JP2795595B2 - 透明板状体の欠点検出方法 - Google Patents
透明板状体の欠点検出方法Info
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、透明板状体の種々の欠
点の内、特にディスト−ションを伴った欠点、例えば透
明板状体の成形時に発生する「フシ」、「筋」と呼ばれ
る透明板状体と若干組成成分の異なる部分に顕れる歪み
状の欠点および透明板状体内表面部の異物、未溶解物、
落下物、泡等の欠点の周辺部分に顕れる歪みを伴なう欠
点の検出方法に関する。
点の内、特にディスト−ションを伴った欠点、例えば透
明板状体の成形時に発生する「フシ」、「筋」と呼ばれ
る透明板状体と若干組成成分の異なる部分に顕れる歪み
状の欠点および透明板状体内表面部の異物、未溶解物、
落下物、泡等の欠点の周辺部分に顕れる歪みを伴なう欠
点の検出方法に関する。
【０００２】
【従来技術とその問題点】透明板状体の欠点検出方法に
於ける従来技術としては、特開平１−１８９５４９に見
られる様な硝子の内部欠点、表面欠点を光の陰影として
１次元カメラにて捉えるもの、実開平３−２７３４３号
に見られる様な点光源による欠点のスクリーンへの投影
像をラインセンサーにより検出するもの、特開昭６１ー
１７６８３８号、特開昭６１ー１７６８３９号に見られ
る様な光の屈折の違いを利用して背景の線の歪みを捉え
るもの、レーザーフライングスポットによるレーザー光
の透過光、反射光を利用したものなどがあげられる。
於ける従来技術としては、特開平１−１８９５４９に見
られる様な硝子の内部欠点、表面欠点を光の陰影として
１次元カメラにて捉えるもの、実開平３−２７３４３号
に見られる様な点光源による欠点のスクリーンへの投影
像をラインセンサーにより検出するもの、特開昭６１ー
１７６８３８号、特開昭６１ー１７６８３９号に見られ
る様な光の屈折の違いを利用して背景の線の歪みを捉え
るもの、レーザーフライングスポットによるレーザー光
の透過光、反射光を利用したものなどがあげられる。
【０００３】まず、特開平１−１８９５４９号のよう
に、線状に配置した光源からの光を１つのスリットを通
して移動する板ガラスに投光することにより、板ガラス
の欠点を光の陰影として１次元カメラにて検出し画像処
理する例に於いては、微小な「フシ」および「筋」欠点
の様な非常に細長い欠点については検出が困難である。
しかも、透明板状体に付着した埃、汚れと欠点の判別が
不可能で、埃、汚れなどを誤検出してしまう。
に、線状に配置した光源からの光を１つのスリットを通
して移動する板ガラスに投光することにより、板ガラス
の欠点を光の陰影として１次元カメラにて検出し画像処
理する例に於いては、微小な「フシ」および「筋」欠点
の様な非常に細長い欠点については検出が困難である。
しかも、透明板状体に付着した埃、汚れと欠点の判別が
不可能で、埃、汚れなどを誤検出してしまう。
【０００４】次に、実開平３−２７３４３のように、移
動する板ガラスに点状の光源による光線を照射し、板硝
子を透過後のスクリーンへの投影像を１次元カメラにて
走査し、欠点による明暗部を検出する例においては、
「フシ」、「筋」欠点の検出は可能であるが、外乱（外
部光、埃、汚れ等）の影響を受け易い為、検出能力も低
く、外乱防止対策に費用がかかりすぎる。
動する板ガラスに点状の光源による光線を照射し、板硝
子を透過後のスクリーンへの投影像を１次元カメラにて
走査し、欠点による明暗部を検出する例においては、
「フシ」、「筋」欠点の検出は可能であるが、外乱（外
部光、埃、汚れ等）の影響を受け易い為、検出能力も低
く、外乱防止対策に費用がかかりすぎる。
【０００５】更に、特開昭６１ー１７６８３８〜９号の
様に、検出すべき欠点部の大きさよりも狭い間隔で等間
隔な複数の線列を透明な板状体を介して観察し、欠点部
を線列の乱れとして、カメラで検出処理する例に於いて
は、等間隔の線列を横切って走査することにより欠点部
分を通過する光の屈折率の違いにより、規則正しいパル
ス幅、ピッチの信号とは異なる信号を検出することを利
用するもので、透明板状体の種々の欠点中、細い「筋」
状欠点の検出に於て、同方法を当てはめようとすると線
