JP2018001406A - 研磨装置及び研磨方法 - Google Patents

Abstract

【課題】様々な外形を有した被研磨加工物を研磨することのできる研磨装置及び研磨方法を提供する。【解決手段】研磨装置は、被研磨加工物（Ｋ）の被研磨部の形状に沿った形状の研磨面を有する円盤状の研磨部材（１０）と、被研磨加工物（Ｋ）または研磨部材（１０）の少なくとも一方を、研磨部材（１０）の径方向の外周面における接線方向に移動させる移動機構（３３）とを備え、研磨部材（１０）の外周面において同時に複数の被研磨加工物（Ｋ）の端部を研磨するように構成されている。【選択図】図１

Description

本発明は、研磨装置及び研磨方法に関する。

特許文献１や特許文献２に記載の研磨装置では、被研磨加工物（研磨加工される対象物）を回転させながら研磨部材に接触させることにより、被研磨加工物の外周を研磨するようにしている。

特開平１１−１８８５９０号公報 特開２００１−２０５５４９号公報

しかし、上述した従来の研磨装置では、回転している被研磨加工物の外周を研磨部材に接触させるようにしているため、被研磨加工物は、円盤状や円筒状等のような外形が正円形状のものに限られてしまい、その他の様々な外形を有した被研磨加工物を研磨することは困難である。

なお、上記「正円形状」とは、平面上の、ある１点からの距離が等しい点の集合でできた曲線で描かれる形状のことをいう。また、上記「外形」とは、被研磨加工物において研磨される側面に対して直交する面の投影図の形状のことをいう。

この発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、様々な外形を有した被研磨加工物を研磨することのできる研磨装置及び研磨方法を提供することにある。

上記課題を解決する研磨装置は、被研磨加工物を研磨する装置であって、前記被研磨加工物の被研磨部の形状に沿った形状の研磨面を有する円盤状の研磨部材と、前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を、前記研磨部材の径方向の外周面における接線方向に移動させる移動機構とを備え、前記研磨部材の外周面において同時に複数の被研磨加工物の端部を研磨するように構成されている。

また、上記課題を解決する別の研磨装置は、被研磨加工物を研磨する装置であって、前記被研磨加工物の被研磨部の形状に沿った形状の研磨面を有する円盤状の研磨部材と、前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を、前記研磨部材の径方向の外周面における接線方向に移動させる第１移動機構と、前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を、前記研磨部材の回転軸に対して直交する方向に移動させる第２移動機構とを備え、前記研磨部材の外周面において同時に複数の被研磨加工物の端部を研磨するように構成されている。

また、上記課題を解決する別の研磨装置は、被研磨加工物を研磨する装置であって、前記被研磨加工物の被研磨部の形状に沿った形状の研磨面を有する円盤状の研磨部材と、前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を回転させる回転機構とを備え、前記研磨部材の外周面において同時に複数の被研磨加工物の端部を研磨するように構成されている。

また、上記課題を解決する別の研磨装置は、被研磨加工物を研磨する装置であって、前記被研磨加工物の被研磨部の形状に沿った形状の研磨面を有する円盤状の研磨部材と、前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を前記研磨部材の回転軸に対して直交する方向に押圧する押圧機構とを備え、前記研磨部材の外周面において同時に複数の被研磨加工物の端部を研磨するように構成されている。

また、上記課題を解決する別の研磨装置は、被研磨加工物を研磨する装置であって、前記被研磨加工物の被研磨部の形状に沿った形状の研磨面を有する円盤状の研磨部材と、前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を、前記研磨部材の径方向の外周面における接線方向に移動させる移動機構と、前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を回転させる回転機構とを備え、前記研磨部材の外周面において同時に複数の被研磨加工物の端部を研磨するように構成されている。

また、上記課題を解決する別の研磨装置は、被研磨加工物を研磨する装置であって、前記被研磨加工物の被研磨部の形状に沿った形状の研磨面を有する円盤状の研磨部材と、前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を、前記研磨部材の径方向の外周面における接線方向に移動させる移動機構と、前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を前記研磨部材の回転軸に対して直交する方向に押圧する押圧機構とを備え、前記研磨部材の外周面において同時に複数の被研磨加工物の端部を研磨するように構成されている。

また、上記課題を解決する別の研磨装置は、被研磨加工物を研磨する装置であって、前記被研磨加工物の被研磨部の形状に沿った形状の研磨面を有する円盤状の研磨部材と、前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を、前記研磨部材の径方向の外周面における接線方向に移動させる移動機構と、前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を回転させる回転機構と、前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を前記研磨部材の回転軸に対して直交する方向に押圧する押圧機構とを備え、前記研磨部材の外周面において同時に複数の被研磨加工物の端部を研磨するように構成されている。

また、上記研磨装置は、研磨部材を下方から回転させるモータを備えたり、研磨部材を上面に載置した状態で研磨部材と一体回転する定盤を備えたりすることが好ましい。
また、上記課題を解決する研磨方法は、上記研磨装置を用いて、前記研磨部材の外周面において同時に複数の被研磨加工物の端部を研磨することを特徴とする。

上記装置や方法では、研磨部材は、被研磨加工物の被研磨部の形状に沿った形状の研磨面を有しているため、被研磨加工物の被研磨部の形状が、例えば曲面や三角形状等のように、平面状とは異なる形状であっても研磨することができる。

上記装置や方法において、被研磨加工物または研磨部材の少なくとも一方を、研磨部材の径方向の外周面における接線方向に移動させた場合には、被研磨加工物と研磨部材とが直線状に相対移動するようになる。従って、直線状の外形を有した被研磨加工物を研磨することができる。

上記装置や方法において、被研磨加工物または研磨部材の少なくとも一方を、研磨部材の径方向の外周面における接線方向に移動させるとともに、被研磨加工物または研磨部材の少なくとも一方を、研磨部材の回転軸に対して直交する方向に移動させた場合には、被研磨加工物と研磨部材との位置関係を任意に変化させることが可能になる。そのため、種々の被研磨加工物の外形形状に追従させながら被研磨部材を研磨加工物と接触状態に維持することができる。従って、様々な外形を有した被研磨加工物を研磨することができる。

また、上記装置や方法において、被研磨加工物または研磨部材の少なくとも一方を回転させた場合には、被研磨加工物の研磨される面を変更することができる。従って、様々な外形を有する被研磨加工物の例えば外周全体や一部を好適に研磨することができる。

また、上記装置や方法において、被研磨加工物または研磨部材の少なくとも一方を研磨部材の回転軸に対して直交する方向に押圧した場合には、被研磨加工物の研磨処理を促進させることができるとともに、被研磨加工物及び研磨面の接触状態（いわゆる当たり）の均一化を促すことができる。

また、上記装置や方法において、研磨部材を下方から回転させたり、研磨部材を定盤の上面に載置した状態で同定盤とともに研磨部材を一体回転させた場合には、軸ぶれなどの少ない安定した研磨部材の回転が得られるようになるため、より高精度な加工を行うことができる。

