JP2017223451A - 計測装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】移動部により相対移動を行いつつ複数の発光部を同時発光させてS102、対象物の全体の全反射光量を取得しS104、全反射光量において反射光量異常が存在する場合にS112、反射光量異常に対応する対象物の光量異常領域を特定する第1の計測S114、及び、少なくとも光量異常領域を含む対象物の一部の領域である走査領域において移動部による相対移動を行いつつ複数の発光部を順次発光させてS116、走査領域内における対象物の部分反射光量を取得しS118、部分反射光量を用いて対象物の異常領域を計測する第2の計測を実行するS124。
【選択図】図9
Description
図1ないし図9を参照して、本実施の形態について詳細に説明する。まず、図1及び図2を参照して、本実施の形態に係る計測装置10の構成の一例について説明する。図1および図2は、計測装置10が対象物の計測を行う場合の構成を示している。
受光素子16としては、特に制限はないが、例えば、フォトダイオード(Photodiode:PD)、電荷結合素子(Charge−Coupled Device:CCD)等が用いられる。
なお、図3(b)の横軸の受光素子番号1〜6は、図3(a)に示した受光素子16の番号1〜6に対応している。また、受光領域RAにおける受光素子16と受光素子16との間では反射光RFが受光されないので、実際の出力分布は離散的となるが、図3(b)ではこれを省略して図示している。
光量異常領域Qが存在する場合は、受光素子16を介して得られる反射特性は図7(a)の場合と異なったものとなる。この異なる反射特性によって、光量異常領域Qの有無が判断されると共に、光量異常領域Qの範囲が、例えばX−Y平面における座標で取得される。この全体照射は、予め定められたX軸方向のステップ単位で対象物OBを−Xに移動させつつ、対象物OBの全体に亘って行われる。
図10を参照して、本実施の形態に係る計測装置について説明する。本実施の形態は、上記実施の形態の第1の計測において、全体照射を分割全体照射に変更した形態である。
従って、本実施の形態に係る計測装置は上記実施の形態に係る計測装置10と同様なので、必要な場合には図1、2等を参照することとし、計測装置の図示を省略する。
12、12A、12B、12C 発光素子
14 発光器
14A 基板
16 受光素子
18 受光器
18A 基板
18B 開口部
20 制御部
30 光学系
32 レンズ
34 レンズ
40 絞り
42 開口部
42A 開口縁
52 駆動部
100 CPU
102 ROM
104 RAM
200 表面
BUS バス
IF 照射光
M 光軸
RF 反射光
OB 対象物
P1、P2 発光パルス信号
Q 光量異常領域
RA 受光領域
S、S1〜S18 スポット
T 計測領域
Claims (7)
- 対象物へ照射する照射光を発生する複数の発光部と、
前記対象物に照射された前記照射光が反射された反射光を受光し反射光量を出力する受光部と、
前記対象物と前記照射光とを相対的に移動させる相対移動を行う移動部と、
前記移動部により前記相対移動を行いつつ前記複数の発光部を同時発光させて前記対象物の全体の全反射光量を取得し、前記全反射光量において反射光量異常が存在する場合に、前記反射光量異常に対応する前記対象物の光量異常領域を特定する第1の計測、及び、 少なくとも前記光量異常領域を含む前記対象物の一部の領域である走査領域において前記移動部による前記相対移動を行いつつ前記複数の発光部を順次発光させて前記走査領域内における前記対象物の部分反射光量を取得し、前記部分反射光量を用いて前記対象物の異常領域を計測する第2の計測を実行するように制御する制御部と、
を含む計測装置。 - 前記移動部は、単位移動距離ごとに前記対象物と前記照射光とを相対的に移動させ、
前記制御部は、前記第2の計測における前記相対移動の前記単位移動距離を、前記第1の計測における前記相対移動の前記単位移動距離よりも小さくなるようにして前記相対移動を行う
請求項1に記載の計測装置。 - 前記制御部は、前記第1の計測における前記光量異常領域を、前記相対移動の方向及び前記相対移動の方向に交差する方向の少なくとも一方の方向の範囲である異常範囲で特定し、
前記走査領域を、前記異常範囲に予め定められた範囲を付加した領域とする
請求項1又は請求項2に記載の計測装置。 - 前記制御部は、前記第1の計測において前記複数の発光部のうちの一部の発光部を同時発光させる
請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の計測装置。 - 前記一部の発光部の個数は前記異常領域の大きさに応じて設定された
請求項4に記載の計測装置。 - 前記複数の発光部は複数の発光部グループにグループ分けされており、
前記制御部は、前記第1の計測において、前記複数の発光部グループをグループ単位で順次に発光させて前記同時発光を行う
請求項4又は請求項5に記載された計測装置。 - 前記複数の発光部の各々は前記対象物の表面上の互いに異なる位置に前記照射光を照射するように構成され、
前記制御部は、前記第2の計測において、前記複数の発光部のうち前記走査領域に照射光を照射する位置の発光部を順次発光させる
請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の計測装置。
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