列の乱れは確実に検出できず、「筋」欠点の検出は困難
である。しかも、透明板状体に付着した埃、汚れと欠点
の判別が不可能で、埃、汚れを誤検出してしまう。
様に、検出すべき欠点部の大きさよりも狭い間隔で等間
隔な複数の線列を透明な板状体を介して観察し、欠点部
を線列の乱れとして、カメラで検出処理する例に於いて
は、等間隔の線列を横切って走査することにより欠点部
分を通過する光の屈折率の違いにより、規則正しいパル
ス幅、ピッチの信号とは異なる信号を検出することを利
用するもので、透明板状体の種々の欠点中、細い「筋」
状欠点の検出に於て、同方法を当てはめようとすると線
列の乱れは確実に検出できず、「筋」欠点の検出は困難
である。しかも、透明板状体に付着した埃、汚れと欠点
の判別が不可能で、埃、汚れを誤検出してしまう。
【０００６】レーザーフライングスポットによるレーザ
ー光の透過光、反射光を利用したものについては、装置
自体も大型化となり高価格である。又、微小な欠点も検
出できるが、ホコリ等による誤検出も多く、又透明な板
状体の種々の欠点の内「フシ」、「筋」の様な組成の若
干異なることによる歪状欠点検出においては、検出困難
である。特に「筋」の様な透明板状体の搬送方向に細長
い欠点については、レーザーのスキャニング方向に散乱
光が発生するため、欠点の検出が不可能である。
ー光の透過光、反射光を利用したものについては、装置
自体も大型化となり高価格である。又、微小な欠点も検
出できるが、ホコリ等による誤検出も多く、又透明な板
状体の種々の欠点の内「フシ」、「筋」の様な組成の若
干異なることによる歪状欠点検出においては、検出困難
である。特に「筋」の様な透明板状体の搬送方向に細長
い欠点については、レーザーのスキャニング方向に散乱
光が発生するため、欠点の検出が不可能である。
【０００７】すなわち、前述のような従来の検出方法に
あっては、いずれの方法にしても、透明板状体の種々の
欠点の内、ディスト−ションを伴なう欠点、例えば透明
板状体の成形時に発生する「フシ」、「筋」と呼ばれる
若干組成成分比率の異なる部分の周辺部に見られる歪み
状の欠点、及び透明板状体内部の組成の異なる異物や未
溶解等による欠点核の周囲に「ディストーション」と呼
ばれる欠点を伴う欠点の検出について、確実に検出する
ことができないという問題点があった。
あっては、いずれの方法にしても、透明板状体の種々の
欠点の内、ディスト−ションを伴なう欠点、例えば透明
板状体の成形時に発生する「フシ」、「筋」と呼ばれる
若干組成成分比率の異なる部分の周辺部に見られる歪み
状の欠点、及び透明板状体内部の組成の異なる異物や未
溶解等による欠点核の周囲に「ディストーション」と呼
ばれる欠点を伴う欠点の検出について、確実に検出する
ことができないという問題点があった。
【０００８】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
のであり、従来困難であった「フシ」、「筋」、などの
ディスト−ションを伴う欠点を安価にしかも確実に検出
可能にした透明板状体の欠点検出方法を提供することを
目的とする。
のであり、従来困難であった「フシ」、「筋」、などの
ディスト−ションを伴う欠点を安価にしかも確実に検出
可能にした透明板状体の欠点検出方法を提供することを
目的とする。
【０００９】
【問題点を解決するための手段】本発明は、光源からの
光を光源近くに設けた複数の線列スリットあるいは格子
状スリットなどの複数の微小な遮光部と透光部が交互に
形成されたスリット板（以下、スリット板と略称する）
を通して透明板状体に投光し、透明板状体を挟んで前記
光源とは反対側に設けた１次元あるいは２次元カメラに
より、濃淡の変化を撮像し、画像処理装置により欠点を
検出する方法において、カメラの焦点をスリット板およ
び透明板状体から外した位置に焦点を合わて欠点像を直
接検出するようにしたことを特徴とする。
光を光源近くに設けた複数の線列スリットあるいは格子
状スリットなどの複数の微小な遮光部と透光部が交互に
形成されたスリット板（以下、スリット板と略称する）
を通して透明板状体に投光し、透明板状体を挟んで前記
光源とは反対側に設けた１次元あるいは２次元カメラに