本発明によれば、様々な外形を有した被研磨加工物を研磨することができる。

一実施形態の研磨装置の概略構成を示す平面図。 同実施形態の研磨装置の概略構成を示す側面図。 同実施形態の変形例における研磨装置の概略構成を示す平面図。 図３の変形例における研磨装置を用いて研磨される被研磨加工物の一例を示す平面図。 同実施形態の別の変形例における被研磨加工物及び研磨部材の部分側面図。 同実施形態の別の変形例における被研磨加工物及び研磨部材の部分側面図。 同実施形態の別の変形例における被研磨加工物及び研磨部材の部分側面図。 同実施形態の別の変形例における被研磨加工物及び研磨部材の部分側面図。 同実施形態の別の変形例における被研磨加工物及び研磨部材の部分側面図。 同実施形態の別の変形例の研磨装置による被研磨加工物の加工態様を示す模式図。 同実施形態の別の変形例の研磨装置による被研磨加工物の加工態様を示す模式図。 同実施形態の別の変形例における圧力付与機構の概略構成を示す模式図。

以下、本発明の研磨装置及び研磨方法及び被研磨加工物を具体化した一実施形態について、図１及び図２を参照して説明する。
図１に示すように、この研磨装置は、円盤状の研磨部材１０を備えている。この研磨部材１０の径方向の外周面を使って、被研磨加工物Ｋの被研磨部である端部が研磨される。

被研磨加工物Ｋの外形、つまり同被研磨加工物Ｋにおいて研磨される側面に直交する面の投影形状（図１に示す被研磨加工物Ｋの形状）は四角形状をなしている。より詳細には、四角形の角部は直角ではなく丸みを帯びている。しかし、その他の形状として、四角形の角部が直角になっていてもよい。

図２に示すように、被研磨加工物Ｋの端部ＫＥの形状（被研磨部の形状）は、予めの加工によって曲面形状にされており、この曲面形状に加工された端部ＫＥが、研磨部材１０で研磨される。

研磨部材１０の材質は、端部ＫＥを研磨する上で最適なものを任意に使用できる。例えば、研磨部材１０の材質として樹脂を使用する場合には、任意の合成樹脂を使用することができる。その例としては、熱硬化性樹脂（フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、ポリイミドなど）や、熱可塑性樹脂（ポリエチレン、ポリプロピレン、アクリル樹脂、ポリアミド、ポリカーボネートなど）が挙げられる。また、織物、不織布、不織布の樹脂加工品、合成皮革、あるいはこれらの複合品であってもよく、研磨部材１０の研磨面の硬度は、ショアＡ硬度で５以上であることが好ましい。ショアＡ硬度が５以上であるとは、硬度を測定される検体であって研磨面を有する研磨部材１０を、湿度２０〜６０％の乾燥状態で室温に６０分以上置いた後、ＪＩＳ Ｋ６２５３に準拠したゴム硬度計（Ａ型）にて測定される研磨面の硬度が５以上であることをいう。ショアＡ硬度が５以上であれば、被研磨加工物Ｋの表面を好適に加工することができ、また、研磨部材１０の研磨面が短時間の研磨で変形することを抑えることが出来る。

なお、研磨部材１０の研磨面のショアＡ硬度は、より好ましくは４０以上であり、更に好ましくは７０〜９５、特に好ましくは７０〜８５である。
また、研磨部材１０の材質として金属を使用する場合には、材質として、マグネシウム、アルミニウム、チタン、鉄、ニッケル、コバルト銅、亜鉛、マンガン或いはそれを主成分とする合金を使用することができる。

なお、研磨部材１０の材質として、樹脂又は金属を使用する場合には、研磨部材１０は砥粒を有していても良い。使用する砥粒の種類は特に限定されないが、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸化セリウム、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酸化チタニウム、酸化マンガン、酸化鉄、酸化クロムなどの金属酸化物粒子や、炭化ケイ素などの炭化物、その他窒化物、硼化物、ダイヤモンド等を使用することが出来る。

また、研磨部材１０の材質としてセラミックスを使用する場合には、材質として、陶磁器やガラスの他、ケイ素、アルミニウム、ジルコニウム、カルシウム、バリウムなどの酸化物、窒化物、ホウ化物、炭化物などや、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸化ケイ素、炭化ケイ素、窒化ケイ素、窒化ホウ素などを使用することができる。

被研磨加工物Ｋの材質も任意のものを使用することができる。例えば、被研磨加工物Ｋの材質として樹脂を使用する場合には、任意の合成樹脂を使用することができる。その例としては、熱硬化性樹脂（フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、ポリイミドなど）や、熱可塑性樹脂（ポリエチレン、ポリプロピレン、アクリル樹脂、ポリアミド、ポリカーボネートなど）が挙げられる。

また、被研磨加工物Ｋの材質としてセラミックスを使用する場合には、陶磁器、ガラス、ファインセラミックスの他、ケイ素、アルミニウム、ジルコニウム、カルシウム、バリウムなどの酸化物、炭化物、窒化物、ホウ化物などを使用することができる。

また、被研磨加工物Ｋの材質として金属を使用する場合には、マグネシウム、アルミニウム、チタン、鉄、ニッケル、コバルト、銅、亜鉛、マンガン或いはそれを主成分とする合金等を使用することができる。

また、被研磨加工物Ｋの具体的な用途についても任意である。例えばホイール、シャフト、容器、筐体（ケース、ハウジングなど）、枠（フレームなど）、ボール、ワイヤ、装飾品などをその用途とすることができる。

研磨部材１０は、円盤状の定盤２０の上面に取り外し可能に固定されている。定盤２０の中心部下面には、第１モータ２１の回転軸が固定されている。第１モータ２１が回転駆動されると、定盤２０及び研磨部材１０はともに回転する。研磨部材１０及び定盤２０の下に第１モータ２１を設けており、定盤２０の上面に配置された研磨部材１０を同定盤２０とともに下から回転させることにより、軸ぶれなどの少ない安定した研磨部材１０の回転が得られるために、より高精度な加工を行うことができる。

研磨部材１０の径方向の外周面には、周方向に延びる溝状の曲面形状を有した研磨面１１が設けられている。この研磨面１１の曲面は、被研磨加工物Ｋの端部ＫＥの形状に沿った形にされている。つまり研磨面１１の曲率は、端部ＫＥの曲率と同じにされている。

ちなみに、研磨精度を好適に維持できる範囲内で研磨部材１０の直径をできる限り大きくすれば、研磨部材１０の外周面において同時に複数の被研磨加工物Ｋの端部ＫＥを研磨することができるため、生産性を向上させることができる。また、研磨部材１０の直径をできる限り大きくすれば、研磨部材１０の回転速度が同じであっても、外周では大きな線速度が得られるようになるため、研磨加工に際して研磨部材１０の回転速度を比較的低くしても十分な線速度が得られるようになる。そのため、例えば後述する加工液の飛散等を抑えることができる。

被研磨加工物Ｋは、固定台３２に取り外し可能に保持されている。固定台３２は、第２モータ３０の回転軸３１に固定されている。この第２モータ３０が駆動されることにより、被研磨加工物Ｋは、回転軸３１を中心にして回転される（先の図１に示す矢印Ｒ方向又は矢印Ｌ方向）。なお、第２モータ３０は上記回転機構を構成している。

