JP6568006B2 - 研磨装置および研磨方法 - Google Patents
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Description
本発明の好ましい態様は、前記研磨荷重検出部は、前記荷重測定器によって測定された前記荷重の値を、前記アクチュエータが発生した力の値から減算することにより前記荷重フィードバック値を決定する研磨荷重算出器をさらに備えることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記荷重フィードバック値は、前記荷重測定器によって測定された前記荷重の値であることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記研磨荷重検出部は、前記位置決め部材と前記押圧部材との間に配置された荷重測定器を有し、前記荷重フィードバック値は、前記荷重測定器によって測定された前記荷重の値であることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記基板は硬さの異なる複数の層を有しており、前記ストッパーの移動速度は、前記複数の層の硬さに従って変化することを特徴とする。
2 ウェハステージ(基板ステージ)
3 ステージモータ
7 研磨テープ
10 研磨ヘッド
11 押圧部材
14 巻き出しリール
15 巻き取りリール
17,18 リールモータ
20 テープ送り装置
21,22 ガイドローラ
25 エアシリンダ
27 荷重伝達部材
27a 押圧部材ホルダー
30 真空ライン
31 位置決め部材
33 直動ガイド
35 ストッパー
37 ストッパー移動機構
39 フレーム
40 ロードセル(荷重測定器)
41 研磨荷重算出器
42 研磨荷重検出部
43 ストッパー速度決定部
50,51 距離センサ
Claims (7)
- 基板を保持する回転可能な基板保持部と、
研磨具を前記基板に押し付ける押圧部材と、
前記押圧部材の押圧力を制御するアクチュエータと、
前記押圧部材と一体に移動可能な位置決め部材と、
前記押圧部材および前記位置決め部材の移動を制限するストッパーと、
前記ストッパーを所定の方向に移動させるストッパー移動機構と、
前記押圧部材に加えられた研磨荷重により変化する荷重フィードバック値を取得する研磨荷重検出部と、
前記荷重フィードバック値が設定範囲内に収まるように、前記ストッパーの移動速度を決定するストッパー速度決定部とを備えたことを特徴とする研磨装置。 - 前記研磨荷重検出部は、前記位置決め部材と前記ストッパーとの間に配置された荷重測定器を有し、前記荷重測定器は前記位置決め部材から前記ストッパーに伝達される荷重を測定することを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 前記研磨荷重検出部は、前記荷重測定器によって測定された前記荷重の値を、前記アクチュエータが発生した力の値から減算することにより前記荷重フィードバック値を決定する研磨荷重算出器をさらに備えることを特徴とする請求項2に記載の研磨装置。
- 前記荷重フィードバック値は、前記荷重測定器によって測定された前記荷重の値であることを特徴とする請求項2に記載の研磨装置。
- 前記研磨荷重検出部は、前記位置決め部材と前記押圧部材との間に配置された荷重測定器を有し、前記荷重フィードバック値は、前記荷重測定器によって測定された前記荷重の値であることを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 基板を回転させ、
研磨具を押圧部材で前記基板に押し付け、
前記押圧部材に連結された位置決め部材の移動をストッパーで制限しながら、前記ストッパーを所定の方向に移動させ、
前記押圧部材に加えられた研磨荷重により変化する荷重フィードバック値を取得し、
前記荷重フィードバック値が設定範囲内に収まるように、前記ストッパーの移動速度を決定し、
前記ストッパーを前記決定された移動速度で前記所定の方向に移動させることを特徴とする研磨方法。 - 前記基板は硬さの異なる複数の層を有しており、
前記ストッパーの移動速度は、前記複数の層の硬さに従って変化することを特徴とする請求項6に記載の研磨方法。
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