より、濃淡の変化を撮像し、画像処理装置により欠点を
検出する方法において、カメラの焦点をスリット板およ
び透明板状体から外した位置に焦点を合わて欠点像を直
接検出するようにしたことを特徴とする。
【００１０】
【作用】従来の例えば特開昭６１−１７６８３８号など
の検出方法は、複数の線を配してなる線列（スリット）
の線列の乱れとして検出するものであるから、カメラの
焦点をスリットに合わせて検出するものであるが、この
方法では「筋」などの細長く微小な欠点を検出すること
はできない。
の検出方法は、複数の線を配してなる線列（スリット）
の線列の乱れとして検出するものであるから、カメラの
焦点をスリットに合わせて検出するものであるが、この
方法では「筋」などの細長く微小な欠点を検出すること
はできない。
【００１１】本発明は後述する実施例における説明で明
らかなように、カメラの焦点をスリットおよび透明板状
体から外し、スリット板による干渉縞がほとんどない位
置、言い換えると検出しようとするディスト−ションを
伴う欠点の検出強度が、欠点がないときの濃淡レベルで
あるノイズレベルより大きくなるような位置が、スリッ
ト板面および透明板状体以外の位置に存在することに着
目し、その位置にカメラの焦点を合わることにより微小
な欠点である「筋」などのディスト−ションを伴う欠点
を検出することができるようにしたものである。
らかなように、カメラの焦点をスリットおよび透明板状
体から外し、スリット板による干渉縞がほとんどない位
置、言い換えると検出しようとするディスト−ションを
伴う欠点の検出強度が、欠点がないときの濃淡レベルで
あるノイズレベルより大きくなるような位置が、スリッ
ト板面および透明板状体以外の位置に存在することに着
目し、その位置にカメラの焦点を合わることにより微小
な欠点である「筋」などのディスト−ションを伴う欠点
を検出することができるようにしたものである。
【００１２】理由は、透明板状体および前記のスリット
板から外れたところ、後述する検出可能範囲（図５にお
けるＡおよびＢ）に焦点を合わせると、スリット板によ
って背景色が光の遮蔽部の黒と透過部の白部との中間色
である灰色となり、一方ディスト−ションを伴う欠点の
信号は光の回折、干渉等の作用で背景色より黒側あるい
は白側寄りの信号となり識別も容易となり、確実に検出
することができるものと思われる。特に透明板状体より
手前に焦点を合わせたときに欠点による濃淡が背景色よ
り強調され識別がより容易となる。
板から外れたところ、後述する検出可能範囲（図５にお
けるＡおよびＢ）に焦点を合わせると、スリット板によ
って背景色が光の遮蔽部の黒と透過部の白部との中間色
である灰色となり、一方ディスト−ションを伴う欠点の
信号は光の回折、干渉等の作用で背景色より黒側あるい
は白側寄りの信号となり識別も容易となり、確実に検出
することができるものと思われる。特に透明板状体より
手前に焦点を合わせたときに欠点による濃淡が背景色よ
り強調され識別がより容易となる。
【００１３】また、透明板状体にも焦点を合わせていな
いので、透明板状体に付着した埃、汚れあるいは外乱の
影響を大幅に減少させ、誤検出することがない。また、
本発明で検出できる欠点の大きさに対してスリットの遮
光幅、透光幅をこの値より小さくする必要はなく、ま
た、１次元あるいは２次元カメラの解像度もスリットの
遮光幅、透光幅より高くても勿論検出可能であるが、低
くても検出可能であり、この場合にはスリット板の線列
あるいは格子などの遮光幅と透過幅を直接みることはで
きないが、欠点は検出することができる。
いので、透明板状体に付着した埃、汚れあるいは外乱の
影響を大幅に減少させ、誤検出することがない。また、
本発明で検出できる欠点の大きさに対してスリットの遮
光幅、透光幅をこの値より小さくする必要はなく、ま
た、１次元あるいは２次元カメラの解像度もスリットの
遮光幅、透光幅より高くても勿論検出可能であるが、低
くても検出可能であり、この場合にはスリット板の線列
あるいは格子などの遮光幅と透過幅を直接みることはで
きないが、欠点は検出することができる。
【００１４】すなわち特開昭６１−１７６８３８号など
の発明が透明板状体を介してスリットを直接撮像するの