第２モータ３０は、モータ移動機構３３に取り付けられている。このモータ移動機構３３は、第２モータ３０を、研磨部材１０の回転軸に対して直交する方向に往復移動させる機構を備えている。なお、以下では、研磨部材１０の回転軸に対して直交する方向を「矢印Ｘ方向」（図２に図示）という。

また、モータ移動機構３３は、第２モータ３０を、研磨部材１０の径方向の外周面における接線方向に往復移動させる機構も備えている。なお、以下では、研磨部材１０の径方向の外周面における接線方向を「矢印Ｙ方向」という（先の図１に図示）。

モータ移動機構３３によって第２モータ３０が移動されると、第２モータ３０及び回転軸３１及び固定台３２及び被研磨加工物Ｋは、一体となって研磨部材１０の回転軸と直交する方向や研磨部材１０の径方向の外周面における接線方向に移動する。このモータ移動機構３３は、上記第１移動機構及び上記第２移動機構を構成している。

さらに研磨装置は、研磨部材１０の回転軸に対して直交する方向に被研磨加工物Ｋを押圧する押圧機構４０を備えている。この押圧機構４０は、研磨部材１０の研磨面１１に対して被研磨加工物Ｋを圧力Ｐにて押圧する。こうした押圧機構４０による圧力Ｐの調整は、任意に行うことができる。例えば、被研磨加工物Ｋの端部ＫＥと研磨面１１との接触部における接触圧をロードセルなどで測定する。そして、その接触圧が規定の値で一定になるように上記圧力Ｐを調整する。また、接触部の面積に応じて圧力Ｐを調整してもよい（例えば接触部の面積が広い部位では圧力Ｐを高くし、接触部の面積が狭い部位では圧力Ｐを低くするなど）。

また、角部などは平面部に比較して上記接触圧が高くなりやすい。そのため、角部などのように接触圧が高くなる被研磨加工物Ｋの部分の研磨時間は短くし、平面部などのように接触圧が高くなる被研磨加工物Ｋの部分の研磨時間は長くするなど、被研磨加工物Ｋの形状等に応じて適切な研磨制御を行ったり、そうした圧力Ｐの調整と併せて加工時間を調整して一定の研磨が行われるようにしたりしてもよい。

モータ移動機構３３や押圧機構４０の動力源としては、電力、油圧、空気圧、ガス圧等といった適宜の動力源を使用することができる。また、モータ移動機構３３や押圧機構４０の駆動は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、及びＲＯＭ等を備えた制御装置による自動駆動や、研磨装置を操作する操作者のスイッチ操作等によって行われる。

こうしたモータ移動機構３３による第２モータ３０の移動と、押圧機構４０による被研磨加工物Ｋの押圧とにより、被研磨加工物Ｋの端部ＫＥは研磨面１１に押し付けられる。そして、端部ＫＥと研磨面１１との接触部に、適宜の態様で加工液等が供給される。こうした加工液の供給は、端部ＫＥと研磨面１１との接触部に対して外部から直接供給することができる。または、研磨部材１０（より詳細には研磨部材１０が固定された定盤２０）と第１モータ２１との接続部にロータリジョイントなどの加工液供給機構を介在させる。そしてこの加工液供給機構から研磨部材１０の内部に加工液を供給し、研磨部材１０の内部に供給された加工液を、研磨部材１０の内部に形成された供給路を介して上記接触部に供給することもできる。このように研磨部材１０の内部から接触部に向けて加工液を供給することで、加工液をより効率的に供給することができる。また、加工液を効率よく使用するために、研磨部材１０の周囲にカバーを設けて加工液の回収効率を上げる回収装置を備えていると更によい。

上述した加工液の種類は、被研磨加工物Ｋや研磨部材１０の材質に応じて適切なものを使用出来る。具体的には切削用、研削用加工液やラッピング材、ポリシング剤、化学機械研磨用研磨液などを使用することが出来る。加工液は砥粒を含有していても良い。使用する砥粒の種類は特に限定されないが、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸化セリウム、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酸化チタニウム、酸化マンガン、酸化鉄、酸化クロムなどの金属酸化物粒子や、炭化ケイ素などの炭化物、窒化物、硼化物、ダイヤモンド等を使用することが出来る。

例えば、加工液中の砥粒の含有量は、１質量％以上であることが好ましく、より好ましくは２質量％以上である。また、加工液中の砥粒の含有量は、５０質量％以下であることが好ましく、より好ましくは４０質量％以下である。

加工液中の砥粒の平均二次粒子径は０．１μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは０．３μｍ以上である。砥粒の平均二次粒子径が大きくなるにつれて、加工液による加工速度が向上するようになる。

一方、加工液中の砥粒の平均二次粒子径は、２０μｍ以下であることが好ましく、より好ましくは５μｍ以下である。加工液中の砥粒の平均二次粒子径が小さくなるにつれて、被研磨加工物Ｋの表面をより均一に研磨することができるようになる。ちなみに、砥粒の平均二次粒子径とは、例えば、堀場製作所社製の“ＬＡ−９５０”などのレーザ回折／散乱式粒子径分布測定装置を用いて測定した体積平均粒子径などのことである。

上記加工液には、必要に応じて、ｐＨ調整剤、エッチング剤、酸化剤、水溶性重合体、共重合体やその塩、誘導体、防食剤、キレート剤、分散助剤、防腐剤、防黴剤等の他の成分を更に含んでも良い。

上記ｐＨ調整剤の例としては、公知の酸、塩基、またはそれらの塩を使用することができる。ｐＨ調整剤として使用できる酸の例としては、例えば、塩酸、硫酸、硝酸、フッ酸、ホウ酸、炭酸、次亜リン酸、亜リン酸、およびリン酸等の無機酸や、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、２−メチル酪酸、ｎ−ヘキサン酸、３，３−ジメチル酪酸、２−エチル酪酸、４−メチルペンタン酸、ｎ−ヘプタン酸、２−メチルヘキサン酸、ｎ−オクタン酸、２−エチルヘキサン酸、安息香酸、グリコール酸、サリチル酸、グリセリン酸、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、マレイン酸、フタル酸、リンゴ酸、酒石酸、クエン酸、乳酸、ジグリコール酸、２−フランカルボン酸、２，５−フランジカルボン酸、３−フランカルボン酸、２−テトラヒドロフランカルボン酸、メトキシ酢酸、メトキシフェニル酢酸、およびフェノキシ酢酸等の有機酸が挙げられる。

ｐＨ調整剤として使用できる塩基の例としては、脂肪族アミン、芳香族アミン等のアミン、水酸化第四アンモニウムなどの有機塩基、水酸化カリウム等のアルカリ金属の水酸化物、アルカリ土類金属の水酸化物、およびアンモニア等が挙げられる。

また、上述した酸の代わりに、または上述した酸と組み合わせて、上記酸のアンモニウム塩やアルカリ金属塩等の塩をｐＨ調整剤として用いてもよい。なお、こうしたｐＨ調整剤は、加工液のｐＨ値を、被研磨加工物Ｋの種類によって異なる最適値に調整するために用いられる。

