−２０の他の
場所へ移す事によって、本発明のテストシ−ケンスを開
始する。左マガジンステ−ション３３ａのマガジン３２
内のカスタマ−トレイ３４が全て空になると、エレベ−
タ−３８は降下し、右マガジンステ−ション３３ｂがエ
レベ−タ−３８と一列に上方に並ぶようにマガジンシフ
タ−８６は左へ移る。右マガジン３２のカスタマ−トレ
イ３４が全て空になるまで、エレベ−タ−３８はカスタ
マ−トレイ３４を、右マガジン３２からキャッチャ−５
２に対する位置まで持ち上げ続ける。この時点で、空の
カスタマ−トレイマガジン２つを、新しい満載のカスタ
マ−トレイマガジン２つに取り替えるように、オペレ−
タ−やＡＧＶに知らせるようにアラ−ム音を発生する。

【００２６】この再積込みは次の様に行われる。オペレ
−タ−やＡＧＶは先ず右マガジンステ−ション３３ｂに
満載のマガジンを積んでボタン（図には無い）を押し、
シフタ−８６を右に移動させる。オペレ−タ−やＡＧＶ
は満載マガジン３２を、キャッチャ−５２と並んだ左マ
ガジンステ−ション３３ａに、図４で示したように、移
動させる。シフタ−８６とエレベ−タ−３８は、これら
のマガジン３２からカスタマ−トレイ３４を、１つずつ
キャッチャ−５２に移動させる準備が完了する。カスタ
マ−トレイマガジン３２の２個を同時に取り外しまた搭
載しても、ハンドラ−２０において遅れは生じない。こ
れはアラ−ム音が鳴るとき、３つのカスタマ−トレイ３
４、即ちバッファ−５４の位置のトレイが１つと、ロ−
ドステ−ジ５４ａ、５４ｂのトレイ２つとが、既に進行
している為であり、これについての詳細は後述する。

【００２７】ロ−ド部の詳説 本発明のロ−ド部５０を図１と図５の平面図とにおいて
詳しく説明する。一般に、ロ−ダ−５０の目的は、テス
トするＩＣ３６を有するカスタマ−トレイ３４を入力エ
リア２８から受取り、そのＩＣ３６をプリサイサ−７０
に移し、且つそこからテストトレイ４８に移すことであ
る。ロ−ダ−５０とプリサイサ−７０とテストトレイ４
８間のアクセスを容易にする為に、ハンドラ−２０の上
部サ−フェス４６に並んだピックアンドプレイス機構
は、この過程でロ−ダ−５０を大いに援助する。上記し
たようにロ−ダ−５０は、キャッチャ−５２とバッファ
−５４、ロ−ドステ−ジ５６ａと５６ｂとで構成され
る。キャッチャ−５２は、水平のレ−ル５３上で、左の
位置（図１、図５に表示）からバッファ−５４上となる
右の位置（図には無い）を行き来する。バッファ−５４
もレ−ル５５上を水平に、右から左の位置に行き来す
る。バッファ−５４は図１と図５において、中間位置に
表示されているが、これは移動の途中である事を示す。
キャッチャ−５０は左の位置から動作を開始し、最上部
のカスタマ−トレイ３４を受け取る為に降下し、上部の
位置に戻ったあと、右の位置に移動する。それからキャ
ッチャ−５２は降下して、左に位置するバッファ−５４
上に、カスタマ−トレイ３４を置く。その後キャッチャ
−５２は、もう一つのカスタマ−トレイ３４を取るため
に左の位置に戻る。そしてバッファ−５４は、右の位置
に移動し、２つのロ−ドステ−ジ５６ａ、ｂの一方が空
くまで待機する。

【００２８】キャッチャ−５２は、図５で最も良く表さ
れるように、カスタマ−トレイ３４に跨がるア−ム５７
ａ、ｂの一組で構成される。キャッチャ−５２が最上部
のカスタマ−トレイ３４と接触するとき、キャッチャ−
５２の４つのピン（図には無い）は、空気圧により駆動
されて、水平に延び、カスタマ−トレイ３４の下部と結
合して、トレイ３４をキャッチャ−５２に捕らえる。こ
の結合によりキャッチャ−５２は、トレイ３４をバッフ
ァ−５４上の次の位置に移動させる事が出来、バッファ
−５４上でピンは収縮されキャッチャ−５２はトレイ３
４を解放する。

【００２９】バッファ−５４は、ハンドラ−２０の前部
に、カンチレバ−状（片側支持）に設置してある水平で
大きな長方形プレ−ト５８で構成される。バッファ−５
４の上下左右のさまざまな運動や、キャッチャ−５２の
運動は、空気圧力によるのが好ましいが、当業者にとっ
て容易に他の動作手段も使用できる。バッファ−５４の
目的は、ロ−ドステ−ジ５６ａ、５６ｂと隣接する位置
に満載のカスタマ−トレイ３４を準備状態に置くことに
より、もう一つのカスタマ−トレイ３４を受け取るため
に、キャッチャ−５２が左の位置に戻れる様にする事で
ある。必要であれば、オペレ−タ−は２つの空のカスタ
マ−トレイマガジン３２を、２つの満載のトレイマガジ
ン３２と取り替える間、満たんのカスタマ−トレイ３４
をバッファ−５４が保持しておくことができる。したが
って、ハンドラ−２０の積込み操作は、空のマガジン３
２を取り替えている間も続けることが出来る。この様に
バッファ−５４は、キャッチャ−５２を迅速に、遅れる
ことなく機能させると言うこの発明での重要な目的を達
する。バッファ−５４は２つのロ−ドステ−ジ５６ａ、
ｂと接近するように、満たんのカスタマ−トレイ３４を
有した状態で右へ移動する。ロ−ドステ−ジ５６ａ、ｂ
の一方に空のカスタマ−トレイ３４がある場合は、トラ
ンスファ−ア−ム４０は空のカスタマ−トレイ３４を取
り除き、バッファ−５４上にある、満たんのカスタマ−
トレイ３４と取り替える。その後キャッチャ−５２か
ら、別の満たんのカスタマ−トレイ３４を受け取れる様
に、バッファ−５４は左の位置に戻り、そして、この動
作を繰り返す。この様にバッファ−５４はロ−ドステ−
ジ５６ａ、ｂの補助又は冗長システムでもあり、空のカ
スタマ−トレイ３４がロ−ドステ−ジ５６ａ、ｂの一方
に位置する場合でも、ＩＣの積込み動作を続けることを
可能にする。

