JP2000206186A - トレイ移送装置 - Google Patents
トレイ移送装置Info
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Abstract
用性を高めカテゴリ数を増加させる。 【解決手段】供給用トレイ202が独立して上下方向に
収納される第1のトレイ収納部212と、収納用トレイ
204が独立して上下方向に収納される第2のトレイ収
納部214と、これらトレイ収納部212,214の間
に昇降可能に設けられ、トレイ収納部212,214と
の間でトレイ202,204の受け渡しを行うエレベー
タ206と、これらの並設方向に移動可能とされてエレ
ベータ206との間でトレイ202,204の受け渡し
を行うトランアーム208と、ローダ部300またはア
ンローダ部400に対して昇降可能とされ、トランアー
ム208との間でトレイ202,204の受け渡しを行
うセットプレート210とを備える。
Description
ジュールなどの電子部品基板を試験するための電子部品
基板の試験装置およびトレイの移送装置に関する。
製造過程においては、最終的に製造されたメモリモジュ
ールを試験する試験装置が必要となる。このような試験
装置の一種として、常温よりも高いまたは低い温度条件
で、メモリモジュールを試験するための装置が知られて
いる。メモリモジュールの特性として、高温または低温
でも良好に動作することが保証されるからである。
温試験または低温試験を行う場合には、試験前のメモリ
モジュールを試験装置内の予熱部または冷却部で加熱ま
たは冷却し、加熱または冷却されたメモリモジュールを
ピック・アンド・プレース機構を用いて測定部まで搬送
し、メモリモジュールに加えられた予熱により高温試験
または低温試験を行っている。
ュールのような大きな電子部品基板を試験装置に搬入ま
たは搬出する場合、たとえば図5に示すようなトレイ2
02,204が用いられる。この種のトレイでは、電子
部品基板10を直立させて並べるため、複数のトレイを
積み重ねることができない。
は、図7に示すように、トレイ202,204を一枚づ
つ収納する引き出し状のトレイ収納部212,214が
設けられ、目的とするトレイがデバイス搬入ステージ2
16またはデバイス搬出ステージ218の高さに至るま
でトレイ収納部自体を昇降させることで、こうしたトレ
イの出し入れ操作を行っていた。
せる方式では、各トレイ収納部212,214の上にそ
の昇降軌跡ぶんのデッドスペース(同図にDSで示
す。)が必要となり、試験装置自体が大型になるといっ
た問題があった。また、トレイ収納部自体を昇降させる
方式では、試験前の電子部品基板10を収納したトレイ
202(以下、供給用トレイ)のトレイ収納部212
と、試験を終えた電子部品基板10を収納したトレイ2
04(以下、収納用トレイ)のトレイ収納部214とが
独立した構造となり、たとえば空になった供給用トレイ
202を収納用トレイ204として利用することができ
ない。
鑑みてなされたものであり、試験装置の小型化を図ると
ともにトレイの汎用性を高めカテゴリ数を増加させるこ
とを目的とする。
るために、第1の観点による本発明のトレイ移送装置
は、トレイが独立して上下方向に収納される少なくとも
一対のトレイ収納部と、前記一対のトレイ収納部の間に
昇降可能に設けられ、前記トレイ収納部との間でトレイ
の受け渡しを行う第1の昇降手段と、を備えたことを特
徴とする。
1の昇降手段の上部に設けられ、これらの並設方向に移
動可能とされて、前記第1の昇降手段との間で前記トレ
イの受け渡しを行う水平搬送手段をさらに備えることが
より好ましい。
可能とされ、前記水平搬送装置との間で前記トレイの受
け渡しを行う第2の昇降手段をさらに備えることがより
好ましい。
たとえば、前記トレイ収納部の一方が、試験前の電子部
品基板が搭載されたトレイであり、他方が試験後の電子
部品基板が搭載されたトレイである。
観点による本発明のトレイ移送装置は、第1のトレイが
独立して上下方向に収納される第1のトレイ収納部と、
第2のトレイが独立して上下方向に収納される第2のト
レイ収納部と、前記第1のトレイ収納部と前記第2のト