上記エッチング剤の例としては、硝酸、硫酸、リン酸などの無機酸、酢酸、クエン酸、酒石酸やメタンスルホン酸などの有機酸、水酸化カリウム、水酸化ナトリウムなどの無機アルカリ、アンモニア、アミン、第四級アンモニウム水酸化物などの有機アルカリ等が挙げられる。

上記酸化剤の例としては、過酸化水素、過酢酸、過炭酸塩、過酸化尿素、過塩素酸塩、過硫酸塩等の他、硫酸、硝酸、リン酸及びその塩などのオキソ酸やその塩等が挙げられる。

上記水溶性重合体、共重合体やその塩、誘導体の例としては、ポリアクリル酸塩などのポリカルボン酸、ポリホスホン酸、ポリスチレンスルホン酸などのポリスルホン酸、キタンサンガム、アルギン酸ナトリウムなどの多糖類、ヒドロキシエチルセルロース、カルボキシメチルセルロースなどのセルロース誘導体、ポリエチレングリコール、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ソルビタンモノオレエート、単一種または複数種のオキシアルキレン単位を有するオキシアルキレン系重合体、ノニオン性界面活性剤、アニオン性界面活性剤等が挙げられる。ノニオン性界面活性剤の例としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル、ソルビタンモノオレエート、単一種又は複数種のオキシアルキレン単位を有するオキシアルキレン系重合体等が挙げられる。アニオン性界面活性剤の例としては、アルキルスルホン酸系化合物、アルキルベンゼンスルホン酸系化合物、アルキルナフタレンスルホン酸系化合物、メチルタウリン酸系化合物、アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸系化合物、α−オレフィンスルホン酸系化合物、ナフタレンスルホン酸縮合物、スルホコハク酸ジエステル系化合物等が挙げられる。

上記防食剤の例としては、アミン類、ピリジン類、テトラフェニルホスホニウム塩、ベンゾトリアゾール類、トリアゾール類、テトラゾール類、安息香酸等、単環化合物、縮合環を有する多環化合物、複素環式化合物等が挙げられる。

上記キレート剤の例としては、グルコン酸等のカルボン酸系キレート剤、エチレンジアミン、ジエチレントリアミン、トリメチルテトラアミンなどのアミン系キレート剤、エチレンジアミン四酢酸、ニトリロ三酢酸、ヒドロキシエチルエチレンジアミン三酢酸、トリエチレンテトラミン六酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸などのポリアミノポリカルボン系キレート剤、２−アミノエチルホスホン酸、１−ヒドロキシエチリデン−１，１−ジホスホン酸、アミノトリ（メチレンホスホン酸）、エチレンジアミンテトラキス（メチレンホスホン酸）、ジエチレントリアミンペンタ（メチレンホスホン酸）、エタン−１，１−ジホスホン酸、エタン−１，１，２−トリホスホン酸、メタンヒドロキシホスホン酸、１−ホスホノブタン−２，３，４−トリカルボン酸などの有機ホスホン酸系キレート剤、フェノール誘導体、１，３−ジケトン等が挙げられる。

上記分散助剤の例としては、ピロリン酸塩やヘキサメタリン酸塩などの縮合リン酸塩等が挙げられる。
上記防腐剤の例としては、次亜塩素酸ナトリウム等が挙げられる。

上記防黴剤の例としては、オキサゾリジン−２，５−ジオンなどのオキサゾリン等が挙げられる。
そして、上述した加工液等の供給とともに、第１モータ２１の回転速度調整が行われることにより、曲面形状の端部ＫＥが研磨される。端部ＫＥの研磨は、例えば、次の工程順で行うことができる。

工程１：モータ移動機構３３によって、被研磨加工物Ｋを、矢印Ｘ方向において研磨部材１０の回転中心に向かって移動させることにより、端部ＫＥと研磨面１１とを接触させる。

工程２：次に、端部ＫＥと研磨面１１とが接触した状態で押圧機構４０を駆動しつつ、モータ移動機構３３によって被研磨加工物Ｋを矢印Ｙ方向において移動させることにより、端部ＫＥと研磨面１１との接触部位を変えていく。これにより被研磨加工物Ｋの１つの辺の研磨が進んでいく。

工程３：被研磨加工物Ｋの１つの辺の研磨が終了すると、押圧機構４０を端部ＫＥから離間させる。そして、モータ移動機構３３によって被研磨加工物Ｋを矢印Ｘ方向において移動させつつ、第２モータ３０によって被研磨加工物Ｋを回転させる。こうして被研磨加工物Ｋと研磨面１１とが接触した状態を維持しつつ被研磨加工物Ｋを回転させることにより、研磨が終了した辺の隣の辺が研磨面１１側に向けられて、研磨される辺が切り替えられる。

そして、工程２及び工程３が繰り返されることにより、被研磨加工物Ｋの４つの辺全てが研磨される。なお、上述した研磨の工程は一例であり、モータ移動機構３３や押圧機構４０の駆動態様は、加工時間等を考慮して適宜変更することができる。

以上説明した本実施形態によれば、以下の作用効果を得ることができる。
（１）モータ移動機構３３により、被研磨加工物Ｋを、研磨部材１０の径方向の外周面における接線方向（矢印Ｙ方向）に移動させるようにしている。そのため、被研磨加工物Ｋと研磨部材１０とが直線状に相対移動するようになる。従って、線状の辺を有する四角形状の被研磨加工物Ｋの端部ＫＥを研磨することができる。

（２）第２モータ３０によって被研磨加工物Ｋが回転されることにより、被研磨加工物Ｋにおいて研磨される面（辺）を変更することができる。従って、四角形状の外形を有した被研磨加工物Ｋの外周全体を研磨することができる。

（３）被研磨加工物Ｋの研磨時に、被研磨加工物Ｋを研磨部材１０に押圧するようにしている。そのため、被研磨加工物Ｋの研磨処理を促進させることができる。また、被研磨加工物Ｋ及び研磨面１１の接触状態、いわゆる当たりの均一化を促すことができる。

（４）研磨装置は、被研磨加工物Ｋの端部ＫＥの形状に沿った形状の研磨面１１を有する研磨部材１０を備えている。従って、被研磨加工物Ｋの端部ＫＥが平面状とは異なる曲面形状であっても、その端部ＫＥを研磨することができる。

（５）上述した研磨方法では、研磨装置を用いて被研磨加工物Ｋを研磨するようにしている。従って、被研磨部の形状（端部ＫＥの形状）が平面状とは異なる曲面形状をなしており、かつ四角形状の被研磨加工物Ｋであっても、その外周を研磨することができる。

なお、上記実施形態は以下のように変更して実施することもできる。
・被研磨加工物Ｋを回転させることにより、被研磨加工物Ｋの外周全体を研磨するようにしたが、その代わりに、被研磨加工物Ｋの外周の一部、例えば被研磨加工物Ｋの１つの辺のみ、あるいは２つの辺のみ、あるいは３つの辺のみを研磨するようにしてもよい。