【００３０】これに関して、本発明のトランスファ−ア
−ム４０の機能について良く理解することが必要であ
る。本発明のハンドラ−２０のトランスファ−ア−ム４
０は、非常に良く働く構成部品であり、例えば、１０か
２０のテ−ブルに給仕するウェ−トレスに例えることが
できる。トランスファ−ア−ム４０は２組のハンド４２
ａ、ｂで構成され、それぞれのハンドの組は、カスタマ
−トレイ３４を受け取る為の、レセプタクル４１ａ、ｂ
を規定する。トランスファ−ア−ム４０は図４の正面図
に良く表わされているように、上下と共に水平に動く。
トランスファ−ア−ム４０の横向きの運動は垂直レ−ル
４３上の動きによって達成され、上下運動は後部の垂直
スライドメンバ−（図には無い）によって達成される。
トランスファ−ア−ム４０のハンド４２ａ、ｂの組は、
マガジン出力エリア３０と様々なロ−ド／アンロ−ドス
テ−ジ５６、６２、６４の下部に達するように、後方か
らカンチレバ−状に支持される。レセプタクル４１ａ、
ｂは、それぞれキャッチャ−５２と同様に、カスタマ−
トレイの下に結合する為に、空気圧で動く２組のピン
（図には無い）で構成される。この様に、様々な状態の
ＩＣ３６を有するカスタマ−トレイ３４又は空のカスタ
マ−トレイ３４は、レセプタクル４１ａ、ｂに収容する
ことが出来、これにより下記に詳説するように、トラン
スファ−ア−ムによる移動の時間と運動を最小に出来
る。例えば、ロ−ドステ−ジ５６ａ、ｂの一方に位置す
る空のカスタマ−トレイ３４と迅速に取り替える位置に
成るように、トランスファ−ア−ム４０は満たんのカス
タマ−トレイ３４を１つ有することが望ましい。もしそ
うでない場合は、分類シ−ケンスパラメ−タ−に基づ
き、トランスファ−ア−ム４０は永い距離と時間を費や
すことなく、バッファ−５４の満たんのカスタマ−トレ
イ３４を確保する。その上、リセプタクル４１ａ、４１
ｂの１つは、トランスファ−ア−ム４０の別のリセプタ
クルにある、満たんのカスタマ−トレイ３４と取替えら
れた、空のカスタマ−トレイ３４を受け取る事が出来
る。

【００３１】ロ−ダ−５０のロ−ドステ−ジ５６ａ、ｂ
は、トランスファ−ア−ム４０のサ−ビスを受ける為に
相互に同様に動作する。従って、便宜の為にロ−ドステ
−ジ５６ａのみの記述をする。ロ−ドステ−ジ５６ａ
は、ハンドラ−２０の上部サ−フェス４６で形成される
オ−プニング６１内を垂直に動作する、大型の長方形プ
レ−ト５９ａで構成される。バッファ−５８のように、
ロ−ドステ−ジ５６ａのプレ−ト５９ａは、ハンドラ−
２０の前部にカンチレバ−状に取り付けられており、垂
直レ−ル（図には無い）上に滑走できるように備えつけ
てある。したがって、満たんのカスタマ−トレイ３４を
受け取るか、又は空のカスタマ−トレイ３４を移すのを
可能にするように、ロ−ドステ−ジ５６ａは下部位置
（図には無い）へ移動出来る。ハンドラ−２０のサ−フ
ェス４６まで、ロ−ドステ−ジ５６ａは上昇する事が出
来、そこでロ−ドピックアンドプレイス７２によって、
プレ−ト５９ａにあるカスタマ−トレイ３４上のＩＣに
対しアクセス出来る。

【００３２】ロ−ドステ−ジ５６ａ、ｂのそれぞれの目
的は、テストトレイ４８へ迅速にＩＣを移送するため
に、テストするＩＣ３６を有するカスタマ−トレイを、
プリサイサ−７０に接近する位置に置くことである。し
たがって、ロ−ドピックアンドプレイス７２は、相互に
並んだロ−ドステ−ジ５６ａ、ｂとプリサイサ−７０と
テストトレイ４８の上方にくるように、ハンドラ−２０
の上部サ−フェス上に構成される。（図５参照）。ロ−
ドピックアンドプレイス７２は、ロ−ドステ−ジ５６
ａ、ｂ上のカスタマ−トレイ３４からＩＣ３６を移動さ
せ、プリサイサ−７０に置き、其から再びテストトレイ
４８に移す為に、左右にも前後にも動ける。テストハン
ドラ−２０の後部にあるステッパ−モ−タ−（図には無
い）は、Ｘ−Ｙプロッタ−内のペンと同様の運動となる
ように、プ−リ−、ベルト、及びシャフト（図には無
い）を通じて、ロ−ドピックアンドプレイス７２を水平
運動させる。ロ−ドピックアンドプレイス７２は、ハン
ドラ−２０の上部サ−フェス上を前後に通る、２つのレ
−ル７３ａ、ｂに沿って水平運動するように備えられ、
且つレ−ル７３ａ、ｂを左右に通る水平バ−９０上を移
動出来るように備えられている。

【００３３】好ましくは、ロ−ドピックアンドプレイス
７２は、８個のピックアップ（図には無い）が設けられ
るが、その他の数や構成も可能である。これらピックア
ップは、カスタマ−トレイ３４とプリサイサ−７０、テ
ストトレイ４８の間に移したＩＣデバイス３６間の距離
を変えるために、互いに左右方向に間隔を調整できる。
この調整手段は、１端から他端に直線的に増加する運動
を伝える為に、パンタグラフ機構を１または２以上有し
ている。プリサイサ−７０には、傾斜したチャンバ−で
成るキャビィティ−７１を、８個供給するのが望まし
い。したがって、ロ−ドピックアンドプレイス機構７２
が、プリサイサ−７０のキャビィティ−７１に、テスト
するＩＣ３６を落下させることにより、ＩＣ３６は重力
により落下し、ハンドラ−２０に関して一定方向に正確
に方向付けと間隔調整が行われる。

【００３４】上記した様に、カスタマ−トレイ３４は様
々な構成を取り、それぞれの列に４個、６個、或いは１
０個等のＩＣを収納する列を含む。ロ−ドピックアンド
プレイス７２は一度に、１つのロ−ドステ−ジ５６ａ上
のカスタマ−トレイ３４に作用し、それを空にすると２
番目のロ−ドステ−ジ５６ｂに作用を開始する。したが
って、１列に４つのＩＣ３６を有するカスタマ−トレイ
３４がロ−ドステ−ジ５６ａにある場合は、ロ−ドピッ
クアンドプレイス７２は一度に２列からＩＣを取り上げ
プリサイサ−７０に移す事が出来る。カスタマ−トレイ
３４が一列に６つのＩＣを有する場合は、ロ−ドピック
アンドプレイス７２は一列から全部と、二番目の列から
２個のデバイスを取り上げることができる。ロ−ドステ
−ジ５６ａではＩＣの分類の必要が無いので、ロ−ドピ
ックアンドプレイス７２は、ＩＣ３６を正確にテストト
レイ４８に置くため迅速に能率良く働ける。ロ−ドピッ
クアンドプレイス７２はロ−ドステ−ジ５６ａのカスタ
マ−トレイ３４を一つ空にすると、隣接するロ−ドステ
−ジ５６ｂへ水平運動しロ−ド作用を続ける。この様に
本発明のロ−ダ−５０の利点は、遅れることなくハンド
ラ−２０を動かせ続けることの出来る冗長性ロ−ドステ
−ジ５６ａ、ｂを有することである。つまり、ロ−ドピ
ックアンドプレイス７２が第２のカスタマ−トレイロ−
ドステ−ジ５６ｂからＩＣ３６を積み込む間に、トラン
スファ−ア−ム４０は空のカスタマ−トレイを、リセプ
タクル４１ａ内に置き、満たんのカスタマ−トレイ３４
をロ−ドステ−ジ５６ａに置くことにより空のカスタマ
−トレイ３４と取り替える事ができ、これにより、ロ−
ドピックアンドプレイス７２が第２のカスタマ−トレイ
３４を終了したときに、積込みがただちにできる。