レイ収納部との間に昇降可能に設けられ、前記第1のト
レイ収納部および前記第2のトレイ収納部との間で第1
のトレイまたは第2のトレイの受け渡しを行う第1の昇
降手段と、前記第1のトレイ収納部、前記第2のトレイ
収納部および前記第1の昇降手段の上部に設けられ、こ
れらの並設方向に移動可能とされて、前記第1の昇降手
段との間で前記第1のトレイまたは前記第2のトレイの
受け渡しを行う水平搬送手段と、目的とするポジション
に対して昇降可能とされ、前記水平搬送装置との間で前
記第1のトレイまたは前記第2のトレイの受け渡しを行
う第2の昇降手段と、を備えたことを特徴とする。
とえば、前記トレイ収納部の一方が、試験前の電子部品
基板が搭載されたトレイであり、他方が試験後の電子部
品基板が搭載されたトレイである。
も一部に、試験後の電子部品基板が搭載されたトレイが
収納されることがより好ましい。この場合、前記試験後
の電子部品基板が、再試験をすべきカテゴリであること
がより好ましい。
とも一部に、試験前の電子部品基板を受け渡した空のト
レイが収納されることがより好ましい。
イは、同じ種類のトレイであることがより好ましい。
体を昇降させるのではなく、第1の昇降手段、水平搬送
手段および第2の昇降手段によりトレイを移送するの
で、トレイ収納部の上部にデッドスペースが生じるとい
った問題がなくなり、少なくとも高さ方向に装置全体を
小型化することができる。
に設けることで、両方のトレイ収納部にアクセスするこ
とができ、トレイの移送が効率化されるとともに、トレ
イの移送シーケンスの自由度が増す。しかも、何れのト
レイ収納部に対してもトレイを収納することができ、ま
た何れのトレイ収納部に収納されたトレイをも取り出す
ことができるので、装置自体を変えることなく分類数の
増加に対して柔軟に対処することができる。
基づいて説明する。図1は本発明のトレイ移送装置が適
用される電子部品基板の試験装置の一例を示す図であっ
て(A)は平面図、(B)はB−B線に沿う断面図であ
る。図2(A)は本発明のトレイ移送装置の実施形態を
示す斜視図、図2(B)は本実施形態のトレイ収納部と
エレベータの部分を示す斜視図、図3乃至図4は本実施
形態におけるトレイの取り廻し方法を説明するための概
念図、図5は本実施形態で用いられるトレイの一例を示
す斜視図である。
に示すメモリモジュール10を例に挙げる。こうしたメ
モリモジュール10は、ハンドラ1に対して、その端子
12を下にした直立姿勢で、同図に示すトレイ202,
204に搭載されて搬入され、また同じ荷姿で搬出され
る。同図に示す205はメモリモジュール10を直立姿
勢に保つための凸部である。
載するための供給用トレイ202と、試験を終えたメモ
リモジュール10を搭載するための収納用トレイ204
は同一形状であっても異なる形状であっても良いが、少
なくとも供給用トレイ202は、搭載されたメモリモジ
ュール10の位置決め機能を備えるものが望ましい。供
給用トレイ202に搭載されたメモリモジュール10
は、これからハンドラ1内へ搬入されて複数のピックア
ップ装置によって載せ替え等の操作が行われるからであ
る。
すハンドラ1のメモリモジュール格納部200に設けら
れるものであり、一対のトレイ収納部212,214を
有している。
イ収納部212には、主としてこれから試験が行われる
メモリモジュール10が搭載された供給用トレイ202
が、積み重ねることなく、互いに独立して上下方向に保
持収納されている。これに対して他方のトレイ収納部2
14には、試験を終えたメモリモジュール10が適宜に
分類された収納用トレイ204が、同じく積み重ねるこ
となく互いに独立して上下方向に保持収納されている。
すなわち、トレイ202,204はこれらトレイ収納部
212,214にたとえば引き出し棚状に収納される。
に収納可能なトレイ枚数は特に限定されず、試験装置の
大きさと分類能力等の関係で適宜決定することができ
る。図3乃至図4では、各トレイ収納部212,214
に最大7枚づつのトレイ202,204を収納できるよ
うになっている。
2,214は互いに同じ構造とされているので、供給用
トレイ202、収納用トレイ204の何れをも互いに収
納することができる。つまり、試験結果の分類が、良品