・上記工程３では、被研磨加工物Ｋを、矢印Ｘ方向において研磨部材１０の回転中心から離れる方向へと移動させつつ回転させるようにしたが、その代わりに、研磨の終了した端部ＫＥが研磨面１１から離間するまで被研磨加工物Ｋを矢印Ｙ方向に移動させた後、同被研磨加工物Ｋを回転させてもよい。そして、被研磨加工物Ｋにおける次に研磨しようとする辺が研磨面１１に近づくように被研磨加工物Ｋを矢印Ｙ方向において移動させるようにしてもよい。このようにして研磨する辺を替えるようにしても、被研磨加工物Ｋの各辺をそれぞれ研磨することができる。なお、この変形例の場合には、被研磨加工物Ｋを矢印Ｘ方向に移動させるモータ移動機構３３の機能を省略することができる。

・上記被研磨加工物Ｋの４つの辺のうちで１つの辺だけを研磨するのであれば、モータ移動機構３３は、被研磨加工物Ｋを矢印Ｙ方向に移動させる機能のみを備えるようにし、回転機構（第２モータ３０等）を省略してもよい。この場合でも、モータ移動機構３３によって、被研磨加工物Ｋと研磨部材１０とが直線状に相対移動するようになるため、直線状の辺を有する四角形状の被研磨加工物Ｋの端部ＫＥの１つの辺を研磨することができる。

・上記実施形態では、被研磨加工物Ｋが矢印Ｘ方向及び矢印Ｙ方向に移動可能であるが、それに加えて、研磨部材１０の回転中心を移動させる機構を設けてもよい。そして、被研磨加工物Ｋを矢印Ｘ方向に移動させるとともに、研磨部材１０を矢印Ｙ方向に動かすようにしてもよい。または、被研磨加工物Ｋを矢印Ｙ方向に移動させるとともに、研磨部材１０を矢印Ｘ方向に動かすようにしてもよい。

または、被研磨加工物Ｋ及び研磨部材１０をともに矢印Ｘ方向に移動させたり、被研磨加工物Ｋ及び研磨部材１０をともに矢印Ｙ方向に動かしたりしてもよい。
・上記実施形態では、被研磨加工物Ｋが移動可能であるが、その代わりに、研磨部材１０を移動可能に構成してもよい。図３に、そうした変形例の概略を示す。

図３に示すように、四角形状の被研磨加工物Ｋは、適宜の態様にて研磨装置にクランプされている。また、回転駆動される研磨部材１０の回転中心には、同研磨部材を移動させる移動機構５０が設けられている。この移動機構５０は、研磨部材１０の径方向の外周面における接線方向（図３に示す矢印Ｙ方向）に研磨部材１０を移動させる第１移動機構としての機能と、研磨部材１０の回転軸に対して直交する方向（図３に示す矢印Ｘ方向）に研磨部材１０を移動させる第２移動機構としての機能を併せ持っている。こうした移動機構５０としては、適宜の機構を採用することができる。例えばリンク機構や上記モータ移動機構３３に類似した機構などを採用することができる。

この変形例における研磨装置では、移動機構５０によって、被研磨加工物Ｋに対する研磨部材１０の位置を任意に変化することが可能になるため、被研磨加工物Ｋの外形形状に追従させながら被研磨加工物Ｋと研磨部材１０との接触状態を維持することができる。つまり、図３に二点鎖線にて示すように、被研磨加工物Ｋの外周（端部ＫＥ）に沿って研磨部材１０を移動させることが可能になる。そのため、こうした変形例でも、四角形状の外形を有した被研磨加工物Ｋの外周全体を研磨することができる。また、こうした変形例の場合には、上記実施形態と比較して、研磨部材１０の大きさが比較的小さくても被研磨加工物Ｋの外周全体を研磨することができる。ちなみに、図３の変形例における移動機構５０に代えて、図３に示す矢印Ｙ方向に研磨部材１０を移動させる移動機構と、図３に示す矢印Ｘ方向に研磨部材１０を移動させる移動機構とを、別々に設けてもよい。また、図３の変形例において、被研磨加工物Ｋの外周の一部、例えば被研磨加工物Ｋの１つの辺のみ、あるいは２つの辺のみ、あるいは３つの辺のみを研磨するようにしてもよい。

・定盤２０の上面に研磨部材１０を設けるようにしたが、定盤２０を省略して、研磨部材１０の中心に第１モータ２１の回転軸を直接固定してもよい。
・押圧機構４０を駆動させることにより端部ＫＥを研磨面１１に押し付けるようにしたが、モータ移動機構３３により第２モータ３０を矢印Ｘ方向に移動させることにより、端部ＫＥを研磨面１１に押し付けることができるのであれば、押圧機構４０を省略してもよい。

・モータ移動機構３３にて、第２モータ３０を、研磨部材１０の回転軸に対して直交する方向（先の図２に示した矢印Ｘ方向）及び研磨部材１０の径方向の外周面における接線方向（先の図１に示した矢印Ｙ方向）に往復移動させるようにしたが、その代わりに、第２モータ３０を研磨部材１０の回転軸に対して直交する方向（先の図２に示した矢印Ｘ方向）に移動させる機構と、第２モータ３０を研磨部材１０の径方向の外周面における接線方向（先の図１に示した矢印Ｙ方向）に移動させる機構とを別々に設けるようにしてもよい。

・被研磨加工物Ｋを移動させるために第２モータ３０を移動させるようにしたが、他の態様で被研磨加工物Ｋを移動させてもよい。
・被研磨加工物Ｋの端部ＫＥを研磨するようにしたが、被研磨部はそうした端部に限定されるものではなく、他の部位でもよい。

・被研磨加工物Ｋの端部ＫＥの形状は、曲面以外の非平面状であってもよく、例えば図５に示す三角形状や、図６に示すように略三角形状であって頂部が丸みを帯びた形状でもよい。また、被研磨加工物Ｋの端部ＫＥの形状は、図７に示す階段形状や、図８に示すように略階段形状であって角部が丸みを帯びた形状であってもよい。また、図９に示すように、端部ＫＥが、被研磨加工物Ｋの内側に向けて窪んだ曲面形状であってもよい。また、複数の曲率で構成される曲面や、一部に直線部を備える曲面でもよい。これらの変形例においても、研磨部材１０の研磨面１１を、被研磨加工物Ｋの端部ＫＥの形状（被研磨部の形状）に沿った形にすることで、端部ＫＥを研磨することができる。

・被研磨加工物Ｋの外形は四角形状以外の任意の様々な形状でもよい。例えば複数の平面や曲面からなる形状でもよく、三角形状や、楕円形状でもよい。ちなみに、上記実施形態及びその変形例においては、様々な外形を有した被研磨加工物Ｋを研磨することができ、例えば、外形が円形である円筒形状の被研磨加工物Ｋの周面を研磨することも可能である。

また、先の図３に示した変形例では、被研磨加工物Ｋに対する研磨部材１０の位置を任意に変えることが可能なため、図４に示すように、被研磨加工物Ｋの外形が複数の曲率で形作られる形状であっても、その外周を研磨することができる。