【００３５】トランスファ−ア−ム４０は、第２のロ−
ドステ−ジ５６ｂが積み込まれている間に、空のカスタ
マ−トレイ３４と満たんのそれとを取り替える為の時間
を有する。これは特にトランスファ−ア−ム４０のリセ
プタクル４１ａに、満たんのトレイが置かれている場合
にあてはまる。とはいえ、そうでなくても、バッファ−
５４は上記した様に、ロ−ドステ−ジ５６ａ、ｂに十分
近接しており、トランスファ−ア−ム４０が満たんのカ
スタマ−トレイ３４を取り上げる為の時間と距離を最短
にできる。

【００３６】別の仕事の要求が出されない限り、トラン
スファ−ア−ム４０はその後バッファ−５４の方向に横
移動し、もう１つの満たんのカスタマ−トレイ３４を回
収する。その後トランスファ−ア−ム４０は、空のカス
タマ−トレイ３４を空のステ−ションマガジン３１ａ又
はアンロ−ドバッファ−６６に置くために右へ移動す
る。

【００３７】アンロ−ド部の詳説 本発明のハンドラ−２０におけるアンロ−ド部６０を、
図１と図５の平面図により詳しく説明する。一般にアン
ロ−ダ−６０の目的は、アンソ−クチャンバ−７８から
出た、テストを受けたＩＣ３６を、対応するテストトレ
イ４８から分類し、それらを様々なアンロ−ドステ−ジ
６２、６４にある、カスタマ−トレイ３４に配給して、
その後マガジン出力エリア３０に、カスタマ−トレイ３
４を移送できるようにする事である。アンロ−ドステ−
ジ６２、６４からのカスタマ−トレイ３４は、所望の分
類カテゴリ−に従って、該当するマガジンステ−ション
３１に配置される。本ハンドラ−のアンロ−ダ−６０
は、これらの作業において、２つのアンロ−ドピックア
ンドプレイス機構７４、７６、および当然に、トランス
ファ−ア−ム４０による大きな援助を受ける。アンロ−
ダ−６０は、図５で良く表されている様に、２組の互い
に並んだ対のアンロ−ドステ−ジ６２ａ、ｂと６４ａ、
ｂの４つで構成される。アンロ−ダ−６０ａはロ−ダ−
部５０の右にあり、ロ−ドステ−ジ６２ａと６２ｂで構
成している。アンロ−ダ−６０ｂはアンロ−ダ−６０ａ
の右にあり、アンロ−ダ−ステ−ジ６４ａと６４ｂで構
成される。アンロ−ドステ−ジ６４ｂの右には、分類工
程を容易にするのに役立つように、空のカスタマ−トレ
イ３４を保持するアンロ−ドバッファ−６６が設けられ
ている。

【００３８】アンロ−ダ−６０ａは、アンロ−ドステ−
ジ６２ａと６２ｂと前後方向に動作する、左側のアンロ
−ドピックアンドプレイス７４の援助を受ける。同様
に、アンロ−ダ−６０ｂは、図５に示すように、テスト
トレイ４８とアンロ−ドステ−ジ６４ａと６４ｂと共に
配列された、右側のアンロ−ドピックアンドプレイス７
６の援助を受ける。アンロ−ドピックアンドプレイス７
４、７６は、それぞれロ−ドピックアンドプレイス７２
と同様の方法で動作する。即ちそれぞれは、アッパ−サ
−フェス４６上を前後にわたる２つのレ−ル７３ａ、ｂ
に沿って水平運動をするように設置されている。アンロ
−ドピックアンドプレイス７４、７６は又、レ−ル７３
ａ、ｂに交わる水平バ−７５、７７上に沿って左右に移
動できるように取り付けられている。好ましくは、各ピ
ックアンドプレイス７４、７６は、テストトレイ４８か
らＩＣ３６を取り上げ、アンロ−ドステ−ジ６２、６４
の一方にあるカスタマ−トレイ３４へ移す為に、上下に
ＩＣを移動出来るピックアップ４個を備えている。

【００３９】アンロ−ドステ−ジ６２、６４はそれぞ
れ、ロ−ドステ−ジ５６ａ，ｂと同様の方法で作動す
る。便宜の為に、ここではアンロ−ドステ−ジ６４ａと
６４ｂの作動のみを記述する。アンソ−クチャンバ−７
８からテストトレイ４８が送り出されると、最初に、ア
ンロ−ダ−６０ｂの位置で停止し、アンロ−ドピックア
ンドプレイス７６により、約半分のＩＣデバイス３６が
分類される。下記により詳しく説明するように、テスト
トレイ４８はアンロ−ダ−６０ａの位置へ移動されて、
残りの約半分のＩＣデバイス３６が、アンロ−ドピック
アンドプレイス７４で分類される。テストトレイ４８が
アンロ−ダ−６０ｂの位置に付くと、２つの空のカスタ
マ−トレイ３４は、既にアンロ−ドステ−ジ６４ａと６
４ｂに設置されており、更に空のカスタマ−トレイ３４
はアンロ−ドバッファ−６６上にも備えられている。コ
ントロ−ルモジュ−ルは、テスト結果とそれによりテス
トトレイ４８上のＩＣ３６が該当する各カテゴリ−を認
知している。その為ＩＣ３６の分類は直ちに開始でき
る。アンロ−ドピックアンドプレイス７６は、テストト
レイ４８から一列ごとにＩＣ３６を取り出し、アンロ−
ドステ−ジ６４ａか６４ｂの一方にあるカスタマ−トレ
イ３４に移すことにより、ＩＣ３６の最初のカテゴリ−
を分類し始める。アンロ−ドピックアンドプレイス７６
は、第２のカスタマ−トレイに積込みを開始する前に、
最初のカスタマ−トレイに積込みをしようとする。