と不良品の別の外に、良品の中でも動作速度が高速のも
の、中速のもの、低速のもの、あるいは不良の中でも再
試験が必要なもの等々、多分類が必要とされる場合は、
2つのトレイ収納部212,214を総合的に使用する
ことで対処することができる。
は、エレベータ206(本発明の第1の昇降手段に相当
する)が昇降可能に設けられている。このエレベータ2
06は、図2(A)に示すように、たとえばボールネジ
駆動装置206aによって、少なくとも各トレイ収納部
212,214の最下段から最上段までの間を上下方向
に移動制御される。
212,214との間でトレイ202,204の受け渡
しを行う。こうした動作は、たとえば図2(B)に示す
ように、トレイ202,204またはこれを載置するプ
レートに、流体圧シリンダ206bのロッドなどを引っ
かけ、流体圧シリンダ206bを進退駆動することで、
トレイ202,204の出し入れ操作が実行される。
エレベータ206の直上には、トランアーム208(本
発明の水平搬送手段に相当する。)が、図2に示す±X
軸方向に移動自在に設けられている。このトランアーム
208は、たとえばボールネジ駆動装置208aによっ
て±X軸方向の所望の位置に移動制御される。トランア
ーム208は、エレベータ206に載置されたトレイ2
02,204を受け取って後述するセットプレート21
0(本発明の第2の昇降手段に相当する。)に受け渡し
たり、逆にセットプレート210に載置されたトレイ2
02,204を受け取ってエレベータ206に受け渡
す。この際に、トレイ202,204を保持および解放
するためにフック機構208b(図3(A)参照)が開
閉可能に設けられている。
の可動方向を±X軸方向にのみ設定しているが、±Z軸
方向に対しても昇降可能として、トレイ202,204
の受け渡しの際に±Z軸方向に昇降させても良い。ま
た、±Y軸方向に対しても可動とし、後述するセットプ
レート210の設定範囲に自由度を持たせても良い。
アーム208の直上に3つのセットプレート210が設
けられている。これらセットプレート210は、たとえ
ばボールネジ駆動装置210aによって、それぞれ独立
して±Z軸方向に昇降可能とされ、少なくともトランア
ーム208よりも低い位置とトランアーム208よりも
高い位置との間を昇降することができる。ここでいう下
限位置が、トレイ202,204の受け渡しの際の位置
であり、上限位置がトレイ202,204のセット位置
(つまり、メモリモジュール10を出し入れする位置)
である。
0が設けられ、図2の左の一つがハンドラ1でいうロー
ダ部300のセットプレート210とされ、右の二つが
ハンドラ1でいうアンローダ400のセットプレート2
10,210とされている。ただし、本発明はこれに何
ら限定されず、2つであってもまた4つ以上であっても
良い。
試験前のメモリモジュール10が満載された供給用トレ
イ202をトレイ収納部212の全ての段に収納し、こ
れをハンドラ1のローダ部300にセットする動作と、
ハンドラ1のアンローダ部400で試験済みメモリモジ
ュール10が満載となった収納用トレイ204をトレイ
収納部214に移送する動作とを連続して説明する。
供給用トレイ202を取り出すとすると、図3(A)に
示すようにまずエレベータ206をトレイ収納部212
の最上段の高さ位置まで移動させ、図2(B)に示す流
体圧シリンダ206aにてトレイ収納部212の最上段
の供給用トレイ202をエレベータ206に押し出す。
これと相前後して、トランアーム208をエレベータ2
06の直上に移動させておく。
レベータをトランアーム208との受け渡し位置まで上
昇させ、トランアーム208のフック機構208bを閉
じることにより供給用トレイ202を受け取ってこれを
保持する。そして、目的のポジションであるローダ部3
00の下部へトランアーム208を移動させる。この移
動の前に、ローダ部300のセットプレート210を下
限位置まで下降させておく。
ットプレート210を僅かに上昇させ(あるいはトラン
アーム208に±Z軸方向の昇降機能が付加されている
ときはトランアーム208側を僅かに下降させ)、トラ
ンアーム208のフック機構208bを開いて供給用ト