また、上記実施形態では、被研磨加工物Ｋの端部ＫＥと研磨面１１とを接触させたり、研磨の終了した端部ＫＥを研磨面１１から離間させたりするために、被研磨加工物Ｋを矢印Ｘ方向に移動させるようにした。ここで、上記モータ移動機構３３によれば、被研磨加工物Ｋを矢印Ｘ方向及び矢印Ｙ方向に移動させることが可能なため、研磨部材１０に対する被研磨加工物Ｋの位置を任意に変えることが可能である。そのため、被研磨加工物Ｋの外形形状に追従させながら被研磨加工物Ｋと研磨部材１０との接触状態を維持することができる。そして、上記実施形態の研磨装置は、被研磨加工物Ｋを回転させる回転機構も備えている。従って、上記実施形態においても、矢印Ｘ方向及び矢印Ｙ方向への被研磨加工物Ｋの移動と、被研磨加工物Ｋの回転とを組み合わせることにより、先の図４に示したような形状の被研磨加工物Ｋ、つまり被研磨加工物Ｋの外形が複数の曲率で形作られる形状であっても、その外周を研磨することができる。

・特徴（Ａ）として、被研磨加工物Ｋまたは研磨部材１０の少なくとも一方を、研磨部材１０の径方向の外周面における接線方向（矢印Ｙ方向）に移動させることを採用すれば、被研磨加工物Ｋの１つの辺を研磨することができる。また、特徴（Ｂ）として、被研磨加工物Ｋまたは研磨部材１０の少なくとも一方を、研磨部材１０の回転軸に対して直交する方向（矢印Ｘ方向）に移動させることと、被研磨加工物Ｋまたは研磨部材１０の少なくとも一方を、研磨部材１０の径方向の外周面における接線方向（矢印Ｙ方向）に移動させることを採用すれば、被研磨加工物Ｋと研磨部材１０との位置関係を任意に変更することができる。また、特徴（Ｃ）として、被研磨加工物Ｋまたは研磨部材１０の少なくとも一方を回転させることを採用すれば、被研磨加工物Ｋにおいて研磨される面を変更することができる。また、特徴（Ｄ）として、被研磨加工物Ｋまたは研磨部材１０の少なくとも一方を研磨部材１０の回転軸に対して直交する方向に押圧することを採用すれば、被研磨加工物の研磨処理を促進させることができるとともに、被研磨加工物及び研磨面の接触状態（いわゆる当たり）の均一化を促すことができる。従って、これらの特徴（Ａ）〜（Ｄ）は被研磨加工物Ｋの形状や加工目的に応じて、適宜組み合わせて採用したり、単独で採用したりすることが可能であり、その場合、採用した特徴（Ａ）〜（Ｄ）に対応した効果を得ることができる。

・研磨部材１０や被研磨加工物Ｋを回転させることにより同被研磨加工物Ｋを研磨する場合、被研磨加工物Ｋの研磨後の面には回転方向に研磨痕が残るおそれがある。そこで、そうした研磨痕を抑えるために、上述した各種機構に加えて、研磨部材１０及び被研磨加工物Ｋの少なくとも一方を、回転方向に対して交差する方向に往復移動させる往復移動機構をさらに備えるようにしてもよい。そうした往復移動機構を先の図２等に示した上記実施形態の研磨装置に設けた場合の２つの例を、図１０及び図１１に示す。

図１０に示す変形例の研磨装置は、研磨部材１０の回転方向に対して直交する方向に被研磨加工物Ｋを揺動させる揺動機構６０を備えている。この揺動機構６０としては、例えばリンク機構など、適宜の機構を採用することができる。

この変形例では、研磨部材１０を回転させて被研磨加工物Ｋの端部ＫＥを研磨するときに、揺動機構６０を作動させる。この揺動機構６０の作動により、研磨部材１０の回転方向に対して直交する方向（図１０に示す矢印ＲＯ方向）に被研磨加工物Ｋは揺動する。そして、この被研磨加工物Ｋの揺動運動により、回転研磨中の被研磨加工物Ｋの端部ＫＥは、研磨面１１の曲面に沿って揺動する。こうした端部ＫＥの揺動により、端部ＫＥの研磨痕は交差状になり、回転のみの研磨に比べて研磨痕は小さくなる。従って、回転研磨による研磨痕を抑えることができるようになる。

なお、研磨部材１０の回転方向に対する被研磨加工物Ｋの揺動方向は、必ずしも直交方向に限られるものではなく、研磨部材１０の回転方向に対して少なくとも交差する方向に揺動させるようにすれば、研磨痕は交差状になるため、回転研磨による研磨痕を抑えることができる。また、被研磨加工物Ｋではなく、研磨部材１０を揺動させるようにしてもよい。また、被研磨加工物Ｋ及び研磨部材１０をともに揺動させるようにしてもよい。

図１１に示す変形例の研磨装置は、研磨部材１０の回転方向に対して直交する方向に被研磨加工物Ｋを小さく振動させる振動機構７０を備えている。この振動機構７０としては、例えば超音波振動を利用した機構など、適宜の機構を採用することができる。

この変形例では、研磨部材１０を回転させて被研磨加工物Ｋの端部ＫＥを研磨するときに、振動機構７０を作動させる。この振動機構７０の作動により、研磨部材１０の回転方向に対して直交する方向（図１１に示す矢印ＵＤ方向）に被研磨加工物Ｋは小さく振動する。そして、この被研磨加工物Ｋの振動により、回転研磨中の被研磨加工物Ｋの端部ＫＥは、研磨面１１の曲面に接触した状態で矢印ＵＤ方向に小さく往復運動する。こうした端部ＫＥの往復運動により、端部ＫＥの研磨痕は交差状になり、回転のみの研磨に比べて研磨痕は小さくなる。従って、この変形例でも、回転研磨による研磨痕を抑えることができるようになる。

なお、研磨部材１０の回転方向に対する被研磨加工物Ｋの振動方向は、必ずしも直交方向に限られるものではなく、研磨部材１０の回転方向に対して少なくとも交差する方向に振動させるようにすれば、研磨痕は交差状になるため、回転研磨による研磨痕を抑えることができる。また、被研磨加工物Ｋではなく、研磨部材１０を振動させるようにしてもよい。また、被研磨加工物Ｋ及び研磨部材１０をともに振動させるようにしてもよい。

ちなみに、上述した往復移動機構は、上記実施形態の変形例における研磨装置（例えば先の図３等に示した研磨装置など）にも同様に適用可能であり、この場合にも回転研磨による研磨痕を抑えることができるようになる。

・先の図２等に示したように、上述した実施形態では、研磨面１１に対して被研磨加工物Ｋを、研磨部材１０の回転軸と直交する方向（図２等に示す矢印Ｘ方向）に押し付けることにより、被研磨加工物Ｋの端部ＫＥを研磨するようにした。この場合、そうして押し付けられた端部ＫＥについては研磨することができるものの、被研磨加工物Ｋの上面及び下面、つまり研磨部材１０の回転軸が直交する平面に対して平行になる被研磨加工物Ｋの両面については、研磨に際して圧力が余りかからないため、十分に研磨加工することができないおそれがある。そこで、上述した各種機構に加えて、そうした被研磨加工物Ｋの両面に対して垂直な圧力を与える圧力付与機構をさらに備えるようにしてもよい。