に対して、本発明はスリット板を撮像するのではなく、
スリット光による欠点像を撮像するもので、この結果欠
点像が増幅され検出することができるものである。
の発明が透明板状体を介してスリットを直接撮像するの
に対して、本発明はスリット板を撮像するのではなく、
スリット光による欠点像を撮像するもので、この結果欠
点像が増幅され検出することができるものである。
【００１５】
【実施例】以下、図面を参照しながら本発明を詳細に説
明する。図１、図２はそれぞれ、本発明の欠点検出を行
うための検査装置を示す要部概略図と要部斜視図、図３
と図４は「筋」欠点があるときに、２次元カメラが捉え
た像とこの信号に基づき画像処理をしたときの濃淡レベ
ルの変化を示す図、図５は焦点を変えたときの欠点強度
とノイズレベルの関係を示す図、図６はその他の実施例
における検査装置を示す要部斜視図である。
明する。図１、図２はそれぞれ、本発明の欠点検出を行
うための検査装置を示す要部概略図と要部斜視図、図３
と図４は「筋」欠点があるときに、２次元カメラが捉え
た像とこの信号に基づき画像処理をしたときの濃淡レベ
ルの変化を示す図、図５は焦点を変えたときの欠点強度
とノイズレベルの関係を示す図、図６はその他の実施例
における検査装置を示す要部斜視図である。
【００１６】実施例１ 図１、図２に示すように、光源ボックス１は内部に複数
の光源、例えば蛍光灯を適当に配置した箱型構造のボッ
クスの上面開口部に白色拡散板を取り付けたものであ
る。スリット板２は板ガラスなどの透明板状体３の搬送
方向と平行、又は斜めに配した等間隔の例えば遮光幅が
０．５ｍｍ、透光幅が０．２５ｍｍの複数の線列からな
る。スリット板２は透明なシート状又は板状であって、
線列は光源からの光を通す部分と遮断する部分からなる
ものであり、前記白色拡散板に重ねて貼付け、又は固定
し使用するもので、透明板状体の幅より大きいものを配
置する。
の光源、例えば蛍光灯を適当に配置した箱型構造のボッ
クスの上面開口部に白色拡散板を取り付けたものであ
る。スリット板２は板ガラスなどの透明板状体３の搬送
方向と平行、又は斜めに配した等間隔の例えば遮光幅が
０．５ｍｍ、透光幅が０．２５ｍｍの複数の線列からな
る。スリット板２は透明なシート状又は板状であって、
線列は光源からの光を通す部分と遮断する部分からなる
ものであり、前記白色拡散板に重ねて貼付け、又は固定
し使用するもので、透明板状体の幅より大きいものを配
置する。
【００１７】光源としては上記の他に、面光源であれば
使用可能である。例えばＣＣＤを使用した２次元カメラ
４は搬送される板ガラスなどの透明板状体３を挟んで光
源ボックス１とは反対側に、走査線が透明板状体の走行
方向と平行になるよう、透明板状体３の上面に対して垂
直な方向に取り付け、スリット板２による複数の線列を
透過した光を２次元の視野として取り込める様に配置す
る。実際には透明板状体の板幅分の視野を確保するため
に複数のカメラを設置する。なお、２次元カメラ４の出
力信号は画像処理装置５に入力される。
使用可能である。例えばＣＣＤを使用した２次元カメラ
４は搬送される板ガラスなどの透明板状体３を挟んで光
源ボックス１とは反対側に、走査線が透明板状体の走行
方向と平行になるよう、透明板状体３の上面に対して垂
直な方向に取り付け、スリット板２による複数の線列を
透過した光を２次元の視野として取り込める様に配置す
る。実際には透明板状体の板幅分の視野を確保するため
に複数のカメラを設置する。なお、２次元カメラ４の出
力信号は画像処理装置５に入力される。
【００１８】２次元カメラ４によって取り込まれた信号
は、例えば「筋」欠点があると図３に示すようになる。
走査線の方向は板ガラスの進行方向と平行であり、走査
線Ｓm 上に「筋」欠点があり、走査線Ｓn 上には欠点が
なく中間濃度となっており、走査線Ｓm 上の濃淡は図４
に示すように明（ピ−ク）と暗（ボトム）が交互に顕
れ、走査線Ｓm に沿って連続する欠点があることがわか
る。実際には多数の走査線があるが、この図では代表的
な２本走査線のみを示し、その他の走査線は省略してい
る。また、走査線Ｓn における濃淡のレベルは点線で示
すようにスリットによる濃淡の縞模様が見えなくなって