レイ202をセットプレート210上に受け渡す。そし
て、トランアーム208をその位置から待避させたの
ち、図3(C)に示すようにセットプレート210を上
限位置まで上昇させて供給用トレイ202をローダ部3
00にセットする。以上で、試験前のメモリモジュール
10が満載された供給用トレイ202をローダ部300
にセットする動作が完了する。
部に位置していたトランアーム208は、試験を終えた
メモリモジュール10が満載された収納用トレイ204
を受け取るため、アンローダ部400の右側まで移動す
る。この移動の前に、アンローダ部400の右側のセッ
トプレート210は下限位置まで下降させておく。そし
て、セットプレート210を僅かに上昇させ(あるいは
トランアーム208に±Z軸方向の昇降機能が付加され
ているときはトランアーム208側を僅かに下降さ
せ)、トランアーム208のフック機構208bを閉じ
て収納用トレイ204をトランアーム208へ受け渡し
保持する。
待機しているエレベータ206の上部までトランアーム
208を移動させ、ここでトランアーム208のフック
機構208bを開いて収納用トレイ204をエレベータ
206上に受け渡す。そして、図4(B)に示すよう
に、トレイ収納部214の所定の空き段(本例では上か
ら3段目)までエレベータ206を下降させたのち、図
2(B)に示す流体圧シリンダ206bを用いて収納用
トレイ204をトレイ収納部214へ引き込む。以上
で、試験済みメモリモジュール10が満載された収納用
トレイ204をアンローダ部400からトレイ収納部2
14へ移送する動作が完了する。
を用いると、トレイ収納部212,214そのものを昇
降させる必要がないので、これらトレイ収納部212,
214の上部に昇降軌跡のためのスペースを設ける必要
もない。したがって、試験装置そのものが少なくとも高
さ方向に小型化される。
ーダ部300の窓部306にセットされた供給用トレイ
202に満載された試験前のメモリモジュール10は、
図1に示すXY搬送装置303にてメモリモジュールの
試験用トレイ20に移載されたのち、試験用トレイ20
に搭載された状態でチャンバ100内に搬送される。こ
のチャンバ100においては、ソークチャンバ(恒温
槽)101にてメモリモジュール10は試験を行うべき
温度(高温または低温)まで加熱または冷却され、測定
部102にてテストヘッドに押し付けられる。このテス
トヘッドへの押し付けは、試験用トレイ20に搭載され
た状態で行われ、幾つかのメモリモジュール20が同時
に押し付けられる。
ャンバ103に搬送され、試験を終えたメモリモジュー
ル10を室温近傍まで戻す。これは主として低温印加を
行った場合の結露防止を目的として行われる。
満載された試験用トレイ20は、アンローダ部400へ
搬送され、ここでXY搬送装置403を用いて試験済み
メモリモジュール10を収納用トレイ204へ移載す
る。このとき、各メモリモジュール10はそれぞれの試
験結果に応じた収納用トレイ204へ移載される。図1
に示す例では、たとえばアンローダ部400の窓部40
6a,406bにセットされた2枚の収納用トレイ20
4,204に「合格」のメモリモジュール10を移載
し、「不合格」や「再試験」となったメモリモジュール
10はバッファステージ405へ順次移載される。そし
て、バッファステージ405が満杯になったら、「不合
格」用の収納用トレイ204や「再試験」用の収納用ト
レイ204をアンローダ部400の窓部406aまたは
406bへセットし、当該バッファステージ405に載
置されたメモリモジュール10をそれぞれの分類通りに
移載する。以上の手順で、メモリモジュール10の試験
および試験結果による分類が行われる。
り廻しシーケンスは、本発明のトレイ移送装置の単なる
一例に過ぎず、本発明のトレイ移送装置によれば、エレ
ベータ206が一対のトレイ収納部212,214に収
納されたトレイ202,204の何れにもアクセスでき
る構造であるため、ローダ部300およびアンローダ部
400とトレイ収納部212,214との間で、何れの
トレイ202,204も出し入れすることができる。
レイ204が同じトレイである場合には、メモリモジュ
ール10が満載された供給用トレイ202を図3(A)