図１２に、そうした圧力付与機構の一例について概略構成を示す。この図１２に示すように、圧力付与機構は、ローラ８０やアクチュエータ８２等で構成されている。ローラ８０は、円盤状であって回転軸８１を中心に回転する。また、ローラ８０の外周面は、研磨部材１０の上面１０Ｕにあってその外周近傍に当接しており、上面１０Ｕの回転に伴ってローラ８０も回転する。なお、ローラ８０と上面１０Ｕとは、少なくとも被研磨加工物Ｋの研磨中において当接していればよい。従って、ローラ８０と上面１０Ｕとは常時当接していてもよいし、被研磨加工物Ｋの研磨中にのみ当接するようにしてもよい。

アクチュエータ８２は、ローラ８０を上面１０Ｕに押し付ける機構であり、電動式や、油圧式等、適宜の機構にて構成されている。被研磨加工物Ｋの研磨中には、アクチュエータ８２の作動により、ローラ８０は上面１０Ｕに押し付けられる（図１２に示す矢印ＶＴ方向）。

このようにしてローラ８０が上面１０Ｕに押し付けられると、被研磨加工物Ｋの上面ＫＵには、研磨部材１０の研磨面１１を押し付ける押し付け力Ｆが付与される。また、このようにして上面ＫＵに押し付け力Ｆが付与されると、被研磨加工物Ｋの下面ＫＤは、同下面ＫＤが接触する研磨部材１０の研磨面１１に押し付けられるため、結果として、被研磨加工物Ｋの下面ＫＤにも、被研磨加工物Ｋの上面ＫＵと同様な押し付け力Ｆが付与される。こうした被研磨加工物Ｋの上面ＫＵ及び下面ＫＤに対する押し付け力Ｆの付与により、被研磨加工物Ｋの研磨時には、端部ＫＥだけではなく、上面ＫＵ及び下面ＫＤも同時に研磨することができるようになる。ちなみに、図１２に示した変形例では、研磨部材１０の片面（上面Ｕ）を圧力付与機構にて押し付けることにより、被研磨加工物Ｋの上面ＫＵ及び下面ＫＤに対して押し付け力Ｆが付与される。従って、研磨部材１０の両面に圧力付与機構を設ける場合と比較して、当該圧力付与機構の設置数を減らすことができる。

また、図１２に示した変形例では、ローラ８０をアクチュエータ８２で押し付けるようにしたが、ローラ８０の質量が十分に大きく、ローラ８０の自重だけで十分な押し付け力Ｆを付与することができるのであれば、アクチュエータ８２を省略してもよい。また、同変形例では、研磨部材１０の片面を押し付けるようにしたが、例えば研磨部材１０の両面を挟み込むなどして、両面を押し付けるようにしてもよい。このようにして両面を押し付けるようにすると、片面を押し付ける場合と比較して、例えば研磨部材１０の歪みなどを抑えることができる。また、研磨に際して、研磨部材１０を固定して被研磨加工物Ｋを回転させる場合には、ローラ８０を回転可能に構成する必要がないため、この場合には、例えばローラ８０を単なる重しなどに変更することも可能である。
（付記１）
被研磨加工物を研磨する装置であって、
前記被研磨加工物の被研磨部の形状に沿った形状の研磨面を有する研磨部材と、
前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を、前記研磨部材の径方向の外周面における接線方向に移動させる移動機構と、を備える
ことを特徴とする研磨装置。
（付記２）
被研磨加工物を研磨する装置であって、
前記被研磨加工物の被研磨部の形状に沿った形状の研磨面を有する研磨部材と、
前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を、前記研磨部材の径方向の外周面における接線方向に移動させる第１移動機構と、
前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を、前記研磨部材の回転軸に対して直交する方向に移動させる第２移動機構と、を備える
ことを特徴とする研磨装置。
（付記３）
被研磨加工物を研磨する装置であって、
前記被研磨加工物の被研磨部の形状に沿った形状の研磨面を有する研磨部材と、
前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を回転させる回転機構と、を備える
ことを特徴とする研磨装置。
（付記４）
被研磨加工物を研磨する装置であって、
前記被研磨加工物の被研磨部の形状に沿った形状の研磨面を有する研磨部材と、
前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を前記研磨部材の回転軸に対して直交する方向に押圧する押圧機構と、を備える
ことを特徴とする研磨装置。
（付記５）
被研磨加工物を研磨する装置であって、
前記被研磨加工物の被研磨部の形状に沿った形状の研磨面を有する研磨部材と、
前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を、前記研磨部材の径方向の外周面における接線方向に移動させる移動機構と、
前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を回転させる回転機構と、を備える
ことを特徴とする研磨装置。
（付記６）
被研磨加工物を研磨する装置であって、
前記被研磨加工物の被研磨部の形状に沿った形状の研磨面を有する研磨部材と、
前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を、前記研磨部材の径方向の外周面における接線方向に移動させる移動機構と、
前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を前記研磨部材の回転軸に対して直交する方向に押圧する押圧機構と、を備える
ことを特徴とする研磨装置。
（付記７）
被研磨加工物を研磨する装置であって、
前記被研磨加工物の被研磨部の形状に沿った形状の研磨面を有する研磨部材と、
前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を、前記研磨部材の径方向の外周面における接線方向に移動させる移動機構と、
前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を回転させる回転機構と、
前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を前記研磨部材の回転軸に対して直交する方向に押圧する押圧機構と、を備える
ことを特徴とする研磨装置。
（付記８）
前記研磨部材を下方から回転させるモータを備える
付記１〜７のいずれか１項に記載の研磨装置。
（付記９）
前記研磨部材を上面に載置した状態で前記研磨部材と一体回転する定盤を備える
付記１〜８のいずれか１項に記載の研磨装置。
（付記１０）
研磨部材で被研磨加工物を研磨する方法であって、
前記研磨部材は、前記被研磨加工物の被研磨部の形状に沿った形状の研磨面を有しており、
前記被研磨加工物の研磨時に、前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を、前記研磨部材の径方向の外周面における接線方向に移動させる
ことを特徴とする研磨方法。
（付記１１）
研磨部材で被研磨加工物を研磨する方法であって、
前記研磨部材は、前記被研磨加工物の被研磨部の形状に沿った形状の研磨面を有しており、
前記被研磨加工物の研磨時に、前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を前記研磨部材の径方向の外周面における接線方向に移動させることと、
前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を前記研磨部材の回転軸に対して直交する方向に移動させることと、を行う
ことを特徴とする研磨方法。
（付記１２）
研磨部材で被研磨加工物を研磨する方法であって、
前記研磨部材は、前記被研磨加工物の被研磨部の形状に沿った形状の研磨面を有しており、
前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を回転させる
ことを特徴とする研磨方法。
（付記１３）
研磨部材で被研磨加工物を研磨する方法であって、
前記研磨部材は、前記被研磨加工物の被研磨部の形状に沿った形状の研磨面を有しており、
前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を前記研磨部材の回転軸に対して直交する方向に押圧する
ことを特徴とする研磨方法。
（付記１４）
研磨部材で被研磨加工物を研磨する方法であって、
前記研磨部材は、前記被研磨加工物の被研磨部の形状に沿った研磨面を有しており、
前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を、前記研磨部材の径方向の外周面における接線方向に移動させることと、
前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を回転させることと、を行う
ことを特徴とする研磨方法。
（付記１５）
研磨部材で被研磨加工物を研磨する方法であって、
前記研磨部材は、前記被研磨加工物の被研磨部の形状に沿った研磨面を有しており、
前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を、前記研磨部材の径方向の外周面における接線方向に移動させることと、
前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を前記研磨部材の回転軸に対して直交する方向に押圧することと、を行う
ことを特徴とする研磨方法。
（付記１６）
研磨部材で被研磨加工物を研磨する方法であって、
前記研磨部材は、前記被研磨加工物の被研磨部の形状に沿った研磨面を有しており、
前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を、前記研磨部材の径方向の外周面における接線方向に移動させることと、
前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を回転させることと、
前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を前記研磨部材の回転軸に対して直交する方向に押圧することと、を行う
ことを特徴とする研磨方法。
（付記１７）
前記研磨部材を下方から回転させる
付記１０〜１６のいずれか１項に記載の研磨方法。
（付記１８）
前記研磨部材を定盤の上面に載置した状態で前記定盤とともに前記研磨部材を一体回転させる
付記１０〜１７のいずれか１項に記載の研磨方法。