欠点信号の濃（黒部分）と淡（白部分）の中間色（灰
色）となっている。なお、縦軸は濃度レベルを表し、カ
メラが遮光された場合を０、最大明度を１とする。
は、例えば「筋」欠点があると図３に示すようになる。
走査線の方向は板ガラスの進行方向と平行であり、走査
線Ｓm 上に「筋」欠点があり、走査線Ｓn 上には欠点が
なく中間濃度となっており、走査線Ｓm 上の濃淡は図４
に示すように明（ピ−ク）と暗（ボトム）が交互に顕
れ、走査線Ｓm に沿って連続する欠点があることがわか
る。実際には多数の走査線があるが、この図では代表的
な２本走査線のみを示し、その他の走査線は省略してい
る。また、走査線Ｓn における濃淡のレベルは点線で示
すようにスリットによる濃淡の縞模様が見えなくなって
欠点信号の濃（黒部分）と淡（白部分）の中間色（灰
色）となっている。なお、縦軸は濃度レベルを表し、カ
メラが遮光された場合を０、最大明度を１とする。
【００１９】実際には、前記多数の例えば５１２本の走
査線と、各走査線に沿って例えば５１２個に区画された
ものによって形成される縦５１２×横５１２のブロック
に分解して左上から右下まで順にこれらの信号の濃淡の
程度を数値化、メモリーに記憶し、画像処理装置５の濃
淡抽出フィルターなどによりそれぞれブロック毎に、対
象ブロックを中心として周辺ブロックを含んだ領域（例
えば３×３個のブロック）の中で最大濃度と背景濃度、
最小濃度と背景濃度の差を演算する。
査線と、各走査線に沿って例えば５１２個に区画された
ものによって形成される縦５１２×横５１２のブロック
に分解して左上から右下まで順にこれらの信号の濃淡の
程度を数値化、メモリーに記憶し、画像処理装置５の濃
淡抽出フィルターなどによりそれぞれブロック毎に、対
象ブロックを中心として周辺ブロックを含んだ領域（例
えば３×３個のブロック）の中で最大濃度と背景濃度、
最小濃度と背景濃度の差を演算する。
【００２０】次にこの差が基準の値より絶対値が大きけ
れば１、小さければ０に２値化処理を行う。２値化処理
後、欠点を表す１信号のブロックが縦、横あるいは斜め
に連なっているかどうかを判断し、連なっている場合に
はその座標により、欠点の長さ、面積などを演算する。
欠点が走査線方向に連なっていれば、「筋」と判定し、
その他欠点が連なってない場合、「フシ」などのディス
トーションを伴った点欠点と判定する。
れば１、小さければ０に２値化処理を行う。２値化処理
後、欠点を表す１信号のブロックが縦、横あるいは斜め
に連なっているかどうかを判断し、連なっている場合に
はその座標により、欠点の長さ、面積などを演算する。
欠点が走査線方向に連なっていれば、「筋」と判定し、
その他欠点が連なってない場合、「フシ」などのディス
トーションを伴った点欠点と判定する。
【００２１】また、上記欠点の種類、大きさ等のデータ
をパソコン６等に出力し、種々の管理情報として集計加
工出力することも可能である。また、欠点の検出は瞬時
にでき、場所も特定できるのでその位置にマ−キングし
て、後工程でこのマ−キングを検出して、欠点を有する
透明板状体を自動的に切断、除外することもできる。
をパソコン６等に出力し、種々の管理情報として集計加
工出力することも可能である。また、欠点の検出は瞬時
にでき、場所も特定できるのでその位置にマ−キングし
て、後工程でこのマ−キングを検出して、欠点を有する
透明板状体を自動的に切断、除外することもできる。
【００２２】例えば、このような装置により、欠点を検
出する場合について例示すると、カメラと透明板状体の
距離Ｌ1 を１０００ｍｍ 、透明板状体とスリットの距
離Ｌ 2 を６００ｍｍ、スリットの遮光部分の幅を０．５
ｍｍ、透光部分の幅を０．２５ｍｍ、カメラの絞り値Ｆ
を５、レンズの焦点距離ｆを２５ｍｍとして、焦点の位
置を変えたときに、最も微弱な「筋」欠点をサンプルと
して上記の画像処理をしたときの濃淡のレベルは、カメ
ラが遮光された場合を０、最大明度を１として表すと図
５の実線のようになり、また、同じ条件で欠点以外の濃
淡レベルをノイズレベルとして測定したところ点線で示
すような結果が得られた。
出する場合について例示すると、カメラと透明板状体の
距離Ｌ1 を１０００ｍｍ 、透明板状体とスリットの距