【００４０】したがって、例えば、もしアンロ−ドステ
−ジ６４ａのカスタマ−トレイ３４が満杯となった場合
は、アンロ−ダ−ピックアンドプレイス７６は、アンロ
−ドステ−ジ６４ｂにあるカスタマ−トレイ３４に積込
みを始める。後者のカスタマ−トレイ３４に搭載してい
る間に、トランスファ−ア−ム４０は、アンロ−ドステ
−ジ６４から満たんのカスタマ−トレイ３４を取り出
し、空のトレイ３４と交換する。空のトレイはアンロ−
ドステ−ジ６４ａ、ｂに近接して設けられた、アンロ−
ドバッファ−６６から得られる。ロ−ドバファ−５４と
同様の方法で、アンロ−ドバッファ−６６はアンロ−ド
ステ−ジ６２、６４に近接した位置で、空のカスタマ−
トレイ３４を保持し、トランスファ−ア−ム４０の動作
に必要な時間と距離を減少させる。他の方法としては、
空のカスタマ−トレイ３４は、マガジン出力エリア３０
のアンロ−ドステ−ジ６２、６４の下部にある、空のカ
スタマ−トレイステ−ション３１ａから得ることもでき
る。

【００４１】アンロ−ドステ−ジ６４ａから取り出され
た、満載のカスタマ−トレイ３４は、その後、トランス
ファ−ア−ム４０によって、マガジン出力エリア内の適
当なカスタマ−トレイマガジンステ−ション３１へ移動
される。このステ−ション３１の配列はカスタマ−トレ
イ３４上の、分類されたＩＣ３６に対応するカテゴリ−
に従う。

【００４２】しばしば、テストトレイ４８から分類する
ＩＣ３６中の、特定のカテゴリ−に収まるＩＣが、カス
タマ−トレイ３４を満たんにするのに十分でない場合が
ある。そのような特定のカテゴリ−の為の分類が終わる
と、部分的に満たされたカスタマ−トレイ３４は、トラ
ンスファ−ア−ム−４０によって、マガジン出力エリア
３０中の対応するカスタマ−トレイマガジンステ−ショ
ン３１に戻される。そのカテゴリ−が後のテストトレイ
４８から分類されると、トランスファ−ア−ム４０は適
当なマガジンステ−ション３１から、部分的に満たされ
たカスタマ−トレイ３４を回収し、アンロ−ドステ−ジ
６２、４６の一方に戻す。コントロ−ルモジュ−ルのソ
フトウェアは、例えカスタマ−トレイ３４が種々の工程
で、小量ずつ搭載されても、カスタマ−トレイ３４のそ
れぞれに搭載されたデバイス３６の数を正確に数え続け
る。そのカテゴリ−の為のカスタマ−トレイが満たんと
成ったときは、トランスファ−ア−ム４０は、それをマ
ガジン３２へ戻してそこに格納する。そのカテゴリ−つ
いてのＩＣ３６のその後の分類は、空のカスタマ−トレ
イ３４に開始される。

【００４３】アンロ−ダ−６０ｂにおけるテストトレイ
４８からの分類が終わると、テストトレイ４８はアンロ
−ダ−６０ａへ移る。そこではテストトレイからＩＣ３
６の残りが取り出される。その後、空のテストトレイ４
８は、ロ−ダ−５０にプリサイサ−と隣接するように移
動する。ハンドラ−２０の上部サ−フェス４６上の３つ
のテストトレイ４８は同時に移動する。即ち、ロ−ダ−
５０のテストトレイ４８はソ−クチャンバ−６８に移動
し、アンロ−ダ−６０ａからのテストトレイ４８はロ−
ダ−５０の位置へ移動し、アンロ−ダ−６０ｂからのテ
ストトレイ４８はアンロ−ダ−６０ａへ移動する。それ
と同時に、アンロ−ダ−６０ｂの空きを埋める為に、ア
ンソ−クチャンバ−７８内から、テストトレイ４８が取
り出される。このようにして、テストと分類は遅延や中
断なく、連続して行われる。この連続したテスト進行の
為には、テストトレイ４８は、ハンドラ−２０のそれぞ
れのステ−ジから次へと、連続しなくてはならない。当
然の事ながら、有限数のＩＣのテストをする場合は、こ
のような連続動作は、最初に多数のテストトレイ４８が
処理された後に初めて可能となり、最後のテストトレイ
が搭載されるまで継続する。

【００４４】その上、ロ−ド部に見られた冗長性とその
結果の高能率は、同様に本発明のハンドラ−２０のアン
ロ−ダ−６０においても得られる。テストした後のＩＣ
３６の分類は、テストしてないＩＣの単純な積み込みの
場合よりも、多くの時間を必要とするので、２つのアン
ロ−ダ−６０ａ、ｂと、それに対応するピックアンドプ
レイス機構７４、７６が、この過程を促進する為に備え
られている。同じように、カスタマ−トレイ３４が満た
んのときでもＩＣの分類を続けられるように、２つのア
ンロ−ドステ−ジ６２、６４が備えられている。空のト
レイバッファ−６６も、分類進行をたやすくし、トラン
スファ−ア−ム４０に要求される移動量を減らすように
備えられている。こうして本ハンドラ−はＩＣテストの
スル−プットを最大に出来る。

【００４５】マガジン出力エリア３０の詳説 マガジン出力エリア３０について、図１と図４の正面図
にもとづいて詳細に説明する。一般に、ハンドラ−２０
のこの部分の目的は、それぞれのステ−ション３１のカ
スタマ−トレイマガジン３２を多数収容する事と、ＩＣ
テストの結果に基づき、アンロ−ドステ−ジ６２、６４
から、カスタマ−トレイ３４を受け取る事である。最初
はそれぞれのマガジン３２は空である。テスト済のＩＣ
の分類が継続するに従い、マガジン３２は、分類したＩ
Ｃ３６を完全に、又は部分的に満たしたカスタマ−トレ
イ３４を受け取る。マガジンステ−ション３１は、それ
ぞれの分類カテゴリ−に対応する。したがって、そのテ
ストごとに、カスタマ−トレイマガジン３２を含むステ
−ション３１の数は様々に異なる。普通は４つか８つの
カテゴリ−が望ましい。１のカテゴリ−は当然受け入れ
られるすなわち良品のＩＣ用である。他の分類カテゴリ
−はテスト済のＩＣの、固有な不良と関連する。本ハン
ドラ−２０による固有の不良の区分は、ＩＣ製造業者が
これらの欠陥を修正するのに役立つ。

【００４６】図４で示した例では、全部で１０個のマガ
ジンステ−ションが示してある。とはいえ様々な他の構
成やステ−ション数が可能であり、この例では８つの分
類カテゴリ−と、ＩＣを再テストする為のステ−ション
１つと、空のカスタマ−トレイ３４を単に格納する為の
１つのステ−ション３１ａがトランスファ−ア−ム４０
によって使用するために用いられる。

【００４７】マガジン出力エリア３０のステ−ション３
１は、それぞれハンドラ−に添え付けられた、マガジン
プラットフォ−ム４５で構成される。プラットフォ−ム
４５は、ステッパ−モ−タ−４９で作動する、カスタマ
−トレイエレベ−タ−４７上に位置している。各ステ−
ション３１のプラットフォ−ム４５上にマガジン３２を
設け、エレベ−タ−４７は図１のように、最初は上昇し
た位置に置かれる。これはマガジン３２は最初は空で有
るためである。トランスファ−ア−ムによってアンロ−
ドステ−ジ６２、６４の一方からカスタマ−トレイ３４
を受け取ると、エレベ−タ−４７はカスタマ−トレイ３
４を高い位置に保持する。したがって、もしカスタマ−
トレイ３４が完全に満たんで無い場合には、トランスフ
ァ−ア−ム４０は次のテストトレイ４８から分類を受け
る為に、カスタマ−トレイ３４を回収する必要がある。
したがって、満たんで無いカスタマ−３４を、高い位置
に保つことによって移動時間は短縮される。