１０…研磨部材、１０Ｕ…（研磨部材の）上面、１１…研磨面、２０…定盤、２１…第１モータ、３０…第２モータ、３１…回転軸、３２…固定台、３３…モータ移動機構、４０…押圧機構、５０…移動機構、Ｋ…被研磨加工物、ＫＥ…（被研磨加工物の）端部、ＫＵ…（被研磨加工物の）上面、ＫＤ…（被研磨加工物の）下面、６０…揺動機構、７０…振動機構、８０…ローラ、８１…回転軸、８２…アクチュエータ。

Claims (15)

1. 被研磨加工物を研磨する装置であって、
   前記被研磨加工物の被研磨部の形状に沿った形状の研磨面を有する円盤状の研磨部材と、
   前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を、前記研磨部材の径方向の外周面における接線方向に移動させる移動機構と、を備え、
   前記研磨部材の外周面において同時に複数の被研磨加工物の端部を研磨するように構成されていることを特徴とする研磨装置。
2. 被研磨加工物を研磨する装置であって、
   前記被研磨加工物の被研磨部の形状に沿った形状の研磨面を有する円盤状の研磨部材と、
   前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を、前記研磨部材の径方向の外周面における接線方向に移動させる第１移動機構と、
   前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を、前記研磨部材の回転軸に対して直交する方向に移動させる第２移動機構と、を備え、
   前記研磨部材の外周面において同時に複数の被研磨加工物の端部を研磨するように構成されていることを特徴とする研磨装置。
3. 被研磨加工物を研磨する装置であって、
   前記被研磨加工物の被研磨部の形状に沿った形状の研磨面を有する円盤状の研磨部材と、
   前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を回転させる回転機構と、を備え、
   前記研磨部材の外周面において同時に複数の被研磨加工物の端部を研磨するように構成されていることを特徴とする研磨装置。
4. 被研磨加工物を研磨する装置であって、
   前記被研磨加工物の被研磨部の形状に沿った形状の研磨面を有する円盤状の研磨部材と、
   前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を前記研磨部材の回転軸に対して直交する方向に押圧する押圧機構と、を備え、
   前記研磨部材の外周面において同時に複数の被研磨加工物の端部を研磨するように構成されていることを特徴とする研磨装置。
5. 被研磨加工物を研磨する装置であって、
   前記被研磨加工物の被研磨部の形状に沿った形状の研磨面を有する円盤状の研磨部材と、
   前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を、前記研磨部材の径方向の外周面における接線方向に移動させる移動機構と、
   前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を回転させる回転機構と、を備え、
   前記研磨部材の外周面において同時に複数の被研磨加工物の端部を研磨するように構成されていることを特徴とする研磨装置。
6. 被研磨加工物を研磨する装置であって、
   前記被研磨加工物の被研磨部の形状に沿った形状の研磨面を有する円盤状の研磨部材と、
   前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を、前記研磨部材の径方向の外周面における接線方向に移動させる移動機構と、
   前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を前記研磨部材の回転軸に対して直交する方向に押圧する押圧機構と、を備え、
   前記研磨部材の外周面において同時に複数の被研磨加工物の端部を研磨するように構成されていることを特徴とする研磨装置。
7. 被研磨加工物を研磨する装置であって、
   前記被研磨加工物の被研磨部の形状に沿った形状の研磨面を有する円盤状の研磨部材と、
   前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を、前記研磨部材の径方向の外周面における接線方向に移動させる移動機構と、
   前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を回転させる回転機構と、
   前記被研磨加工物または前記研磨部材の少なくとも一方を前記研磨部材の回転軸に対して直交する方向に押圧する押圧機構と、を備え、
   前記研磨部材の外周面において同時に複数の被研磨加工物の端部を研磨するように構成されていることを特徴とする研磨装置。
8. 前記研磨部材を下方から回転させるモータを備える
   請求項１〜７のいずれか１項に記載の研磨装置。
9. 前記研磨部材を上面に載置した状態で前記研磨部材と一体回転する定盤を備える
   請求項１〜８のいずれか１項に記載の研磨装置。
10. 前記被研磨加工物と前記研磨部材との接触圧が規定の値で一定になるように、前記押圧機構の駆動を制御する制御装置をさらに備える
    請求項４，６又は７に記載の研磨装置。
11. 前記被研磨加工物と前記研磨部材との接触面積に応じて前記押圧機構による圧力が調整されるように、前記押圧機構の駆動を制御する制御装置をさらに備える
    請求項４，６又は７に記載の研磨装置。
12. 前記被研磨加工物の形状に応じて前記被研磨加工物の研磨時間を調整する制御装置をさらに備える
    請求項１〜９のいずれか１項に記載の研磨装置。
13. 前記被研磨加工物の形状に応じて、前記移動機構による前記接線方向における前記被研磨加工物または前記研磨部材の移動速度を変更し、それにより前記被研磨加工物の研磨時間を調整する制御装置をさらに備える
    請求項１，２，５〜７のいずれか１項に記載の研磨装置。
14. 前記被研磨加工物の形状に応じて、前記回転機構による前記被研磨加工物または前記研磨部材の回転速度を変更し、それにより前記被研磨加工物の研磨時間を調整する制御装置をさらに備える
    請求項３，５又は７に記載の研磨装置。
15. 請求項１〜１４のいずれか一項に記載の研磨装置を用いて、前記研磨部材の外周面において同時に複数の被研磨加工物の端部を研磨する研磨方法。