離Ｌ 2 を６００ｍｍ、スリットの遮光部分の幅を０．５
ｍｍ、透光部分の幅を０．２５ｍｍ、カメラの絞り値Ｆ
を５、レンズの焦点距離ｆを２５ｍｍとして、焦点の位
置を変えたときに、最も微弱な「筋」欠点をサンプルと
して上記の画像処理をしたときの濃淡のレベルは、カメ
ラが遮光された場合を０、最大明度を１として表すと図
５の実線のようになり、また、同じ条件で欠点以外の濃
淡レベルをノイズレベルとして測定したところ点線で示
すような結果が得られた。
【００２３】焦点位置はカメラから透明板状体までの距
離を１（Ｇの位置）として表し（スリットの位置はＳの
位置）、焦点をスリット近傍に合わせるとノイズレベル
が急増しているが、これはスリットによる、濃度の濃い
部分（黒色）と薄い部分（白色）がストライプ状になっ
た干渉縞がノイズとして表れたもので、この部分では欠
点を検出することはできず、両側の比較的平坦な部分は
中間濃度（灰色）になっており、焦点が０．８以下のＡ
で示す範囲、、５．０以上のＢで示す範囲において欠点
強度がノイズレベルを上回っておりこの範囲で「筋」欠
点が検出できることがわかる。
離を１（Ｇの位置）として表し（スリットの位置はＳの
位置）、焦点をスリット近傍に合わせるとノイズレベル
が急増しているが、これはスリットによる、濃度の濃い
部分（黒色）と薄い部分（白色）がストライプ状になっ
た干渉縞がノイズとして表れたもので、この部分では欠
点を検出することはできず、両側の比較的平坦な部分は
中間濃度（灰色）になっており、焦点が０．８以下のＡ
で示す範囲、、５．０以上のＢで示す範囲において欠点
強度がノイズレベルを上回っておりこの範囲で「筋」欠
点が検出できることがわかる。
【００２４】
【その他の実施例】図６に示すように基本的には図１に
示す実施例１と同じであるが、光源１、線列スリット板
２及び２次元カメラ４を結ぶ線と透明板状体３の検査対
象領域が垂直ではなく、傾けた状態に設定され各機器が
取り付けられている例を示すものであり、実施例１と同
様に微小な欠点を検出することができる。
示す実施例１と同じであるが、光源１、線列スリット板
２及び２次元カメラ４を結ぶ線と透明板状体３の検査対
象領域が垂直ではなく、傾けた状態に設定され各機器が
取り付けられている例を示すものであり、実施例１と同
様に微小な欠点を検出することができる。
【００２５】以上、好適な実施例により説明したが、本
発明はこれらに限定されるものではなく、種々の応用が
可能である。検出可能位置について、一般的に焦点位置
をスリット板近傍にあわせると干渉縞によるノイズが大
きくなり、従ってスリットと透明板状体の位置の両外側
に検出可能な位置があるが、検出しようとする欠点の大
きさ、２次元カメラの光学特性、スリットなどの諸条件
により検出可能位置は図５に示す位置とは若干ずれるの
で、条件に合わせて測定すればよい。
発明はこれらに限定されるものではなく、種々の応用が
可能である。検出可能位置について、一般的に焦点位置
をスリット板近傍にあわせると干渉縞によるノイズが大
きくなり、従ってスリットと透明板状体の位置の両外側
に検出可能な位置があるが、検出しようとする欠点の大
きさ、２次元カメラの光学特性、スリットなどの諸条件
により検出可能位置は図５に示す位置とは若干ずれるの
で、条件に合わせて測定すればよい。
【００２６】スリットなどの複数の微小な遮光部と透光
部が交互に形成されたスリット板について、透明な樹脂
フィルム、薄板ガラスなどにインク、塗料、ペースト等
を塗布あるいは印刷して遮光膜を交互に形成したものな
ど各種のものを採用することができる。また、実施例の
線列スリット以外にも、格子状のスリットを用いても同
様の検出ができるで好ましいが、その外、ハニカム構
造、菱形構造などの網状に形成したもの、点状の遮光部
を縦横交互に形成したものなども採用することができ
る。
部が交互に形成されたスリット板について、透明な樹脂
フィルム、薄板ガラスなどにインク、塗料、ペースト等
を塗布あるいは印刷して遮光膜を交互に形成したものな
ど各種のものを採用することができる。また、実施例の
線列スリット以外にも、格子状のスリットを用いても同
様の検出ができるで好ましいが、その外、ハニカム構