【００４８】マガジン３２が満載のカスタマ−トレイ３
４を受け取るときは、トレイ３４はエレベ−タ−４７に
よってマガジン３２内に蓄積される。すなわちちエレベ
−タ−４７はステッパ−モ−タ−４９によって一段階下
げられる。その次のカスタマ−トレイ３４はその後、収
容されたカスタマ−トレイの上に積み重ねることが出来
る。次第にステ−ション３１のそれぞれのマガジン３２
は、カスタマ−トレイ３４で一杯に成る。その時は、ハ
ンドラ−２０はアラ−ム音を鳴らし、オペレ−タ−又は
他のＡＧＶは、満たんのマガジンを空のマガジン３２と
取り替える。したがって、分類は遅れることなく継続で
きる。

【００４９】ハンドラ−の操作の詳説 本発明のハンドラ−の動作と方法を、図６において詳し
く説明する。図６はマガジン入力エリア２８、ロ−ダ−
５０、アンロ−ダ−６０及びマガジン出力エリア３０
を、ほぼ正面から見た図を示す。本ハンドラ−２０の動
作はコントロ−ルモジュ−ルによって制御される。特に
積込みや積下ろしのロジックやシ−ケンスなどの、本ハ
ンドラ−２０の様々な装置やメカニズムにおける機械的
な運動は、コントロ−ルモジュ−ルによって使用される
ソフトウエアによって管理される。本発明のこれらの特
徴が一度理解されると、そのようなソフトウエアの作成
は、当技術分野の通常の能力を有する者に容易に実現で
きる。さらに、様々な装置やメカニズムにおける機械的
な運動は、当技術分野のの通常の能力を有する者が容易
に理解できるように、空気的、電気的、又は他の方法に
より駆動することができる。

【００５０】能率と生産性を増すことを可能とする本ハ
ンドラ−２０の操作は、積込み（ロ−ディング）と積み
下ろし（アンロ−ディング）の２面に分けられる。ロ−
ディングの段階は、満たんのカスタマ−トレイ３４を収
容した、マガジン３２の本システムへの入力を有し、ア
ンロ−ディング段階は、テスト済のＩＣ３６の分類、テ
スト結果にもとづき分類したＩＣ３６で成る、カスタマ
−トレイ３４のマガジン３２への再積込みを有する。こ
の様に、本発明の重要な特徴は、ロ−ディングとアンロ
−ディングの双方が、格別の遅れもなく同時に行えるこ
とにある。更に、ロ−ディングとアンロ−ディングの双
方は、２つのレセプタクル４１ａ、ｂを有する、１個の
トランスファ−ア−ムにより相互に援助されている。加
えて、図４又は第６図の概要図に表示したように、トラ
ンスファ−ア−ム４０は、マガジン出力エリア３０やロ
−ダ−５０及びアンロ−ドステ−ジ６２、６４に近く能
率的に配置されるように、コンパクトに装備されてい
る。このコンパクトな装備により、トランスファ−ア−
ム４０が移動する距離を減らすと共に、その移動に必要
な時間も短縮する。

【００５１】この様に、ロ−ディング及びアンロ−ディ
ングの間も、トランスファ−ア−ム４０はハンドラ−２
０の様々な位置からの仕事の「コ−ル」を多数受け取
る。トランスファ−ア−ム４０の運動量を減らす為に、
コントロ−ルモジュ−ルのソフトウェアは、トランスフ
ァ−ア−ムのそれぞれの移動の位置について、２以上の
機能を達成するように試みる。例えばもしカスタマ−ト
レイ３４を取り上げるように命じられると、ハンドラ−
２０はトランスファ−ア−ム４０がその同じ移動上にお
いて、リセプタクル４１ａ，ｂにあるもう１つのカスタ
マ−トレイ３４を、その要求された取り上げ位置に近接
した位置に配給するように動作させる。つまり、ロ−ダ
−５０への移動において、トランスファ−ア−ム４０は
ロ−ディングの機能を行い、同時に満たんのカスタマ−
トレイ３４をロ−ド５０に隣接する、マガジン出力エリ
ア３０の左部にあるマガジンステ−ション３１に配給す
る。

【００５２】本発明ハンドラ−２０の動作は、実際の例
を図５、図６を参照することにより良く表せる。テスト
動作が起動されたハンドラ−２０において、２つのカス
タマ−トレイマガジン３２はマガジン入力エリア２８中
のシフタ−８６へ積み込まれる。最上部のカスタマ−ト
レイ３４が、マガジン３２中でわずかに上昇できるよう
に、エレベ−タ−３８がシフタ−８６の、左のマガジン
３２中のカスタマ−トレイ３４を持ち上げることからプ
ロセスが始まる。次にキャッチャ−５２は最上部のカス
タマ−トレイ３４をつかみ、図６に示すようにに右へ移
してから、最も左に移動した状態のバッファ−５４上
に、そのカスタマ−トレイ３４を置く。その後バッファ
−５４は、その移動可能な最右端まで移動し、そこでト
ランスファ−ア−ム４０が、カスタマ−トレイ３４を受
取って、それをロ−ドステ−ジ５６ａに移す。次に、ロ
−ドピックアンドプレイス７２は、カスタマ−トレイ３
４内のＩＣデバイス３６を取り上げて、それをプリサイ
サ−７０に移送し、更にそこから取り上げて、積込み位
置で待機している、空のテストトレイ４８へ移動させ
る。その間に他のカスタマ−トレイ３４を取り上げバッ
ファ−５４に移す為に、キャッチャ−５２は元の位置に
戻っている。バッファ−５４はカスタマ−トレイ３４を
受け取ると、ロ−ドステ−ジ５６ｂ上へ配置する為に、
トランスファ−ア−ム４０にそれを移動する。マガジン
シフタ−８６とキャッチャ−５２、バッファ−５４、２
つのロ−ドステ−ジ５６ａ、ｂを有することによる本発
明の冗長性の利点から明らかなように、このロ−ディン
グは連続して行われる。全てのＩＣ３６は、ロ−ダ−５
０内では、均一に取り扱われる（分類作業がない）の
で、この段階でのテストシ−ケンスは迅速に行える。