乃至(C)に示す手順でローダ部300へ移送し、その
後このローダ部300の供給用トレイ202が空になっ
たら、これを直接的または間接的にトランアーム208
にてアンローダ部400へ移送し、収納用トレイ204
として用いることもできる。
ール10が満載となった収納用トレイは、通常はトレイ
収納部214の方へ収納されるが、トレイ収納部212
の方の空の段をも用いることで、分類数の増加に対して
も柔軟に対処することができる。
レイ204とをそれぞれ独立して使用すると、供給用ト
レイ数をA、収納用トレイ数をB、分類数をnとしたと
きに、収納用トレイ204がB=A+(n−1)以上な
いと連続して動作させることができないが、これらのト
レイ202,204を共用化することで、n=B+1ま
で連続的に分類動作を行うことができるようになる。
トレイ移送装置の他の実施形態を組み込んだハンドラを
示す(A)概略平面図、(B)概略断面図(B−B線相
当図)であり、まずメモリモジュール格納部200の構
造が相違している。
トレイ収納部212と、収納用トレイ204を収納する
トレイ収納部214は設けられているが、第1昇降手段
であるエレベータ206A,206Bは、これらの間で
はなく、それぞれ単独に設けられている。また、ローダ
部300への供給トレイ202のセット位置は一カ所の
みであり(窓部306にて示す。)、これに隣接する位
置には供給用トレイ202zが手動で出し入れされるよ
うになっている。
イ収納部212からメモリモジュール10が満載された
供給用トレイ202を取り出し、エレベータ206Aを
そのまま上昇させることでローダ部300の窓部306
にセットするとともに、全てのメモリモジュール10を
試験用トレイ20に移し終えたら、エレベータ206A
をそのまま下降させて空となった供給用トレイ202を
トレイ収納部212へ戻す。
ール10はハンドラ1内へ投入されるが、トレイ収納部
212から供給用トレイ202を取り出したり、逆にト
レイ収納部212へ空トレイ202を収納している間
に、XY搬送装置303および試験用トレイ20が待機
状態になることも考えられる。そこで、こうした空き時
間が生じたときは、手動により設置した供給用トレイ2
02zからXY搬送装置303を用いて試験用トレイ2
0へメモリモジュール10を移し替える。これによりハ
ンドラ1のスループットの低下が抑制できる。
レイ収納部214から空の収納用トレイ204を一方の
窓部(本例では右側の窓部406b)にのみセットし、
他方の窓部406aに相当する位置には手動により空の
収納用トレイ204zを設置しておく。また、この近傍
に、空の供給用トレイ202を、一つ(202f)は不
合格のメモリモジュール用として、一つ(202r)は
再試験のメモリモジュール用として手動で設置してお
く。
0へ搬送されてきた試験用トレイ20から、XY搬送装
置403を用いて、合格のメモリモジュール10は主と
して右側の窓部406bにセットされた収納用トレイ2
04に移し替え、この収納用トレイ204が満杯になっ
たらエレベータ206Bをそのまま下降させて、トレイ
収納部214へ収納し、次の空の収納用トレイ204を
窓部406bへセットする。この間においては、合格の
メモリモジュール10は左側に手動で設置した収納用ト
レイ204へ移し替える。
手動で設置された左側の供給用トレイ202fへ移し替
えられ、再試験のメモリモジュール10は同じく右側の
供給用トレイ202rへ移し替えられる。そして、これ
らの供給用トレイ202f,202rが満杯になった
ら、手動で空の供給用トレイ202f,202rと交換
する。このとき、再試験を行うメモリモジュール10が
満載された供給用トレイ202rは、そのままトレイ収
納部212またはローダ部300の窓部306の右隣の
位置にセットされる。
ラ1によれば、スループットは劣るものの、トランアー
ム208やセットプレート210などが不要となり、そ
のぶんだけ装置自体が小型になるとともにコストダウン
を図ることができる。
理解を容易にするために記載されたものであって、本発
明を限定するために記載されたものではない。したがっ
て、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技