造、菱形構造などの網状に形成したもの、点状の遮光部
を縦横交互に形成したものなども採用することができ
る。
【００２７】カメラについて、ＣＣＤを使用したもの以
外にも、ＭＯＳを使用したもの、撮像管なども使用する
ことができる。また、比較的大きいかあるいは強度の強
い欠点については走査線が透明板状体の走行方向に直角
になるように配設しても検出できるが、最小の「筋」欠
点は板ガラスの走行方向にほぼ平行に表れるので、欠点
の程度によっては走査線が透明板状体の走行方向にほぼ
平行になるように配設しないと検出できない場合があ
り、カメラはその走査線が透明板状体の走行方向にほぼ
平行になるように配設する方が好ましい。また、カメラ
は２次元カメラ以外にも、１次元カメラも使用すること
ができ、この場合には光源、スリットの長さをガラス搬
送方向に対して小さくすることができる利点がある。
外にも、ＭＯＳを使用したもの、撮像管なども使用する
ことができる。また、比較的大きいかあるいは強度の強
い欠点については走査線が透明板状体の走行方向に直角
になるように配設しても検出できるが、最小の「筋」欠
点は板ガラスの走行方向にほぼ平行に表れるので、欠点
の程度によっては走査線が透明板状体の走行方向にほぼ
平行になるように配設しないと検出できない場合があ
り、カメラはその走査線が透明板状体の走行方向にほぼ
平行になるように配設する方が好ましい。また、カメラ
は２次元カメラ以外にも、１次元カメラも使用すること
ができ、この場合には光源、スリットの長さをガラス搬
送方向に対して小さくすることができる利点がある。
【００２８】２次元カメラとスリット付き光源ボックス
の配置について、実施例１に示すように透明板状体に直
角になるようにする方が好ましいが、図６に示すように
傾けて配置してもよく、さらに２次元カメラと光源ボッ
クスの中心を結ぶ線が透明板状体の法線に対して図６に
示す角度以外の角度に傾けて２次元カメラとスリット付
き光源ボックスを配置してもよい。
の配置について、実施例１に示すように透明板状体に直
角になるようにする方が好ましいが、図６に示すように
傾けて配置してもよく、さらに２次元カメラと光源ボッ
クスの中心を結ぶ線が透明板状体の法線に対して図６に
示す角度以外の角度に傾けて２次元カメラとスリット付
き光源ボックスを配置してもよい。
【００２９】また、本発明で検出できる被検査体は板ガ
ラス以外にも、透明な樹脂など透明板状体の欠点も検出
することができる。
ラス以外にも、透明な樹脂など透明板状体の欠点も検出
することができる。
【００３０】
【発明の効果】以上説明してきたように、この発明によ
れば、その構成を光源からの光をスリット板を通して、
被検査対象物である透明板状体に投光し、検査対象物及
びスリット板から焦点位置をずらしてスリット光による
欠点像を直接検出することにより、ディスト−ションを
伴う点状の欠点は勿論、従来目視検査でも検出困難であ
った「筋」欠点を自動的に検出可能にするとともに、外
部光やスリット板、及び検査対象物上のホコリ、ゴミ、
汚れ等の影響を受け難いため、これらの欠点を安価に確
実に検出することができる。
れば、その構成を光源からの光をスリット板を通して、
被検査対象物である透明板状体に投光し、検査対象物及
びスリット板から焦点位置をずらしてスリット光による
欠点像を直接検出することにより、ディスト−ションを
伴う点状の欠点は勿論、従来目視検査でも検出困難であ
った「筋」欠点を自動的に検出可能にするとともに、外
部光やスリット板、及び検査対象物上のホコリ、ゴミ、
汚れ等の影響を受け難いため、これらの欠点を安価に確
実に検出することができる。
【図１】本発明の欠点検出を行うための検査装置を示す
要部概略図である。
要部概略図である。
【図２】本発明の欠点検出を行うための検査装置を示す
要部斜視図である。
要部斜視図である。
【図３】「筋」欠点があるときに、２次元カメラが捉え
た像を示す図である。
た像を示す図である。
【図４】「筋」欠点があるときに、２次元カメラが捉え
た信号に基づき画像処理をしたときの濃淡レベルの変化
を示す図である。
た信号に基づき画像処理をしたときの濃淡レベルの変化
を示す図である。