【００５３】テストトレイ４８中のシ−トが、全て満席
になるまで、この過程は継続する。全て満席となった時
点で、テストトレイ４８の交換が行われ、最初のテスト
トレイ４８がソ−クチャンバ−６８に入り、アンロ−ダ
−６０ａの位置にあった、空のテストトレイ４８がロ−
ディングを始めるために、積込み位置に移る。最初のテ
ストトレイ４８は、次第にソ−クチャンバ−６８を通過
して、搭載されたＩＣデバイス３６が，テストを受ける
第１のテストチャンバ−８４ａへ移動する。テストトレ
イ４８は、第２のテストヘッドチャンバ−８４ｂから出
ると、アンソ−クチャンバ−７８に入り、次第にハンド
ラ−２０の上部サ−フェス４６まで上昇する。次のテス
トトレイ４８の交換が行われると、この最初のテストト
レイ４８は、アンソ−クチャンバ−７８から外部に送出
され、図５に示したように、ハンドラ−２０の上部サ−
フェス４６の、後方右側にあるアンロ−ダ−６０ｂに達
する。テストトレイ４８上のＩＣ３６は、テスト結果に
基づく分類が次に行われる。

【００５４】テスト済ＩＣの分類は、ロ−ダ−５０内に
あるように、全てのＩＣを同様に扱う訳ではないので、
より時間がかかりうる。即ちカスタマ−トレイ４８の全
体に、各種のテストカテゴリ−のＩＣが、ランダムにか
つ異なる量で、ばらまかれているからである。したがっ
て、テスト済ＩＣの分類は、必然的に加重の機械的動作
と、追加の時間を必要とする。しかし、本ハンドラ−２
０の構成とシ−ケンスによって、この時間を最短にして
ロ−ダ−５０との歩調を合わせ、それによって本ハンド
ラ−２０の生産性を向上させることができる。これは主
に２つのアンロ−ダ−６０ａ、ｂで達成するものであ
り、アンロ−ダ−６０ａ、ｂのそれぞれは、テストトレ
イ４８が通り抜けるときに、テストトレイ４８上のＩＣ
の約半分を分類する。このように、共同で働くことによ
って、テストトレイ４８の１つにＩＣを積み込むために
要する時間内に、２つのアンロ−ダ−６０ａ、ｂは、そ
れぞれテストトレイ４８上のＩＣの、約半分を分類する
ことができる。これが達成すれば、全体の進行に遅れが
生じることなく、デバイス３６の処理量は増大する。即
ちトレイの移動は、上部サ−フェス４６上で、テストト
レイ４８の３個が同時に行われる為、アンロ−ド６０
ａ、ｂ上のいずれかのトレイが遅れると、３つの全ての
トレイも遅れてしまうからである。

【００５５】最初のテストトレイ４８の例に戻るが、そ
のようなトレイは通常ＩＣ３６を６４個保有している。
テスト済ＩＣの大部分は、「良品」のカテゴリ−に該当
し、より少量のＩＣは何らかの欠陥のあるＩＣとして、
他のカテゴリ−に該当する。説明を容易にする為に、テ
ストトレイのＩＣは４つのカテゴリ−について、テスト
されたものと仮定する。典型的な例を挙げると、５３個
のＩＣは良品でカテゴリ−１に該当する。６個のＩＣは
第１の種別の欠陥があり、カテゴリ−２に該当する。３
個のＩＣは第２のタイプの欠陥がありカテゴリ−３に該
当する。２個のＩＣは第３のタイプの欠陥がありカテゴ
リ−４に該当すると言う具合である。本ハンドラ−２０
は、広範囲のカテゴリ−とテスト結果を処理できるので
あり、以下の記載も本ハンドラ−２０の分類能力の単な
る一例である事を理解されたい。

【００５６】コントロ−ルモジュ−ルは、テストトレイ
４８上の６４個のＩＣのカテゴリ−を認識するのみでな
く、その位置も認知している。コントロ−ルモジュ−ル
からの分類のための論理に従って、上記したように、ア
ンロ−ダ−６０ｂが、６４個のＩＣの約半分の分類を行
い、アンロ−ディング６０ｂが残りの半分の分類を行
う。更に、小量ＩＣのカテゴリ−を各アンロ−ディング
で先に行い、大量ＩＣのカテゴリ−（この例ではカテゴ
リ−１）を後で行うのが好ましい。

【００５７】この様にこの例では、コントロ−ルモジュ
−ルは、カテゴリ−１に収まる５３個のＩＣ中の内の２
７個と、カテゴリ−２に収まるＩＣ６個を、アンロ−ダ
−６０ｂで分類することを決定する。同様にカテゴリ−
１に収まる残りのＩＣ２７個と、カテゴリ−３に該当す
る３個のＩＣ、カテゴリ−４の２個のＩＣを、アンロ−
ダ−６０ａで分類することを、コントロ−ルモジュ−ル
は決定する。この結果、アンロ−ダ−６０ｂは全部で３
２個のＩＣ分類を、アンロ−ダ−６０ａが同数の残りの
ＩＣを分類をすることになる。一般には、コントロ−ル
モジュ−ルは、アンロ−ダ−６０ａ、ｂの２つの積込み
の作業を、それぞれに等しい時間となるように分割す
る。この分類シ−ケンスにより、最大の能率が上げられ
る。この結果、上記の様に、それぞれによって等しい数
のＩＣの分類をするか、あるいはその代わりに、それぞ
れによって扱われるカテゴリ−の種類の数を等しくす
る。仕事の割当がなんであれ、コントロ−ルモジュ−ル
のソフトウェアは、固有のテストトレイ４８を処理する
際に、アンロ−ダ−６０ａ、ｂのそれぞれが費やす時間
が、最もよく等しく成るように計算する。

【００５８】アンロ−ダ−６０ｂの位置のテストトレイ
４８に対して、アンロ−ドピックアンドプレイス７６
は、最初にカテゴリ−２のＩＣを６個分類し、アンロ−
ドステ−ジ６４ａにある、カスタマ−トレイ３４へ積み
込む。アンロ−ドピックアンドプレイス７６はそして、
カテゴリ−１に収まる２６個のＩＣを分類して、アンロ
−ドステ−ジ６４ｂにある空のカスタマ−トレイ３４へ
乗せる。アンロ−ドステ−ジ６４ｂへの分類中に、トラ
ンスファ−ア−ム４０はまず、カテゴリ−２のＩＣを６
個有するカスタマ−トレイ３４を、アンロ−ドステ−ジ
６４ａから移動させる。その後トランスファ−ア−ム４
０は、このカスタマ−トレイ３４を空のカスタマ−トレ
イと取替え、アンロ−ドステ−ジ６４ａに再び積み込
む。他の動作要求の優先順位に従い、トランスファ−ア
−ム４０は、カテゴリ−２のカスタマ−トレイ３４を、
マガジン出力エリア３０の左にある、カテゴリ−２のマ
ガジンステ−ション３１へ置く。上記したように、大容
量を持つカテゴリ−が迅速に分類出来るように、小量の
カテゴリ−を先に分類するのが望ましい。カスタマ−ト
レイ３４の取替えには時間が掛かるため、アンロ−ドピ
ックアンドプレイス７０が大容量のカテゴリ−を分類す
る間に、トランスファ−ア−ム４０はこの取替え機能を
果たす。１対のロ−ドステ−ジ６４ａ、ｂにより冗長性
が得られるため、多種類のカテゴリ−は遅れることなく
迅速に分類される。そのためトランスファ−ア−ム４０
は、より少ない量のカスタマ−トレイ３４、すなわち、
この場合はカテゴリ−２のカスタマ−トレイを適当なマ
ガジン３１に入れ、アンロ−ダ−６４ａと６４ｂ上の両
カスタマ−トレイ３４が、より多量のＩＣのカテゴリ−
で一杯になる前にアンロ−ダ−６０ｂへ戻ることができ
る。このように、本ハンドラ−２０の分類機能には、遅
延が生じない。