術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨
である。
としてメモリモジュール10を例に挙げたが、本発明の
トレイ移送装置はメモリモジュールにのみ限定される意
味ではなく、トレイを積み重ねてトレイ収納部へ収納で
きないような電子部品であれば全て含まれる趣旨であ
る。
レイ収納部の上部にデッドスペースが生じるといった問
題がなくなり、少なくとも高さ方向に装置全体を小型化
することができる。また、両方のトレイ収納部にアクセ
スすることができるので、トレイの移送が効率化される
とともに、トレイの移送シーケンスの自由度が増す。し
かも、何れのトレイ収納部に対してもトレイを収納する
ことができ、また何れのトレイ収納部に収納されたトレ
イをも取り出すことができるので、装置自体を変えるこ
となく分類数の増加に対して柔軟に対処することができ
る。
基板の試験装置の一例を示す概略平面図および概略断面
図図である。
示す斜視図、(B)はトレイ収納部とエレベータの部分
を示す斜視図である。
面図である。
一例を示す斜視図である。
概略断面図である。
Claims (9)
- 【請求項1】トレイが独立して上下方向に収納される少
なくとも一対のトレイ収納部と、 前記一対のトレイ収納部の間に昇降可能に設けられ、前
記トレイ収納部との間でトレイの受け渡しを行う第1の
昇降手段と、を備えたことを特徴とするトレイ移送装
置。 - 【請求項2】前記トレイ収納部および前記第1の昇降手
段の上部に設けられ、これらの並設方向に移動可能とさ
れて、前記第1の昇降手段との間で前記トレイの受け渡
しを行う水平搬送手段をさらに備えたことを特徴とする
請求項1記載のトレイ移送装置。 - 【請求項3】目的とするポジションに対して昇降可能と
され、前記水平搬送装置との間で前記トレイの受け渡し
を行う第2の昇降手段をさらに備えたことを特徴とする
請求項2記載のトレイ移送装置。 - 【請求項4】第1のトレイが独立して上下方向に収納さ
れる第1のトレイ収納部と、 第2のトレイが独立して上下方向に収納される第2のト
レイ収納部と、 前記第1のトレイ収納部と前記第2のトレイ収納部との
間に昇降可能に設けられ、前記第1のトレイ収納部およ
び前記第2のトレイ収納部との間で第1のトレイまたは
第2のトレイの受け渡しを行う第1の昇降手段と、 前記第1のトレイ収納部、前記第2のトレイ収納部およ
び前記第1の昇降手段の上部に設けられ、これらの並設
方向に移動可能とされて、前記第1の昇降手段との間で
前記第1のトレイまたは前記第2のトレイの受け渡しを
行う水平搬送手段と、 目的とするポジションに対して昇降可能とされ、前記水
平搬送装置との間で前記第1のトレイまたは前記第2の
トレイの受け渡しを行う第2の昇降手段と、を備えたこ
とを特徴とするトレイ移送装置。 - 【請求項5】前記トレイ収納部の一方が、試験前の電子
部品基板が搭載されたトレイであり、他方が試験後の電
子部品基板が搭載されたトレイであることを特徴とする
請求項1〜4の何れかに記載のトレイ移送装置。 - 【請求項6】前記第1のトレイ収納部の少なくとも一部
に、試験後の電子部品基板が搭載されたトレイが収納さ
れることを特徴とする請求項4または5記載のトレイ移
送装置。 - 【請求項7】前記試験後の電子部品基板が、再試験をす
べきカテゴリであることを特徴とする請求項6記載のト
レイ移送装置。 - 【請求項8】前記第2のトレイ収納部の少なくとも一部
に、試験前の電子部品基板を受け渡した空のトレイが収
納されることを特徴とする請求項4または5記載のトレ
イ移送装置。 - 【請求項9】前記第1のトレイと前記第2のトレイは、
同じ種類のトレイであることを特徴とする請求項4〜8
の何れかに記載のトレイ移送装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP00427799A JP4164182B2 (ja) | 1999-01-11 | 1999-01-11 | トレイ移送装置 |
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