【図５】焦点を変えたときの欠点強度とノイズレベルの
関係を示す図である。
関係を示す図である。
【図６】その他の実施例における検出装置を示す要部斜
視図である。
視図である。
１ 光源ボックス ２ スリット板 ３ 透明板状体 ４ ２次元カメラ ５ 画像処理装置 ６ データ処理用パソコン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01N 21/88
Claims (1)
- 【請求項１】光源からの光を光源近くに設けた複数の線
列スリットあるいは格子状スリットなどの複数の微小な
遮光部と透光部が交互に形成されたスリット板を通して
透明板状体に投光し、透明板状体を挟んで前記光源とは
反対側に設けた１次元あるいは２次元カメラにより、濃
淡の変化を撮像し、画像処理装置により欠点を検出する
方法において、カメラの焦点をスリット板および透明板
状体から外した位置に焦点を合わて欠点像を直接検出す
るようにしたことを特徴とする透明板状体の欠点検出方
法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5113251A JP2795595B2 (ja) | 1992-06-26 | 1993-05-14 | 透明板状体の欠点検出方法 |
| DE69304816T DE69304816T2 (de) | 1992-06-26 | 1993-06-24 | Verfahren und Gerät zum Nachweis von Fehlern in durchsichtigem Bahnmaterial sowie Glasfolien |
| EP93110119A EP0576011B1 (en) | 1992-06-26 | 1993-06-24 | Method of and apparatus for detecting defect of transparent sheet as sheet glass |
| US08/081,872 US5452079A (en) | 1992-06-26 | 1993-06-25 | Method of and apparatus for detecting defect of transparent sheet as sheet glass |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16945692 | 1992-06-26 | ||
| JP4-169456 | 1992-06-26 | ||
| JP5113251A JP2795595B2 (ja) | 1992-06-26 | 1993-05-14 | 透明板状体の欠点検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0674907A JPH0674907A (ja) | 1994-03-18 |
| JP2795595B2 true JP2795595B2 (ja) | 1998-09-10 |
Family
ID=26452243
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5113251A Expired - Lifetime JP2795595B2 (ja) | 1992-06-26 | 1993-05-14 | 透明板状体の欠点検出方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5452079A (ja) |
| EP (1) | EP0576011B1 (ja) |
| JP (1) | JP2795595B2 (ja) |
| DE (1) | DE69304816T2 (ja) |
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| JP2011043415A (ja) * | 2009-08-21 | 2011-03-03 | Central Glass Co Ltd | ガラス板面の付着物の検出方法および装置 |
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