【００５９】マガジン出力エリア３０の左端の近くにあ
る、カテゴリ−２のマガジンステ−ション３１の付近に
来る間に、トランスファ−ア−ム４０はロ−ダ−５０か
らコ−ルを受けるか、あるいは受けている。その為移動
時間を最小にする為に、トランスファ−ア−ム４０はア
ンロ−ド６０ａ、ｂの位置の一方での分類へ戻る前に、
ロ−ダ−５０付近で必要な機能を果たす（例えば満たん
のカスタマ−トレイ３４を、ロ−ドステ−ジ５６ａ、ｂ
の一方へ移すことなど）。

【００６０】本例に戻って説明すると、アンロ−ドステ
−ジ６４ｂのカスタマ−トレイ３４が満たんのとき、ア
ンロ−ドピックアンドプレイス７６は、直ちにアンロ−
ドステ−ジ６４ａで待機する、空のカスタマ−トレイ３
４へのカテゴリ−１の２６個のＩＣの分類を続ける。そ
の後トランスファ−ア−ム４０は、アンロ−ドステ−ジ
６４ｂ上の満たんのカスタマ−トレイ３４を移動させ、
空のカスタマ−トレイ（それはリセプタクル４１ａ、ｂ
内の１つに確保されていたか、アンロ−ドステ−ジ６４
ｂの右にあるアンロ−ドバッファ−６６から取り出され
た物である）と取替えて、満たんのカスタマ−トレイ３
４をカテゴリ−１用マガジンへ移す。同様に、トランス
ファ−ア−ム４０はコントロ−ルモジュ−ルの管理によ
り、運動量を最小にする為に、移動の際又はその帰り
に、他の機能を行うように動作する。

【００６１】このように、アンロ−ダ−６０ｂで分類す
べき、カテゴリ−１のＩＣ２６個の全てが分類され、テ
ストトレイの移動が行われ、この例では、テストトレイ
をアンロ−ダ−６０ａへ移動させる。この位置では、カ
テゴリ−１の残りのＩＣ２７個を、カテゴリ−３の３
個、カテゴリ−４の２個のＩＣと共に分類する。とはい
え、上記したようにカテゴリ−４のＩＣ２個は、最初に
アンロ−ドピックアンドプレイス７４で分類され、アン
ロ−ドステ−ジ６２ａ上で待機する、カスタマ−トレイ
３４に積み込まれる。その後トランスファ−ア−ム４０
はカスタマ−トレイ３４を移し、空のトレイと交換す
る。それと同時にアンロ−ドピックアンドプレイス７４
は、カテゴリ−３のＩＣ３個を、アンロ−ドステ−ジ６
２上の空のカスタマ−トレイ３４に積み込む。これらの
２つの分類は、小量のために、時間は掛からない。とは
いえ終了するとすぐに、ロ−ドピックアンドプレイス７
４は、多数のカテゴリ−１の２７個のＩＣの分類を始め
ることが出来る。その間、トランスファ−ア−ム４０
は、完全に満たんでないカテゴリ−３とカテゴリ−４用
のカスタマ−トレイを、適当なマガジンステ−ション３
１へ移動させる。カテゴリ−１のＩＣ２７個全部が、ア
ンロ−ドピックアンドプレイス７４で分類されると、本
例のテストトレイ４８は空になり、ロ−ドピックアンド
プレイス７２の位置への移動の準備が整う。小量でより
多くのカテゴリ−のＩＣ３６を受け取れるように、完全
に満たんでないカスタマ−トレイ３４を、トランスファ
−ア−ム４０によって適当なアンロ−ドステ−ジ６２、
６４へ戻さなけらばならない。上記のように、これはト
ランスファ−ア−ム４０により、他の動作を行いながら
能率良く行うことができる。

【００６２】

【発明の効果】本発明のハンドラ−は、ＩＣテストとハ
ンドリングに、大きな改良をもたらすことが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明のオ−トマティックテストハン
ドラ−を示す図であり、図１（Ａ）はその主要な機構を
表す斜視図であり、図１（Ｂ）はカスタマ−トレイとト
レイマガジン、及びトレイエレベ−タ−の展開図であ
る。

【図２】図２は、主にソ−クチャンバ−、２つテストエ
リア、アンソ−クチャンバ−を表す、本発明のオ−トマ
ティックテストハンドラ−の背面図である。

【図３】図３は、全体のテストハンドラ−の動作過程を
示す概要図である。

【図４】図４は、主にカスタマ−トレイマガジンとアウ
トプットエリアを表す、本テストハンドラ−の正面図で
ある。

【図５】図５は、ロ−ダ−とアンロ−ダ−部及び其に関
するピックアンドプレイス機構を表す本発明のテストハ
ンドラ−の平面図である。

【図６】図６は、ロ−ダ−とアンロ−ダ−部を構成する
機構相互間の空間関係を示す概念図である。

【符号の説明】

２０・・テストハンドラ− ２２・・下部キャビネット ２４・・中間部 ２６・・上部 ２８・・マガジン入力エリア ３０・・マガジン出力エリア ３１・・ステ−ション ３２・・カスタマ−トレイマガジン ３４・・カスタマ−トレイ ３６・・ＩＣ ３８・・エレベ−タ− ３９・・ステッパ−モ−タ− ４０・・トランスファ−ア−ム ４２・・トレイハンドラ− ４４・・ディスプレイモニタ− ４６・・上部サ−フェス ４８・・テストトレイ ５０・・ロ−ダ−部 ５２・・ロ−ドキャッチャ− ５４・・カスタマ−トレイバッファ−５６ａ、５６ｂ ・・ロ−ドステ−ジ ６０・・アンロ−ダ−６２ａ、６２ｂ、 ６４ａ、６４ｂ・・アンロ−ドステ−
ジ ６６・・バッファ− ６８・・ソ−クチャンバ− ７０・・プリサイサ− ７２・・ロ−ドピックアンドプレイス ７４・・左アンロ−ドピックアンドプレイス ７６・・右アンロ−ドピックアンドプレイス ７８・・アンソ−クチャンバ− ８４ａ、８４ｂ・・テストチャンバ− ８６・・マガジンシフタ− ８８・・ロッド

フロントページの続き (72)発明者 マーチン トワイト アメリカ合衆国，92118 カリフォルニ ア，コロラド，バハマ ベンド 32 (72)発明者 釣島 和幸 埼玉県北埼玉郡大利根町新大利根１−５ 株式会社アドバンテスト 大利根Ｒ＆ Ｄセンタ内 (72)発明者 谷 充晃 埼玉県北埼玉郡大利根町新大利根１−５ 株式会社アドバンテスト 大利根Ｒ＆ Ｄセンタ内 (72)発明者 馬場 念 埼玉県北埼玉郡大利根町新大利根１−５ 株式会社アドバンテスト 大利根Ｒ＆ Ｄセンタ内 (72)発明者 櫻田 照明 埼玉県北埼玉郡大利根町新大利根１−５ 株式会社アドバンテスト 大利根Ｒ＆ Ｄセンタ内 (56)参考文献 特開 平１−178877（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−169062（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−229837（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−265439（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−129566（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−76472（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−99375（ＪＰ，Ｕ) 実開 平３−97676（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G01R 31/26 H01L 21/66 - 21/68

Claims (13)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】電子部品を載置した平板状の複数の第１の
   トレイを上下方向に重ね合わせて収納し、最上段に収納
   された前記第１のトレイを、上方から搬出可能な開口部
   を有する第１のマガジンと、 前記第１のマガジンに収納された前記第１のトレイのう
   ち少なくとも最上段の前記第１のトレイを前記開口部付
   近に位置させる第１の移動手段と、 前記第１のマガジンの前記開口部付近に位置する前記最
   上段の第１のトレイを、当該第１のトレイに載置された
   前記電子部品と共に搬送する第１の搬送手段と、 前記第１の搬送手段で搬送された前記第１のトレイに載
   置された前記電子部品を、第２のトレイに搬送して載置
   する第２の搬送手段と、 前記第２のトレイに載置された前記電子部品をテストす
   るテスト手段と、 前記テストされた電子部品を載置した平板状の複数の第
   ３のトレイを上下方向に重ね合わせて収納可能であり、
   前記電子部品を載置した前記第３のトレイを上方から出
   し入れ可能な開口部を有する複数の第２のマガジンと、 前記第３のトレイを前記第２のマガジンの前記開口部か
   ら出し入れするトランスファーアームと、 前記トランスファーアームが前記第３のトレイを前記第
   ２のマガジンの前記開口部から出し入れできるように、
   前記第２のマガジンに収納されている前記最上段の第３
   のトレイ、あるいは最下段の第３のトレイを載置するた
   めのトレイ載置部を前記第２のマガジンの前記開口部付
   近に位置させる第２の移動手段と、 前記テストの結果に基づいて前記複数の第２のマガジン
   のなかから一の前記第２のマガジンを選択し、当該選択
   した前記第２のマガジンに前記トランスファーアームに
   よって搬入される前記第３のトレイに、前記第２のトレ
   イに載置された前記テストされた電子部品を搬送して載
   置する第３の搬送手段と を有するオートマチックテスト
   ハンドラー。
2. 【請求項２】前記第３の搬送手段は、アンロードステー
   ジに載置された前記第３のトレイに 、前記第２のトレイ
   に載置された前記テストされた電子部品を搬送して載置
   し、 前記トランスファーアームは、前記第３のトレイを
   前記アンロードステージに搬送して載置し、前記第３の
   トレイを前記アンロードステージから前記選択した第２
   のマガジンに搬送する 請求項１に記載のオートマチック
   テストハンドラー。
3. 【請求項３】前記トランスファーアームは、前記第２の
   搬送手段によって前記第２のトレイに前記電子部品が搬
   送されて空になった前記第１のトレイを、前記第３のト
   レイとして、前記アンロードステージに搬送して載置す
   る 請求項２に記載のオートマチックテストハンドラー。
4. 【請求項４】複数の前記第１のマガジンを受け取り、前
   記移動手段が前記複数の第１のマガジンの両方にアクセ
   ス可能なように左右へ往復運動するステーション をさら
   に有する請求項１に記載のオートマチックテストハンド
   ラー。
5. 【請求項５】前記第１の搬送手段は、 前記第１のマガジンから前記第１のトレイを受け取って
   搬送するトレイキャッチャーと、 前記トレイキャッチャーから前記第１のトレイを受け取
   るバッファと を有し、 前記第２の搬送手段は、前記バッファが受け取った前記
   第１のトレイに載置された前記電子部品を、前記第２の
   トレイに搬送して載置する 請求項１に記載のオートマチ
   ックテストハンドラー。
6. 【請求項６】前記第２の搬送手段は、複数の前記第２の
   トレイに、前記電子部品を搬送して載置し、 前記テスト手段は、前記複数の第２のトレイに載置され
   た前記電子部品を同時にテストする複数のテストヘッド
   を有する 請求項１に記載のオートマチックテストハンド
   ラー。
7. 【請求項７】前記第３の搬送手段は、複数のピックアン
   ドプレイス機構を有し、 前記ピックアンドプレイス機構の各々は、相互に異なる
   前記第２のマガジンに搬入される複数の前記第３のトレ
   イに前記第２のトレイから前記電子部品を搬送して載置
   し、 前記複数のピックアンドプレイス機構が搬送する前記電
   子部品の数が略等しくなるように、前記複数の第３のト
   レイと前記テストの結果との対応関係を決定する 請求項
   １に記載のオートマチックテストハンドラー。
8. 【請求項８】それぞれ２個の前記第２のマガジンを受け
   取る第１のステーションおよび第２のステーション をさ
   らに有し、 前記第３の搬送手段は、前記第１のステーションに受け
   取られた前記２個の第２のマガジンに搬入される前記第
   ３のトレイに前記電子部品を搬送して載置する第１のピ
   ックアンドプレイス機構と、前記第２のステーションに
   受け取られた前記２個の第２のマガジンに搬入される前
   記第３のトレイに前記電子部品を搬送して載置する第２
   のピックアンドプレイス機構とを有する 請求項１に記載
   のオートマチックテストハンドラー。
9. 【請求項９】前記テスト手段が行う前記テストの制御お
   よび観測を行うコントローラ をさらに有する請求項１に
   記載のオートマチックテストハンドラー。
10. 【請求項１０】前記第２の搬送手段と前記第２のトレイ
    との間に設けられ、前記第２のトレイに前記電子部品を
    正確に位置合わせして載置するためのプリサイサー をさ
    らに有する請求項１に記載のオートマチックテストハン
    ドラー。
11. 【請求項１１】前記テスト手段でテストされる前記電子
    部品に所定の温度変化を与えるためのソークチェンバー
    と、 前記テストされた後の前記電子部品に温度変化を与えて
    前記電子部品が室温に戻るようにするアンソークチェン
    バーと をさらに有する請求項１に記載のオートマチック
    テストハンドラー。
12. 【請求項１２】前記テスト手段は、前記ソークチェンバ
    ーとアンソークチェンバーとの間に位置する 請求項１１
    に記載のオートマチックテストハンドラー。
13. 【請求項１３】前記ソークチェンバーおよび前記アンソ
    ークチェンバーは、それらの内部において前記第２のト
    レイを上下方向に移動させるためのエレベータを有する
    請求項１１に記載のオートマチックテストハンドラー。